JP2014024319A - ポリエステルフィルムとその製造方法、太陽電池用バックシートおよび太陽電池モジュール - Google Patents

Abstract

【課題】耐電圧向上率が高いポリエステルフィルムの提供。
【解決手段】末端カルボン酸値（ＡＶ）が３〜２０ｅｑ／ｔｏｎでかつ、ＩＶが０．６５〜０．９ｄｌ／ｇのポリエステル支持体と、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に設けられた導電層を有し、前記導電層の表面比抵抗Ｒ０が１０⁶〜１０¹⁴Ω／□であり、前記導電層の表面比抵抗Ｒ０の面内分布が０．１〜２０％であるポリエステルフィルム。
【選択図】図１

Description

本発明は、ポリエステルフィルムとその製造方法、太陽電池用バックシートおよび太陽電池モジュールに関する。

太陽電池モジュールは、一般に、太陽光が入射する受光面側にガラス又はフロントシートの上に／透明な充填材料（以下、封止材ともいう。）／太陽電池素子／封止材／バックシートがこの順に積層された構造を有している。具体的には、太陽電池素子は一般にＥＶＡ（エチレン−酢酸ビニル共重合体）等の樹脂（封止材）で包埋し、更にこの上に太陽電池用保護シートを貼り付けた構造に構成される。また、この太陽電池用バックシートに、従来ポリエステルフィルム、特にポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴ）フィルムを用いることが知られている。

しかし、太陽電池用保護シート、その中でも特に最外層となる太陽電池用のバックシートは、屋外の風雨などに曝されるような環境下に長期間置かれる状況が想定されるものであるため、優れた耐候性が求められる。

ここで、太陽電池用のバックシートとしても用いられるＰＥＴ等のポリエステルフィルムは、優れた耐熱性、機械特性及び耐薬品性などを有しているため、工業的に多く用いられているが、耐加水分解性の観点からは未だ改善の余地がある。ポリエステルフィルムは長期経時で加水分解により劣化することが知られている。
加水分解はポリエステル中の末端カルボン酸の触媒作用により加速されることが知られており、この対策としてポリエステルフィルムの耐加水分解性を改善する技術としては、末端カルボン酸と反応するポリカルボジイミド等の末端封止剤を用いることが知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１では、ポリカルボジイミドなどの末端封止剤を用いたポリエステルフィルムを特定の特性に制御することで、耐加水分解性に優れ、耐久性に優れた電気絶縁用フィルムとすることができると記載されている。

一方、太陽電池用のバックシートとしても用いられるＰＥＴ等のポリエステルフィルムに、導電層と易接着層を設けることで、高い部分放電電圧を付与することが特許文献２に記載されている。

特開２０１０−２３５８２４号公報 特開２００９−１５８９５２号公報

しかしながら、特許文献１に記載の太陽電池バックシートは、部分放電電圧の観点から改善が求められるものであることがわかった。また、特許文献２に記載の太陽電池バックシートを本発明者が追試したところ、導電層を有するものの耐電圧の向上の観点から改善が求められるものであることがわかった。

本発明は上記問題を解決することを目的とするものである。本発明が解決しようとする課題は、耐電圧向上率が高いポリエステルフィルムを提供することである。

上記課題を解決するため、本発明者が鋭意検討をしたところ、特定の特性を有するポリエステル支持体上に、表面比抵抗に面内分布を設けた導電層を設けることで、耐電圧向上率が高いポリエステルフィルムを得られることを見出すに至った。

前記課題を解決するための具体的手段である本発明は以下のとおりである。
［１］ 末端カルボン酸値（ＡＶ）が３〜２０ｅｑ／ｔｏｎでかつ、ＩＶが０．６５〜０．９ｄｌ／ｇのポリエステル支持体と、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に設けられた導電層を有し、前記導電層の表面比抵抗Ｒ０が１０⁶〜１０¹⁴Ω／□であり、前記導電層の表面比抵抗Ｒ０の面内分布が０．１〜２０％であることを特徴とするポリエステルフィルム。
［２］ ［１］に記載のポリエステルフィルムは、前記ポリエステル支持体が、下記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含むポリエステル層を少なくとも１層含むことが好ましい。
条件（Ａ）：ポリエステルと、該ポリエステルに対して０．１〜１０質量％の末端封止剤とを含むポリエステル組成物である。
条件（Ｂ）：１，４−シクロヘキサンジメタノール（ＣＨＤＭ）由来の構造をジオール成分の０．１〜２０モル％または８０〜１００モル％含むＣＨＤＭ系ポリエステルである。
［３］ ［２］に記載のポリエステルフィルムは、前記ポリエステル支持体の前記導電層が設けられた側の最外層が、前記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含むポリエステル層であることが好ましい。
［４］ ［２］または［３］に記載のポリエステルフィルムは、前記ポリエステル成分が前記条件（Ａ）を満たすことが好ましい。
［５］ ［４］に記載のポリエステルフィルムは、前記末端封止剤の分子量が２００〜１０万であることが好ましい。
［６］ ［４］または［５］に記載のポリエステルフィルムは、前記末端封止剤がカルボジイミド化合物であることが好ましい。
［７］ ［４］〜［６］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムは、前記末端封止剤が、カルボジイミド基を有し、その第一窒素と第二窒素とが結合基により結合されている環状構造を含むカルボジイミド化合物であることが好ましい。
［８］ ［１］〜［７］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムは、前記導電層の厚み分布が０．１〜１０％であることが好ましい。
［９］ ［１］〜［８］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムは、前記該導電層が有機系の導電剤を含むことが好ましい。
［１０］ ［１］〜［９］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムは、前記導電層の厚みが０．０１〜５０μｍであることが好ましい。
［１１］ ［１］〜［１０］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムは、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に、０．１〜１０％の厚みむらを有する易接着層を有することが好ましい。
［１２］ ［１］〜［１１］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムは、前記ポリエステル支持体が、ダイからポリエステルおよび末端封止剤を含む組成物の溶融体を押出された後、風量を０．１〜１０％変調させた送風により冷却固化されてなることが好ましい。
［１３］ ［１］〜［１２］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムは、前記導電層が、導電層用塗布液を塗布された後、乾燥ゾーンの出口で温度分布を０．１〜１０℃付与して乾燥されてなることが好ましい。
［１４］ ［１］〜［１３］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムは、前記末端封止剤が環状カルボジイミド化合物であることが好ましい。
［１５］ ［１］〜［１４］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムは、ロール状に巻き取られたことが好ましい。
［１６］ ポリエステル組成物の溶融体をダイから押出し、冷却および固化させて末端カルボン酸値（ＡＶ）が３〜２０ｅｑ／ｔｏｎでかつ、ＩＶが０．６５〜０．９ｄｌ／ｇのポリエステル支持体を製造する工程と、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に導電層を形成する工程を含み、前記ポリエステル支持体の冷却時に、風量を０．１〜１０％変調させながら送風を行うことを特徴とするポリエステルフィルムの製造方法。
［１７］ ［１６］に記載のポリエステルフィルムの製造方法は、前記ポリエステル組成物が、下記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含む組成物であることが好ましい。
条件（Ａ）：ポリエステルと、該ポリエステルに対して０．１〜１０質量％の末端封止剤とを含むポリエステル組成物である。
条件（Ｂ）：１，４−シクロヘキサンジメタノール（ＣＨＤＭ）由来の構造をジオール成分の０．１〜２０モル％または８０〜１００モル％含むＣＨＤＭ系ポリエステルである。
［１８］ 前記ポリエステル成分が前記条件（Ａ）を満たすことを特徴とする［１６］または［１７］に記載のポリエステルフィルムの製造方法。
［１９］ ［１６］〜［１８］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムの製造方法は、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に導電層用塗布液を塗布する工程と、乾燥ゾーン内を前記導電層用塗布液が塗布されたポリエステル支持体を搬送して前記導電層を形成する工程を含み、前記乾燥ゾーンの出口において温度分布を０．１〜１０℃付与することが好ましい。
［２０］ ［１］〜［１５］のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムを含むことを特徴とする太陽電池モジュール用バックシート。
［２１］ ［２０］に記載の太陽電池モジュール用バックシートを含むことを特徴とする太陽電池モジュール。

本発明のポリエステルフィルムは、耐電圧向上率が高い。また、本発明のポリエステルフィルムの製造方法によれば、上記の本発明のポリエステルフィルムを製造することができる。

本発明のポリエステルフィルムの断面の一例を示す概略図である。 本発明のポリエステルフィルムを太陽電池モジュール用バックシートとして用いた太陽電池モジュールの断面の一例を示す概略図である。

以下、本発明のポリエステルフィルム及びその製造方法、並びにこれを用いた太陽電池モジュール用バックシート及び太陽電池モジュールについて詳細に説明する。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。なお、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。

［ポリエステルフィルム］
本発明のポリエステルフィルムは、末端カルボン酸値（ＡＶ）が３〜２０ｅｑ／ｔｏｎでかつ、ＩＶが０．６５〜０．９ｄｌ／ｇのポリエステル支持体と、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に設けられた導電層を有し、前記導電層の表面比抵抗Ｒ０が１０⁶〜１０¹⁴Ω／□であり、前記導電層の表面比抵抗Ｒ０の面内分布が０．１％以上２０％以下であることを特徴とする。
このような構成により、本発明のポリエステルフィルムは、耐電圧向上率が高く、易接着層の太陽電池モジュールの封止材への密着性が良好である。いかなる理論に拘泥するものでもないが、導電層（帯電防止層と呼ばれることもある）の表面に導電剤（帯電防止剤と呼ばれることもある）を不均一に形成することで、導電層の表面比抵抗を低減できる。一般に、導電剤が低濃度である導電層の表面の箇所は導電剤が導電層の外部の任意の物質と接触できない箇所が発生しやすくなり、抵抗の上昇をもたらすため、均一に低濃度だと表面比抵抗を下げ難い。一方、導電層の表面に導電剤の濃度むらがあり、即ち導電層の表面に導電剤が高濃度の箇所があると、そこは導電剤が密集しており、導電作用を促す。したがって、局所的に表面比抵抗の大きなところと小さなところを形成することで、導電剤が同じ量である均一な導電層を設けた場合より、フィルム面全体の抵抗値を下げることができることとなる。本発明のポリエステルフィルムは、導電剤を同じ量塗布量する場合に不均一に塗設するほうが有利となることを見出して完成されたものであり、導電層の表面に導電剤が不均一に分布していることで導電剤の濃度が高い所ができ、そこを電気が伝導しやすいため、導電層の表面比抵抗を効率的に低下できる。
本発明のポリエステルフィルムは、前記ポリエステル支持体が、下記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含むポリエステル層を少なくとも１層含むことが好ましい。
条件（Ａ）：ポリエステルと、該ポリエステルに対して０．１〜１０質量％の末端封止剤とを含むポリエステル組成物である。
条件（Ｂ）：１，４−シクロヘキサンジメタノール（ＣＨＤＭ）由来の構造をジオール成分の０．１〜２０モル％または８０〜１００モル％含むＣＨＤＭ系ポリエステルである。
条件（Ａ）を満たすように末端封止剤をポリエステル支持体に添加することで、導電層（帯電防止層と呼ばれることもある）の表面に導電剤（帯電防止剤と呼ばれることもある）を不均一に形成することでき、導電層の表面比抵抗を低減しやすい。
一方、条件（Ｂ）を満たすポリエステル成分を用いる場合に本発明の効果が得られる理由については後述する。

まず、本発明のポリエステルフィルムの好ましい構成を図１に記載する。図１に記載のポリエステルフィルム１２は、ポリエステル支持体１６の片方の面側に導電層３が設けられる。ポリエステル支持体１６の導電層３が設けられた面の反対面に易接着層２が設けられていることが好ましく、その場合は図１のように導電層３と易接着層２は互いにポリエステル支持体１６の反対側に設けられていることが好ましい。また、導電層３はポリエステル支持体１６の片方の面側に隣接していることが好ましい。
以下、本発明のポリエステルフィルムについて、各層の好ましい態様の詳細を説明する。

＜ポリエステル支持体＞
本発明のポリエステルフィルムは、末端カルボン酸値（ＡＶ）が３〜２０ｅｑ／ｔｏｎでかつ、ＩＶが０．６５〜０．９ｄｌ／ｇのポリエステル支持体を有す。

（ポリエステル支持体の厚み）
本発明のポリエステルフィルムは、前記ポリエステル支持体の厚みは、３０μｍ〜３５０μｍであることが好ましい。
本発明においては、前記ポリエステル支持体の厚みが４０μｍ〜３００μｍであることがより好ましく、５０μｍ〜２５０μｍであることが、より密着性の湿熱耐久性の向上効果が奏される観点から好ましい。

また、近年、太陽電池の出力が向上に併せて、太陽電池モジュール用バックシートに対して、電気絶縁性の改善が求められており、一般的に、電気絶縁性は、太陽電池モジュール用バックシートの厚みに比例するため、より厚手の太陽電池モジュール用バックシートが求められている。これに対し、本発明のポリエステルフィルムの構成とし、前記ポリエステル支持体の厚みを上記好ましい範囲とすることで、ポリエステル支持体の厚みを厚くし過ぎなくても電気絶縁性も良好な太陽電池モジュール用バックシートとすることができる。

（ポリエステル）
本発明のポリエステルフィルムは、前記ポリエステル層は、前記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含有することが好ましい。なお、ポリエステル層の主成分とは、ポリエステル層中に８０モル％以上含まれるポリエステルのことをいう。
ポリエステルは、合成および重合により入手しても、商業的に入手してもよい。
ポリエステルは従来公知のポリエステルの製造方法に従って製造することができる。すなわち、酸成分としてジアルキルエステルを用い、これとジオール成分とでエステル交換反応させた後、この反応の生成物を減圧下で加熱して、余剰のジオール成分を除去しつつ重縮合させることによって製造することができる。また、酸成分としてジカルボン酸を用いて、従来公知の直接重合法により製造することもできる。反応触媒としては従来公知のチタン化合物、リチウム化合物、カルシウム化合物、マグネシウム化合物、アンチモン化合物、ゲルマニウム化合物等を用いることができる。

本発明におけるポリマー支持体（ポリエステル支持体）として用いられるポリエステルとしては、芳香族二塩基酸又はそのエステル形成性誘導体とジオール又はそのエステル形成性誘導体とから合成される線状飽和ポリエステルである。かかるポリエステルの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ（１，４−シクロヘキサンジメチレンテレフタレート）、ポリエチレン−２，６−ナフタレートなどのフィルム又はシートを挙げることができる。このうち、力学的物性やコストのバランスの点で、ポリエチレンテレフタレート又はポリエチレン−２，６−ナフタレート、ポリ（１，４−シクロヘキサンジメチレンテレフタレート）が特に好ましい。

ポリ（１，４−シクロヘキサンジメチレンテレフタレート）（本明細書中、ＰＣＴともいう）はジカルボン酸としてテレフタル酸（ＴＰＡ）、ジオールとして１，４−シクロヘキサンジメタノール（本明細書中、ＣＨＤＭとも言う）、エチレングリコール（ＥＧ）を主成分とすることが好ましい。なお主成分とは８０モル％以上含むものを云う。

前記ＣＨＤＭ系ポリエステルとは、１，４−シクロヘキサンジメタノール（本明細書中、ＣＨＤＭとも言う）由来の構造をジオール成分として有するポリエステルのことを言う。
前記ＣＨＤＭ系ポリエステルは、１，４−シクロヘキサンジメタノール（ＣＨＤＭ）由来の構造をジオール成分（全ジオール中）に、０．１〜２０モル％または８０〜１００モル％含む（前記条件（Ｂ）を満たす）ことが好ましく、０．５モル％以上１６モル％以下あるいは８３モル％以上９８モル％以下含むことがより好ましく、１モル％以上１２モル％以下あるいは８６モル％以上９６モル％以下含むことが特に好ましい。
前記条件（Ｂ）を満たすようにＣＨＤＭを含むことで、延伸中に微小な延伸ムラを発現し易くなり、前記ポリエステル支持体中に前記条件（Ａ）を満たすように末端封止剤を添加しない場合であっても本発明の効果を得ることができる。これはＣＨＤＭ基がＥＧ基に対し剛直な構造のため、延伸され難く伸びむらが生じ易いためである。従って導電層を塗布した後にＰＣＴを延伸すると導電層の塗布むらが発生し、本発明の効果である耐電圧向上を達成できる。なお、このような延伸むらは延伸により結晶構造を形成する際、顕著に発現する。これは、延伸ムラに伴い配向むらが形成、高配向の箇所が結晶化し結晶、非晶部が発生、このような結晶／非晶の不均一性（面内分布）が一層延伸むら、即ち導電層ムラを引き起こす。
このような結晶を形成させるには、ＣＨＤＭ由来の構造が低い領域（０．１〜２０モル％）、高い領域（８０〜１００モル％）の二つの領域が好ましい。この間の領域ではＣＨＤＭとＥＧが混在し結晶が形成し難いためである。

前記ＣＨＤＭ系ポリエステルは、ＣＨＤＭ、ＥＧ以外のジオール成分として、１，２−プロパンジオール、１，３−プロパンジオール、１，４−ブタンジオール、１，２−ブタンジオール、１，３−ブタンジオール等の脂肪族ジオール類、スピログリコール、イソソルビドなどの脂環式ジオール類、ビスフェノールＡ、１，３―ベンゼンジメタノール，１，４−ベンセンジメタノール、９，９’−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレン、などの芳香族ジオール類等のジオールなどが代表例としてあげられるが、これらに限定されるものではない。
ＴＰＡ以外のジカルボン酸としてマロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸、ダイマー酸、エイコサンジオン酸、ピメリン酸、アゼライン酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸等の脂肪族ジカルボン酸類、アダマンタンジカルボン酸、ノルボルネンジカルボン酸、イソソルビド、シクロヘキサンジカルボン酸、デカリンジカルボン酸、などの脂環族ジカルボン酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４−ナフタレンジカルボン酸、１，５−ナフタレンジカルボン酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、１，８−ナフタレンジカルボン酸、４，４’−ジフェニルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルエーテルジカルボン酸、５−ナトリウムスルホイソフタル酸、フェニルインダンジカルボン酸、アントラセンジカルボン酸、フェナントレンジカルボン酸、９，９’−ビス（４−カルボキシフェニル）フルオレン酸等のジカルボン酸、もしくはそのエステル誘導体などが代表例としてあげられるが、これらに限定されるものではない。これらの中でより好ましいのが、イソフタル酸（ＩＰＡ）である。好ましいＩＰＡ量は全ジカルボン酸中０モル％以上１５モル％以下が好ましく、より好ましくは０モル％以上１２モル％以下、さらに好ましくは０モル％以上９モル％以下である。

本発明では前記条件（Ｂ）を満たすＣＨＤＭ系ポリエステルを用いる場合、条件（Ｂ）を満たすＣＨＤＭ系ポリエステルを含有する層を少なくとも１層有していればよく、単層であっても、２以上の層を有していてもよい。すなわち、前記条件（Ｂ）を満たすＣＨＤＭ系ポリエステルを含有する層以外のその他の層と積層されていてもよい。
ここで、本発明のポリエステルフィルムは、前記ポリエステル支持体の前記導電層が設けられた側の最外層が、前記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含むポリエステル層であることが、導電層のむらを引き起こしやすい観点から好ましい。すなわち、前記条件（Ｂ）を満たすＣＨＤＭ系ポリエステルを主成分として含むポリエステル層も、前記ポリエステル支持体の前記導電層が設けられた側の最外層に設けられることが好ましい。
特にＣＨＤＭ由来の構造が８０〜１００モル％のとき、積層構造にすることが好ましい。これは、ＣＨＤＭ由来の構造の比率が高くなると、剛直なＣＨＤＭ基の含率が高くなりすぎ延伸中に破断し易くなるためである。このため延伸し易い（破断し難い）ＣＨＤＭ構造を有しないポリエステルと積層することが好ましく、より好ましくはＰＥＴと積層することである。

本発明のポリエステルフィルムは、前記条件（Ｂ）を満たすＣＨＤＭ系ポリエステルを含有する層（Ｐ１層と称する）と、ポリエチレンテレフタレートを主成分とするポリエステルを含有する層（Ｐ２層と称する）とが積層された態様も好ましい。

Ｐ２層は、ジカルボン酸ユニット中テレフタル酸ユニットを９５％以上有し、かつジオールユニット中エチレングリコールユニットを９５モル％以上含むものをさす。
またＰ２層のＩＶは０．７以上０．９以下が好ましく、より好ましくは０．７２以上０．８５以下、さらに好ましくは０．７４以上０．８２以下である。このようにＩＶを高めにすることで分子間の絡み合いを増加させ延伸性を向上し破断を抑制することができる。

本発明のポリエステルフィルムは、Ｐ１層とＰ２層の層数の和は、２層以上が好ましく、より好ましくは２層以上５層以下、さらに好ましくは２層以上４層以下である。中でも好ましいのが、Ｐ１層が前記ポリエステル支持体の前記導電層が設けられた側の最外層に設けられた構造であり、例えばＰ２層の両側をＰ１層で挟んだ３層構造、Ｐ２層とＰ１層を積層した２層構造である。

本発明のポリエステルフィルムが２層以上の場合、厚みはＰ１層の総和が全厚みの１０％以上５０％以下が好ましく、より好ましくは１５％以上４５％以上、さらに好ましくは２０％以上４０％以下である。この下限値以上にすることでＰＥＴが共存することによる延伸性向上効果が得られ、この上限値以下にすることでＣＨＤＭ構造による導電層の不均一性を発現し易い。
このような積層構造は定法により調製することができ、複数の押出し機から供給されたメルト（樹脂の融体）をマルチマニフォールドダイ、フィードブロックダイを用い積層し押出すことで達成できる。
ポリエステルフィルムの各層の厚みは、フィルムの断面を、ＳＩＭＳを用い測定し、Ｐ１層の特徴フラグメント、Ｐ２層の特徴フラグメントでイメージングすることで求めることができる。

本発明ではポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）も好ましく用いることができる。ＰＥＮは、大きなナフタレン環のため単位体積中のエステル結合数が少なく、加水分解し難いため高い耐候性を示すと同時に、エステル基が少なく極性が低いためＰＥＮ分子間との相互作用が弱くボイドを形成して延伸むらを発生させ易くし、即ち導電層ムラを発生させ易くする効果も有する。

前記ポリエステルは、単独重合体であってもよいし、共重合体であってもよい。更に、前記ポリエステルに他の種類の樹脂、例えばポリイミド等を少量ブレンドしたものであってもよい。

本発明では、前記ポリエステルの末端カルボキシル基含有量ＡＶは３〜２０ｅｑ／ｔｏｎである。好ましくは４〜１７ｅｑ／ｔｏｎ、さらに好ましくは５〜１５ｅｑ／ｔｏｎである。この範囲を超えると封止剤で充分カルボン酸と反応しきれなくフィルム表面の極性が増加、上記導電層の不均一性を形成しにくい。一方、この範囲を下回ると表面のカルボン酸基が少なくなりすぎ塗布むらが大きくなりすぎ不連続相を形成、表面比抵抗が低下しすぎ好ましくない。

ポリエステル中のカルボキシル基含量は、製膜前の重合触媒種および通常の重合後の固相重合条件、並びに、製膜条件（製膜温度や時間、延伸条件および熱緩和条件）などにより調整することが可能である。特に、ポリマー支持体をフィルム状に製膜する前の固相重合条件によって制御することが好ましい。
カルボキシル基含量（ＡＶ）は、Ｈ． Ａ． Ｐｏｈｌ， Ａｎａｌ． Ｃｈｅｍ． ２６ （１９５４） ２１４５に記載の方法に従い、測定することができる。具体的には、目的とするポリエステルを粉砕し、６０℃の真空乾燥機で３０分乾燥する。次に、乾燥直後のポリエステルを、０．１０００ｇ秤量し、５ｍｌのベンジルアルコールを添加後、２０５℃で２分間、加熱攪拌溶解する。溶解液を、冷却後、１５ｍｌのクロロホルムを加え、指示薬としてフェノールレッドを用い、アルカリ基準液（０．０１Ｎ ＫＯＨ−ベンジルアルコール混合溶液）で、中和点（ｐＨ＝７．３±０．１０．１）まで滴定し、その適定量から算出する。

また、本発明の太陽電池用保護シートは、前記ポリエステルの固有粘度ＩＶ（分子量）が０．６５ｄｌ／ｇ以上である。ＰＥＴの分子量を上げることが封止剤との相溶性を低下させることに有効である。これにより相溶性を低下し封止剤を表面に局在化でき、後述する導電層の表面比抵抗の面内分布を付与できる。一方前記ポリエステルの固有粘度ＩＶの上限は０．９ｄｌ／ｇ以下である。これを超えると押出し中にＡＶが増加し表面の極性が増加、表面比抵抗の分布を形成し難く好ましくない。前記ポリエステルの固有粘度ＩＶは好ましくは０．７ｄｌ／ｇ以上０．８５以下ｄｌ／ｇであり、さらに好ましくは０．７２ｄｌ／ｇ以上０．８２ｄｌ／ｇ以下である。
ＩＶ値は、目的とするポリエステルを粉砕後、１，２，２−テトラクロルエタン／フェノール（＝２／３[質量比]）混合溶媒を用いて、０．０１ｇ／ｍｌに溶解し、ウベローデ型の粘度計（ＡＶＬ−６Ｃ，旭化成テクノシステム社）を用いて、２５℃の温度で測定する。なお、サンプルの溶解は、１２０℃で、１５〜３０分で行う。

前記ポリエステルは、重合後に固相重合されたものが好ましい。これにより、好ましいカルボキシル基含量や固有粘度への制御を達成することが容易となる。固相重合は、連続法（タワーの中に樹脂を充満させ、これを加熱しながらゆっくり所定の時間滞流させた後、送り出す方法）でもよいし、バッチ法（容器の中に樹脂を投入し、所定の時間加熱する方法）でもよい。具体的には、固相重合には、特許第２６２１５６３号、特許第３１２１８７６号、特許第３１３６７７４号、特許第３６０３５８５号、特許第３６１６５２２号、特許第３６１７３４０号、特許第３６８０５２３号、特許第３７１７３９２号、特許第４１６７１５９号等に記載の方法を適用することができる。

固相重合時間を長くすることでポリエステルのＩＶが上昇し、ＡＶが低下する。固相重合温度を高くすることでＡＶが上昇する。好ましい固相重合条件は１８０℃以上２３０℃以下、より好ましくは１９０℃以上２２０℃以下、さらに好ましくは１９５℃以上２１０℃以下、固相重合時間は１０時間以上７０時間以下が好ましく、より好ましくは１４時間以上５０時間以下、さらに好ましくは１６時間以上３５時間以下。固相重合は真空中、あるいは不活性気流中で行うのが好ましい。

（末端封止剤）
本発明のポリエステルフィルムは、末端封止剤を含んでいても含んでいなくてもよいが、前記ポリエステル成分が前記条件（Ｂ）を満たさない場合は、前記条件（Ａ）を満たすように前記ポリエステル支持体中にポリエステルに対して末端封止剤を０．１〜１１質量％含むことが好ましい。前記ポリエステル支持体中に末端封止剤を混入することで、後述の導電層に不均一な表面比抵抗の面内分布を付与できる。いかなる理論に拘泥するものでもないが、末端封止剤はポリエステルの末端カルボン酸と反応し、極性基であるカルボン酸が消失するとポリエステル支持体の極性が低下する。一方、後述する導電層に含まれる導電剤は極性が高く、極性の低下したポリエステル支持体表面に均一に分散できない（これは、塗布であっても、共押出しであっても同様に発生する）。そのため、導電剤と接触するポリエステル支持体の表面に末端封止剤を濃縮することが、導電層に不均一な表面比抵抗の面内分布を付与するときに有効となる。
また、末端封止剤はポリエステル（特にＰＥＴ）と相溶性が低く、ポリエステル分子の隙間（自由体積）に存在し易い。このため、自由体積を減少させるとポリエステル内部から封止剤は押出され、ポリエステル支持体の表面近傍にあつまる。このような効果は末端封止剤の分子量を上げて、ポリエステルとの相溶性を低下させることで、より顕著に得ることができる。

末端封止剤としては、カルボジイミド化合物、オキサゾリン化合物、エポキシ化合物、カーボネート化合物などが挙げられる。製膜時にポリエステル樹脂と一緒に添加するとより効果が高い。好ましくはカルボジイミド化合物を用いる。もちろん固相重合と末端封止剤を同時に利用してもよい。

カルボジイミド系末端封止剤：
カルボジイミド基を有するカルボジイミド化合物は、一官能性カルボジイミドと多官能性カルボジイミドがあり、一官能性カルボジイミドとしては、ジシクロヘキシルカルボジイミド、ジイソプロピルカルボジイミド、ジメチルカルボジイミド、ジイソブチルカルボジイミド、ジオクチルカルボジイミド、ｔ−ブチルイソプロピルカルボジイミド、ジフェニルカルボジイミド、ジ−ｔ−ブチルカルボジイミドおよびジ−β−ナフチルカルボジイミドなどが挙げられる。特に好ましくは、ジシクロヘキシルカルボジイミドやジイソプロピルカルボジイミドである。

また、多官能性カルボジイミドとしては、重合度３〜１５のカルボジイミドが好ましく用いられる。具体的には、１，５−ナフタレンカルボジイミド、４，４’−ジフェニルメタンカルボジイミド、４，４’−ジフェニルジメチルメタンカルボジイミド、１，３−フェニレンカルボジイミド、１，４−フェニレンジイソシアネート、２，４−トリレンカルボジイミド、２，６−トリレンカルボジイミド、２，４−トリレンカルボジイミドと２，６−トリレンカルボジイミドの混合物、ヘキサメチレンカルボジイミド、シクロヘキサン−１，４−カルボジイミド、キシリレンカルボジイミド、イソホロンカルボジイミド、イソホロンカルボジイミド、ジシクロヘキシルメタン−４，４’−カルボジイミド、メチルシクロヘキサンカルボジイミド、テトラメチルキシリレンカルボジイミド、２，６−ジイソプロピルフェニルカルボジイミドおよび１，３，５−トリイソプロピルベンゼン−２，４−カルボジイミドなどを例示することができる。

カルボジイミド化合物は、熱分解によりイソシアネート系ガスが発生するため、耐熱性の高いカルボジイミド化合物が好ましい。耐熱性を高めるためには、分子量（重合度）が高いほど好ましく、より好ましくはカルボジイミド化合物の末端を耐熱性の高い構造にすることが好ましい。また、一度熱分解を起こすとさらなる熱分解を起こし易くなるため、ポリエステルの押出温度をなるべく低温下にするなどの工夫が必要である。

前記封止剤のカルボジイミドは、環状構造を持つものも好ましい（例えば、特開２０１１−１５３２０９に記載のもの）。これらは低分子量でも上記高分子量カルボジイミド同等の効果を発現する。これはポリエステルの末端カルボン酸と環状のカルボジイミドが開環反応し、一方がこのポリエステルと反応、開環した他方が他のポリエステルと反応し高分子量化するためである。そのため、イソシアネート系ガスが発生することを抑制するために、特開２０１１−１５３２０９に記載の環状カルボジイミド化合物は有効である。

これらの環状構造を持つものの中でも、本発明では、前記末端封止剤が、カルボジイミド基を有し、その第一窒素と第二窒素とが結合基により結合されている環状構造を含むカルボジイミド化合物であることが好ましい。さらに、前記末端封止剤は、芳香環に隣接したカルボジイミド基を少なくとも１個有し、前記芳香環に隣接したカルボジイミド基の第一窒素と第二窒素とが結合基により結合されている環状構造を含むカルボジイミド（芳香族環状カルボジイミドとも言う）であることがより好ましい。
芳香族環状カルボジイミドは、環状構造を複数有していてもよい。
芳香族環状カルボジイミドは分子内に２つ以上のカルボジイミド基の第一窒素と第二窒素とが連結基により結合した環構造を有さない芳香族カルボジイミドであること、すなわち単環であることが、増粘し難い観点から好ましい。

環状構造は、カルボジイミド基（−Ｎ＝Ｃ＝Ｎ−）を１個有しその第一窒素と第二窒素とが結合基により結合されている。一つの環状構造中には、１個のカルボジイミド基のみを有するが、例えば、スピロ環など、分子中に複数の環状構造を有する場合にはスピロ原子に結合するそれぞれの環状構造中に１個のカルボジイミド基を有していれば、化合物として複数のカルボジイミド基を有していてよいことはいうまでもない。環状構造中の原子数は、好ましくは８〜５０、より好ましくは１０〜３０、さらに好ましくは１０〜２０、特に、１０〜１５が好ましい。

ここで、環状構造中の原子数とは、環状構造を直接構成する原子の数を意味し、例えば、８員環であれば８、５０員環であれば５０である。環状構造中の原子数が８より小さいと、環状カルボジイミド化合物の安定性が低下して、保管、使用が困難となる場合があるためである。また反応性の観点よりは環員数の上限値に関しては特別の制限はないが、５０を超える原子数の環状カルボジイミド化合物は合成上困難となり、コストが大きく上昇する場合が発生するためである。かかる観点より環状構造中の原子数は好ましくは、１０〜３０、より好ましくは１０〜２０、特に好ましくは１０〜１５の範囲が選択される。

前記環状構造を持つカルボジイミド封止剤の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。但し、本発明は以下の具体例により限定されるものではない。

エポキシ系末端封止剤：
また、エポキシ化合物の好ましい例としては、グリシジルエステル化合物やグリシジルエーテル化合物などが挙げられる。

グリシジルエステル化合物の具体例としては、安息香酸グリシジルエステル、ｔ−Ｂｕ−安息香酸グリシジルエステル、Ｐ−トルイル酸グリシジルエステル、シクロヘキサンカルボン酸グリシジルエステル、ペラルゴン酸グリシジルエステル、ステアリン酸グリシジルエステル、ラウリン酸グリシジルエステル、パルミチン酸グリシジルエステル、ベヘン酸グリシジルエステル、バーサティク酸グリシジルエステル、オレイン酸グリシジルエステル、リノール酸グリシジルエステル、リノレイン酸グリシジルエステル、ベヘノール酸グリシジルエステル、ステアロール酸グリシジルエステル、テレフタル酸ジグリシジルエステル、イソフタル酸ジグリシジルエステル、フタル酸ジグリシジルエステル、ナフタレンジカルボン酸ジグリシジルエステル、メチルテレフタル酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルエステル、アジピン酸ジグリシジルエステル、コハク酸ジグリシジルエステル、セバシン酸ジグリシジルエステル、ドデカンジオン酸ジグリシジルエステル、オクタデカンジカルボン酸ジグリシジルエステル、トリメリット酸トリグリシジルエステルおよびピロメリット酸テトラグリシジルエステルなどを挙げられ、これらは１種または２種以上を用いることができる。

また、グリシジルエーテル化合物の具体例としては、フェニルグリシジルエ−テル、Ｏ−フェニルグリシジルエ−テル、１，４−ビス（β,γ−エポキシプロポキシ）ブタン、１，６−ビス（β,γ−エポキシプロポキシ）ヘキサン、１，４−ビス（β,γ−エポキシプロポキシ）ベンゼン、１−（β,γ−エポキシプロポキシ）−２−エトキシエタン、１−（β,γ−エポキシプロポキシ）−２−ベンジルオキシエタン、２，２−ビス−［р−（β,γ−エポキシプロポキシ）フェニル］プロパンおよび２，２−ビス−（４−ヒドロキシフェニル）プロパンや２，２−ビス−（４−ヒドロキシフェニル）メタンなどのビスフェノールとエピクロルヒドリンの反応で得られるビスグリシジルポリエーテルなどが挙げられ、これらは１種または２種以上を用いることができる。

オキサゾリン系末端封止剤：
また、オキサゾリン化合物としては、ビスオキサゾリン化合物が好ましく、具体的には、２，２’−ビス（２−オキサゾリン）、２，２’−ビス（４−メチル−２−オキサゾリン）、２，２’−ビス（４，４−ジメチル−２−オキサゾリン）、２，２’−ビス（４−エチル−２−オキサゾリン）、２，２’−ビス（４，４’−ジエチル−２−オキサゾリン）、２，２’−ビス（４−プロピル−２−オキサゾリン）、２，２’−ビス（４−ブチル−２−オキサゾリン）、２，２’−ビス（４−ヘキシル−２−オキサゾリン）、２，２’−ビス（４−フェニル−２−オキサゾリン）、２，２’−ビス（４−シクロヘキシル−２−オキサゾリン）、２，２’−ビス（４−ベンジル−２−オキサゾリン）、２，２’−ｐ−フェニレンビス（２−オキサゾリン）、２，２’−ｍ−フェニレンビス（２−オキサゾリン）、２，２’−ｏ−フェニレンビス（２−オキサゾリン）、２，２’−ｐ−フェニレンビス（４−メチル−２−オキサゾリン）、２，２’−ｐ−フェニレンビス（４，４−ジメチル−２−オキサゾリン）、２，２’−ｍ−フェニレンビス（４−メチル−２−オキサゾリン）、２，２’−ｍ−フェニレンビス（４，４−ジメチル−２−オキサゾリン）、２，２’−エチレンビス（２−オキサゾリン）、２，２’−テトラメチレンビス（２−オキサゾリン）、２，２’−ヘキサメチレンビス（２−オキサゾリン）、２，２’−オクタメチレンビス（２−オキサゾリン）、２，２’−デカメチレンビス（２−オキサゾリン）、２，２’−エチレンビス（４−メチル−２−オキサゾリン）、２，２’−テトラメチレンビス（４，４−ジメチル−２−オキサゾリン）、２，２’−９，９’−ジフェノキシエタンビス（２−オキサゾリン）、２，２’−シクロヘキシレンビス（２−オキサゾリン）および２，２’−ジフェニレンビス（２−オキサゾリン）等を例示することができる。これらの中では、ポリエステルとの反応性の観点から、２，２’−ビス（２−オキサゾリン）が最も好ましく用いられる。さらに、上記で挙げたビスオキサゾリン化合物は本発明の目的を達成する限り、一種を単独で用いても、二種以上を併用してもどちらでもよい。

前記末端封止剤は、エポキシ化合物、カルボジイミド化合物、オキサゾリン化合物、カーボネート化合物等が挙げられるが、カルボジイミドが好ましく、中でも環状構造を有するカルボジイミドが好ましい。ＰＥＴ等のポリエステルの末端カルボン酸と反応性が高い上、ＰＥＴ等のポリエステル表面に集まり易いためである。特に、環状構造とすることでコンパクトな分子構造となりＰＥＴ等のポリエステル中を拡散し、表面に集まり易いためである。

前記末端封止剤の分子量は２００以上１０万以下が好ましく、より好ましくは２０００以上７万以下、さらに好ましくは５０００以上５万以下である。ここで云う分子量とは、重量平均分子量を指す。この範囲を超えると封止剤の運動性が低下しフィルム表面に集まり難く、この範囲を下回るとＰＥＴとの相溶性（親和性）が向上しフィルム内部に留まり易くなり表面に集まり難くなり、上記効果が得難くなる。

前記末端封止剤の添加量はポリエステル支持体に対し０．１〜１１質量％であることが好ましく、０．１質量％以上５質量％以下がより好ましく、特に好ましくは０．３質量％以上３質量％以下、さらに好ましくは０．５質量％以上２質量％以下である。この範囲の下限値以上であれば表面の封止剤の濃度が十分となり、導電層の表面比抵抗の面内分布、易接着層の厚みむらが本発明の範囲内となり好ましい。一方、封止剤量がこの範囲の上限値以下であると表面濃度が高くなりすぎず、導電層の表面比抵抗の面内分布、易接着層の厚みむらが本発明の範囲内となり好ましい。

＜導電層＞
本発明のポリエステルフィルムは、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に設けられた導電層を有し、前記導電層の表面比抵抗Ｒ０が１０⁶〜１０¹⁴Ω／□であり、前記導電層の表面比抵抗Ｒ０の面内分布が０．１％以上２０％以下である。

（表面比抵抗の面内分布）
前記導電層の好ましい表面比抵抗の面内分布は０．１％以上２０％以下が好ましく、より好ましくは０．３％以上１０％以下、さらに好ましくは０．５％以上５％以下、さらに好ましくは１％以上５％以下である。この範囲の上限値以下であると、導電性が低下（むらが大きすぎず、導電層が不連続となりにくい）しにくく、この範囲の下限値以上あると導電性が向上（上記効果が十分に発現する）する。

（表面比抵抗）
前記導電層の表面比抵抗は１０⁶Ω／□以上１０¹⁴Ω／□以下であり、好ましくは１０⁷Ω／□以上１０¹³Ω／□以下、さらに好ましくは１０⁸Ω／□以上１０¹²Ω／□以下。この範囲の上限値以下であると導電層が厚くなりすぎず、上記のような不均一性を形成しやすく、表面比抵抗の低下（向上）を得やすい。この範囲の下限値以上であると導電層が薄くなりすぎず、導電層が不連続となり難く、上記のような不均一性を形成しやすくなり、表面比抵抗の低下を得やすい。
また、このように導電層の表面比抵抗を下げることで、耐電圧が向上する。通常帯電圧を上げるにはポリエステル支持体の厚みを上げることが必要であったが、本発明ではポリエステル支持体の厚みを上げずに耐電圧を低下でき、低コスト化できる。このような表面比抵抗低下により耐電圧が向上するのは、耐電圧測定時に印加した電圧を局所的に高くなることを、導電層が分散することにより発現するためである（特開２００９−１５８９５２号公報の［０００９］〜［００１０］参照）。

（厚み）
導電層の好ましい膜厚は０．０１μｍ以上５０μｍ以下が好ましい。下限値以上だれば導電層が薄すぎず、導電性が十分となる。一方上限値以下であれば導電層が厚すぎず、上記のような導電層の表面比抵抗の面内分布を形成しやすいためである。より好ましくは０．１μｍ以上３０μｍ、さらに好ましくは０．３μｍ以上１０μｍである。

（厚み分布）
導電層の厚み分布は０．１％以上１０％以下が好ましく、より好ましくは０．２％以上８％以下、さらに好ましくは０．３％以上６％以下である。
導電層の厚み分布をこの範囲とすることにより導電層の表面比抵抗の面内分布を達成しやすい。

（導電層の組成）
（１）導電剤
ここで、本発明の太陽電池バックシート用フィルムにおいて、導電層に導電性を発現させる成分を含有させることが挙げられる。ここで、導電性を発現させる成分としては、有機系導電性材料、無機系導電性材料、有機系／無機系複合導電性材料いずれも好ましく用いることができる。

有機系の導電性材料の例としては、分子中にアンモニウム基、アミン塩基、四級アンモニウム基などのカチオン性の置換基を有するカチオン系導電性化合物、スルホン酸塩基、リン酸塩基、カルボン酸塩基などのアニオン性を有するアニオン系導電性化合物、アニオン性の置換基、カチオン性置換基の両方を有する両性系導電性化合物等のイオン性の導電性材料、共役したポリエン系骨格を有するポリアセチレン、ポリパラフェニレン、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリピロールなどの導電性高分子化合物等が上げられる。
これらの導電性材料は、導電層を構成するマトリックスとなる材料に、以下１）〜４）の方法にて導入され、いずれも好ましく用いられる。これにより、導電層の導電性を発現させることが可能となる。すなわち、
１）マトリックスとなる材料に導電性を有する骨格を共重合する、
２）マトリックスとなる材料に導電性材料を添加・混合・相溶させる、
３）マトリックスとなる材料に導電性材料を添加・混合した後、導電材料を表面に移行させ、表面付近に濃縮させる、
４）マトリックスとなる材料に導電性材料を添加・混合して分散させ、導電性のネットワークを形成させる、
等の方法により導電層に導電性を発現させることが可能であり、いずれも好ましく用いられる。

これらの化合物（導電性材料）のうち、特に、溶液製膜としてフィルムを形成する場合や、ポリエステル支持体上に塗設して導電層を形成させる場合は、その高電圧印加時にも高い導電性を有する等の点からイオン性導電性材料が好ましく、塗布性、密着性、部分放電電圧を長期に向上させる効果があるという点で、カチオン系導電性化合物がより好ましい。これら導電性化合物は低分子量型導電性化合物、高分子量型導電性化合物等いずれも好ましく用いることが挙げられるが、本発明においては高分子量型導電性化合物が耐久性等の点から好ましく用いられる。また、溶融押出により導電層に導電性を発現させる場合において、４）の方法を用いる場合は、チバ・ジャパン（株）製"イルガスタット"Ｐシリーズの様にマトリックス中に分散し、導電性ネットワークを形成する様なポリエーテルアミド系共重合型化合物が、耐熱性、および導電層の耐湿熱性に優れるという点で好ましく用いられる。

これらの有機系の導電性材料は、水溶性、非水溶性のいずれでも好ましく用いることができるが、本発明の太陽電池バックシート用フィルムの導電層は耐湿熱特性を有することが好ましいため、非水溶性の導電性化合物を用いることが好ましい。ここで、イオン性導電性材料の場合、水溶性、非水溶性はこれらの材料を構成するモノマー種によって決まり、非水溶性とするためには、上記官能基を有するモノマー種と、上記官能基を有さないモノマー種との共重合割合によって決まり、上記官能基を有するモノマー種のモル数と上記官能基を有さないモノマー種のモル数の比（上記官能基を有するモノマー種のモル数／上記官能基を有さないモノマー種のモル数）は１０／９０以上９０／１０以上が好ましく、より好ましくは２０／８０以上８０／２０以下、更に好ましくは３０／７０以上７０／３０以下である。比が１０／９０大きければ、形成した導電層の表面比抵抗Ｒ０が高くなりすぎず、部分放電電圧向上効果が失われないため好ましくない。また比が９０／１０以下であれば水溶性が高くなりすぎず、形成した導電層の耐湿熱特性が良好となるため好ましい。

また、本発明の太陽電池バックシート用フィルムにおいて、導電層に用いられる導電性材料が有機系の導電性材料の場合、耐湿熱性の向上、導電層の強度向上等のために、有機系の導電性材料に加えて、導電層を構成するマトリックスとなる材料として、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエーテル、ポリエステルアミド、ポリエーテルエステル、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコールおよびこれらを成分とする共重合体などの非水溶性樹脂を用いることも好ましく行われる。導電層を塗布により形成する場合は塗剤に添加、混合すればよいし、導電層を溶融押出で形成する場合は溶融混練して混合すればよい。その場合、上記有機系導電性材料が水溶性導電性材料の場合であっても、耐湿熱特性を付与することができるし、非水溶性導電性材料の場合はより耐湿熱特性を高めることができる。上記有機系導電性材料と非水溶性樹脂との混合比（有機系導電性材料の重量／非水溶性樹脂の重量）は５／９５以上５０／５０以下が好ましい。より好ましくは１０／９０以上４０／６０以下である。上記混合比が５／９５以上であると、導電層の表面比抵抗Ｒ０が高くなり過ぎず、部分放電電圧が向上するため好ましく、上記混合比が５／９５が５０／５０より少なければ、形成した導電層の耐湿熱性が良好となるため好ましい。

また、導電層を溶融押出で形成する場合の非水溶性樹脂の例としては、ポリエチレンテレフタレート（以下、「ＰＥＴ」と略称することがある）、ポリエチレン−２、６−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ１，４−シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート、ポリ乳酸等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリエステルアミド系樹脂、ポリエーテルエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、フッ素系樹脂などを使用することができる。これらの中で共重合するモノマー種の多様性、およびそれによって材料物性の調整が容易であるなどの理由から、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂、フッ素系樹脂、またはこれらの混合物から選ばれる熱可塑性樹脂から主として構成されるのが好ましい。特に好ましくは、機械的強度、コストの点からポリエステル系樹脂が主として構成されるのが好ましく、さらには非水溶性樹脂が一軸もしくは二軸配向されてなることが、配向結晶化により機械的強度を高くすることができたり、ポリエステル系樹脂などの場合は、長期使用時の導電層の耐加水分解性を向上させることができる。

（２）架橋剤
また、導電層に用いられる導電性材料が有機系の導電性材料の場合、耐湿熱特性を更に向上させたり、特に導電層をポリエステル支持体に塗設する場合のポリエステル支持体との密着性向上させたり、特に溶液製膜としてフィルムを形成させたりする場合や、ポリエステル支持体上に導電層を塗設する場合、フィルムのブロッキングを防止することができるという点で、有機系の導電性材料、非水溶性樹脂に加えて、架橋剤を含有せしめることも好ましく行われる。架橋剤としては、上述の有機系材料および／または非水溶性樹脂を構成する樹脂に存在する官能基、例えばヒドロキシル基、カルボキシル基、グリシジル基、アミド基等と架橋反応する樹脂や化合物が好ましく用いられ、その例としてはメチロール化あるいはアルキロール化した尿素系、メラミン系、アクリルアミド系、ポリアミド系樹脂及びエポキシ化合物、オキセタン系化合物、イソシアネート化合物、カップリング剤、アジリジン系化合物、オキサゾリン系化合物等、カルボジイミド系化合物、酸無水物、カルボン酸エステル誘導体及びそれらの混合物等を使用することができる。

かかる架橋剤種類、および含有量は、導電層を構成する有機系導電性材料、非水溶性樹脂、ポリエステル支持体等によって適宜選択される。本発明の太陽電池バックシートフィルムにおける架橋剤としては、溶液製膜としてフィルムを形成する場合や、導電層としてポリエステル支持体に塗設する場合は、有機系導電性材料および／または非水溶性樹脂がアクリル系骨格を有する場合は、架橋剤としてはオキサゾリン化合物が、有機系導電性材料および／または非水溶性樹脂がポリエステル系骨格を有する場合は、架橋剤としてはメラミン系化合物が、形成された導電層が耐湿熱特性により優れるという点でより好ましい。また、溶融押出により導電層を形成する場合において、非水溶性樹脂としてポリエステル系樹脂を用いる場合の架橋剤としては、オキサゾリン系化合物、エポキシ系化合物、オキセタン系化合物、カルボジイミド系化合物、酸無水物、カルボン酸エステル誘導体が好適に用いられる。

架橋剤の添加量は、通常は導電層を構成する全樹脂成分１００質量部に対し、０．０１以上５０質量部以下が好ましく、より好ましくは０．２以上４０質量部以下、更に好ましくは０．５以上３０重量部以下の範囲がより好ましい。

ここで、架橋剤には、触媒を併用して架橋反応を促進させることも好ましく行われる。なお、架橋反応方式としては、加熱方式、電磁波照射方式、吸湿方式などのいずれでも構わないが、通常は加熱による方法が好ましく用いられる。

本発明の太陽電池バックシート用フィルムにおいて、導電層を構成する材料が有機系導電性材料の場合、導電層の表面比抵抗Ｒ０は前述のポリエステル支持体中に含まれる末端封止剤の効果に加えて、導電層に含まれる有機系導電性材料の種類、非水溶性樹脂や架橋剤の種類と混合割合、その他材料との混合割合、膜厚等によっても決まる。導電層に含まれる有機系導電性材料に対し非水溶性樹脂や架橋剤の割合が大きいほど表面比抵抗Ｒ０が高くなり、小さいほど表面比抵抗Ｒ０が小さくなる。また、導電層の膜厚が厚いほど表面比抵抗Ｒ０が低くなり、小さいほど表面比抵抗Ｒ０が高くなる。最適な組成、膜厚などは、使用する材料種、フィルム構成などにより変わるが、導電層の表面比抵抗Ｒ０が上述の要件を満たす様に形成される。

また、導電層を構成する材料が無機系導電性材料の場合、その例としては、金、銀、銅、白金、ケイ素、硼素、パラジウム、レニウム、バナジウム、オスミウム、コバルト、鉄、亜鉛、ルテニウム、プラセオジウム、クロム、ニッケル、アルミニウム、スズ、亜鉛、チタン、タンタル、ジルコニウム、アンチモン、インジウム、イットリウム、ランタニウム、マグネシウム、カルシウム、セリウム、ハフニウム、バリウム、等の無機物群を主たる成分とするものを酸化、亜酸化、次亜酸化させたもの、もしくは上記無機物群と上記無機物群を酸化、亜酸化、次亜酸化させたものとの混合物（以後これらを称して無機酸化物とする）、上記無機物群を主たる成分とするものを窒化、亜窒化、次亜窒化させたもの、もしくは上記無機物群と上記無機物群を窒化、亜窒化、次亜窒化したものとの混合物（以後これらを称して無機窒化物とする）、上記無機物群を主たる成分とするものを酸窒化、亜酸窒化、次亜酸窒化させたもの、もしくは上記無機物群と上記無機物群を酸窒化、亜酸窒化、次亜酸窒化させたものの混合物（以後これらを称して無機酸窒化物とする）、上記無機物群を主たる成分とするものを炭化、亜炭化、次亜炭化させたもの、もしくは上記無機物群と上記無機物群を炭化、亜炭化、次亜炭化させたものとの混合物（以後これらを称して無機炭化物とする）、上記無機物群を主たる成分とするものをフッ化および／または塩素化および／または臭化および／またはヨウ化（以下、これらをハロゲン化とする）、亜ハロゲン化、次亜ハロゲン化させたもの、上記無機物群と上記無機物群をハロゲン化、亜ハロゲン化、次亜ハロゲン化させたものとの混合物（以後これらを称して無機ハロゲン化物とする）、もしくは上記無機物群と上記無機物群を硫化、亜硫化、次亜硫化させたものとの混合物（以後これらを称して無機硫化物とする）、および上記化合物に異元素をドープしたもの、グラファイト状カーボン、ダイヤモンドライクカーボン、カーボンファイバー、カーボンナノチューブ、フラーレンなどの炭素系化合物（以後これらを称し炭素系化合物とする）、およびこれらの混合物などが挙げられる。上記材料は導電層中に少なくとも含んでいればよいが、特に導電層の層厚みが１μｍ以下である場合、導電層の表面比抵抗を上述の範囲とするためには、より好ましくは主たる成分とすることがよい。なお、該層中において５０重量％を越える場合を主成分と定義する。

導電層を構成する材料が無機系導電性材料の場合、導電層の表面比抵抗Ｒ０は前述のポリエステル支持体中に含まれる末端封止剤の効果に加えて、膜中含まれる無機物群の変性（酸化、窒化、酸窒化、炭化、ハロゲン化、硫化など）の度合いや、無機物群と変性した無機物群との混合割合、その他材料との混合割合、膜厚等によっても決まる。無機物群の変性の度合いが高いほど導電層の表面比抵抗Ｒ０が高くなり、変性度合いが低いほど導電層の表面比抵抗Ｒ０が小さくなる。また、導電層に含まれる無機物群に対し変性した無機物群の割合が大きいほど表面比抵抗Ｒ０が高くなり、小さいほど表面比抵抗Ｒ０が小さくなる。また、膜厚が厚いほど表面比抵抗Ｒ０が低くなり、小さいほど表面比抵抗Ｒ０が高くなる。最適な組成、膜厚は使用する金属種や、変性方式などにより変わるが、表面比抵抗Ｒ０が上述の要件を満たすように形成される。

また、導電層を構成する材料が有機系／無機系複合導電性材料の場合（例えばｉ）マトリックスとして非導電性の非水溶性樹脂を用い、導電性材料として無機系の導電性材料を用いた場合、ｉｉ）有機系導電性材料と無機系導電性材料を併用した場合、ｉｉｉ）有機系導電性材料に無機系の非導電性材料を併用した場合、ｉｖ）無機系導電材料中に非導電性の非水溶性樹脂を分散させた場合、など）、上述の有機系導電性材料、無機系導電性材料、非水溶性樹脂、架橋剤の他、無機系の非導電性材料を適宜組み合わせて構成される。

ｉ）の場合の例としては、導電層のマトリックスとして、非水溶性樹脂を用い、無機系導電性材料を分散させた構成が挙げられる。非水溶性樹脂については、上記有機導電性材料の場合に用いるものと同様のものが好適に用いられる。また、導電層のマトリックスとなる非水溶性樹脂中に分散した無機導電性材料の形状としては、真球状、回転楕円体状、扁平体状、数珠状、板状または針状等、特に限定されない。さらには、非水溶性樹脂中に微粒子が二次元あるいは三次元的に連結したものも含まれる。なお、これら無機粒子は単一元素からなるものであっても、複数の元素からなるものであっても構わない。

上記無機系導電性材料において、導電層のマトリックスとなる非相溶性樹脂中への分散が容易という点で、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化セシウム、酸化アンチモン、酸化スズ、インジウム・スズ酸化物、酸化イットリウム、酸化ランタニウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素等の金属酸化物、カーボンブラック、カーボンファイバー、カーボンナノチューブ、フラーレンなどの炭素系微粒子等が好ましく用いられる。また、その無機系導電性材料の平均粒径は任意であるが、０．００１μｍ以上２０μｍ以下が好ましい。より好ましくは０．００５μｍ以上１０μｍ以下、特に好ましくは０．０１μｍ以上１μｍ以下、更に好ましくは０．０２μｍ以上０．５μｍ以下である。ここでいう粒子径とはメジアン径ｄ５０のことをいう。かかる粒子径が０．００１μｍ以下の場合、マトリックスとなる非水溶性樹脂中に分散することが困難となる場合があるため好ましくなく、また２０μｍ以上の場合は、均一な導電層を形成することが困難となる。無機系導電材料の平均粒径を０．００１μｍ以上２０μｍ以下とすることによって、導電性と形成したフィルムの均一性を両立することが可能となる。

また、機械的強度、耐湿熱特性を更に向上させたり、特に導電層として前記ポリエステル支持体に塗設する場合のポリエステル支持体との密着性向上させたり、特に溶液製膜としてフィルムを形成する場合や、導電層としてポリエステル支持体に塗設する場合のブロッキングを防止させたりするために非水溶性樹脂に加えて、架橋剤を含有することも好ましく行われる。架橋剤については、上記有機導電性材料の場合に用いるものと同様のものが好適に用いられる。

また、ｉｉ）やｉｉｉ）の場合の例としては、導電性材料として有機系導電性材料を用いた場合は、非水溶性樹脂、架橋剤の他、導電層の滑り性改良や、耐ブロッキング性付与、光沢度調整、表面比抵抗制御などのために微粒子を含有することも好ましく行われる。その例として、無機微粒子や有機微粒子などを使用することができる。かかる無機微粒子としては、例えば、金、銀、銅、白金、パラジウム、レニウム、バナジウム、オスミウム、コバルト、鉄、亜鉛、ルテニウム、プラセオジウム、クロム、ニッケル、アルミニウム、スズ、亜鉛、チタン、タンタル、ジルコニウム、アンチモン、インジウム、イットリウム、ランタニウム等の金属や、グラファイト状カーボン、ダイヤモンドライクカーボンなどの炭素系化合物の微粒子やカーボンナノチューブ、フラーレンなどの無機系導電性材料からなる微粒子、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化セシウム、酸化アンチモン、酸化スズ、インジウム・スズ酸化物、酸化イットリウム、酸化ランタニウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素等の金属酸化物、フッ化リチウム、フッ化マグネシウム、フッ化アルミニウム、氷晶石等の金属フッ化物、リン酸カルシウム等の金属リン酸塩、炭酸カルシウム等の炭酸塩、硫酸バリウム等の硫酸塩、その他タルクおよびカオリンなどの無機系非導電性の微粒子を用いることができる。これら微粒子の粒径（数平均粒径）は０．０５以上１５μｍ以下が好ましく、０．１以上１０μｍ以下であることが好ましい。また含有量としては、導電層を構成する全樹脂成分に対して５以上５０重量％以下が好ましく、より好ましくは６以上３０重量％以下、更に好ましくは７以上２０重量％以下である。含有する粒子の粒径を上記の範囲とすることで、表面比抵抗を上述の範囲に制御した上で、表面の滑り性を付与したり、表面の光沢度を調整できたりすることができるため好ましい。

ｉｖ）の場合の例としては、導電層と前記ポリエステル支持体を含む少なくとも２層以上の積層構造とし、導電層を構成する無機系導電材料中に非導電性の非水溶性樹脂を分散させた構成が挙げられる。無機系導電性材料については、上記無機導電性材料の場合に用いるものと同様のものが好適に用いられる。また、無機系導電性材料中に分散した非水溶性樹脂の形状としては、真球状、回転楕円体状、扁平体状、数珠状、板状または針状等、特に限定されない。さらには、無機系導電性材料中に非水溶性樹脂の微粒子が二次元あるいは三次元的に連結したものも含まれる。なお、これら非水溶性樹脂は単一の樹脂からなるものであっても、複数の樹脂からなるものであっても構わない。

また、非水溶性樹脂としては、上記非水溶性樹脂については、上記有機導電性材料の場合に用いるものと同様のものが好適に用いられる他、シリコーン系化合物、架橋スチレンや架橋アクリル、架橋メラミンなどの架橋微粒子も用いることもできる。

導電層に用いられる導電剤は有機系、無機系存在するが、有機系であることが、上記導電層の表面の不均一構造を形成し易いため好ましい。有機系導電剤は均一溶液で塗布するため、導電剤と前記ポリエステルフィルム中の末端封止剤との分子間相互作用による上記塗布むらを形成し易いが、無機系の導電剤は、不均一系で塗布されるために両者の分子間相互作用による塗布むらを形成し難いためである。

＜易接着層＞
一方、特許文献２に記載のフィルムを通常のように太陽電池バックシートを一度ロール状に巻き取ってから、必要な太陽電池バックシートを巻き出してその易接着層を太陽電池モジュールの封止剤に張り合わせたところ、密着性に問題があり、剥離発生率が高いことが判明した。
これに対し、本発明のポリエステルフィルムの好ましい態様では、前述の表面比抵抗の面内分布が不均一な導電層を設けることにより、ポリエステルフィルムの最外層に易接着層を設けたときの易接着層の密着性まで良化させることができる。いかなる理論に拘泥するものでもないが、第一に表面比抵抗の面内分布が不均一な導電層によりフィルム表面の帯電を効率的に低下することができ、製膜時にゴミ（異物）が表面に吸着するのを防ぐことができる。ここで、製膜後のポリエステルフィルムは通常巻き取られるため、導電層と裏面の易接着層が接触することとなり、導電層についたゴミが易接着層を擦り、傷を付ける。太陽電池モジュールの封止剤に易接着層を張り合わせるとき、このような傷が密着性を低下させ易い（傷を起点として剥離が発生し易くなる）ため、製膜時にゴミ（異物）が表面に吸着するのを防ぐことができることにより、本発明のポリエステルフィルムは易接着層の密着性が良好となる。また第二に、局所的に導電性の大きなところがあるほうが静電気を逃がし易いため、表面比抵抗に分布がある本発明のポリエステルフィルムは、一度ロール状に巻き取られたときにフィルムどうしが接触して発生した静電気を逃すことで、ロール状の保管されているときまたは巻き出した後にゴミが導電層に付着することをさらに防ぐことができ、易接着層の密着性が良好となる。

（厚みむら）
易接着層に０．１〜１０％の厚みむらを付与することで、密着力を向上できる。より好ましくは０．３〜８％であり、さらに好ましくは０．５〜５％である。
易接着層の厚みむらにより、ロールに巻いた際、表裏のフィルムが接触し（擦れ合い）、傷が発生するのを防ぐことができる。易接着層に厚みむら、即ち凹凸が存在することで、本発明のポリエステルフィルム同士が前面に亘り接触することを防止し、これにより発生する軋みで傷が付くのを防ぐことができる。なお、傷が付くと、そこをきっかけとして密着不良が発生し易いが、このような傷つきやすさを、上記厚みむらを易接着層に付与することで解消できる。
易接着層の厚みむらが上記範囲を超えると凸部が高すぎフィルム表裏間でスリップが発生し傷が発生し易く好ましくない。易接着層の厚みむらが上記範囲を下回ると上記効果を発現しにくい。

（厚み）
易接着層の厚みは０．０１μｍ以上１０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．０３μｍ以上５μｍ以下であり、さらに好ましくは０．０５μｍ以上２μｍ以下である。この範囲を下回ると易接着層の効果が薄れ密着力が低下し易く、上回るとこの易接着層内で凝集破壊が発生し密着力が低下し易く好ましくない。なお、このような凝集破壊はウエットサーモテストのような過酷な条件（分子切断が進行し凝集破壊し易くなった条件）において、特に有効に作用する。

（易接着層の組成）
（１）ポリマーバインダー
易接着層は、ポリマーバインダーを含有することが好ましい。ポリマーバインダーを含有する場合、固形分１００重量％あたり３０〜９０重量％含有することが好ましい。３０重量％未満であると塗布層がもろくなる結果、ＥＶＡとの接着性が保てなくなることがあり好ましくなく、９０重量％を超えると相対的にポリビニルアルコールの添加量が低下するためにＥＶＡとの接着性が低下することがあり好ましくない。

前記ポリマーバインダーとしては、好ましくはポリエステル樹脂またはアクリル樹脂を用いる。これらの樹脂のガラス転移点は、好ましくは２０〜１００℃、さらに好ましくは３０〜９０℃である。２０℃未満であるとフィルム同士のブロッキングが発生する場合があり好ましくなく、１００℃を超えると塗布層が脆くなり接着性が保てなくなる場合があるため好ましくない。

易接着層に含まれるバインダーとして、アクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、メラミン樹脂を含むことが好ましい。これらは極性がポリエステルに近く、密着力を得易く好ましい。

ポリウレタン系バインダー：
本発明において前記易接着層に用いるポリウレタン系樹脂は、特に限定されないが、例としては、ブロック型イソシアネート基を含有する樹脂であって、末端イソシアネート基を親水性基で封鎖（以下ブロックともいう）した、熱反応型の水溶性ウレタンなどが挙げられる。上記イソシアネート基を親水性基で封鎖するためのブロック化剤としては、重亜硫酸塩類及びスルホン酸基を含有したフェノール類、アルコール類、ラクタム類、オキシム類及び活性メチレン化合物類等が挙げられる。ブロック化されたイソシアネート基はウレタンプレポリマーを親水化あるいは水溶化する。フィルム製造時の乾燥あるいは熱セット過程で、上記ポリウレタン樹脂に熱エネルギーが与えられると、ブロック化剤がイソシアネート基からはずれるため、上記ポリウレタン樹脂は自己架橋した編み目に、混合した水分散性共重合ポリエステル樹脂を固定化するとともに、上記共重合ポリエステル樹脂の末端基等とも反応する。塗布液調製中の樹脂は、親水性であるために耐水性が悪いが、塗布、乾燥、熱セットして熱反応が完了すると、ウレタン樹脂の親水基すなわちブロック化剤がはずれるため、耐水性が良好な塗膜が得られる。上記ブロック化剤の内、フィルム製造工程における熱処理温度、熱処理時間でブロック化剤がイソシアネート基からはずれる点、及び工業的に入手可能な点から、重亜硫酸塩類が最も好ましい。

上記樹脂において使用される、ウレタンプレポリマーの化学組成としては、（１）分子内に２個以上の活性水素原子を有する有機ポリイソシアネート、又は分子内に少なくとも２個の活性水素原子を有する分子量が２００〜２０，０００の化合物、（２）分子内に２個以上のイソシアネート基を有する有機ポリイソシアネート、あるいは、（３）分子内に少なくとも２個の活性水素原子を有する鎖伸長剤を反応せしめて得られる、末端イソシアネート基を有する化合物である。

上記（１）の化合物として一般に知られているのは、末端又は分子中に２個以上のヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基又はメルカプト基を含むものであり、特に好ましい化合物としては、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリエーテルエステルポリオール等が挙げられる。ポリエーテルポリオールとしては、例えば、エチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシド類、スチレンオキシド、エピクロルヒドリン等を重合した化合物、又はそれら２種以上をランダム共重合若しくはブロック共重合した化合物、あるいはそれらと多価アルコールとの付加重合を行って得られた化合物がある。

ポリエステル系バインダー：
ガラス転移点が２０〜１００℃の範囲にあるポリエステル系樹脂としては、以下のような多塩基酸またはそのエステル形成誘導体とポリオールまたはそのエステル形成誘導体とから形成される。すなわち、多塩基酸成分としてはテレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、無水フタル酸、２、６−ナフタレンジカルボン酸、１、４−シクロヘキサンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ダイマー酸、５−ナトリウムスルホイソフタル酸等が挙げられる。これらの酸成分を好ましくは２種以上用いて共重合ポリエステル樹脂を合成する。また、若干量であれば不飽和多塩基酸成分のマレイン酸、イタコン酸等や、ｐ−ヒドロキシ安息香酸等の如きヒドロキシカルボン酸を併用することもできる。また、ポリオール成分としては、エチレングリコール、１、４−ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、１、６−ヘキサンジオール、１、４−シクロヘキサンジメタノール、キシレングリコール、ジメチロールプロパン、ポリ（エチレンオキシド）グリコール、ポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール等が挙げられる。

アクリル系バインダー：
ガラス転移点が２０〜１００℃の範囲にあるアクリル系樹脂としては、以下に例示するようなアクリルモノマーを重合してなるアクリル樹脂が挙げられる。このアクリルモノマーとしては、アルキルアクリレート、アルキルメタクリレート（アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等）；２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート等の水酸基含有モノマー；グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテル等のエポキシ基含有モノマー；アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸、クロトン酸、スチレンスルホン酸及びその塩（ナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩、第三級アミン塩等）等のカルボキシ基、スルホキシ基またはその塩を含有するモノマー；アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ−アルキルアクリルアミド、Ｎ−アルキルメタクリルアミド、Ｎ、Ｎ−ジアルキルアクリルアミド、Ｎ、Ｎ−ジアルキルメタクリルアミド（アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等）、Ｎ−アルコキシアクリルアミド、Ｎ−アルコキシメタクリルアミド、Ｎ、Ｎ−ジアルコキシアクリルアミド、Ｎ、Ｎ−ジアルコキシメタクリルアミド（アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基等）、アクリロイルモルホリン、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−メチロールメタクリルアミド、Ｎ−フェニルアクリルアミド、Ｎ−フェニルメタクリルアミド等のアミド基を含有するモノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸等の酸無水物のモノマー；ビニルイソシアネート、アリルイソシアネート、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルトリアルコキシシラン、アルキルマレイン酸モノエステル、アルキルフマール酸モノエステル、アルキルイタコン酸モノエステル、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニリデン、エチレン、プロピレン、塩化ビニル、酢酸ビニル、ブタジエン等のモノマーが挙げられる。

これらのなかで、水酸基を含むモノマー、例えば２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−メチロールメタクリルアミドなどが２〜２０モル％、好ましくは４〜１５モル％含まれていることが好ましい。

ポリオレフィン系バインダー：
またポリオレフィン系バインダー、例えばＳＢＲ等のゴム系樹脂も好ましく、これは柔軟な構造のために剥離応力を吸収し易く接着力を高めることができる(例えば特開昭６１−６０４２４、特許２５８３４５５、特許３６２６３０５、特許３７８３９８９、特許４０４１７８４、特許４５０５４０２に記載のものを使用できる)。また、ポリオレフィン系としては、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）系樹脂を用いることも好ましい。これは太陽電池バックシートでＰＥＴ上に積層するポリビニルアルコール系樹脂と親和性が高いためである。
ＰＶＡ系バインダーとして特開２００６−３３５８５３の［００４５］の実施例１に記載のものが好ましい。

ポリウレタン系バインダー：
本発明において前記易接着層に用いるポリウレタン系バインダーは、特に限定されないが、例としては、ブロック型イソシアネート基を含有する樹脂であって、末端イソシアネート基を親水性基で封鎖（以下ブロックともいう）した、熱反応型の水溶性ウレタンなどが挙げられる。上記イソシアネート基を親水性基で封鎖するためのブロック化剤としては、重亜硫酸塩類及びスルホン酸基を含有したフェノール類、アルコール類、ラクタム類、オキシム類及び活性メチレン化合物類等が挙げられる。ブロック化されたイソシアネート基はウレタンプレポリマーを親水化あるいは水溶化する。フィルム製造時の乾燥あるいは熱セット過程で、上記ポリウレタン樹脂に熱エネルギーが与えられると、ブロック化剤がイソシアネート基からはずれるため、上記ポリウレタン樹脂は自己架橋した編み目に、混合した水分散性共重合ポリエステル樹脂を固定化するとともに、上記共重合ポリエステル樹脂の末端基等とも反応する。塗布液調製中の樹脂は、親水性であるために耐水性が悪いが、塗布、乾燥、熱セットして熱反応が完了すると、ウレタン樹脂の親水基すなわちブロック化剤がはずれるため、耐水性が良好な塗膜が得られる。上記ブロック化剤の内、フィルム製造工程における熱処理温度、熱処理時間でブロック化剤がイソシアネート基からはずれる点、及び工業的に入手可能な点から、重亜硫酸塩類が最も好ましい。

上記樹脂において使用される、ウレタンプレポリマーの化学組成としては、（１）分子内に２個以上の活性水素原子を有する有機ポリイソシアネート、又は分子内に少なくとも２個の活性水素原子を有する分子量が２００〜２０，０００の化合物、（２）分子内に２個以上のイソシアネート基を有する有機ポリイソシアネート、あるいは、（３）分子内に少なくとも２個の活性水素原子を有する鎖伸長剤を反応せしめて得られる、末端イソシアネート基を有する化合物である。

上記（１）の化合物として一般に知られているのは、末端又は分子中に２個以上のヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基又はメルカプト基を含むものであり、特に好ましい化合物としては、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリエーテルエステルポリオール等が挙げられる。ポリエーテルポリオールとしては、例えば、エチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシド類、スチレンオキシド、エピクロルヒドリン等を重合した化合物、又はそれら２種以上をランダム共重合若しくはブロック共重合した化合物、あるいはそれらと多価アルコールとの付加重合を行って得られた化合物がある。

ポリウレタン系バインダーとしては、特開２００６−３３２０９１［００５５］に記載のウレタン系接着剤、特許４４５７３２２［００８３］の実施例１に記載の（１）塗布液、特開２００６−１７５７６４［００３２］に記載の塗布液Ａを好ましく挙げることができる。

ポリエステル系バインダー：
ポリエステル系バインダーとしてはガラス転移点が２０〜１００℃の範囲にあるものが好ましく、以下のような多塩基酸またはそのエステル形成誘導体とポリオールまたはそのエステル形成誘導体とから形成される。すなわち、多塩基酸成分としてはテレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、無水フタル酸、２、６−ナフタレンジカルボン酸、１、４−シクロヘキサンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ダイマー酸、５−ナトリウムスルホイソフタル酸等が挙げられる。これらの酸成分を好ましくは２種以上用いて共重合ポリエステル樹脂を合成する。また、若干量であれば不飽和多塩基酸成分のマレイン酸、イタコン酸等や、ｐ−ヒドロキシ安息香酸等の如きヒドロキシカルボン酸を併用することもできる。また、ポリオール成分としては、エチレングリコール、１、４−ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、１、６−ヘキサンジオール、１、４−シクロヘキサンジメタノール、キシレングリコール、ジメチロールプロパン、ポリ（エチレンオキシド）グリコール、ポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール等が挙げられる。

ポリエステル系バインダーとしては、特開２００６−２５３５６５［００５７］に記載の易接着層用塗布液、特許４５４７６４４［００８７］に記載の塗布液、特許３７７７７２５［００３３］に記載のポリエステル高分子接着剤とイソシアネート架橋系硬化剤と滑剤からなる塗布液、特許３７３１２８６の［００９０］に記載の易接着層形成液、特開２００９−２６９３０１の［００５５］に記載の塗布液、特開２００９−２４１３７３の［００１３］に記載の易接着層などを好ましく挙げることができる。

アクリル系バインダー：
ガラス転移点が２０〜１００℃の範囲にあるアクリル系樹脂としては、以下に例示するようなアクリルモノマーを重合してなるアクリル系バインダーが挙げられる。このアクリルモノマーとしては、アルキルアクリレート、アルキルメタクリレート（アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等）；２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート等の水酸基含有モノマー；グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテル等のエポキシ基含有モノマー；アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸、クロトン酸、スチレンスルホン酸及びその塩（ナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩、第三級アミン塩等）等のカルボキシ基、スルホキシ基またはその塩を含有するモノマー；アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ−アルキルアクリルアミド、Ｎ−アルキルメタクリルアミド、Ｎ、Ｎ−ジアルキルアクリルアミド、Ｎ、Ｎ−ジアルキルメタクリルアミド（アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等）、Ｎ−アルコキシアクリルアミド、Ｎ−アルコキシメタクリルアミド、Ｎ、Ｎ−ジアルコキシアクリルアミド、Ｎ、Ｎ−ジアルコキシメタクリルアミド（アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基等）、アクリロイルモルホリン、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−メチロールメタクリルアミド、Ｎ−フェニルアクリルアミド、Ｎ−フェニルメタクリルアミド等のアミド基を含有するモノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸等の酸無水物のモノマー；ビニルイソシアネート、アリルイソシアネート、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルトリアルコキシシラン、アルキルマレイン酸モノエステル、アルキルフマール酸モノエステル、アルキルイタコン酸モノエステル、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニリデン、エチレン、プロピレン、塩化ビニル、酢酸ビニル、ブタジエン等のモノマーが挙げられる。

これらのなかで、水酸基を含むモノマー、例えば２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−メチロールメタクリルアミドなどが２〜２０モル％、好ましくは４〜１５モル％含まれていることが好ましい。
またアクリル系バインダーとして、特開２００６−１５２０１３の［００８３］に記載の「他の樹脂成分Ｂ−３」、特開２０１１−２０７０４７の［００４１］に記載のアクリル樹脂、特開２００９−２４１３７３の［００１４］に記載のアクリル樹脂も好ましく用いることができる。

その他、メラミン系バインダーとして特開２００９−２４１３７３の［００１５］に記載の易接着層に記載のものが好ましい。

これらの易接着層に用いられるバインダーの中で特に好ましいのがポリエステル系のバインダーである。これは、下地の基材フィルムがポリエステルを主成分として含むポリエステル支持体であるため、これに末端封止剤分布を形成するため、親和性の高いポリエステル（下地）と、親和性の低い末端封止剤との間に親和性の差を付与し易く、易接着層の厚みムラを形成し易いためである。
具体的には下記のものが挙げられる。
特に好ましいポリエステル系バインダーとして、特開２００９−２４１３７３の［００１３］に記載の組成の易接着層、［００５０］の実施例１に記載の易接着塗布液を挙げることができる。また、ＷＯ０８／０９９８９１の［００２４］〜［００４４］に記載のようにＴｇの異なるポリエステルを用いることも好ましく、これに公報の［００４５］〜［００４９］に記載のメラミン樹脂を添加してもよい。具体的にはＷＯ０８／０９９８９１の［００７７］〜［００８１］に記載の塗布液Ａ１、Ｂ１、Ｃ１を用いることが好ましい。また、特開２００６−２１４６２の［００２４］〜［００５４］に記載のポリエステルとメラミンから成る組成物も好ましく、具体的には［０１２７］の実施例に記載のオキサゾリン、ポリエステル混合系樹脂層Ａ（オキサゾリン／ポリエステルの混合比＝１：１質量比）を挙げることができる。

（２）架橋剤
さらに、易接着層にはこれらのポリマーバインダーと架橋性化合物を共存させることも好ましい。これにより易接着層内あるいはポリエステル支持体と架橋を形成し、より密着強度を上げることができる。架橋性化合物としては、エポキシ化合物、グリシジル化合物、メラミン化合物、オキサゾリン化合物等を挙げることができる。エポキシ化合物である架橋性化合物としては、下記式（Ｉ）で表されるものを挙げることができる。

易接着層に架橋剤を含有することにより、さらに耐湿性を向上させることがでる。含有量が５重量％未満であると耐湿性向上の効果が現されないため好ましくない。２０重量％を超えて含有させると、塗膜の形成が困難となり、結果としてＥＶＡとの接着性が低下することがあり好ましくない。

（３）他のエポキシ基を有する化合物
易接着層には、架橋剤に加えて、他のエポキシ基を有する化合物も併用してもよい。これらの化合物の例としては、ソルビトトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、トリグリシジルトリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアネート、グリセロールポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテルなどのポリエポキシ化合物、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリテトラメチレングリコールジグリシジルエーテル等のジエポキシ化合物、アリルグリシジルエーテル、２−エチルヘキシルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテルなどのモノエポキシ化合物を挙げることができる。

これらのエポキシ化合物を架橋剤と併用する場合、架橋剤とこれらのエポキシ化合物との合計量が、塗液の固形分１００重量％あたり５〜２０重量％の範囲で用いることが好ましい。

（４）他の添加剤
易接着層には、さらに濡れ剤、帯電防止剤、着色剤、界面活性剤、紫外線吸収剤等を含有させてもよい。濡れ剤を含有する場合、その含有量は例えば固形分１００重量％あたり１〜２０重量％である。

なお、易接着層に含有される微粒子や架橋剤、場合によりさらに濡れ剤を比較的多く含有する場合にはポリマーバインダーの量を相対的に少なくすることで固形分の合計量が１００重量％となるようにすればよい。

＜ポリエステルフィルムの形状＞
本発明のポリエステルフィルムは、シート状であっても、ロール状に巻き取られていてもよい。本発明のポリエステルフィルムは、ロール状に巻き取られた場合であっても、導電層の表面比抵抗の面内分布を有することにより、フィルムどうしがきしんで発生した静電気を逃しやすく、ゴミの付着を抑制できる。そのため、本発明のポリエステルフィルムは、ロール状に巻き取られた場合に従来よりも特に易接着層の密着性を改善できる。

［ポリエステルフィルムの製造方法］
本発明のポリエステルフィルムの製造方法（以下、本発明の製造方法ともいう）は、ポリエステル組成物の溶融体をダイから押出し、冷却および固化させて末端カルボン酸値（ＡＶ）が３〜２０ｅｑ／ｔｏｎでかつ、ＩＶが０．６５〜０．９ｄｌ／ｇのポリエステル支持体を製造する工程と、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に導電層を形成する工程を含み、前記ポリエステル支持体の冷却時に、風量を０．１〜１０％変調させながら送風を行うことを特徴とする。
本発明のポリエステルフィルムの製造方法は、前記ポリエステル組成物が、下記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含む組成物であることが好ましい。
条件（Ａ）：ポリエステルと、該ポリエステルに対して０．１〜１０質量％の末端封止剤とを含むポリエステル組成物である。
条件（Ｂ）：１，４−シクロヘキサンジメタノール（ＣＨＤＭ）由来の構造をジオール成分の０．１〜２０モル％または８０〜１００モル％含むＣＨＤＭ系ポリエステルである。

＜ポリエステル支持体の製造＞
本発明の製造方法は、ポリエステル組成物の溶融体をダイから押出し、冷却および固化させて末端カルボン酸値（ＡＶ）が３〜２０ｅｑ／ｔｏｎでかつ、ＩＶが０．６５〜０．９ｄｌ／ｇのポリエステル支持体を製造する工程を含み、前記ポリエステル支持体の冷却時に、風量を０．１〜１０％変調させながら送風を行う。

（ポリエステル支持体の製造）
（１）ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
ポリエチレンテレフタレートを準備する。ポリエチレンテレフタレートは、次のいずれかのプロセスで製造される。すなわち、（１）テレフタル酸とエチレングリコールを原料とし、直接エステル化反応によって低分子量のポリエチレンテレフタレートまたはオリゴマーを得、さらにその後の三酸化アンチモンやチタン化合物を触媒に用いた重縮合反応によってポリマーを得るプロセス、および（２）ジメチルテレフタレートとエチレングリコールを原料とし、エステル交換反応によって低分子量体を得、さらにその後の三酸化アンチモンやチタン化合物を触媒に用いた重縮合反応によってポリマーを得るプロセスである。ここで、エステル化は無触媒でも反応は進行するが、エステル交換反応においては、通常、マンガン、カルシウム、マグネシウム、亜鉛、リチウムおよびチタン等の化合物を触媒に用いてエステル化を進行させ、またエステル交換反応が実質的に完結した後に、その反応に用いた触媒を不活性化する目的で、リン化合物を添加する場合もある。得られたＰＥＴペレットを固相重合して、固有粘度を高めることが好ましい。

（２）ポリ（１，４−シクロヘキサンジメチレンテレフタレート）（ＰＣＴ）
前記１，４−シクロヘキサンジメタノール（ＣＨＤＭ）構造を含有するポリシクロヘキサンジメチレンテレフタレート（ＰＣＴ）は、上記（１）エステル交換法、（２）直重法いずれも好ましく用いることができるが、例えば、ＷＯ２００９／１２５７０１の段落番号００８９〜００９０、０１２０〜０１２１に記載の方法も好適に用いることができる。

（３）ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）
ＰＥＮもエステル交換反応により好ましく調製されるが、具体的には特開２０１１−１５３２０９の段落番号０１７０、特開２００８−３９８０３の段落番号００４６、００６０に記載の方法も好適に用いることができる。

本発明の製造方法は、ポリエステル組成物の溶融体をダイから押し出す。前記ポリエステル組成物が、下記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含む組成物であることが好ましい。
フィルムを構成するポリエステルに末端封止剤を含有させる方法としては、末端封止剤を直接ポリエステルペレットと混合し、２７０〜２７５℃の温度に加熱したベント式二軸混練押出機を用いて、ポリエステルに練り込み高濃度マスターペレット化する方法が有効である。このときのポリエステルの固有粘度ＩＶは通常よりも高めで好ましくは０．７〜１．６である。固有粘度ＩＶは、より好ましくは１．２〜１．４である。固有粘度ＩＶが０．７より小さいと、マスターペレットのカルボキシル末端量が多くなりマスターペレット化するときに末端封止剤との反応が起こりすぎるため、ポリエステルとの押出し時に末端を封止する効果が小さくなり、カルボキシル末端量を低下させることができなくなることがある。また、固有粘度ＩＶが１．６よりも大きいと、溶融粘度が高くなりすぎるため、押出が安定せずマスターペレットが作製できないことがある。その溶融粘度を低くするために押出機の温度を上げると、末端封止剤が熱分解を起こし効果が現れないことがある。

次に、得られたポリエステルのペレットを、例えば１８０℃の温度で３時間以上減圧乾燥した後、固有粘度が低下しないように窒素気流下あるいは減圧下で、例えば２６５〜２８０℃の温度（より好ましくは２７０〜２７５℃の温度）に加熱された押出機に供給し、スリット状のダイから押出す。
その後、キャスティングロール上で冷却して未延伸フィルムを得る。この際、異物や変質ポリマーを除去するために各種のフィルター、例えば、焼結金属、多孔性セラミック、サンドおよび金網などの素材からなるフィルターを用いることが好ましい。また、必要に応じて、定量供給性を向上させるためにギアポンプを設けてもよい。フィルムを積層する場合には、２台以上の押出機およびマニホールドまたは合流ブロックを用いて、複数の異なるポリマーを溶融積層する。

ダイから押出されたメルト（融体）はキャストロールなどの上で冷却固化し、未延伸フィルムとなるが、本発明の製造方法ではこの際前記ポリエステル支持体の冷却時に、風量を０．１〜１０％変調させながら送風を行う。具体的には、キャストロール上に冷風を吹きかけ急冷を行う方法を挙げることができ、この時の冷風の風速に風速変調を与える。
ここで、厚み方向の中央部の自由体積を表面近傍に比べ低減させることで、ポリエステル支持体中の末端封止剤を表面に集めることが好ましい（末端封止剤は自由体積中に存在し易いため）。融体は自由体積が大きく、これをなるべく維持したまま固化することで自由体積を大きくすることができるため、このような自由体積の低減には融体を固化する過程で実施することが効率的である。フィルム表面を急冷し、内部を徐冷することで上記自由体積の分布を形成できる。急冷により融体の構造をそのまま固定でき、自由体積が大きくできる。なお一方、徐冷すると、温度低下に追随し自由体積が小さくなる。
本発明の製造方法ではこのような表面の急冷は、ダイから押出した融体を送風により冷却する際、送風量を０．１〜１０％変調させながら送風を行うことで達成できる。いかなる理論に拘泥するものでもないが、送風量に増減を付与することでフィルム表面に形成される境膜を破壊でき、熱伝達を向上でき、一層急冷ができるためである。

本発明の製造方法では好ましい風量変調量は０．１％以上１０％以下であり、このような変調は送風機の駆動モーターの回転数を変調させることで達成可能である。より好ましくは０．３％以上７％以下であり、さらに好ましくは０．５％以上５％以下である。この範囲の下限値以上であると、十分に急冷でき、自由体積が増加する。この結果、末端封止剤がポリエステル支持体の表面に集まりやすく、導電層、易接着層に分布を形成しやすい。一方、風速の変調が上記範囲の上限値以下であると、ポリエステル支持体の表面に末端封止剤が集まりすぎず、導電層、易接着層の分布が本発明の範囲の上限値以下となり、好ましい。
本明細書中、風速変調量とは、１分間風速を測定し、最大風速と最小風速の差を平均風速で割り百分率で示したものである。

前記ポリエステル支持体の冷却時の送風の平均風速は、４０ｍ／秒以上７０ｍ／秒以下が好ましく、より好ましくは４５ｍ／秒以上６７ｍ／秒以下、さらに好ましくは５０ｍ／秒以上６３ｍ／秒以下である。

前記ポリエステル支持体は、コロナ処理、火炎処理、低圧プラズマ処理、大気圧プラズマ処理、又は紫外線処理により表面処理が施された態様が好ましい。これらの表面処理を導電層および／または易接着層の塗付前の塗付面に施すことで、湿熱環境下に曝された場合の接着性をさらに高めることができる。中でも特に、コロナ処理を行なうことで、より優れた接着性の向上効果が得られる。
これらの表面処理によって前記ポリエステル支持体表面にカルボキシル基や水酸基が増加することにより、前記ポリエステル支持体と塗布層との接着性が高められるが、架橋剤（特にカルボキシル基と反応性の高いオキサゾリン系もしくはカルボジイミド系の架橋剤）を併用した場合により強力な接着性が得られる。これは、コロナ処理による場合により顕著である。したがって、特に前記ポリエステル支持体の塗布層が形成される側の表面がコロナ処理されていることが好ましい。

＜導電層の形成＞
本発明の製造方法は、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に導電層を形成する工程を含む。本発明の製造方法は、前記ポリエステル支持体の前記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含むポリエステル層に隣接するように、前記導電層を形成することが好ましい。
次に導電層を前記ポリエステル支持体上に形成する方法としては、蒸着法、スパッタ法などの乾式法、めっき法などの湿式法、複数台の押出機を用いて、前記ポリエステル支持体用の原料と導電層用の原料をそれぞれ別の押出機内で溶融して口金から冷却したキャストドラム上に共押出してシート状に加工する方法（共押出法）、単膜で作製した前記ポリエステル支持体に導電層用原料を押出機に投入して溶融押出して口金から押出しながらラミネートする方法（溶融ラミネート法）、前記ポリエステル支持体と導電層をそれぞれ別々に作製し、加熱されたロール群などにより熱圧着する方法（熱ラミネート法）、接着剤を介して張り合わせる方法（接着法）、その他、導電層用原料を溶媒に溶解させ、その溶液をあらかじめ作製していた前記ポリエステル支持体上に塗布する方法（コーティング法）、およびこれらを組み合わせた方法等が使用することができる。

導電層が主として有機系の材料から構成される場合や、有機系／無機系複合導電性材料でｉ）〜ｉｉｉ）の場合は、これら上述した方法のうちでは、形成される導電層の形成が容易である、共押出法、コーティング法が、より好ましい形成方法である。

共押出法により導電層を前記ポリエステル支持体上に形成する方法としては、複数台の押出機を用いて、前記ポリエステル支持体用原料、導電層用原料をそれぞれ別の押出機内で溶融して口金から共押出し、表面温度１０℃以上６０℃以下に冷却されたドラム上に静電気により密着冷却固化することで、前記ポリエステル支持体上に導電層を形成したシートを得ることができる。

また、コーティング法により導電層を前記ポリエステル支持体上に形成する方法としては、前記ポリエステル支持体の製膜中に塗設するインラインコーティング法、製膜後の前記ポリエステル支持体に塗設するオフラインコーティング法があげられ、どちらでも用いることが出来るが、より好ましくは前記ポリエステル支持体の製膜と同時にできて効率的であり、かつ導電層の前記ポリエステル支持体への接着性が高いという理由からインラインコーティング法が好ましく用いられる。また、塗設する際には、塗布液の支持体上への濡れ性向上、接着力向上の観点から前記ポリエステル支持体表面へコロナ処理なども好ましく行われる。

上記コーティング法により、導電層を前記ポリエステル支持体上へ形成する方法としては、上述の導電層を構成する材料を溶媒に溶解／分散させた塗液を前記ポリエステル支持体上に塗布、乾燥する手段が好ましく用いられる。

これらの中で特に好ましいのが塗布方式によるものであり、表面比抵抗分布を形成し易い。これは塗膜形成までに時間があり、塗布から乾燥までの間に分布を形成しやすいためである。

本発明の製造方法は、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に導電層用塗布液を塗布する工程と、乾燥ゾーン内を前記導電層用塗布液が塗布されたポリエステル支持体を搬送して前記導電層を形成する工程を含み、前記乾燥ゾーンの出口において温度分布を０．１〜１０℃付与することが好ましい。塗布後、乾燥した後、乾燥ゾーンの出口で温度分布をさらに好ましくは０．５℃以上８℃以下、さらに好ましくは１℃以上６℃以下与えることが好ましい。これにより冷却過程で温度むらを付与でき、熱膨張差を利用して導電層にむらを形成できる。この結果、導電層に表面比抵抗の面内分布を形成し易い。冷却過程の温度分布が有効な理由は、導電層が冷却固化する直前にむらを形成することが有効なためである（乾燥ゾーン内部でむらを形成しても、出口に達する時にはむらが均一化してしまっているため）。
この範囲の下限値以上であれば表面比抵抗分布を付与しやすく、好ましい。一方、この範囲の上限値以下であると表面比抵抗分布が大きくなり過ぎ難く、好ましい。
なお、特開２００９−１５８９５２の実施例［０１３１］には導電層塗布後に「均一に徐冷」しており、本発明の製造方法における乾燥ゾーンの出口において温度分布を０．１〜１０℃付与する方法とは異なる。

このような記乾燥ゾーンの出口における温度分布は、例えば乾燥ゾーンの中の温風吹き出しノズルのスリット幅に分布を与えたり、邪魔板により乾燥ゾーン中の風の流れを乱すことで達成することができる。
本明細書中における記乾燥ゾーンの出口における温度分布とは、幅方向に１０ｃｍ間隔で測定した点の最大温度と最低温度の差を示す。

前記乾燥ゾーンの平均温度は１５０℃以上２５０℃以下が好ましく、より好ましくは１６０℃以上２３０℃以下、さらに好ましくは１７０℃以上２２０℃以下である。
なお、冷却とはポリエステルフィルムのＴｇ以下にまで冷却する工程をさす（ＰＥＴの場合は６９℃）。

導電層用塗布液の塗布に引続き、テンターで延伸、熱固定を行う場合は、テンターが乾燥ゾーンを兼ねており、テンター出口で温度分布を与えることが好ましい。

このような導電層用塗布液の冷却過程での温度むらは、ポリエステル支持体を製造するときの冷却工程の風速むらの付与と併用することでより有効に機能させることができる。

＜易接着層の形成＞
本発明の製造方法は、前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に易接着層を形成する工程を含むことが好ましい。
前記易接着層の形成方法としては、前記導電層の形成方法におけるコーティング法を好ましく用いることができる。
太陽電池モジュール用バックシートは極性の高いＥＶＡと接着させるため、易接着層は極性の高いものを用いることが多い。上記導電剤の場合と同様に、ポリエステル支持体に封止剤を添加し、ポリエステル支持体の表面近傍に極性の高い樹脂を集めることで、このような易接着層とＰＥＴの相溶性を低下させ、塗布むらを発生させることができる。

導電層の塗布と易接着層の塗布を同時に行った場合は、易接着層に於いても同様の作用機構で厚みむらを形成するのに有効である。

次に、このようにして得られた未延伸フィルムを、数本のロールの配置された縦延伸機を用いて、ロールの周速差を利用して縦方向に延伸し（ＭＤ延伸）、続いてテンターにより横延伸を行う（ＴＤ延伸）という二軸延伸方法について説明する。

まず、未延伸フィルムをＭＤ延伸することが好ましい。ＭＤ延伸では最初に低温で延伸を行い、その後温度を上げて２段階延伸すると配向結晶化が起こり配向を高めることができる。最初の低温での延伸（ＭＤ１延伸）は（Ｔｇ−２０）〜（Ｔｇ＋１０）℃の範囲、さらに好ましくは（Ｔｇ−１０）〜（Ｔｇ＋５）℃の範囲にある加熱ロール群で加熱し、長手方向に好ましくは１．１〜３．０倍、より好ましくは１．２〜２．５倍、さらに好ましくは１．５〜２．０倍に延伸し、次にＭＤ延伸１温度より高温（Ｔｇ＋１０）〜（Ｔｇ＋５０）でＭＤ延伸２を行う。より好ましい温度は（Ｔｇ＋１５）〜（Ｔｇ＋３０）である。ＭＤ延伸２の好ましい延伸倍率は１．２〜４．０倍であり、より好ましくは１．５〜３．０倍である。ＭＤ延伸１とＭＤ延伸２の合わせたＭＤ延伸倍率は、好ましくは２．０〜６．０倍であり、より好ましくは３．０〜５．５倍であり、さらに好ましくは３．５〜５．０倍である。延伸後、２０〜５０℃の温度の冷却ロール群で冷却することが好ましい。

次に、テンターを用いて、幅方向の延伸を行うことが好ましい。その延伸倍率は、好ましくは２．０〜６．０倍であり、より好ましくは３．０〜５．５倍であり、さらに好ましくは３．５〜５．０倍である。また、温度は好ましくは（Ｔｇ）〜（Ｔｇ＋５０）℃の範囲であり、さらに好ましくは（Ｔｇ）〜（Ｔｇ＋３０）℃の範囲で行う（ＴＤ延伸）。
ＴＤ延伸後、熱固定処理を行うことが好ましいが、フィルムの配向緩和を抑制するために通常よりも低温で熱処理を行うことが好ましい。熱固定処理はフィルムを緊張下または幅方向に弛緩しながら、好ましくは１７０〜２３０℃の温度、より好ましくは１８０〜２２５℃の温度、さらに好ましくは１９０〜２２０℃の温度の範囲で熱処理する。熱処理時間は０．５〜１０秒の範囲で行うことが好ましい。その後、２５℃に冷却後、フィルムエッジを除去し、本発明の二軸延伸ポリエステルフィルムを得ることができる。

［太陽電池モジュール］
本発明のポリエステルフィルムは、太陽光が入射する側に配置された透明性の基材（ガラス基板等のフロント基材）と、素子構造部分（太陽電池素子及びこれを封止する封止材を含む）と、太陽電池用バックシートとが積層された「透明性のフロント基材／素子構造部分／バックシート」の積層構造を有する太陽電池において、フロント基材とバックシートとのいずれに適用されてもよい。ここで、バックシートは、電池側基板の素子構造部分からみてフロント基材が位置していない側に配置された裏面保護シートである。
本明細書中において、太陽光が入射する側に配置された透明性の基材の上に素子構造部分が配置された「透明性のフロント基材／素子構造部分」の積層構造を有する電池部分を「電池側基板」という。

具体的には、本発明の太陽電池モジュールは、太陽光が入射する透明性の基材（ガラス基板等のフロント基材）と、前記基材上に設けられ、太陽電池素子及び前記太陽電池素子を封止する封止材を有する素子構造部分と、前記素子構造部分の前記基板が位置する側と反対側に配置された既述の本発明の太陽電池用バックシート（本発明のポリエステルフィルムを含む）とを備えており、「透明性のフロント基材／素子構造部分／バックシート」の積層構造を有している。具体的には、太陽光の光エネルギーを電気エネルギーに変換する太陽電池素子が配された素子構造部分を、太陽光が直接入射する側に配置された透明性のフロント基材と、既述の本発明の太陽電池用バックシートとの間に配置し、フロント基材とバックシートとの間において、太陽電池素子を含む素子構造部分（例えば太陽電池セル）をエチレン−ビニルアセテート（ＥＶＡ）系等の封止材を用いて封止、接着した構成になっていることが好ましい。

図２は、本発明の太陽電池モジュールの構成の一例を概略的に示している。この太陽電池モジュール１０は、太陽光の光エネルギーを電気エネルギーに変換する太陽電池素子２０を、太陽光が入射する透明性の基板２４と既述の本発明のポリエステルフィルム１２との間に配置し、該基板と本発明のポリエステルフィルム１２との間をエチレン−ビニルアセテート系封止材２２で封止して構成されている。本実施形態の本発明のポリエステルフィルムは、ポリマー支持体１６の封止材２２側の一方の面側（太陽光が入射する側）に易接着層２が設けられ、他方の面上に導電層３が設けられている。

太陽電池モジュール、太陽電池セル、バックシート以外の部材については、例えば、「太陽光発電システム構成材料」（杉本栄一監修、（株）工業調査会、２００８年発行）に詳細に記載されている。

前記透明性の基材は、太陽光が透過し得る光透過性を有していればよく、光を透過する基材から適宜選択することができる。発電効率の観点からは、光の透過率が高いものほど好ましく、このような基板として、例えば、ガラス基板、アクリル樹脂などの透明樹脂などを好適に用いることができる。

前記太陽電池素子としては、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコンなどのシリコン系、銅−インジウム−ガリウム−セレン、銅−インジウム−セレン、カドミウム−テルル、ガリウム−砒素などのＩＩＩ−Ｖ族やＩＩ−ＶＩ族化合物半導体系など、各種公知の太陽電池素子を適用することができる。

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。

［参考例１−１］
（ポリエステルの調製：ＰＥＴ）
テレフタル酸ジメチル１００質量部とエチレングリコール６４質量部とをエステル交換反応装置に仕込み、内容物を１４０℃の温度に加熱して溶解した。その後、内容物を撹拌しながら、酢酸カルシウム０．０９質量部および三酸化アンチモン０．０３質量部を加え、１４０〜２３０℃の温度でメタノールを留出しつつエステル交換反応を行った。次いで、酢酸リチウム０．１８質量部とリン酸トリメチルの５重量％エチレングリコール溶液を４．８質量部（リン酸トリメチルとして０．２４質量部）添加した。

トリメチルリン酸のエチレングリコール溶液を添加すると、反応内容物の温度が低下する。そこで、余剰のエチレングリコールを留出させながら、反応内容物の温度が２３０℃に復帰するまで撹拌を継続した。このようにしてエステル交換反応装置内の反応内容物の温度が２３０℃に達したら、反応内容物を重合装置に移行した。

反応内容物を重合装置に移行後、反応系を２３０℃から２９０℃の温度にまで徐々に昇温するとともに、圧力を０．１ｋＰａまで下げた。最終温度２９０℃と最終圧力０．１ｋＰａ到達までの時間はともに６０分とした。最終温度と最終圧力に到達した後、２時間（重合を始めて３時間）反応させたところ、重合装置の撹拌トルクが所定の値（重合装置の仕様によって具体的な値は異なるが、本重合装置で固有粘度０．５５のポリエチレンテレフタレートが示す値を所定の値とした）を示した。そこで反応系を、窒素パージし常圧に戻して重縮合反応を停止し、冷水にストランド状に吐出し、直ちにカッティングして、固有粘度０．５５、末端カルボン酸量（ＡＶ）＝２９のポリエチレンテレフタレートのＰＥＴペレットであるＰＥＴ樹脂−Ａ（３ｍｍ立方）を得た。

［参考例１−２］
（ポリエステルの調製：ＰＣＴ）
第１工程：ジカルボン酸成分としてイソフタル酸（ＩＰＡ）とテレフタル酸（ＴＰＡ）、ジオール成分としてシクロヘキサンジメタノール（ＣＨＤＭ）、エチレングリコール（ＥＧ）を用い、触媒として酢酸マグネシウム、三酸化アンチモンを１５０℃、窒素雰囲気下で溶融後、攪拌しながら２３０℃まで３時間かけて昇温し、メタノールを留出させ、エステル交換反応を終了した。この際、ＩＰＡ、ＴＰＡ、ＣＨＤＭ、ＥＧの添加量を変えることで下記組成のＣＨＤＭ系ポリエステルを得た。
第２工程：エステル交換反応終了後、リン酸をエチレングリコールに溶解したエチレングリコール溶液を添加した。
第３工程：重合反応を最終到達温度２８５℃、真空度０．１Ｔｏｒｒで行い、ポリエステルを得、これをペレット化したＰＣＴ樹脂−Ａ（３ｍｍ立方）を得た。

［参考例１−３］
（ポリエステルの調製：ＰＥＮ）
ナフタレン−２，６−ジカルボン酸ジメチル１００部、およびエチレングリコール６０部を、エステル交換触媒として酢酸マンガン四水塩０．０３部を使用し、１５０℃から２３８℃に徐々に昇温させながら１２０分間エステル交換反応を行なった。途中反応温度が１７０℃に達した時点で三酸化アンチモン０．０２４部を添加し、エステル交換反応終了後、リン酸トリメチル（エチレングリコール中で１３５℃、５時間０．１１〜０．１６ＭＰａの加圧下で加熱処理した溶液：リン酸トリメチル換算量で０．０２３部）を添加した。その後反応生成物を重合反応器に移し、２９０℃まで昇温し、２７Ｐａ以下の高真空下にて重縮合反応を行って、固有粘度が０．６１ｄｌ／ｇのポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレートを得た。これをＰＥＮ−Ａと称する。

［参考例２］
回転型真空重合装置を用いて、上記の参考例１−１、１−２で得られたＰＥＴ、ＰＣＴペレットであるＰＥＴ樹脂−Ａ、ＰＣＴ樹脂−Ａを０．１ｋＰａの減圧下２３０℃の温度で表１記載の時間加熱処理し、固相重合を行った。固相重合時間、温度を変えることで、各実施例および比較例で用いた下記表１および表２に記載のＡＶ、ＩＶのポリエチレンテレフタレートであるＰＥＴ−Ｂ、ＰＣＴ−Ｂを得た。なお、固相重合時間を長くすることでＩＶは増加、ＡＶは減少し易く、固相重合温度を上げることでＡＶは増加しＩＶは低下し易い。
本発明では、得られたポリエチレンテレフタレート、ＰＣＴのカルボキシル末端基濃度（ＡＶ）は、ポリエステル０．５ｇをｏ−クレゾールに溶解し、水酸化カリウムを用いて電位差滴定して測定し、カルボキシル末端基濃度を求めた。
また、得られたポリエチレンテレフタレート、ＰＣＴの固有粘度（ＩＶ）は、ポリエステルをオルトクロロフェノールに溶解し、２５℃で測定した溶液粘度から、下式より固有粘度を得た。
ηｓｐ／Ｃ＝［η］＋Ｋ［η］²・Ｃ
ここで、ηｓｐ＝(溶液粘度/溶媒粘度）−１であり、Ｃは、溶媒１００ｍｌあたりの溶解ポリマー重量であり（本測定では１ｇ／１００ｍｌとする)、Ｋはハギンス定数（０．３４３とする）であり。また、溶液粘度、溶媒粘度はオストワルド粘度計を用いて測定した。

［参考例３］
（ポリエステルと末端封止剤を含むマスターペレットの製造）
各実施例および比較例でそれぞれ固相重合して得られたＰＥＴ−Ｂ、ＰＣＴ−Ｂ、ＰＥＮ−Ａの９０質量部と、下記末端封止剤から選定した下記表１および表２に記載した封止剤１０質量部とをブレンドし、２軸混練機に供給して２８０℃で溶融混練し、これをストランド状に水中吐出し、カッターで裁断しチップ化した。これを各実施例および比較例で用いたＰＥＴ−Ｃ、ＰＣＴ−Ｃ、ＰＥＮ−Ｃ（マスターペレット）とした。
・末端封止剤イ） カルボジイミド：スタビライザー９０００（ラシヒ社製）、Ｍｗ＝２００００
・末端封止剤ロ） カルボジイミド：スタバクゾールＰ（ラインケミ社製）、Ｍｗ＝２６００
・末端封止剤ハ） カルボジイミド：Ｎ、Ｎ’−ジシクロヘキシルカルボジイミド、Ｍｗ＝２０６
・末端封止剤ニ） カルボジイミド：特開２０１１−１５３２０９号公報［０１７４］および［０１７５］に記載の環状カルボジイミド化合物（２）、Ｍｗ＝５１６
・末端封止剤ホ） エポキシ：特開２０１０−１１６５６０号公報［０１１５］に記載の鎖延長剤１、Ｍｗ＝３３００
・末端封止剤へ） オキサゾリン：エポクロスＲＰＳ−１００５（日本触媒（株）製）、Ｍｗ＝５０００
・末端封止剤ト）、チ） ポリカルボジイミド：下記合成法に従って合成したポリカルボジイミドであり、それぞれＭｗ＝７００００、Ｍｗ＝１０００００
（合成法）
Ｊ． Ｏｒｇ． Ｃｈｅｍ． ２８， ２０６９−２０７５（１９６３）に従い、１，３，５−トリイソプロピルフェニレン−２，４−イソシアネートを原料にして末端封止剤 ト）およびチ）を重合した。各末端封止剤の分子量の調整は重合時間で行い、反応温度を冷却することで反応を終了させた。
・末端封止剤リ）カルボジイミド：スタバクゾールＰ１００（ラインケミ社製）、Ｍｗ＝１００００
・末端封止剤ヌ）カルボジイミド：スタバクゾールＰ４００（ラインケミ社製）、Ｍｗ＝２００００
・末端封止剤ル） カルボジイミド：特開２０１１−１５３２０９号公報［０１７１］および［０１７２］に記載の環状カルボジイミド化合物（１）、Ｍｗ＝２５２

なお、上記の各末端封止剤の分子量は以下の方法で測定した。
ＧＰＣにより重量平均分子量を測定した。
テトラヒドロフランを展開溶媒に用い、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーを用い下記装置を用い測定した。
装置：ＨＬＣ８１２０（（株）東ソー製）
カラム：ＧＭＨＨＲ−Ｈ＋ＧＭＨＨＲ−Ｈ＋Ｇ２０００ＨＨＲ

［実施例１〜２８、３５〜４１、４６〜６０および比較例１〜４］
＜ポリエステルフィルムの製膜＞
ｉ)押出し
上記にて各実施例および比較例用に下記表１および表２に記載のようにＡＶとＩＶを調整したＰＥＴ−ＢとＰＥＴ−Ｃをそれぞれ混合し、１８０℃で３時間減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、押出し機に投入した。この際、下記表１および表２記載の封止剤濃度となるよう、ＰＥＴ−ＢとＰＥＴ−Ｃの混合比を調整した。これをギアポンプ、濾過器を経由しＴ−ダイから吐出し、２５℃のキャスティングドラム上に静電印加をかけながらキャストした。
この後、２５℃の空気を風速６０ｍ／分をスリットノズルからキャストした樹脂上方から吹付けて、冷却固化し、ポリエステル支持体の未延伸シートを得た。この冷却固化の時、吹き付ける空気の風速に下記表１および表２記載の変調を付与した。なお、風量（風速）の変調は空気を吹き出すブロアーのモーター回転数を変えることで達成した。
ｉｉ）延伸
得られた未延伸シートを加熱ロールで７５℃に予熱した後、８０℃で１．８倍ＭＤ延伸１を行い、さらに９５℃で２．３倍ＭＤ延伸２を行った。この後、両面にコロナ処理を施した。

ｉｉｉ）塗布型導電層の形成
その後、ポリエステル支持体の片面に下記ａ）〜ｄ）およびｇ）から選定した導電層塗布液（下記表１および表２に記載）をメタリングバーで塗設した。なお、厚みは下記表１および表２の値となるよう、メタリングバーの番手を変えて調整した。

ａ）非水溶性カチオン系導電材料
特開２００９−１５８９５２号公報の［０１３０］および［０１３１］を元に、下記表１および表２の表面比抵抗になるように導電材料の量（濃度）を調整した塗布液ａを調製した。但し、比較例１、実施例１〜７および比較例２内は同一処方で実施し、実施例８〜１３内は別の同一処方で実施し、実施例３６〜３８内は別の同一処方で実施し、実施例４７〜６０内は別の同一処方で実施した。これらは各一連の実施例および比較例では、同一処方でも得られた導電膜の表面比抵抗に差が発生しており、製膜条件が表面比抵抗に影響する。
（塗布液ａ）
・非水溶性カチオン系導電性材料の水分散体："ＢＯＮＤＥＩＰ−ＰＭ（登録商標）"主剤（コニシ油脂（株）製、固形分３０％）
下記表１および表２の表面比抵抗になる量
・アクリル系樹脂水分散体：メチルメタクリレート／エチルアクリレート／アクリル酸／Ｎ−メチロールアクリルアミド＝６２／３５／２／１（重量比）共重合アクリル樹脂（ガラス転移温度：４２℃）を粒子状に固形分１０％で水に分散させたもの。 ３質量部
・オキサゾリン基含有化合物水分散体："エポクロス（登録商標）"ＷＳ−５００（日本触媒（株）製、固形分４０％） ０．７５質量部
・アセチレンジオール系界面活性剤："オルフィン（登録商標）"ＥＸＰ４０５１Ｆ（日信化学工業（株）製） ０．１質量部
・水 ７８．１５質量部

ｂ）非水溶性ポリチオフェン系導電材料
特開２００９−１５８９５２号公報の［０１４１］および［０１４２］を元に、下記表１の表面比抵抗になるように導電材料の量（濃度）を調整した塗布液ｂを調製した。但し、上記ａ）と同様に一連の比較例３、実施例１４〜１８および比較例４内は別の同一処方で実施した。
（塗布液ｂ）
・非水溶性ポリチオフェン系導電性高分子水分散体："Ｂａｙｔｒｏｎ（登録商標）"Ｐ（Ｂａｙｅｒ社／Ｈ．Ｃ．Ｓｔａｒｋ社（ドイツ国）製、固形分１．２％）
下記表１および表２の表面比抵抗になる量
・非水溶性ポリエステル系樹脂：酸成分としてテレフタル酸／イソフタル酸／５―スルホイソフタル酸ナトリウム＝６０／３０／１０とジオール成分としてエチレングリコール／ジエチレングリコール／ポリエチレングリコール＝９５／３／２とを共重合したポリエステル樹脂（ガラス転移温度４８℃）を１０重量％の濃度で分散させたもの
２．５質量部
・エポキシ系架橋剤：ポリグリセロールポリグリシジルエーテル系エポキシ架橋剤ＥＸ−５１２（分子量約６３０）（ナガセケムテックス（株）製） ０．２５質量部
・アセチレンジオール系界面活性剤："オルフィン（登録商標）"ＥＸＰ４０５１Ｆ
０．１質量部
・水 ３２．１質量部

ｃ）水溶性カチオン系材料
特開２００９−１５８９５２号公報の［０１６６］を元に、下記表１の表面比抵抗になるように導電材料の量（濃度）を調整した塗布液ｃを調製した。但し、上記ａ）と同様に一連の実施例１９〜２３内は別の同一処方で実施した。
（塗布液ｃ）
・水溶性カチオン系材料：ポリスチレンスルホン酸アンモニウム塩（重量平均分子量：６５０００）
下記表１および表２の表面比抵抗になる量
・非水溶性アクリル系樹脂：メチルメタクリレート／エチルアクリレート／アクリル酸／Ｎ−メチロールアクリルアミド＝６２／３５／２／１（重量比）共重合アクリル樹脂（ガラス転移温度：４２℃）を粒子状に固形分１０％で水に分散させたもの。
３５質量部
・オキサゾリン基含有化合物水分散体："エポクロス（登録商標）"ＷＳ−５００（日本触媒（株）製、固形分４０％） ４．２質量部
・アセチレンジオール系界面活性剤："オルフィン（登録商標）"ＥＸＰ４０５１Ｆ（日信化学工業（株） ０．１質量部
・水 ５９．２質量部

ｄ）カーボンナノチューブ水分散体
特開２００９−１５８９５２号公報の［０１８５］を元に、下記表１の表面比抵抗になるように導電材料の量（濃度）を調整した塗布液ｄを調製した。
（塗布液ｄ）
・カーボンナノチューブ水分散体（純水９７．１５重量部に２層ＣＮＴ（サイエンスラボラトリー社、純度９５％）０．８５重量部、ポリビニルピロリドン２重量部を添加し、超音波破砕機（東京理科機器（株）製ＣＸ−５０２，出力２５０Ｗ、直接照射）を用いて３０分間超音波処理して得たもの）
下記表１の表面比抵抗になる量
・非水溶性アクリル系樹脂：メチルメタクリレート／エチルアクリレート／アクリル酸／Ｎ−メチロールアクリルアミド＝６２／３５／２／１（質量比）共重合アクリル樹脂（ガラス転移温度：４２℃）を粒子状に固形分１０％で水に分散させたもの
２．５質量部
・水 ９２．５質量部

ｇ）非水溶性ポリチオフェン系高分子水分散体
特開２００９−１５８９５２号公報の［０２３３］を元に、下記表１の表面比抵抗になるように導電材料の量（濃度）を調整した塗布液ｇを調製した。但し、上記ａ）と同様に一連の実施例２４〜２７内は同一処方で実施した。
・非水溶性ポリチオフェン系導電性高分子水分散体："Ｂａｙｔｒｏｎ（登録商標）"Ｐ（Ｂａｙｅｒ社／Ｈ．Ｃ．Ｓｔａｒｋ社（ドイツ国）製、固形分１．２％）
下記表１および表２の表面比抵抗になる量
・アセチレンジオール系界面活性剤："オルフィン（登録商標）"ＥＸＰ４０５１Ｆ（日信化学工業（株）製） ０．１質量部
・水 １６．９質量部

ｉｖ）易接着層付与
ポリエステル支持体の前記導電層が形成された面の反対面に、下記表１に記載した易接着層用の塗布液を調製し、メタリングバーで塗設した。なお、易接着層の厚みは下記表１の値となるよう、メタリングバーの番手を変えて調整した。

塗布液Ａ−１：
特開２００６−１５２０１３号公報の［００８３］に記載の「他の樹脂成分Ｂ−３」を用いたアクリル系の易接着層用塗布液を調製した。
Ｕ−１：特開２００６−３３２０９１号公報の［００５５］に記載のウレタン系接着剤を調製した。
Ｕ−２：特許４４５７３２２号公報の［００８３］の実施例１に記載のウレタン系の（１）塗布液を調製した。
Ｕ−４：特開２００６−１７５７６４号公報の［００３２］に記載のウレタン系の塗布液Ａを調製した。
Ｅ−１：特開２００６−２５３５６５号公報の［００５７］に記載のポリエステル系の易接着層用塗布液を調製した
Ｅ−２：特許４５４７６４４号公報の［００８７］に記載のポリエステル系の塗布液を調製した
Ｅ−３：特許３７７７７２５号公報の［００３３］に記載のポリエステル高分子接着剤とイソシアネート系架橋系硬化剤と滑剤からなる、ポリエステル系の塗布液を調製した
Ｅ−５：特許３７３１２８号公報６の［００９０］に記載のポリエステル系の易接着層形成液を調製した
Ｅ−６：特開２００９−２６９３０１号公報の［００５５］に記載のポリエステル系の塗布液を調製した
Ｖ−１：特開２００９−２６９３０１号公報の［００４５］の実施例１に記載のＰＶＡ系の塗布液を調製した。

ｖ）導電層および易接着層の付与後の延伸および緩和処理
この後、１２０℃で予熱、乾燥した後、１１５℃で幅方向に４．０倍延伸し、引続き１７０℃で１０秒間熱処理した後、１７０℃で幅方向に４％緩和した。

ｖｉ）導電層および易接着層の付与後の温度むらを付与する乾燥
延伸および緩和処理後、表１記載の温度むらを付与しながらフィルムを乾燥し、冷却した。フィルムを乾燥するときに、乾燥ゾーン中の温風吹き出しノズルのスリット幅に分布を与えて、乾燥ゾーン出口の温度むらを付与した。塗布乾燥出口の温度むらは、乾燥ゾーン出口に、幅方向に１０ｃｍ間隔で非接触温度計を設置し、測定した最大温度と最低温度の差を測定した。そのときの値を下記表１および表２に記載した。

ｖｉｉ）巻き取り
乾燥および冷却後のフィルムの両端をスリットし、厚みだし加工（ナーリング）を行い、１ｍ幅で２０００ｍ巻き取った。得られたフィルムを各実施例および比較例のポリエステルフィルムとした。

［実施例４２］
導電層を形成しない以外は実施例１〜２８、３５〜４１および４６〜６０の塗布型導電層と同様に製膜した。但し、コロナ処理は易接着層面のみに行った。
製膜後のフィルムの、易接着層の反対面（塗布を行っていない面）に、下記ｅ）酸化アルミニウム層を０．１５μｍ付与した。
ｅ）酸化アルミニウム層
特開２００９−１５８９５２号公報の［０１９２］を元にして、下記表２の表面比抵抗になるように導電材料の量（濃度）を調整した。具体的には、得られたフィルムを電子ビーム蒸着装置にセットし、揮発源として純度９９．９９９％のアルミニウムを用い、真空度３．４×１０^-5Ｐａ、蒸着速度１０オングストローム／ｓｅｃ、蒸着源―基材間距離２５ｃｍの条件下で、フィルム面の法線方向から酸素ガスを３５０ｓｃｃｍ導入しながらアルミニウムを電子ビーム蒸着し、膜厚０．１５μｍのアルミニウム酸化物からなる蒸着型導電層を形成した。
得られたフィルムを実施例４２のポリエステルフィルムとした。

［実施例４３〜４５］
ＰＥＴ−ＢとＰＥＴ−Ｃを混合し、１８０℃で３時間減圧乾燥したものを表２に記載の封止剤含率となるよう配合し、これを主押出し機に供給した。一方、副押出し機には、１８０℃で３時間減圧乾燥したＰＥＴ−Ｂ ８５質量部と、１００℃で６時間乾燥した下記ｆ）にて調製したポリエーテルアミド系導電高分子材料“ＩＲＧＡＳＴＡＴ”Ｐ１８（チバ・ジャパン（株）製）１５質量部を供給した。
主押出し機、副押出し機で混練した溶融樹脂を２層フィードブロックで合流させ、溶融２層積層共押出しを行った。なお下記表２の導電層の厚みとなるように、副押出し機の吐出量を調整した。
この後、実施例１〜２８、３５〜４１および４６〜６０の塗布型導電層を塗布した後と同様に、縦延伸、コロナ処理、易接着層の塗布、横延伸、熱処理、緩和、スリット、厚みだし加工を行い１ｍ幅で２０００ｍ巻き取った。但し易接着層の塗布は導電層の反対面に行い、コロナ処理は易接着層面にのみ実施した。

［実施例６１および比較例９］
末端封止剤をポリエステル支持体に添加していない特開２００９−１５８９５２号公報の実施例１−１の追試を行った例を比較例４１として、比較例９のポリエステルフィルムの構造、製造条件を下記表２に記載した。
また、比較例９に対し、ポリエステル支持体中の末端封止剤ヌ）を添加し、ポリエステル支持体の冷却固化時の風量変調を付与し、導電層および易接着層を形成した後の最終的な塗布乾燥出口の温度ムラを付与して、実施例６１のポリエステルフィルムを製造した。
なお、下記表２中の実施例６１および比較例９の易接着層に記載いたタケラック タケネート^*は特開２００９−１５８９５２号公報の［０１３２］に記載のものである。
また、表２中の比較例９、実施例６１は特開２００９−１５８９５２号公報の実施例１の［００７５］記載の真空重合装置を使用した。

［実施例６２および比較例１０］
特開２０１０−２３５８２４号公報の実施例１に記載のポリカルボジイミドを含むポリエステル支持体に、特開２００９−１５８９５２号公報の実施例１−１の導電層および易接着層を組み合わせて積層させた例を比較例１０として、比較例１０のポリエステルフィルムの構造、製造条件を下記表２に記載した。
また、比較例１０に対し、ポリエステル支持体の冷却固化時の風量変調を付与し、導電層および易接着層を形成した後の最終的な塗布乾燥出口の温度ムラを付与して、実施例６２のポリエステルフィルムを製造した。
なお、下記表２中の実施例６２および比較例１０の末端封止剤の種類に記載したポリカルボジイミド^**は特開２００９−１５８９５２号公報の［００７７］および［００７８］に記載のものである。下記表２中の実施例６２および比較例６１０の易接着層に記載したタケラック タケネート^*は特開２００９−１５８９５２号公報の［０１３２］に記載のものである。

［比較例５〜８、実施例２９〜３４］
末端封止剤を添加する前のＰＥＴ−樹脂Ａを用いて、下記表１に記載の特性を有するように下記表１の条件で製造したポリエステル支持体を用い、下記表１に記載のように導電層および易接着層を製造した以外は実施例１〜２８、３５〜４１および４６〜６０と同様にして、比較例５〜８、実施例２９〜３４のポリエステルフィルムを製造した。なお、比較例７、８、実施例３２〜３４はＩＶ、ＡＶを固相重合条件で調整したものである。

［ポリエステルフィルムの構造分析］
上記のように製膜した各実施例および比較例のポリエステルフィルムの構造を以下の方法にしたがって解析した。その結果をそれぞれ下記表１および表２に示した。
（導電層の厚みおよび厚み分布）
各実施例および比較例のポリエステルフィルムの断面をミクロトームで切削し、ＴＥＭ観察し、導電層の厚みを求めた。
また、縦、横それぞれ４ｃｍ間隔に４本ずつ線を描き、その交点１６点について、上述の方法で導電層の厚みを測定した。この最大値と最小値の差を平均値で割り百分率で表したものを導電層の厚み分布とした。

（易接着層の厚みおよび厚みむら）
各実施例および比較例のポリエステルフィルムの断面をミクロトームで切削し、ＴＥＭ観察し、易接着層の厚みを求めた。
１００μｍごとに３０点の易接着層の厚みを測定した。この最大値と最小値の差を平均値で割り百分率で表したものを易接着層の厚みむらとした。

［ポリエステルフィルムの物性］
上記のように製膜した各実施例および比較例のポリエステルフィルムの物性を、以下の測定方法に従い測定した。その結果をそれぞれ下記表１および表２に示した。

（表面比抵抗Ｒ０）
デジタル超高抵抗微小電流計Ｒ８３４０（（株）アドバンテスト製）で測定を実施した。ただし、表面比抵抗が１０⁵Ω／□以下の場合は、ＡＳＰプローブを備えたロレスターＥＰ（（株）ダイアインスツルメンツ製）を用いた。なお、測定は各実施例および比較例のポリエステルフィルムの面内において任意の１０カ所で測定を実施し、その平均値でもって、表面比抵抗Ｒ０とした。また、測定試料は２３℃、相対湿度６５％の室内で一晩放置したものを用いて測定を実施した。

（表面比抵抗Ｒ０の分布）
各実施例および比較例のポリエステルフィルムを２０ｃｍ四方の正方形に切り出した。これに縦、横それぞれ４ｃｍ間隔に４本ずつ線を描き、その交点１６点について上記方法で表面比抵抗を測定した。
この最大値と最小値の差を平均値で割り百分率で表したものを表面比抵抗の面内分布とした。

［ポリエステルフィルムの評価］
上記のように製膜した各実施例および比較例のポリエステルフィルムを、以下の評価方法に従い評価した。その結果をそれぞれ下記表１および表２に示した。

（密着性（剥離発生率）評価）
各実施例および比較例のポリエステルフィルムの易接着層側に縦、横５ｍｍ間隔に各１０本の切れ込み（升目）を剃刀で入れた。
これを１２０℃、相対湿度１００％中３０時間サーモ処理した。
その後、粘着テープ（日東電工（株）製ポリエステル粘着テープ Ｎｏ．３１Ｂ）を貼り付け、勢いよく引き剥がした。
易接着層に剥離が発生した升目を数え、全升目の数で割り百分率で表したものを剥離発生率とした。

（耐電圧（部分放電電圧の向上率）評価）
ポリエステル支持体、導電層および易接着層を有する各実施例および比較例のポリエステルフィルムの部分放電電圧を、導電層が無いポリエステル支持体の１層のみのときの部分放電電圧で割り、これを部分放電電圧の向上率とした。
部分放電試験器ＫＰＤ２０５０（菊水電子工業（株）製）を用い、部分放電電圧を求めた。なお試験条件は下記のとおりとする。
出力シートにおける出力電圧印加パターンは、１段階目が０Ｖから所定の試験電圧までの単純に電圧を上昇させるパターン、２段階目が所定の試験電圧を維持するパターン、３段階目が所定の試験電圧から０Ｖまでの単純に電圧を降下させるパターンの３段階からなるパターンのものを選択する。
周波数は５０Ｈｚとする。試験電圧は１ｋＶとする。
１段階目の時間Ｔ１は１０ｓｅｃ、２段階目の時間Ｔ２は２ｓｅｃ、３段階目の時間Ｔ３は１０ｓｅｃとする。
パルスカウントシートにおけるカウント方法は「＋」（プラス）、検出レベルは５０％とする。
レンジシートにおける電荷量はレンジ１０００ｐｃとする。
プロテクションシートでは、電圧のチェックボックスにチェックを入れた上で２ｋＶを入力する。また、パルスカウントは１０００００とする。
計測モードにおける開始電圧は１．０ｐｃ、消滅電圧は１．０ｐｃとする。
なお、測定は、Ａ面側を上部電極側とする場合、Ａ面側を下部電極側にする場合、それぞれについてフィルム面内において任意の１０カ所で測定を実施し、その平均値を求め、それぞれの平均値のうちより高い方の値でもって、部分放電電圧Ｖ０とした。また、測定試料は、２３℃、相対湿度６５％の室内で一晩放置したものを用いて測定を実施した。

上記表１および表２より、本発明のポリエステルフィルムは、各比較例のポリエステルフィルムと比較して、耐電圧向上率が大幅に上昇したことがわかった。実施例２４では、末端封止剤の分子量が小さいにもかかわらず良好な性能を発現することがわかった。これは環状構造に起因すると予想される。
一方、導電層の表面比抵抗の値が本発明の下限値を下回る比較例１のポリエステルフィルムは、耐電圧向上率が低かった。導電層の表面比抵抗の値が本発明の上限値を上回る比較例２のポリエステルフィルムは、耐電圧向上率が低かった。末端封止剤を添加せず、導電層の表面比抵抗の値が本発明の下限値を下回る比較例３のポリエステルフィルムは、耐電圧向上率が低かった。末端封止剤を多量に添加し、導電層の表面比抵抗の値が本発明の上限値を上回る比較例４のポリエステルフィルムは、耐電圧向上率が低かった。特開２００９−１５８９５２号公報の実施例１−１の追試を行った比較例５のポリエステルフィルムは、耐電圧向上率が低かった。さらに、特開２０１０−２３５８２４号公報の実施例１に記載のポリカルボジイミドを含むポリエステル支持体に、特開２００９−１５８９５２号公報の実施例１−１の導電層および易接着層を組み合わせて積層させた例を比較例６のポリエステルフィルムは、耐電圧向上率が低かった。
なお、本発明のポリエステルフィルムは易接着層の密着性も良好であり、各比較例のフィルムは易接着層の密着性が悪かった。
また、実施例３０および実施例３３と、末端封止剤を添加した実施例を比較すると、フィルムおよび太陽電池モジュール評価での密着性が末端封止剤を添加することにより改善された。いかなる理由に拘泥するものでもないが、末端封止剤によりＰＥＴの結晶性が低下、表面が柔らかくなり密着性が向上。柔らかい表面層がクッション層となり剥離応力を分散するためと推定される。また、ＰＣＴでも同様の効果があり、ＰＣＴはＰＥＴほど強固な結晶構造を取り難く、密着が低下し難い。このような密着不良が少ないことにより、密着不良箇所において帯電層にひび割れが発生し難くなり、ＰＣＴ、封止剤を用いた場合は耐電圧がより向上し、耐電圧向上率が向上すると推定される。

［実施例１０１〜１６２］
［太陽電池モジュールの作製と評価］
ポリエステル支持体の一方の側に易接着層を有し、他方の側に導電層を有する実施例１〜６２のポリエステルフィルムを、太陽電池モジュール用バックシートとして用いて以下の方法で、太陽電池モジュールを作成した。
厚さ３ｍｍの強化ガラスと、ＥＶＡシート（三井化学ファブロ（株）製のＳＣ５０Ｂ）と、結晶系太陽電池セルと、ＥＶＡシート（三井化学ファブロ（株）製のＳＣ５０Ｂ）と、太陽電池モジュール用バックシートをこの順に重ね合わせ、真空ラミネータ（日清紡（株）製、真空ラミネート機）を用いてホットプレスすることにより、ＥＶＡと接着させた。この時、太陽電池モジュール用バックシートの易接着層２がＥＶＡシートと接触するように配置した。また、接着方法は、以下の通りである。
<接着方法>
真空ラミネータを用いて、１２８℃で３分間の真空引き後、２分間加圧して仮接着した。その後、ドライオーブンにて１５０℃で３０分間、本接着処理を施した。
作製した太陽電池モジュール１０１〜１６２について、発電運転をしたところ、いずれも太陽電池として良好な発電性能を示した。なお、評価は上記太陽電池モジュールを８５℃、相対湿度８５％で３０００時間サーモ処理した後、バックシートの発生した密着はがれ箇所の数を計測し単位面積（ｍ²）あたりの数に換算した。これを表１および表２に示した。
さらに太陽電池モジュールに組み込んだ後にも耐電圧向上率を測定したが、本発明の太陽電池モジュールはフィルムのときと同様に良好な性能を示した。この結果についても表１および表２に示した。

［実施例２０１〜２１５および比較例２０１］
＜ＰＣＴ系フィルム＞
上記で重合したＰＣＴ樹脂（ＰＣＴ−Ａ）のうち、ＣＨＤＭが２０モル％以下のもの（低ＣＨＤＭ）およびＰＥＴ（ＣＨＤＭ＝０モル％）は、上記の方法で固相重合した（ＰＣＴ−Ｂ）。
一方、ＣＨＤＭ含率が８０モル％以上のもの（高ＣＨＤＭ）は固相重合せずにそのまま用いた（ＰＣＴ−Ａ）。
これを上述の方法に従い製膜した。但し高ＣＨＤＭは、フィードブロックダイを用い積層構造を形成した（下記表３に記載）。積層構造はＰＥＴを内層にし、その両面に下記表３に記載のＣＨＤＭ含率のＰＣＴを積層した。これらの積層構造のフィルムのＡＶ，ＩＶは全層を溶解し、上記の方法で測定した。
その後、実施例１と同様にして、導電層および易接着層を積層し、各実施例および比較例のポリエステルフィルムを製造した。その後、実施例１０１と同様にして、各実施例および比較例の太陽電池モジュールを作成した。

実施例１と同様にして評価を行った結果を下記表３に記載した。
これらの水準には末端封止剤を用いなかったが、前記条件（Ｂ）を満たすＰＣＴを用いた実施例２０１〜２０９で封止剤使用時同様の表面比抵抗分布、厚み分布を付与でき良好な特性を示したことがわかった。
さらに、高ＣＨＤＭ域においては単層（実施例２０５）に対し、積層することで（実施例２０７〜２０９）良好な性能を示したことがわかった。
さらに、ＰＣＴと末端封止剤を併用した（実施例２１０〜２１５：前記条件（Ａ）および（Ｂ）をともに満たす）系は、末端封止剤を使用しない系（実施例２０１〜２０６：前記条件（Ｂ）のみを満たす）に比べ表面比抵抗分布、厚み分布を付与しやすく、密着性、耐電圧向上率も向上したことがわかった。
一方、前記条件（Ａ）および（Ｂ）をいずれも満たさない比較例２０１のポリエステルフィルムは、密着性が悪く、耐電圧向上率も低いことがわかった。

［実施例２１６および２１７］
＜ＰＥＮ系フィルム＞
上記で調製したＰＥＮ−Ａと、前記条件（Ａ）を満たすように末端封止剤を含むＰＥＮ−Ｃを用い製膜した。
その後、実施例１と同様にして、導電層および易接着層を積層し、実施例２１６および２１７のポリエステルフィルムを製造した。その後、実施例１０１と同様にして、実施例２１６および２１７の太陽電池モジュールを作成した。
実施例１と同様にして評価を行った結果を下記表３に示した。実施例２１６および２１７のフィルムも良好な密着性、耐電圧向上率を示したことがわかった。

２ 易接着層
３ 導電層
１２ 太陽電池モジュール用バックシート
１６ ポリエステル支持体
２２ 封止材
２０ 太陽電池素子
２４ 透明性のフロント基板（強化ガラス）
１０ 太陽電池モジュール

Claims (21)

1. 末端カルボン酸値（ＡＶ）が３〜２０ｅｑ／ｔｏｎでかつ、ＩＶが０．６５〜０．９ｄｌ／ｇのポリエステル支持体と、
   前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に設けられた導電層を有し、
   前記導電層の表面比抵抗Ｒ０が１０⁶〜１０¹⁴Ω／□であり、
   前記導電層の表面比抵抗Ｒ０の面内分布が０．１〜２０％であることを特徴とするポリエステルフィルム。
2. 前記ポリエステル支持体が、下記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含むポリエステル層を少なくとも１層含むことを特徴とする請求項１に記載のポリエステルフィルム。
   条件（Ａ）：ポリエステルと、該ポリエステルに対して０．１〜１０質量％の末端封止剤とを含むポリエステル組成物である。
   条件（Ｂ）：１，４−シクロヘキサンジメタノール（ＣＨＤＭ）由来の構造をジオール成分の０．１〜２０モル％または８０〜１００モル％含むＣＨＤＭ系ポリエステルである。
3. 前記ポリエステル支持体の前記導電層が設けられた側の最外層が、前記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含むポリエステル層であることを特徴とする請求項２に記載のポリエステルフィルム。
4. 前記ポリエステル成分が前記条件（Ａ）を満たすことを特徴とする請求項２または３に記載のポリエステルフィルム。
5. 前記末端封止剤の分子量が２００〜１０万であることを特徴とする請求項４に記載のポリエステルフィルム。
6. 前記末端封止剤がカルボジイミド化合物であることを特徴とする請求項４または５に記載のポリエステルフィルム。
7. 前記末端封止剤が、カルボジイミド基を有し、その第一窒素と第二窒素とが結合基により結合されている環状構造を含むカルボジイミド化合物であることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載のポリエステルフィルム。
8. 前記導電層の厚み分布が０．１〜１０％であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のポリエステルフィルム。
9. 前記該導電層が有機系の導電剤を含むことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載のポリエステルフィルム。
10. 前記導電層の厚みが０．０１〜５０μｍであることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載のポリエステルフィルム。
11. 前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に、０．１〜１０％の厚みむらを有する易接着層を有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載のポリエステルフィルム。
12. 前記ポリエステル支持体が、ダイからポリエステルおよび末端封止剤を含む組成物の溶融体を押出された後、風量を０．１〜１０％変調させた送風により冷却固化されてなることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載のポリエステルフィルム。
13. 前記導電層が、導電層用塗布液を塗布された後、乾燥ゾーンの出口で温度分布を０．１〜１０℃付与して乾燥されてなることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載のポリエステルフィルム。
14. 前記末端封止剤が環状カルボジイミド化合物であることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載のポリエステルフィルム。
15. ロール状に巻き取られたことを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一項に記載のポリエステルフィルム。
16. ポリエステル組成物の溶融体をダイから押出し、冷却および固化させて末端カルボン酸値（ＡＶ）が３〜２０ｅｑ／ｔｏｎでかつ、ＩＶが０．６５〜０．９ｄｌ／ｇのポリエステル支持体を製造する工程と、
    前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に導電層を形成する工程を含み、
    前記ポリエステル支持体の冷却時に、風量を０．１〜１０％変調させながら送風を行うことを特徴とするポリエステルフィルムの製造方法。
17. 前記ポリエステル組成物が、下記条件（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくとも一方を満たすポリエステル成分を主成分として含む組成物であることを特徴とする請求項１６に記載のポリエステルフィルムの製造方法。
    条件（Ａ）：ポリエステルと、該ポリエステルに対して０．１〜１０質量％の末端封止剤とを含むポリエステル組成物である。
    条件（Ｂ）：１，４−シクロヘキサンジメタノール（ＣＨＤＭ）由来の構造をジオール成分の０．１〜２０モル％または８０〜１００モル％含むＣＨＤＭ系ポリエステルである。
18. 前記ポリエステル成分が前記条件（Ａ）を満たすことを特徴とする請求項１６または１７に記載のポリエステルフィルムの製造方法。
19. 前記ポリエステル支持体の少なくとも片面に導電層用塗布液を塗布する工程と、
    乾燥ゾーン内を前記導電層用塗布液が塗布されたポリエステル支持体を搬送して前記導電層を形成する工程を含み、
    前記乾燥ゾーンの出口において温度分布を０．１〜１０℃付与することを特徴とする請求項１６〜１８のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムの製造方法。
20. 請求項１〜１５のいずれか一項に記載のポリエステルフィルムを用いたことを特徴とする太陽電池モジュール用バックシート。
21. 請求項２０に記載の太陽電池モジュール用バックシートを含むことを特徴とする太陽電池モジュール。

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