JP2014035799A - 発光装置、発光装置の製造方法、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本適用例に係る発光装置としての有機EL装置100は、基板としての基材11と、基材11上に形成された、陽極としての画素電極31と陰極としての対向電極33との間に有機発光層が含まれる機能層としての発光機能層32を有する複数の発光素子としての有機EL素子30と、複数の有機EL素子30を封止する封止層34と、を備え、対向電極33は複数の有機EL素子30に亘る共通陰極として形成され、封止層34は、共通陰極の形成領域と同じもしくは当該形成領域より内側において共通陰極を覆うように形成されている。
【選択図】図5
Description
このような機能層は、外部から水や酸素などが浸入すると、発光機能が低下あるいは失われてしまう。したがって、有機EL素子の発光寿命を確保するために水や酸素などの浸入を防ぐ手段を設ける必要がある。
しかしながら、発光装置自体の小型化を達成しようとして、周辺領域の面積を小さくする(幅を狭くする)と、上記特許文献1の封止構造を取り入れるのが困難になるという課題があった。
この構成によれば、例えば、封止層により覆われていない共通陰極の部分に水や酸素などが接したとしても、当該部分が不動態化しているため、水や酸素などが当該部分よりも内側に浸入し難くなる。つまりは、発光寿命において信頼性が確保された小型な発光装置を提供できる。
この構成によれば、複数の発光素子が設けられた領域と配線層との間に、共通陰極のコンタクト部が形成されているので、水や酸素などの浸入がコンタクト部によっても阻まれる。したがって、発光寿命において高い信頼性を有する小型な発光装置を提供できる。
この構成によれば、封止層は、緩衝層を挟んで水や酸素などを通し難い第1および第2無機封止層が積層された構造となっているので、発光寿命において高い信頼性を有する小型な発光装置を提供できる。
この構成によれば、有機材料を用いて緩衝層を構成することで、例えば、塗布法で緩衝層を形成することが可能となり、緩衝層に平坦化機能を与えることができる。
この構成によれば、フルカラー表示が可能であると共に、発光寿命において高い信頼性を有する小型な発光装置を提供できる。
この構成によれば、発光寿命においてより高い信頼性を有する小型な発光装置を提供できる。
この構成によれば、透明樹脂層が対向基板からはみ出すことなく、発光寿命において高い信頼性を有する小型な発光装置を提供できる。
この方法によれば、封止層をマスクとして用いるので、封止層から外側に共通陰極がはみ出ることが抑制される。したがって、封止層の周端部と共通陰極の周端部とを揃えることが可能となる。すなわち、より小型な発光装置を製造することができる。
この方法によれば、共通陰極のドライエッチング時に、封止層で覆われていない共通陰極の部分を不動態化することができる。これにより、不動態化された共通陰極の部分が水や酸素などの浸入を阻むように機能するので、発光寿命において高い信頼性を有する小型な発光装置を製造することができる。
この方法によれば、緩衝層を挟んで形成された水や酸素などを通し難い第1および第2無機封止層により封止層が形成されているので、発光寿命において高い信頼性を有する小型な発光装置を製造することができる。
この方法によれば、プラズマ処理によって第1無機封止層の表面に付着した汚染物などを取り除くことができ、第1無機封止層と緩衝層との密着性を向上させることができる。加えて、第1無機封止層で覆われていない共通陰極の部分を不動態化することができる。不動態化された共通陰極の部分によって水や酸素などの浸入が阻まれる。
すなわち、発光寿命においてより高い信頼性を有する小型な発光装置を製造することができる。
この方法によれば、ダイシング時に封止層が損傷することを避けることができ、発光寿命における信頼性に影響を与えずに小型な発光装置を製造することができる。
本適用例によれば、発光寿命において高い信頼性を有すると共に、小型な電子機器を提供することができる。
<発光装置>
まず、本実施形態の発光装置としての有機エレクトロルミネッセンス(EL)装置について、図1〜図3を参照して説明する。図1は第1実施形態の有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図、図2は第1実施形態の有機EL装置の構成を示す概略平面図、図3は第1実施形態における発光画素の配置を示す概略平面図である。
駆動用トランジスター23のソースまたはドレインのうち一方が有機EL素子30の画素電極31に接続され、ソースまたはドレインのうち他方が電源線14に接続されている。
駆動用トランジスター23のゲートと電源線14との間に蓄積容量22が接続されている。
サブ画素18における画素電極31は略矩形状であって、長手方向がY方向に沿って配置されている。画素電極31を発光色に対応させて画素電極31B,31G,31Rと呼ぶこともある。各画素電極31B,31G,31Rの外縁を覆って絶縁層27が形成されている。これによって、各画素電極31B,31G,31R上に開口部27aが形成され、開口部27a内において画素電極31B,31G,31Rのそれぞれが露出している。開口部27aの平面形状もまた略矩形状となっている。
対向基板41は、例えばガラスなどの透明基板からなり、素子基板10のサブ画素18B,18G,18Rに対応して設けられた着色層36B,36G,36Rと、各着色層36B,36G,36Rを光学的に区分する遮光膜36Mとを有するカラーフィルター36を備えている。
サブ画素18B,18G,18Rの発光機能層32B,32G,32Rからの発光は、カラーフィルター36を透過して対向基板41側から取り出される。すなわち、有機EL装置100はトップエミッション型の発光装置である。
基材11の表面を覆って第1層間絶縁膜11aが形成される。画素回路20における例えば駆動用トランジスター23の半導体層23aが第1層間絶縁膜11a上に形成される。半導体層23aを覆ってゲート絶縁膜として機能する第2層間絶縁膜11bが形成される。第2層間絶縁膜11bを介して半導体層23aのチャネル領域と対向する位置にゲート電極23gが形成される。ゲート電極23gを覆って第3層間絶縁膜11cが形成される。半導体層23aのソース領域23sとドレイン領域23dとにそれぞれ対応して、第2層間絶縁膜11bと第3層間絶縁膜11cとを貫通するコンタクトホールが形成される。これらのコンタクトホールを埋めるようにして導電膜が形成され、パターニングされて駆動用トランジスター23に接続される配線が形成される。図4では図示を省略したが、画素回路20におけるスイッチング用トランジスター21や蓄積容量22も同様に形成される。
第3層間絶縁膜11cを覆って第4層間絶縁膜11dが形成される。第4層間絶縁膜11dは、画素回路20の駆動用トランジスター23などを覆うことによって生じた表面の凹凸を無くすように平坦化処理が施される。また、後に画素電極31と駆動用トランジスター23とを電気的に接続させるためのコンタクトホールが第4層間絶縁膜11dを貫通して形成される。第1層間絶縁膜11a〜第4層間絶縁膜11dを構成する材料としては、例えばシリコンの酸化物や窒化物、あるいはシリコンの酸窒化物を用いることができる。
絶縁層27上に隔壁28が形成される。隔壁28は例えばアクリル系の感光性樹脂を用いて、1μm〜2μm程度の高さで各画素電極31B,31G,31Rをそれぞれ区画するように形成される。
なお、発光機能層32Bから青(B)の発光が得られ、発光機能層32Gから緑(G)の発光が得られ、発光機能層32Rから赤(R)の発光が得られる。また、発光機能層32の層構成は、これに限定されず、キャリアである正孔や電子の移動を制御する中間層を含んでいてもよい。また、発光色に対応して有機発光層の層構成材料を変えるだけでなく、発光色に対応して正孔注入層や正孔輸送層などの構成を異ならせてもよい。
第1無機封止層34a及び第2無機封止層34cとしては、光透過性を有すると共に優れたガスバリア性を有する無機材料である例えば酸窒化シリコン(SiON)などを用いることが好ましい。
共通陰極としての対向電極33は表示領域E0と非表示領域E3とに亘って形成されている。非表示領域E3では、対向電極33はコンタクト部29と第4層間絶縁膜11dとに接するように形成されている。
封止層34のうち、第1無機封止層34aと第2無機封止層34cは、非表示領域E3において互いに接すると共に、対向電極33と重なるように形成されている。緩衝層34bは、少なくとも表示領域E0と重なるように第1無機封止層34aに積層形成されている。
次に、本実施形態の発光装置の製造方法としての有機EL装置100の製造方法について、図6及び図7を参照して説明する。図6は第1実施形態の有機EL装置の製造方法を示すフローチャート、図7(a)〜(e)は第1実施形態の有機EL装置の製造方法を示す概略断面図である。なお、図7は図2のC−C’線に沿った素子基板10の断面図に相当するものである。
なお、素子基板10において、画素回路20を形成する工程や、有機EL素子30のうち画素電極31、発光機能層32を形成する工程は、前述したように公知の方法を用いることができる。したがって、本実施形態では、本願の特徴部分である共通陰極形成工程以降について説明する。
(1)有機EL装置100及びその製造方法によれば、非表示領域E3において封止層34は対向電極33の端部33eを覆って形成されず、結果的に対向電極33の形成領域と同じ領域またはそれよりも内側(表示領域E0側)に形成される。したがって、対向電極33の端部33eを覆うように封止層34を形成する場合に比べて、非表示領域E3のX方向及びY方向の幅を狭く(小さく)することができる。つまり、発光寿命における信頼性を確保しつつ、小型な発光装置としての有機EL装置100を提供できる。
(2)対向電極33は封止層34をマスクとしてドライエッチングすることによりパターニングされる。これにより、封止層34で覆われていない対向電極33の端部33eが処理ガスに含まれた酸素により不動態化される。この後、対向電極33の端部33eが水や酸素に触れたとしても不動態化されているので、水や酸素が表示領域E0に浸入することを抑制できる。また、対向電極33の不動態化された端部33eよりも内側(表示領域E0側)にコンタクト部29が配置されているので、水や酸素の表示領域E0への浸入をより確実に抑制することができる。
(3)複数の有機EL素子30を覆って封止する封止層34は、対向電極33側から第1無機封止層34a、緩衝層34b、第2無機封止層34cの積層構造となっている。したがって、封止層34を単純に無機材料からなる厚膜とする場合に比べて、熱膨張・収縮によるクラックや剥がれなどの不具合を低減し、確実に水や酸素などの浸入を抑制できる。また、緩衝層34bは塗布法により有機材料を用いて形成されている。したがって、複数の有機EL素子30の影響で第1無機封止層34aの表面に凹凸が生じたとしても、これを緩和する平坦化層として緩衝層34bを機能させることができる。
(4)素子基板10と対向基板41とは透明樹脂層35を介してダム材42により貼り合わせられる。したがって、透明樹脂が両基板から外側にはみ出ることを防止することができる。また、素子基板10と対向基板41とを強力に接着できることから、複数の有機EL素子30を確実に封止することができる。
(5)素子基板10に対向配置される対向基板41には、サブ画素18B,18G,18Rにそれぞれ対応した着色層36B,36G,36Rを有するカラーフィルター36が設けられている。発光機能層32B,32G,32Rから発した光は着色層36B,36G,36Rを透過する。したがって、高い色純度でフルカラー表示が可能な有機EL装置100を提供できる。
<発光装置>
次に、第2実施形態の発光装置としての有機EL装置について、図8及び図9を参照して説明する。図8は第2実施形態の有機EL装置の構造を示す概略断面図、図9(a)及び(b)は第2実施形態の有機EL装置の非表示領域の構造を示す概略断面図である。なお、第2実施形態の発光装置としての有機EL装置は、第1実施形態の有機EL装置100に対して素子基板10の構成を異ならせたものであり、図8は図3のA−A’線に沿った断面図に相当し、図9(a)及び(b)は図2のC−C’線に沿った断面図に相当するものである。したがって、第1実施形態と同じ構成には同じ符号を付して詳細の説明は省略する。また、図8及び図9では、基材11上に形成されている画素回路20の駆動用トランジスター23などの表示を省略した。
発光機能層32はサブ画素18B,18G,18Rに跨って共通に形成されており、白色発光が得られる構成となっている。
発光機能層32を覆う対向電極33は、例えばMgAg合金からなり、光透過性と光反射性とを兼ね備えるように膜厚が制御されている。
本実施形態の有機EL装置200は、反射層25と対向電極33との間で光共振器が構成されている。サブ画素18B,18G,18Rごとの画素電極31B,31G,31Rの膜厚が異なることにより、それぞれの光共振器における光学的な距離が異なっている。これにより、サブ画素18B,18G,18Rのそれぞれにおいて各色に対応した共振波長の光が得られる構成となっている。
カラーフィルター36の各着色層36B,36G,36Rは封止層34上に直接形成されている。
各サブ画素18B,18G,18Rの光共振器から発せられた共振光は、各着色層36B,36G,36Rを透過して透明な対向基板41側から射出される。カラーフィルター36が封止層34上に形成されているため、サブ画素18B,18G,18R間での光漏れによる混色が低減される。このようなサブ画素18B,18G,18Rの構造は、サブ画素18B,18G,18Rの平面的な大きさが小さくなればなるほど混色を効果的に低減できる。
素子基板10と対向基板41とは、非表示領域E3に配置されたダム材42によって貼り合わされている。
また、素子基板10と対向基板41とを接着するダム材42は、対向電極33の端部33eに対してダム材42の端を揃えて配置する必要はなく、対向電極33の端部33eよりも表示領域E0側にダム材42を配置してもよい。
本実施形態においても、第1実施形態と同様に封止層34で覆われていない対向電極33の部分(端部33eを含む)は、不動態化されている。詳しくは、以降の有機EL装置200の製造方法において説明する。
第2実施形態の発光装置の製造方法としての有機EL装置200の製造方法について、図10〜図12を参照して説明する。図10は第2実施形態の有機EL装置の製造方法を示すフローチャート、図11はマザー基板の構成を示す概略平面図、図12(a)〜(e)は第2実施形態の有機EL装置の製造方法を示す概略断面図である。
(6)有機EL装置200は、素子基板10側においてサブ画素18B,18G,18Rごとに光共振器と着色層36B,36G,36Rとを備えている。したがって、着色層36B,36G,36Rを対向基板41側に設けた場合に比べて、有機EL素子30に対してカラーフィルター36が近づいて配置され、サブ画素18B,18G,18R間の光漏れによる混色が低減され優れた表示品質を有する小型な有機EL装置200を提供できる。
(7)ダイシング工程(ステップS16)では、マザー基板10Wに面付けされた基材11の周囲に設けられた間隔を切りしろとしてダイシングが行われる。したがって、対向電極33や封止層34が切断されて損傷したり、基材11から剥がれたりすることがないので、高い信頼性を実現できる。
(8)共通陰極パターニング工程(ステップS13)において、封止層34で覆われていない対向電極33の部分(端部33eを含む)は不動態化されており、ダイシング工程(ステップS16)において水と接触しても、対向電極33が水の影響を受け難い。
<電子機器>
次に、本実施形態の電子機器について図13、図14を参照して説明する。図13は電子機器としてのテレビを示す概略図、図14は電子機器としてのヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。
図13に示すように、本実施形態の電子機器としてのテレビ(TV)500は、表示部501に上記実施形態の有機EL装置100が用いられている。したがって、発光寿命において高い信頼性を有すると共に、非表示領域E3の幅が小さいので、同じ画面サイズなら従来に比べてより小型なTV500を提供できる。また、液晶表示装置を表示部501に採用する場合に比べて、照明装置が不要になることからより薄型のTV500を実現できる。
表示部1001には、上述した有機EL装置200が搭載されている。したがって、発光寿命において高い信頼性を有すると共に、従来に比べてより小型で軽量なヘッドマウントディスプレイ1000を提供することができる。
ヘッドマウントディスプレイ1000は、2つの表示部1001を有することに限定されず、左右のいずれかに対応させた1つの表示部1001を備える構成としてもよい。
Claims (15)
- 基板と、
前記基板上に形成された、陽極と陰極との間に有機発光層が含まれる機能層を有する複数の発光素子と、
前記複数の発光素子を封止する封止層と、を備え、
前記陰極は前記複数の発光素子に亘る共通陰極として形成され、
前記封止層は、前記共通陰極の形成領域と同じもしくは前記形成領域より内側において前記共通陰極を覆うように形成されていることを特徴とする発光装置。 - 前記封止層により覆われていない前記共通陰極の部分が不動態化していることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記基板と前記共通陰極との間に形成された配線層と、
前記配線層と前記共通陰極との間に形成され、前記封止層で覆われた部分の前記共通陰極に接し、前記共通陰極と前記配線層とを電気的に接続させるコンタクト部と、を有することを特徴とする請求項1または2に記載の発光装置。 - 前記封止層は、前記共通陰極に接して形成された第1無機封止層と、前記第1無機封止層に順に積層された緩衝層と、第2無機封止層とを含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の発光装置。
- 前記緩衝層が有機材料で構成されていることを特徴とする請求項4に記載の発光装置。
- 前記封止層上に前記複数の発光素子ごとに対応して形成されたカラーフィルターを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の発光装置。
- 前記基板の前記封止層に対して透明樹脂層を介して対向配置された対向基板を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の発光装置。
- 前記透明樹脂層が前記対向基板から外側にはみ出すことを防止するダム材を有し、
前記ダム材は前記封止層の外縁と重なる位置に設けられていることを特徴とする請求項7に記載の発光装置。 - 基板上に、陽極と陰極との間に有機発光層が含まれる機能層を有する複数の発光素子を備えた発光装置の製造方法であって、
前記複数の発光素子に亘る共通陰極として前記陰極を形成する工程と、
前記共通陰極の形成領域と同じもしくは前記形成領域よりも内側において前記共通陰極を覆って前記複数の発光素子を封止する封止層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする発光装置の製造方法。 - 前記封止層をマスクとして前記共通陰極をパターニングする工程を含むことを特徴とする請求項9に記載の発光装置の製造方法。
- 前記共通陰極をパターニングする工程は、酸素を含む処理ガスを用いて前記共通陰極をドライエッチングすることを特徴とする請求項10に記載の発光装置の製造方法。
- 前記封止層を形成する工程は、前記共通陰極に接して第1無機封止層を形成する工程と、前記第1無機封止層に接して緩衝層を形成する工程と、前記緩衝層を覆う第2無機封止層を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項9乃至11のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記緩衝層を形成する前に、前記第1無機封止層が形成された前記基板に酸素を含む処理ガスを用いてプラズマ処理を施す工程を含むことを特徴とする請求項12に記載の発光装置の製造方法。
- 前記基板が複数面付されたマザー基板を用い、
前記封止層を形成する工程は、前記マザー基板から前記基板を取り出すためのスクライブラインに対して間隔を置いて前記封止層を形成し、
前記間隔を切りしろとして前記マザー基板を切断するダイシング工程を有することを特徴とする請求項9乃至13のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の発光装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150107646A (ko) * | 2014-03-14 | 2015-09-23 | 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 | 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법 |
JP2015170502A (ja) * | 2014-03-07 | 2015-09-28 | 新日鉄住金化学株式会社 | 表示装置の製造方法 |
JP2015173003A (ja) * | 2014-03-11 | 2015-10-01 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 |
JP2015201326A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | セイコーエプソン株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス装置、及び電子機器 |
WO2016060053A1 (ja) * | 2014-10-15 | 2016-04-21 | シャープ株式会社 | エレクトロルミネッセンス装置、及び製造方法 |
JP2016143606A (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置、及び電子機器 |
JP2018004816A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-11 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
US10276812B2 (en) | 2016-02-10 | 2019-04-30 | Japan Display Inc. | Display device and manufacturing method thereof |
KR20190083945A (ko) * | 2018-01-04 | 2019-07-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
US11665922B2 (en) | 2018-01-04 | 2023-05-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
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Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6092714B2 (ja) * | 2013-05-29 | 2017-03-08 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置及びその製造方法 |
KR102158771B1 (ko) * | 2013-08-08 | 2020-09-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
JP6169439B2 (ja) * | 2013-08-21 | 2017-07-26 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法 |
KR102139577B1 (ko) * | 2013-10-24 | 2020-07-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
KR20150098258A (ko) * | 2014-02-19 | 2015-08-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
KR102491876B1 (ko) * | 2015-11-16 | 2023-01-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
JP6686497B2 (ja) * | 2016-02-12 | 2020-04-22 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2017157290A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
JP6586385B2 (ja) * | 2016-03-25 | 2019-10-02 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機el表示装置の製造方法 |
JP2017182892A (ja) | 2016-03-28 | 2017-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 発光素子、発光装置、及び電子機器 |
KR102516055B1 (ko) * | 2016-07-05 | 2023-03-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 디스플레이 장치 |
KR101998831B1 (ko) * | 2016-07-29 | 2019-07-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
JP6861495B2 (ja) * | 2016-10-05 | 2021-04-21 | 株式会社Joled | 有機el素子及びその製造方法 |
JP2019174609A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置および表示装置の製造方法 |
KR20200055846A (ko) * | 2018-11-13 | 2020-05-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
KR20200062863A (ko) * | 2018-11-27 | 2020-06-04 | 삼성전자주식회사 | 디스플레이 장치 및 제조 방법 |
CN111384084B (zh) * | 2018-12-27 | 2022-11-08 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板和智能终端 |
KR20200082018A (ko) * | 2018-12-28 | 2020-07-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법 |
JP2020136145A (ja) * | 2019-02-22 | 2020-08-31 | キヤノン株式会社 | 有機el素子及び発光装置 |
CN113474687A (zh) * | 2019-02-28 | 2021-10-01 | 索尼半导体解决方案公司 | 显示装置和电子设备 |
EP4024490A4 (en) * | 2019-08-27 | 2022-08-24 | BOE Technology Group Co., Ltd. | DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURE AND ELECTRONIC EQUIPMENT |
CN110808274B (zh) * | 2019-11-14 | 2022-05-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置 |
KR20210090337A (ko) * | 2020-01-09 | 2021-07-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006004907A (ja) * | 2004-05-18 | 2006-01-05 | Seiko Epson Corp | エレクトロルミネッセンス装置及び電子機器 |
JP2007157606A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Seiko Epson Corp | 発光装置、発光装置の製造方法、及び電子機器 |
JP2010135163A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Hitachi Displays Ltd | 表示装置の製造方法、製造装置及び表示装置 |
JP2010244694A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Seiko Epson Corp | 有機el装置、電子機器 |
JP2011083990A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Ulvac Japan Ltd | ガスバリア層構造体 |
JP2011123150A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法 |
JP2011150999A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-08-04 | Canon Inc | 発光装置 |
JP2013206613A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Toppan Printing Co Ltd | 有機el装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4924329B1 (ja) | 1969-01-17 | 1974-06-21 | ||
JP2008071671A (ja) | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Canon Inc | 有機el素子アレイ及びその作製方法 |
JP5024220B2 (ja) * | 2008-07-24 | 2012-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、電子機器 |
JP5326098B2 (ja) | 2009-02-05 | 2013-10-30 | シャープ株式会社 | 基板表面の封止装置と有機elパネルの製造方法 |
-
2012
- 2012-08-07 JP JP2012174686A patent/JP6135062B2/ja active Active
-
2013
- 2013-08-05 US US13/958,892 patent/US9166193B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006004907A (ja) * | 2004-05-18 | 2006-01-05 | Seiko Epson Corp | エレクトロルミネッセンス装置及び電子機器 |
JP2007157606A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Seiko Epson Corp | 発光装置、発光装置の製造方法、及び電子機器 |
JP2010135163A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Hitachi Displays Ltd | 表示装置の製造方法、製造装置及び表示装置 |
JP2010244694A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Seiko Epson Corp | 有機el装置、電子機器 |
JP2011083990A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Ulvac Japan Ltd | ガスバリア層構造体 |
JP2011123150A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法 |
JP2011150999A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-08-04 | Canon Inc | 発光装置 |
JP2013206613A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Toppan Printing Co Ltd | 有機el装置およびその製造方法 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015170502A (ja) * | 2014-03-07 | 2015-09-28 | 新日鉄住金化学株式会社 | 表示装置の製造方法 |
JP2015173003A (ja) * | 2014-03-11 | 2015-10-01 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 |
KR101688311B1 (ko) | 2014-03-14 | 2016-12-20 | 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 | 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법 |
KR20150107646A (ko) * | 2014-03-14 | 2015-09-23 | 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 | 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법 |
JP2015201326A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | セイコーエプソン株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス装置、及び電子機器 |
WO2016060053A1 (ja) * | 2014-10-15 | 2016-04-21 | シャープ株式会社 | エレクトロルミネッセンス装置、及び製造方法 |
CN107079544A (zh) * | 2014-10-15 | 2017-08-18 | 夏普株式会社 | 电致发光装置及制造方法 |
US10014489B2 (en) | 2014-10-15 | 2018-07-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electroluminescent device and manufacturing method |
CN107079544B (zh) * | 2014-10-15 | 2018-10-09 | 夏普株式会社 | 电致发光装置及制造方法 |
JP2016143606A (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置、及び電子機器 |
US10276812B2 (en) | 2016-02-10 | 2019-04-30 | Japan Display Inc. | Display device and manufacturing method thereof |
JP2018004816A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-11 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
KR20190083945A (ko) * | 2018-01-04 | 2019-07-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
US11665922B2 (en) | 2018-01-04 | 2023-05-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
KR102560948B1 (ko) * | 2018-01-04 | 2023-08-01 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
JP7468579B2 (ja) | 2020-07-06 | 2024-04-16 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置及び電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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JP6135062B2 (ja) | 2017-05-31 |
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