JP2014024135A - ドレッシングボード及び切削方法 - Google Patents
ドレッシングボード及び切削方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014024135A JP2014024135A JP2012164746A JP2012164746A JP2014024135A JP 2014024135 A JP2014024135 A JP 2014024135A JP 2012164746 A JP2012164746 A JP 2012164746A JP 2012164746 A JP2012164746 A JP 2012164746A JP 2014024135 A JP2014024135 A JP 2014024135A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- cutting
- dressing
- dressing board
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 173
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 10
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】格子状の複数の分割予定ライン10が形成されたドレッシングボードを被加工物の形状や大きさに対応して分割することにより分割ドレッシングボード9として使用する。被加工物を切削する際には、保持手段20の保持面22で被加工物を保持するとともに、被加工物の大きさや形状に応じて形成された分割ドレッシングボード9aを被加工物の外周側に隣接して配置し、ドレッシングボード9の調整により切削ブレード32がドレッシングすべき距離を調整することができる。また、ドレッシングボードは、形状や大きさの異なる被加工物にも対応して使用することができるため、被加工物の外形に対応したドレッシングボードを個別に準備する必要はなくなる。
【選択図】図3
Description
2:装置ベース 2a:上面
3:カバー 4:移動板 5:コラム 6:支持板 7:フレーム
8:保護テープ
9、9b、9c、9d:分割ドレッシングボード
9a:ドレッシングボード
10:分割予定ライン
11:貼り合わせワーク 12:貼り合わせワーク
20:保持手段 22:保持面 23:吸引源
30:切削手段 31:スピンドル 32:切削ブレード 33:ブレードカバー
40:第1の送り手段 41:ボールネジ 42:モータ 43:ガイドレール
44:移動板
50:第2の送り手段 51:モータ 52:ガイドレール
53:昇降板
W1、W2:板状ワーク Wa:上面 S:分割予定ライン
Claims (4)
- 切削ブレードのドレスに使用するドレッシングボードであって、
該ドレッシングボードには格子状の複数の分割予定ラインが形成され、該分割予定ラインに沿って分割することにより該切削ブレードのドレスに使用されるドレッシングボード。 - 被加工物を吸引保持する保持面を有する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に備える切削手段と、を少なくとも備え、該保持手段と該切削手段とが相対的に切削送りされて被加工物が切削される切削装置を用いて、該保持手段の該保持面に被加工物と該切削ブレードをドレスするドレッシングボードとを保持して切削送りを行うことにより、該切削ブレードが該被加工物を切削するとともに該ドレッシングボードを切削して該切削ブレードのドレスを行う切削方法であって、
該保持手段の該保持面において被加工物を保持するとともに、該被加工物の大きさ又は形状に応じて請求項1記載のドレッシングボードを該分割予定ラインに沿って分割し分割ドレッシングボードとして該保持面において保持し、該保持手段と該切削手段とを相対的に切削送りし、該保持面に保持された被加工物と該分割ドレッシングボードとを該切削手段によって切削する切削方法。 - 前記保持手段の前記保持面において被加工物を保持するとともに、請求項1記載のドレッシングボードを分割予定ラインに沿って分割して構成される分割ドレッシングボードを該被加工物に隣接して保持し、該保持手段と前記切削手段とを相対的に前記切削送り手段によって切削送りし、該保持面に保持された被加工物と該分割ドレッシングボードとを該切削手段によって切削する請求項2記載の切削方法。
- 被加工物と請求項1記載のドレッシングボードとを貼り合わせ部材によって貼り合わせ、該ドレッシングボードのうち該被加工物の外周からはみ出した部分を該分割予定ラインに沿って分割して取り除いて貼り合わせワークを形成し、
該貼り合わせワークを前記保持手段の保持面において保持し、該保持手段と前記切削手段とを相対的に切削送りし、該保持面に保持された貼り合わせワークを該切削手段によって切削する請求項2記載の切削方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012164746A JP2014024135A (ja) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | ドレッシングボード及び切削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012164746A JP2014024135A (ja) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | ドレッシングボード及び切削方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014024135A true JP2014024135A (ja) | 2014-02-06 |
Family
ID=50198290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012164746A Pending JP2014024135A (ja) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | ドレッシングボード及び切削方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014024135A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180084619A (ko) * | 2017-01-17 | 2018-07-25 | 가부시기가이샤 디스코 | 드레싱 보드, 절삭 블레이드의 드레싱 방법 및 절삭 장치 |
JP2019139096A (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 株式会社ディスコ | 光ファイバーコネクタの形成方法 |
CN113102998A (zh) * | 2020-01-09 | 2021-07-13 | 株式会社迪思科 | 被加工物的加工方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61142071A (ja) * | 1984-12-13 | 1986-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 難削材の切断方法 |
JPH01191425A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-08-01 | Motorola Inc | 半導体結晶装着ビームと薄切り方法 |
JPH03281170A (ja) * | 1990-03-28 | 1991-12-11 | Fujitsu Ltd | 切断用砥石のドレッシング方法 |
JP2004288961A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング方法 |
-
2012
- 2012-07-25 JP JP2012164746A patent/JP2014024135A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61142071A (ja) * | 1984-12-13 | 1986-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 難削材の切断方法 |
JPH01191425A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-08-01 | Motorola Inc | 半導体結晶装着ビームと薄切り方法 |
JPH03281170A (ja) * | 1990-03-28 | 1991-12-11 | Fujitsu Ltd | 切断用砥石のドレッシング方法 |
JP2004288961A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180084619A (ko) * | 2017-01-17 | 2018-07-25 | 가부시기가이샤 디스코 | 드레싱 보드, 절삭 블레이드의 드레싱 방법 및 절삭 장치 |
KR102320062B1 (ko) | 2017-01-17 | 2021-10-29 | 가부시기가이샤 디스코 | 드레싱 보드, 절삭 블레이드의 드레싱 방법 및 절삭 장치 |
JP2019139096A (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 株式会社ディスコ | 光ファイバーコネクタの形成方法 |
CN113102998A (zh) * | 2020-01-09 | 2021-07-13 | 株式会社迪思科 | 被加工物的加工方法 |
US20210213639A1 (en) * | 2020-01-09 | 2021-07-15 | Disco Corporation | Workpiece processing method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10843301B2 (en) | Device and method for processing a flexible sheet | |
JP6214901B2 (ja) | 切削装置 | |
KR102028765B1 (ko) | 원형 판형상물의 분할 방법 | |
JP6218600B2 (ja) | 加工装置 | |
KR20140011469A (ko) | 취성 재료 기판의 브레이크 장치 | |
JP2014024135A (ja) | ドレッシングボード及び切削方法 | |
CN107919274B (zh) | 加工方法 | |
JP5709593B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2006326809A (ja) | 丸鋸切断機およびそのワーク固定装置ならびにそのワーク固定方法 | |
JP4975422B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2015076561A (ja) | 円形板状物の分割方法 | |
JP6203011B2 (ja) | 切削方法 | |
JP6594171B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2018039085A (ja) | 切削方法 | |
JP2014054713A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2019012773A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2010184319A (ja) | 切削方法 | |
JP6388518B2 (ja) | 被加工物の研磨方法 | |
JP2015126022A (ja) | 加工方法 | |
JP6084144B2 (ja) | 切削方法 | |
JP6049195B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2019091752A (ja) | ウェーハの分割方法 | |
JP6134604B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6736217B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2008105114A (ja) | ハブブレードおよび切削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150428 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160609 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160804 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161104 |