JP2015126010A - エピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法であって、前記エピタキシャル成長を行う前に、前記半導体ウェーハ表面の測定するエッジ部の近傍にマーキングを行う工程と、前記マーキングした半導体ウェーハの前記エッジ部の形状を測定する工程と、前記マーキングした半導体ウェーハに前記エピタキシャル成長を行う工程と、前記エピタキシャル成長後の前記エッジ部の形状を測定する工程と、前記エピタキシャル成長前のエッジ部の形状と前記エピタキシャル成長後のエッジ部の形状の変化を評価する工程とを有するエピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法。
【選択図】図1
Description
前記エピタキシャル成長を行う前に、前記半導体ウェーハ表面の測定するエッジ部の近傍にマーキングを行う工程と、
前記マーキングした半導体ウェーハの前記エッジ部の形状を測定する工程と、
前記マーキングした半導体ウェーハに前記エピタキシャル成長を行う工程と、
前記エピタキシャル成長後の前記エッジ部の形状を測定する工程と、
前記エピタキシャル成長前のエッジ部の形状と前記エピタキシャル成長後のエッジ部の形状の変化を評価する工程と
を有することを特徴とするエピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法を提供する。
上記のように、半導体ウェーハ端部(エッジ部)でのエピタキシャル成長の正確な評価方法が求められている。
前記エピタキシャル成長を行う前に、前記半導体ウェーハ表面の測定するエッジ部の近傍にマーキングを行う工程と、
前記マーキングした半導体ウェーハの前記エッジ部の形状を測定する工程と、
前記マーキングした半導体ウェーハに前記エピタキシャル成長を行う工程と、
前記エピタキシャル成長後の前記エッジ部の形状を測定する工程と、
前記エピタキシャル成長前のエッジ部の形状と前記エピタキシャル成長後のエッジ部の形状の変化を評価する工程と
を有するエピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法である。
まず、エピタキシャル成長を行う前に、半導体ウェーハ表面の測定するエッジ部の近傍にマーキングを行う。本発明の評価方法において、使用できる半導体ウェーハの種類は特に限定されないが、シリコンウェーハを用いることが好ましい。また、ウェーハの裏面側のエピタキシャル成長を防ぐために、裏面側にSiO2膜をつけたウェーハを用いることが好ましい。
次に、エピタキシャル成長前に、マーキングした半導体ウェーハのエッジ部の形状を測定する。本発明において、エピタキシャル成長前後でウェーハ端部の形状を観察する方法について、特に限定しないが、接触式で形状を観察する方法が望ましい。例えば、Panasonic社の三次元形状測定機UA3Pを用いて、エッジ部の形状を測定することができる。このとき、測定する領域については特に限定されないが、マーキングを行った箇所とウェーハ端部を含む領域を測定することが好ましい。
次に、マーキングした半導体ウェーハにエピタキシャル成長を行う。エピタキシャル成長を行う際の条件等については特に限定されないが、例えば、温度1100℃で、SiHCl3ガスを用いてエピ厚さ20μmの成膜を実施する方法を挙げることができる。
次に、エピタキシャル成長後のエッジ部の形状を測定する。即ち、エピタキシャル成長前に測定した領域の形状測定を再度行う。形状測定する際に用いる装置等については、上記と同様のものを挙げることができる。
次に、エピタキシャル成長前のエッジ部の形状とエピタキシャル成長後のエッジ部の形状の変化を評価する。
本発明の効果を示すため、以下の評価を実施した。
まず、直径300mm、導電型P型、抵抗率10Ω・cm、面方位(100)のシリコンウェーハを準備した。
このようにして得られたデータに基づき、ファセット成長の影響の差がなくなるようにエピタキシャル成長時の条件を変更した。具体的にはチャンバー構造の最適化などを行った。例えば、エピタキシャル成長が相対的に速い角度(周方向及び厚さ方向)の位置の成長が抑えられるようにガスの吹き出し位置を変更した。このような条件下で、再度エピタキシャルウェーハを作製した。
実施例1において、マーキング及びエピタキシャル成長前後のエッジ形状の評価を行わずに、それ以外は実施例1の評価用ウェーハの作製方法と同様にして(即ち、上記と同様の条件で、ウェーハ表面及び裏面に成膜を行った。)、エピタキシャルウェーハを作製した。
実施例1において、マーキングを行わずに、ノッチを基準にしてエッジ部評価を行い、それ以外は実施例1と同様にして、エピタキシャルウェーハを作製した。
実施例1、比較例1及び比較例2のウェーハの平坦度をKLA−Tencor社のWaferSightを用いて測定した。サイトサイズは26mm×8mm、外周除外領域2mmとしてSFQRを算出し、ウェーハ面内でSFQR(Site Front least sQuares Range)が最大となる値SFQRmaxにてウェーハの平坦度の評価を行った。
Claims (3)
- エピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法であって、
前記エピタキシャル成長を行う前に、前記半導体ウェーハ表面の測定するエッジ部の近傍にマーキングを行う工程と、
前記マーキングした半導体ウェーハの前記エッジ部の形状を測定する工程と、
前記マーキングした半導体ウェーハに前記エピタキシャル成長を行う工程と、
前記エピタキシャル成長後の前記エッジ部の形状を測定する工程と、
前記エピタキシャル成長前のエッジ部の形状と前記エピタキシャル成長後のエッジ部の形状の変化を評価する工程と
を有することを特徴とするエピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法。 - 前記マーキングを圧痕マーキングとすることを特徴とする請求項1に記載のエピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法。
- 前記半導体ウェーハをシリコンウェーハとすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のエピタキシャル成長前後の半導体ウェーハのエッジ形状の評価方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190005721A (ko) | 2017-07-07 | 2019-01-16 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 웨이퍼 평가 방법 및 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 |
TWI685906B (zh) * | 2014-04-22 | 2020-02-21 | 美商克萊譚克公司 | 用於半導體製程控制之圖案化晶圓幾何量測之方法及系統 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000146569A (ja) * | 1998-09-11 | 2000-05-26 | Showa Denko Kk | 半導体基板の周辺ダレの測定方法 |
JP2006005164A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハの形状評価方法及び管理方法 |
JP2006201027A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 形状特性取得方法、プログラム及び記録媒体 |
JP2009267159A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Sumco Techxiv株式会社 | 半導体ウェーハの製造装置及び方法 |
JP2010228929A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-14 | Sumco Corp | シリコンウェーハおよびその製造方法 |
JP2014036153A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Sumco Corp | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
-
2013
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000146569A (ja) * | 1998-09-11 | 2000-05-26 | Showa Denko Kk | 半導体基板の周辺ダレの測定方法 |
JP2006005164A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハの形状評価方法及び管理方法 |
JP2006201027A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 形状特性取得方法、プログラム及び記録媒体 |
JP2009267159A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Sumco Techxiv株式会社 | 半導体ウェーハの製造装置及び方法 |
JP2010228929A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-14 | Sumco Corp | シリコンウェーハおよびその製造方法 |
JP2014036153A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Sumco Corp | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI685906B (zh) * | 2014-04-22 | 2020-02-21 | 美商克萊譚克公司 | 用於半導體製程控制之圖案化晶圓幾何量測之方法及系統 |
KR20190005721A (ko) | 2017-07-07 | 2019-01-16 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 웨이퍼 평가 방법 및 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 |
JP2019016713A (ja) * | 2017-07-07 | 2019-01-31 | 信越半導体株式会社 | ウェーハ評価方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
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