JP2014036153A - エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ - Google Patents
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014036153A JP2014036153A JP2012177317A JP2012177317A JP2014036153A JP 2014036153 A JP2014036153 A JP 2014036153A JP 2012177317 A JP2012177317 A JP 2012177317A JP 2012177317 A JP2012177317 A JP 2012177317A JP 2014036153 A JP2014036153 A JP 2014036153A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon wafer
- epitaxial
- epitaxial layer
- value
- orientation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 129
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 129
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 128
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 28
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 claims description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 48
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 128
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 2
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N chlorosilicon Chemical compound Cl[Si] SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- BUMGIEFFCMBQDG-UHFFFAOYSA-N dichlorosilicon Chemical compound Cl[Si]Cl BUMGIEFFCMBQDG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/18—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
- C30B25/186—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate being specially pre-treated by, e.g. chemical or physical means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/18—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
- C30B25/20—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate the substrate being of the same materials as the epitaxial layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02021—Edge treatment, chamfering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02373—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02381—Silicon, silicon germanium, germanium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02433—Crystal orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02524—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02532—Silicon, silicon germanium, germanium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/0257—Doping during depositing
- H01L21/02573—Conductivity type
- H01L21/02576—N-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/0257—Doping during depositing
- H01L21/02573—Conductivity type
- H01L21/02579—P-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02587—Structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02609—Crystal orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/04—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their crystalline structure, e.g. polycrystalline, cubic or particular orientation of crystalline planes
- H01L29/045—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their crystalline structure, e.g. polycrystalline, cubic or particular orientation of crystalline planes by their particular orientation of crystalline planes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0657—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape of the body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
- Y10T428/24488—Differential nonuniformity at margin
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】おもて面23の面方位が(100)面または(110)面であり、おもて面23側の端部の面取り幅A1が200μm以下であるシリコンウェーハ2のおもて面23上にエピタキシャル層3を形成することを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
【選択図】図1
Description
すなわち、エピタキシャル成長させる面の結晶面が(100)面または(110)面である場合、既述の成長速度方位依存性が発現しうるが、成長させる面側の端部の面取り幅を、従来使用される範囲よりも狭い200μm以下にすることで成長速度方位依存性を抑制できることを見出した。このようなシリコンウェーハ上にエピタキシャル層を成長させれば、成長速度方位依存性を抑制して周縁部における平坦度の高いエピタキシャルシリコンウェーハを得られる。本発明者らはこのような知見に基づき、本発明を完成させるに至った。
本発明によるエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法は、
片面の面方位が(100)面または(110)面であり、該片面側の端部の面取り幅が200μm以下であるシリコンウェーハの、前記片面上にエピタキシャル層を形成することを特徴とする。
記
PV値は、エッジ除外領域を1mmとしたESFQRの、結晶方位ごとの平均値のうち、最大値から最小値を差し引いた値(nm)を、前記シリコンウェーハの中心部における前記エピタキシャル層の膜厚(μm)で除した値とする。
片面の面方位が(100)面または(110)面であり、該片面側の端部の面取り幅が200μm以下であるシリコンウェーハと、
該シリコンウェーハの前記片面上に形成されたエピタキシャル層と、を有するエピタキシャルシリコンウェーハであって、
前記エピタキシャル層の表面において、下記に定義されるPV値が12.5以下であることを特徴とする。
記
PV値は、エッジ除外領域を1mmとしたESFQRの、結晶方位ごとの平均値のうち、最大値から最小値を差し引いた値(nm)を、前記シリコンウェーハの中心部における前記エピタキシャル層の膜厚(μm)で除した値とする。
これまで説明した製造方法により得られるエピタキシャルウェーハ1は、基板となるシリコンウェーハ2と、このシリコンウェーハ2の片面であるおもて面23上に形成されたエピタキシャル層3とを有する。ここで、シリコンウェーハ2のおもて面23の結晶面は(100)面または(100)面であり、おもて面23側の面取り幅長さA1は200μm以下である。このエピタキシャルシリコンウェーハ1の周縁部11の平坦度の指標である既述のPV値は12.5以下である。
直径300mm、厚さ775μmであり、おもて面側の端部の面取り幅A1が130μmに面取り加工したp型シリコンウェーハを作製した。シリコンウェーハのおもて面の結晶面は(100)面であり、裏面の面取り幅A2は350μmである。
おもて面側の端部の面取り幅A1および/またはエピタキシャル層の膜厚を表1に記載の値に変えたこと以外は、実施例1と同じ方法でエピタキシャルシリコンウェーハを作製した。
11 エピタキシャルシリコンウェーハの周縁部
2 シリコンウェーハ
21 エッジ領域
22 ベベル領域
23 おもて面
24 裏面
3 エピタキシャル層
4 シリコンソースガス
51 セクター
52 エッジ除外領域
Claims (8)
- 片面の面方位が(100)面または(110)面であり、該片面側の端部の面取り幅が200μm以下であるシリコンウェーハの、前記片面上にエピタキシャル層を形成することを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
- 前記シリコンウェーハの中心部における前記エピタキシャル層の膜厚が2〜10μmである請求項1に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
- 前記シリコンウェーハの前記片面側の端部の面取り幅が100μm以上である請求項1または2に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
- 前記シリコンウェーハの他面側の端部の面取り幅が300〜400μmである請求項1〜3のいずれか1項に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
- 前記エピタキシャル層の形成では、前記エピタキシャル層の表面において、下記に定義されるPV値を12.5以下に制御することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
記
PV値は、エッジ除外領域を1mmとしたESFQRの、結晶方位ごとの平均値のうち、最大値から最小値を差し引いた値(nm)を、前記シリコンウェーハの中心部における前記エピタキシャル層の膜厚(μm)で除した値とする。 - 片面の面方位が(100)面または(110)面であり、該片面側の端部の面取り幅が200μm以下であるシリコンウェーハと、
該シリコンウェーハの前記片面上に形成されたエピタキシャル層と、を有するエピタキシャルシリコンウェーハであって、
前記エピタキシャル層の表面において、下記に定義されるPV値が12.5以下であることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハ。
記
PV値は、エッジ除外領域を1mmとしたESFQRの、結晶方位ごとの平均値のうち、最大値から最小値を差し引いた値(nm)を、前記シリコンウェーハの中心部における前記エピタキシャル層の膜厚(μm)で除した値とする。 - 前記シリコンウェーハの中心部における前記エピタキシャル層の膜厚が2〜10μmである請求項6に記載のエピタキシャルシリコンウェーハ。
- 前記シリコンウェーハの他面側の端部の面取り幅が300〜400μmである請求項6または7に記載のエピタキシャルシリコンウェーハ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012177317A JP6035982B2 (ja) | 2012-08-09 | 2012-08-09 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
PCT/JP2013/004506 WO2014024404A1 (ja) | 2012-08-09 | 2013-07-24 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
US14/414,487 US9631297B2 (en) | 2012-08-09 | 2013-07-24 | Method of producing epitaxial silicon wafer and epitaxial silicon wafer |
KR1020157002970A KR101659380B1 (ko) | 2012-08-09 | 2013-07-24 | 에피택셜 실리콘 웨이퍼의 제조 방법 및 에피택셜 실리콘 웨이퍼 |
CN201380040947.9A CN104584191B (zh) | 2012-08-09 | 2013-07-24 | 外延硅晶片的制造方法和外延硅晶片 |
TW102127355A TWI531692B (zh) | 2012-08-09 | 2013-07-31 | 磊晶矽晶圓的製造方法以及磊晶矽晶圓 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012177317A JP6035982B2 (ja) | 2012-08-09 | 2012-08-09 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014036153A true JP2014036153A (ja) | 2014-02-24 |
JP6035982B2 JP6035982B2 (ja) | 2016-11-30 |
Family
ID=50067666
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012177317A Active JP6035982B2 (ja) | 2012-08-09 | 2012-08-09 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9631297B2 (ja) |
JP (1) | JP6035982B2 (ja) |
KR (1) | KR101659380B1 (ja) |
CN (1) | CN104584191B (ja) |
TW (1) | TWI531692B (ja) |
WO (1) | WO2014024404A1 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015126010A (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-06 | 信越半導体株式会社 | エピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法 |
KR20160112113A (ko) | 2015-03-18 | 2016-09-28 | 주식회사 엘지실트론 | 웨이퍼 제조 장치 |
JP2017085094A (ja) * | 2015-10-27 | 2017-05-18 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフトSiltronic AG | 配向ノッチを有する半導体ウエハーを保持するためのサセプタ、半導体ウエハー上に層を堆積するための方法、および半導体ウエハー |
JP6256576B1 (ja) * | 2016-11-17 | 2018-01-10 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハ及びその製造方法 |
WO2018117402A1 (ko) * | 2016-12-23 | 2018-06-28 | 에스케이실트론 주식회사 | 에피텍셜 웨이퍼 제조 방법 및 장치 |
JP2019117857A (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-18 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
JP2019523991A (ja) * | 2016-06-09 | 2019-08-29 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフトSiltronic AG | 半導体ウェハを保持するためのサセプタ、半導体ウェハの表面上にエピタキシャル層を堆積する方法、およびエピタキシャル層を有する半導体ウェハ |
US11482597B2 (en) | 2018-01-11 | 2022-10-25 | Siltronic Ag | Semiconductor wafer having epitaxial layer |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6210043B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2017-10-11 | 信越半導体株式会社 | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
JP6717267B2 (ja) * | 2017-07-10 | 2020-07-01 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハの製造方法 |
JP6750592B2 (ja) * | 2017-08-15 | 2020-09-02 | 信越半導体株式会社 | シリコンウエーハのエッジ形状の評価方法および評価装置、シリコンウエーハ、ならびにその選別方法および製造方法 |
CN109545653A (zh) * | 2017-09-22 | 2019-03-29 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 改善外延硅片边缘平坦度的方法 |
DE102017222279A1 (de) * | 2017-12-08 | 2019-06-13 | Siltronic Ag | Verfahren zum Abscheiden einer epitaktischen Schicht auf einer Vorderseite einer Halbleiterscheibe und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
CN108950680A (zh) * | 2018-08-09 | 2018-12-07 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 外延基座及外延设备 |
DE102019207772A1 (de) | 2019-05-28 | 2020-12-03 | Siltronic Ag | Verfahren zum Abscheiden einer epitaktischen Schicht auf einer Vorderseite einer Halbleiterscheibe und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
CN110592665A (zh) * | 2019-08-09 | 2019-12-20 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种半导体薄膜平坦度改善的方法 |
KR102413432B1 (ko) * | 2020-08-28 | 2022-06-27 | 에스케이실트론 주식회사 | 웨이퍼 및 그 형상 분석 방법 |
US20230082020A1 (en) * | 2021-09-07 | 2023-03-16 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Indium phosphide substrate |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002334855A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2007294942A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-11-08 | Sumco Techxiv株式会社 | エピタキシャルウェーハの製造方法及び製造装置 |
WO2010035510A1 (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-01 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハおよびその製造方法 |
JP2011249675A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Showa Denko Kk | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2012142485A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-07-26 | Sumco Corp | エピタキシャルウェーハの製造方法、エピタキシャルウェーハ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04122023A (ja) | 1990-09-13 | 1992-04-22 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハの製造方法および半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2827885B2 (ja) * | 1994-02-12 | 1998-11-25 | 信越半導体株式会社 | 半導体単結晶基板およびその製造方法 |
JP2000269147A (ja) | 1999-03-18 | 2000-09-29 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 気相成長装置、気相成長方法及びシリコンエピタキシャルウェーハ |
JP2003124219A (ja) * | 2001-10-10 | 2003-04-25 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | シリコンウエーハおよびエピタキシャルシリコンウエーハ |
JP4815801B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-11-16 | 信越半導体株式会社 | シリコンウエーハの研磨方法および製造方法および円板状ワークの研磨装置ならびにシリコンウエーハ |
WO2009060913A1 (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-14 | Sumco Corporation | エピタキシャルウェーハの製造方法 |
WO2009060914A1 (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-14 | Sumco Corporation | エピタキシャルウェーハ |
JP2009283650A (ja) | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Sumco Corp | 半導体ウェーハの再生方法 |
IT1402357B1 (it) * | 2010-09-17 | 2013-08-30 | Marana Forni Di Marana Ferdinando | Forno ad elevato rendimento per la cottura di cibi |
JP5644401B2 (ja) | 2010-11-15 | 2014-12-24 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ |
-
2012
- 2012-08-09 JP JP2012177317A patent/JP6035982B2/ja active Active
-
2013
- 2013-07-24 US US14/414,487 patent/US9631297B2/en active Active
- 2013-07-24 WO PCT/JP2013/004506 patent/WO2014024404A1/ja active Application Filing
- 2013-07-24 KR KR1020157002970A patent/KR101659380B1/ko active IP Right Grant
- 2013-07-24 CN CN201380040947.9A patent/CN104584191B/zh active Active
- 2013-07-31 TW TW102127355A patent/TWI531692B/zh active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002334855A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2007294942A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-11-08 | Sumco Techxiv株式会社 | エピタキシャルウェーハの製造方法及び製造装置 |
WO2010035510A1 (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-01 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハおよびその製造方法 |
JP2011249675A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Showa Denko Kk | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2012142485A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-07-26 | Sumco Corp | エピタキシャルウェーハの製造方法、エピタキシャルウェーハ |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015126010A (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-06 | 信越半導体株式会社 | エピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法 |
KR20160112113A (ko) | 2015-03-18 | 2016-09-28 | 주식회사 엘지실트론 | 웨이퍼 제조 장치 |
JP2017085094A (ja) * | 2015-10-27 | 2017-05-18 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフトSiltronic AG | 配向ノッチを有する半導体ウエハーを保持するためのサセプタ、半導体ウエハー上に層を堆積するための方法、および半導体ウエハー |
JP2019523991A (ja) * | 2016-06-09 | 2019-08-29 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフトSiltronic AG | 半導体ウェハを保持するためのサセプタ、半導体ウェハの表面上にエピタキシャル層を堆積する方法、およびエピタキシャル層を有する半導体ウェハ |
JP6256576B1 (ja) * | 2016-11-17 | 2018-01-10 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハ及びその製造方法 |
JP2018082072A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハ及びその製造方法 |
WO2018117402A1 (ko) * | 2016-12-23 | 2018-06-28 | 에스케이실트론 주식회사 | 에피텍셜 웨이퍼 제조 방법 및 장치 |
JP2019117857A (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-18 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
US11482597B2 (en) | 2018-01-11 | 2022-10-25 | Siltronic Ag | Semiconductor wafer having epitaxial layer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104584191B (zh) | 2017-03-29 |
CN104584191A (zh) | 2015-04-29 |
TW201413074A (zh) | 2014-04-01 |
JP6035982B2 (ja) | 2016-11-30 |
KR101659380B1 (ko) | 2016-09-23 |
US20150184314A1 (en) | 2015-07-02 |
TWI531692B (zh) | 2016-05-01 |
WO2014024404A1 (ja) | 2014-02-13 |
US9631297B2 (en) | 2017-04-25 |
KR20150023940A (ko) | 2015-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6035982B2 (ja) | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ | |
JP2011216780A (ja) | シリコンエピタキシャルウェーハ、シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法、貼り合わせsoiウェーハの製造方法、及び貼り合わせsoiウェーハ | |
JP5834632B2 (ja) | サセプタ、該サセプタを用いた気相成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP6127748B2 (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法 | |
WO2015114974A1 (ja) | シリコンウェーハ | |
JP6150075B2 (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP5359991B2 (ja) | シリコンエピタキシャルウェーハ及びその製造方法 | |
JP7151664B2 (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP6924593B2 (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP6881283B2 (ja) | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ | |
JP2004099415A (ja) | 単結晶、単結晶ウエーハ及びエピタキシャルウエーハ、並びに単結晶育成方法 | |
KR20100121837A (ko) | 가장자리의 평탄도가 제어된 에피택셜 웨이퍼 및 그 제조 방법 | |
JP7457486B2 (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法 | |
US11990336B2 (en) | Silicon epitaxial wafer production method and silicon epitaxial wafer | |
CN113302718B (zh) | 硅外延晶片的制造方法和硅外延晶片 | |
JP4911042B2 (ja) | 単結晶ウエーハ及びエピタキシャルウエーハ | |
JP5453967B2 (ja) | エピタキシャルウェーハおよびその製造方法 | |
JP2023113512A (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150723 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161004 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161017 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6035982 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |