JPWO2023182264A5 - - Google Patents
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- 239000000945 filler Substances 0.000 claims 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 2
Claims (2)
- 超砥粒層を有するビトリファイドボンド超砥粒ホイールであって、
前記超砥粒層は、超砥粒、気孔およびビトリファイドボンドを含み、
前記超砥粒層において、３０μｍ２以上の面積を有する粗大なビトリファイドボンド粒が存在し、前記粗大なビトリファイドボンド粒の面積率が１０％以下である、ビトリファイドボンド超砥粒ホイール。 - 前記超砥粒層はフィラーをさらに含み、５体積％以上２０体積％以下の前記ビトリファイドボンド、および５０体積％以上７０体積％以下の前記気孔を含み、残部が前記超砥粒と前記フィラーである、請求項１に記載のビトリファイドボンド超砥粒ホイール。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022048144 | 2022-03-24 | ||
| JP2022048144 | 2022-03-24 | ||
| PCT/JP2023/010851 WO2023182264A1 (ja) | 2022-03-24 | 2023-03-20 | ビトリファイドボンド超砥粒ホイール |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2023182264A1 JPWO2023182264A1 (ja) | 2023-09-28 |
| JPWO2023182264A5 true JPWO2023182264A5 (ja) | 2024-03-01 |
| JP7458562B2 JP7458562B2 (ja) | 2024-03-29 |
Family
ID=88101032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023554799A Active JP7458562B2 (ja) | 2022-03-24 | 2023-03-20 | ビトリファイドボンド超砥粒ホイール |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7458562B2 (ja) |
| TW (1) | TW202404744A (ja) |
| WO (1) | WO2023182264A1 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003062755A (ja) | 2001-08-22 | 2003-03-05 | Noritake Co Ltd | ビトリファイド砥石の製造方法、ビトリファイド砥石用ガラス質結合剤原料液及びその製造方法 |
| JP5640064B2 (ja) | 2012-08-29 | 2014-12-10 | 株式会社アライドマテリアル | ビトリファイドボンド超砥粒ホイールおよびそれを用いてウエハを研削加工する方法 |
-
2023
- 2023-03-20 WO PCT/JP2023/010851 patent/WO2023182264A1/ja active Application Filing
- 2023-03-20 JP JP2023554799A patent/JP7458562B2/ja active Active
- 2023-03-22 TW TW112110623A patent/TW202404744A/zh unknown
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