JP2002047068A

JP2002047068A - 窒化珪素質焼結体およびその窒化珪素質焼結体を用いた切削工具並びにそれらの製造方法

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Publication number: JP2002047068A
Application number: JP2000228461A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Sekiguchi; 豊関口; Yasuhiro Takagi; 保宏高木; Kazuhiro Urashima; 和浩浦島; Satoshi Iio; 聡飯尾
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 2000-07-28
Filing date: 2000-07-28
Publication date: 2002-02-12

Abstract

(57)【要約】【目的】特別な装置を用いることなく、優れた耐欠損
性を維持したまま、優れた耐摩耗性をも兼備した窒化珪
素質焼結体およびその窒化珪素質焼結体を用いた切削工
具並びにそれらの製造方法を提供すること。【構成】窒化珪素質焼結体の表面層の耐摩耗性が、該
窒化珪素質焼結体の表面層を研磨除去して得られる研磨
面の耐摩耗性よりも優れるようにする。耐摩耗性は、摩
耗量を用いて評価するのがよい。切削工具に用いた場合
においては、窒化珪素質焼結体の表面層である逃げ面の
摩耗量Ｖ_sが、逃げ面を研磨して得られる研磨面の摩耗
量Ｖ_iよりも少ないようにするとよい。より好ましく
は、この表面層の表面粗度Ｒ_aが１μｍ以下になるよう
にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、切削工具、摺動部品等
の耐摩耗性を要求される窒化珪素質焼結体およびその窒
化珪素質焼結体を用いた切削工具並びにそれらの製造方
法に関する。特には、鋳鉄の切削加工に適した窒化珪素
質焼結体およびその窒化珪素質焼結体を用いた切削工具
並びにそれらの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】窒化珪素質焼結体は、高強度で、耐摩耗
性、耐熱性等の機械的特性に優れるため、切削工具等に
用いられている。切削工具用途の窒化珪素質焼結体に要
求される大事な特性として、耐摩耗性と耐欠損性があ
る。耐摩耗性が悪いと、切削工具を頻繁に交換するため
生産性が悪くなる。また、耐欠損性が悪いと、切削加工
中に焼結体が欠損して、被削材の加工面を傷つけること
になる。

【０００３】窒化珪素質焼結体の機械的特性を向上させ
るために、焼結助剤の検討や、硬質粒子の分散等の方法
が種々検討されている。特開平２−７４５６４号公報や
特開平４−１５４６６９号公報には、Ｍｇ成分、Ｚｒ成
分、Ｃｅ成分を焼結助剤に含む窒化珪素質焼結体が開示
されている。また、特開平１１−２１７２７１号公報に
は、希土類元素成分、Ｍｇ成分およびＡｌ成分からなる
焼結助剤を含み、硬質粒子を分散した硬質表面層を有す
る高靭性窒化珪素質焼結体が開示されている。

【０００４】焼結助剤の添加量を増やせば、窒化珪素質
焼結体の焼結は容易になる。しかし、焼結助剤の添加量
が多いと、焼結体の耐摩耗性が低下する。一方、焼結助
剤の添加量を少なくすれば、窒化珪素質焼結体の耐摩耗
性は向上するものの、大事な耐欠損性を低下させること
になる。また、硬質粒子を添加する方法は簡便ではある
が、硬質粒子の脱粒により欠損を生じて、やはり長期間
にわたって優れた切削性を持続させるのは困難である。
そこで、窒化珪素質焼結体の表面層近傍の組織を所定の
状態に制御して機械的特性を向上させる方法が検討され
ている。

【０００５】特開平８−１１２７０５号公報には、β窒
化珪素粒子の面積％やアスペクト比等を規定した窒化珪
素質焼結体からなる切削工具が開示されている。また、
特開平９−８７０３６号公報には、表層部に含まれるＡ
ｌ成分の含有率に傾斜を持たせた窒化珪素質焼結体が開
示されている。しかし、微妙な組織制御は材料ロットや
調合条件によって左右されやすいため、工業的な生産性
を担保した製品を安価に供給し難い。

【０００６】ところで、切削工具等の所定の形状を有す
るセラミック製品を製造するには、多かれ少なかれ、窒
化珪素質焼結体を機械加工する必要がある。機械加工を
容易にするために、成形体を仮焼した仮焼体の段階で機
械加工して、更に本焼成して最終製品を得る方法が、特
公平６−２５０３７号公報、特公平６−３９３４４号公
報、特公平７−１０６９４２号公報、特開平９−２６８
０７０号公報等に開示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、窒化珪素質
焼結体の耐欠損性や生産性を損なうことなく、優れた耐
摩耗性を有する窒化珪素質焼結体およびその窒化珪素質
焼結体を用いた切削工具並びにそれらの製造方法を提供
することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】耐欠損性を確保しながら
耐摩耗性を向上するには、窒化珪素質焼結体の表面層ま
たは必要最低限の部分の表面の耐摩耗性を向上するのが
効果的である。具体的には、窒化珪素質焼結体の表面層
の耐摩耗性が、その表面層を研磨除去して得られる研磨
面の耐摩耗性よりも優れる焼結体にする。窒化珪素質焼
結体の表面層をより耐摩耗性に優れた状態にすること
で、窒化珪素質焼結体全体としての耐欠損性を確保しな
がら、耐摩耗性をも確保することができる。尚、ここに
いう「必要最低限の部分の表面の耐摩耗性を向上する」
例としては、窒化珪素質焼結体を用いた切削工具の逃げ
面の耐摩耗性を向上することが挙げられる。ここにいう
「逃げ面」とは、図１に示すように、切削工具のチップ
（１）の側面（２）をいう。尚、切削工具のチップの上
面（３）は「すくい面」という。

【０００９】ここにいう「窒化珪素質焼結体の表面層」
とは、窒化珪素質焼結体の最表面から焼結体の内側へ向
かって６００μｍまでの深さの範囲をいう。また、ここ
にいう「表面層を研磨除去して得られる研磨面」とは、
この６００μｍまでの深さの範囲を研磨除去して得られ
た新たな露出面をいう。この６００μｍまでの深さの範
囲にある表面層の耐摩耗性を、この表面層を研磨除去し
て得られる新たな露出面である研磨面の耐摩耗性よりも
優れるようにすることで、窒化珪素質焼結体全体として
の耐欠損性を確保しながら、耐摩耗性をも確保すること
ができる。

【００１０】本発明は、具体的には以下のように特定す
ることができる。製品例として切削工具を用いた場合を
例に説明する。切削工具を用いる場合、工具の逃げ面を
用いて本発明の検証をするのがよい。切削工具の逃げ面
は、被削材と直接接触する部位であるため、切削工具の
耐欠損性と耐摩耗性の両方を兼備する必要があり、評価
部位として最適だからである。

【００１１】窒化珪素質焼結体の表面層と研磨面との耐
摩耗性の相対的な優劣を判断する方法としては、表面層
と研磨面との耐摩耗性を相対的に評価できる試験方法で
あれば特に制限無く用いることができる。同じ試験条件
下における表面層と研磨面との摩耗量Ｖを用いて相対的
な優劣を評価するのが簡便でよい。摩耗量を評価パラメ
ータとして耐摩耗性の相対的な優劣を判断する方法の好
ましい一例を以下に示す。まず、その切削工具に適した
被削材や切削条件等の特定条件を予め設定しておく。次
いで、本発明の窒化珪素質焼結体を用いた切削工具で、
被削材を特定条件にて切削加工して、初期の製品の表面
層の摩耗量Ｖ_sを測定する。他の未使用の逃げ面につい
ては、予め切り込み量を６００μｍ以上にして表面層を
研磨除去しておく。尚、研磨面の仕上げは、初期状態と
同じになるようにする。この研磨面について同様の条件
にて切削加工を行い、研磨面の摩耗量Ｖ_iを測定する。
この両者の摩耗量を比較すれば、本発明の構成要件を満
たすか否かが検証できる。

【００１２】同じ試験条件下における表面層と研磨面と
の摩耗量の相対的な優劣の判断基準としては、表面層の
摩耗量Ｖ_sの値を研磨面の摩耗量Ｖ_iの値で除した比率が
０．８以下、好ましくは０．７以下、より好ましくは
０．６以下、更には０．５以下であるとよい。比率がこ
の範囲であれば、窒化珪素質焼結体の表面層の耐摩耗性
が、この表面層を研磨除去して得られる研磨面の耐摩耗
性よりも優れる、ということができる。その結果、耐摩
耗性と耐欠損性とをバランスよく向上することができ
る。尚、この比率の下限値は、強度等の基本的な機械的
特性を確保できる範囲で決定すればよいため、特には制
限はない。あえて言うならば、実質的な下限値として
は、０．３以上である。究極的な下限値としては０であ
る。例えば、表面層の摩耗量が実質的に０の場合であ
る。

【００１３】摩耗量の絶対値は試験条件によって左右さ
れるが、ここでは、その絶対値自体に拘泥する必要はな
い。その絶対値に基づいて得られる相対的な優劣を示す
判断基準である比率（Ｖ_s／Ｖ_i）が重要である。試験条
件自体は、耐摩耗性を評価するに際して常識的な条件で
あって、かつ、表面層と研磨面に課される試験条件が同
一であればよい。

【００１４】窒化珪素質焼結体の組成に制限はないが、
α窒化珪素、β窒化珪素およびサイアロン結晶相の少な
くとも一種を主相とするものを用いる。更に、周期律表
第３ａ族元素、第４ａ族元素、第５ａ族元素および第６
ａ族元素の少なくとも一種を含有する窒化珪素質焼結体
を用いるのがよい。これらの元素は、窒化珪素質焼結体
の焼結助剤として、効果的に作用する。これらの元素の
少なくとも一種を含有する窒化珪素質焼結体の表面層の
摩耗量を、その表面を研磨して得られる研磨面の摩耗量
よりも少ないように調整する。従来の窒化珪素質焼結体
では得難かった耐欠損性と耐摩耗性と高いレベルで兼備
する窒化珪素質焼結体を得ることができる。

【００１５】これらの元素の窒化珪素質焼結体中におけ
る存在箇所に制限はないが、特には粒界相に存在するの
がよい。耐欠損性をより効果的に向上することができる
からである。これらの元素の含有量としては、酸化物換
算で１〜１０質量％がよい。１質量％以下では粒界相が
殆ど無くなり耐欠損性が低下し、また、１０質量％以上
では耐摩耗性が低下してしまうからである。窒化珪素質
焼結体の表面層の耐摩耗性を、より効果的に窒化珪素質
焼結体の表面層を研磨除去して得られる研磨面の耐摩耗
性よりも優れるようにするには、これらの元素の含有量
を、２〜５質量％の範囲にするのがよい。

【００１６】これらの元素の中でも、特には、希土類元
素成分、Ａｌ成分、Ｍｇ成分およびＺｒ成分の少なくと
も一種を含有するとよい。緻密化を促進するこれらの元
素を含有する窒化珪素質焼結体の表面層の耐摩耗性を、
窒化珪素質焼結体の表面層を研磨除去して得られる研磨
面の耐摩耗性よりも優れるようにする。これらの成分の
好ましい組合わせとしては、Ｙｂ−Ｍｇ−Ａｌ、Ｙ−Ｍ
ｇ−Ｚｒ等を挙げることができる。特に好ましい組合わ
せは、Ｙｂ−Ｍｇ−Ａｌである。燒結体の緻密化を容易
にできるとともに、耐摩耗性に優れた表面層を形成しや
すいからである。この窒化珪素質焼結体を切削工具に用
いることで、鋳鉄の切削加工時の欠損および摩耗の発生
を効果的に防止することができる。

【００１７】窒化珪素質焼結体の表面層の表面粗度Ｒ_a
は、１μｍ以下になるように調製するのがよい。耐欠損
性、耐摩耗性、摺動特性といった性能面が良好であるの
みならず、外観上の審美性にも優れるため、消費者の購
買意欲を刺激する効果があるからである。具体的には、
窒化珪素質焼結体と、少なくとも液状媒体と、を回転可
能な容器に入れて、容器を回転させることにより、窒化
珪素質焼結体の表面層の表面粗度Ｒ_aを１μｍ以下にす
るとよい。簡便な工程で効率よく表面粗度Ｒ_aを１μｍ
以下にすることができる。他に、表面粗度の調製を容易
にする粒状の媒体を加えるとよい。この粒状の媒体とし
ては、粒度の細かいＳｉＣ粒子等がよい。

【００１８】本発明のように、窒化珪素質焼結体の表面
層の耐摩耗性が、この表面層を研磨除去して得られる研
磨面の耐摩耗性よりも優れる窒化珪素質焼結体を得るに
は、以下のような方法を取るとよい。まず焼成方法とし
ては、仮焼成工程と本焼成工程の少なくとも２段階のス
テップを経る焼成工程とする。そして、仮焼成工程の段
階で得られる仮焼体を、所定の形状に研削加工する。研
削加工を終えた仮焼体を、本焼成工程により焼成して、
目的とする製品を得る。

【００１９】このように、仮焼体の状態で予め所定の形
状に研削加工した後に本焼成することで、窒化珪素質焼
結体の表面層の耐摩耗性が、該窒化珪素質焼結体の表面
層を研磨除去して得られる研磨面の耐摩耗性よりも優れ
る状態にすることができる。本焼成してから所定の形状
に研削加工すると、耐摩耗性に優れる表面層が研磨除去
されて、耐摩耗性が低下するので好ましくない。

【００２０】ここにいう「仮焼体」とは、完成品におけ
る密度の７８％以上、好ましくは９０％以上（ただし、
１００％は除く。）になるまで仮焼成されたものをい
う。仮焼体の密度が７８％未満の場合は、本焼成後に緻
密化しにくく、ポア等の欠陥が残留する傾向があり好ま
しくない。仮焼成工程は、窒素を含む非酸化性の雰囲気
下で行う。

【００２１】本焼成工程は、窒素を含む非酸化性の雰囲
気下で、１４５０〜１９５０℃で行う。１４５０℃未満
では、仮焼体中のポア等の欠陥を消滅させることが困難
で強度低下を招くため好ましくない。一方、１９５０℃
を越えると、焼結体の組織が粒成長により粗大化して、
やはり強度低下を招くため好ましくない。

【００２２】本発明の窒化珪素質焼結体は、鋳鉄等の難
切削材の切削加工に用いる切削工具用途に適する。切削
工具の場合、仮焼体の段階で所定の形状になるように加
工工程において加工体とするが、この際、逃げ面を研削
加工しておくことが重要である。この加工体を本焼成す
れば、窒化珪素質焼結体の表面層である逃げ面の耐摩耗
性が、逃げ面を研磨して得られる研磨面の耐摩耗性より
も優れる切削工具が得られる。製造方法の他の工程につ
いては、既に説明したものと実質同じなので、ここでは
省略する。

【００２３】切削工具の逃げ面の表面粗度Ｒ_aは、１μ
ｍ以下になるように調製するのがよい。耐欠損性、耐摩
耗性といった性能面が良好であるのみならず、外観上の
審美性にも優れるため、消費者の購買意欲を刺激する効
果があるからである。具体的には、切削工具と、少なく
とも液状媒体と、を回転可能な容器に入れて、容器を回
転させることにより、切削工具の逃げ面の表面層の表面
粗度Ｒ_aを１μｍ以下にするとよい。簡便な工程で効率
よく表面粗度Ｒ_aを１μｍ以下にすることができる。他
に、表面粗度の調製を容易にする粒状の媒体を加えると
よい。この粒状の媒体としては、粒度の細かいＳｉＣ粒
子等がよい。

【００２４】

【実施例】（実施例１）原料粉末として、窒化珪素粉末
（比表面積１０ｍ²／ｇ、平均粒径０．６μｍ）と、焼
結助剤とを、表１に示す組成になるように所定量秤量、
混合する。この混合物を有機バインダ及び溶媒とともに
窒化珪素ボールの入った窒化珪素製ポットに投入して、
７０ｒｐｍ×４０時間の条件にて湿式粉砕混合する。得
られたスラリを５００メッシュのふるいを通して、溶媒
を乾燥除去する。残った粉末を回収して、６０メッシュ
のふるいを通して、造粒粉末を得る。

【００２５】造粒粉末を一軸加圧成形法により所定の形
状に成形した後、２００ＭＰａの圧力でＣＩＰ（冷間静
水圧プレス）して成形体を得る。得られた成形体を、窒
素圧力３〜５気圧で、１８００〜１９００℃×２〜４時
間の条件で仮焼成する。具体的な仮焼成条件の組合わせ
は表２に示す。得られた仮焼体を、最終的な製品の段階
で「ＳＮＧＮ４３２型」の寸法になるように、各試料毎
の収縮率に合わせて研削加工して加工体を得る。

【００２６】ここで「ＳＮＧＮ４３２型」とは、ＪＩＳ
Ｂ４１２０に記載されている「スローアウェイチッ
プの呼び記号」に従って付けられるチップの寸法等を示
す記号である。ここで、「Ｓ」は形状記号であり、試料
形状が正方形であることを示す。続く「Ｎ」は逃げ角記
号であり、逃げ角が０°であることを示す。続く「Ｇ」
は精度記号であり、寸法許容差（単位；ｍｍ）が、内接
円直径で±０．０２５、チップ厚さで±０．１３、コー
ナー高さで±０．０２５であることを示す。続く「Ｎ」
は溝・穴記号であり、穴・溝が共に無い形状であること
を示す。続く「４」は内接円記号（インチ系）であり、
内接円直径（単位；ｍｍ）が１２．７０であることを示
す。続く「３」は厚さ記号であり、インチ系の通常系列
にて厚み（単位；ｍｍ）が４．７６であることを示す。
末尾の「２」はコーナ記号であり、インチ系でコーナ半
径（単位；ｍｍ）が０．８であることを示す。

【００２７】加工体は、表２に示す本焼成工程の条件に
よって本焼成する。一部試料によっては、カーボン粉末
に埋設して本焼成したり、本焼成後にアニール処理を行
ったりする。得られた試料の密度をアルキメデス法によ
り測定する。結果を表３に示す。

【００２８】また、別途、仮焼成後に研削加工をしない
で本焼成した試料を作製する。これについては、本焼成
後に「ＳＮＧＮ４３２型」の寸法になるように研削加工
する。

【００２９】得られた試料の逃げ面の耐摩耗性と耐欠損
性について評価する。評価結果を表３に示す。．逃げ面の耐摩耗性の評価ＳＮＧＮ４３２、チャンファ０．０８５のチップ状の試
料を用いて、鋳鉄（名称；ＦＣ２００）を被削材とす
る。乾式下、切削速度；３００ｍｍ／分、切り込み；
１．５ｍｍ、送り速度；０．３４ｍｍ／分の条件にて切
削を行った後、フランク最大摩耗量を測定し、これを逃
げ面の摩耗量をＶ_s（単位；ｍｍ）とする。また、別途
逃げ面から６００μｍ研削して表面層を除去して研磨面
を形成した試料を作製する。この試料の逃げ面である研
磨面の摩耗量をＶ_i（単位；ｍｍ）とする。各摩耗量及
び比率（Ｖ_s／Ｖ_i）の結果を表３に併記する。

【００３０】．耐欠損性の評価ＳＮＧＮ４３２、チャンファ０．０８５のチップ状の試
料を用いて、鋳鉄（名称；ＦＣ２００）を被削材とす
る。乾式下、切削速度；１５０ｍｍ／分、切り込み；
２．０ｍｍ、送り速度；１．０ｍｍ／分の条件にて欠損
が生ずるまで切削を行った。欠損が生ずるまでのワーク
の加工山数が、２０個以上のものを◎（優秀）、１０〜
１９個のものを○（良好）、９個以下のものを×（不合
格）として、表３に示す。尚、加工山数とは、ワークに
多数溝を設けて作った山をチップ状の試料を用いて連続
で切削する際、試料が欠損せずに切削できた山の数をい
う。

【００３１】

【表１】

【００３２】

【表２】

【００３３】

【表３】

【００３４】結果より、仮焼体の段階で逃げ面を加工形
成した試料は、全て十分に緻密に焼成している。逃げ面
の表面層の摩耗量は、研磨面の摩耗量よりも少なく、ま
た、表面層の摩耗量も少なく、良い結果である。更に、
表面層の耐摩耗性の高さに加えて、耐欠損性も十分であ
る。

【００３５】一方、本焼成後に逃げ面を加工形成した試
料では、表面の摩耗量Ｖ_sが研磨面の摩耗量Ｖ_iと同等の
レベルになっており、表面の耐摩耗性に劣る結果となっ
ている。

【００３６】また、焼結助剤に周期律表第３ａ族元素、
第４ａ族元素、第５ａ族元素および第６ａ族元素の少な
くとも一種を含有しない試料では、耐摩耗性のみならず
耐欠損性にも劣る結果である。

【００３７】焼結助剤の含有量が１０質量％を越える
（１２質量％）の試料では、たとえ仮焼体の段階で逃げ
面を加工形成していても、焼結助剤の含有量が１０質量
％以下の試料よりも相対的に特性が落ちることがわか
る。また、焼結助剤の含有量が１質量％未満（０．６質
量％）の試料では、密度が低く、耐欠損性も相対的に落
ちることがわかる。

【００３８】（実施例２）窒化珪素９６．５質量％に対
して、焼結助剤成分を酸化物換算にて、Ｙｂ₂Ｏ₃２質量
％、ＭｇＯ１質量％、ＺｒＯ₂０．５質量％含む原料組
成の成形体を形成する。仮焼工程の条件は、窒素ガス５
気圧下、１９００℃×２時間で行う。得られた仮焼体の
逃げ面を研磨加工する。次いで、窒素ガス１０００気圧
下、１７００℃×２時間の条件で本焼成工程を行い、試
料を得る。試料の逃げ面の表面粗度Ｒ_aは１．２μｍで
ある。

【００３９】試料の一部については、水およびφ２ｍｍ
の窒化珪素製球とともに窒化珪素製の容器に入れて回転
させて、逃げ面の表面粗度Ｒ_aを０．３μｍあるいは
１．０μｍに調製する。この２種類の試料を用いて、実
施例１と同様の評価を行う。結果を表４に示す。

【００４０】

【表４】

【００４１】結果より、逃げ面の表面粗度Ｒ_aを１μｍ
以下にした方が、表面の耐摩耗性および耐欠損性に共に
優れることがわかる。また、外観上も、表層の不均一感
が無くなり、製品としての質感が向上し、受け入れ検査
における外観検査の歩留まりが向上できる。

【００４２】

【発明の効果】本発明によれば、特別な装置を用いるこ
となく、優れた耐欠損性を維持したまま、優れた耐摩耗
性をも兼備した窒化珪素質焼結体およびその窒化珪素質
焼結体を用いた切削工具並びにそれらの製造方法を提供
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】切削工具の各部名称を示す説明図。

【符号の説明】

１切削工具チップ２逃げ面３すくい面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者飯尾聡愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号日本特殊陶業株式会社内Ｆターム(参考） 3C046 FF33 4G001 BA03 BA06 BA08 BA09 BA14 BA32 BA67 BB03 BB06 BB08 BB09 BB14 BB32 BB67 BC57 BD12 BD18 BE35

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】窒化珪素質焼結体の表面層の耐摩耗性
が、該窒化珪素質焼結体の表面層を研磨除去して得られ
る研磨面の耐摩耗性よりも優れることを特徴とする窒化
珪素質焼結体。
【請求項２】周期律表第３ａ族元素、第４ａ族元素、
第５ａ族元素および第６ａ族元素の少なくとも一種を含
有することを特徴とする請求項１に記載の窒化珪素質焼
結体。
【請求項３】希土類元素成分、Ａｌ成分、Ｍｇ成分お
よびＺｒ成分の少なくとも一種を、酸化物換算で１〜１
０質量％含有することを特徴とする請求項１又は請求項
２に記載の窒化珪素質焼結体。
【請求項４】窒化珪素質焼結体の表面層の表面粗度Ｒ
_aが１μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至請
求項３のいずれかに記載の窒化珪素質焼結体。
【請求項５】仮焼成と本焼成とを行うことにより、請
求項１乃至請求項４のいずれかに記載の窒化珪素質焼結
体を得るための製造方法であって、密度７８％以上の仮焼体を得る仮焼成工程と、該仮焼体を所定の形状に加工して加工体を得る加工工程
と、該加工体を本焼成して窒化珪素質焼結体を得る本焼成工
程と、を含むことを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造
方法。
【請求項６】上記本焼成により得られた窒化珪素質焼
結体と、少なくとも液状媒体と、を回転可能な容器に入
れて、該容器を回転させることにより、該窒化珪素質焼
結体の表面層の表面粗度Ｒ_aを１μｍ以下にした窒化珪
素質焼結体を得ることを特徴とする請求項５に記載の窒
化珪素質焼結体の製造方法。
【請求項７】上記窒化珪素質焼結体の表面層である逃
げ面の耐摩耗性が、該逃げ面を研磨して得られる研磨面
の耐摩耗性よりも優れることを特徴とする請求項１乃至
請求項４のいずれかに記載の窒化珪素質焼結体を用いた
切削工具。
【請求項８】仮焼成と本焼成とを行うことにより、窒
化珪素質焼結体からなる切削工具を得るための製造方法
であって、密度７８％以上の仮焼体を得る仮焼成工程と、該仮焼体を所定の形状に加工して加工体を得る加工工程
と、該加工体を本焼成して切削工具を得る本焼成工程と、を
含むことを特徴とする請求項７に記載の切削工具の製造
方法。
【請求項９】上記本焼成により得られた窒化珪素質焼
結体からなる切削工具と、少なくとも液状媒体と、を回
転可能な容器に入れて、該容器を回転させることによ
り、該切削工具の逃げ面の表面粗度Ｒ_aを１μｍ以下に
した切削工具を得ることを特徴とする請求項８に記載の
切削工具の製造方法。