JP2019091752A - ウェーハの分割方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウェーハの切削中に三角チップが飛ばないようにウェーハを分割できるようにする。【解決手段】ウェーハの分割方法は、ウェーハWの外周から中心に向かってデバイスDが形成された領域に至らない所定の幅Hで外周縁に沿って研削して薄仕上げ部4を形成する研削工程と、テープ2にウェーハWを貼着させリングフレーム1とウェーハWとを一体化させるワークセット形成工程と、保持テーブル13でウェーハWを保持する保持工程と、薄仕上げ部4が形成されたウェーハWの分割予定ラインSに沿って切削水を供給しながら切削ブレード43を切り込ませウェーハWを完全切断する切削工程とを備えたため、ウェーハWの切削中、薄仕上げ部4が切削水の水圧の影響や切削ブレード43の加工負荷の影響を受け難い。そのため、三角チップTcが周囲に飛んで、切削ブレード43が割れたりチップCが欠けたりするのを防止できる。【選択図】図7
Description
本発明は、ウェーハを個々のチップに分割するウェーハの分割方法に関する。
格子状の分割予定ラインで区画された領域にデバイスが形成されたウェーハは、例えば、分割予定ラインに沿って切削ブレードを切り込ませて切削することにより複数のチップに生成される。ウェーハを分割する際には、切削後の個片化されたチップがばらばらにならないようにするために、リングフレームの開口を塞ぐように貼着したテープを介してウェーハを支持している(例えば、下記の特許文献1を参照)。
しかし、切削ブレードによる切削によってウェーハを個々のチップに分割すると、ウェーハの外周部分に三角チップと呼ばれるチップが形成される。三角チップは、デバイスを有するチップと比べて、テープとの接触面積が小さいため、切削中に使用される切削水の水圧や回転する切削ブレードの側面とチップの被切削面(チップの側面)とが接触する摩擦による加工負荷によって三角チップが飛ぶことがある。そして、三角チップが周囲に飛ぶと、切削ブレードが割れたり、チップが欠けたりすることがある。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、ウェーハの切削中に三角チップが飛ばないようにウェーハを分割できるようにすることを目的としている。
本発明は、分割予定ラインによって格子状に区画された領域にデバイスが形成されたウェーハの該分割予定ラインに沿って切削水を供給しながら切削ブレードを切り込ませて分割するウェーハの分割方法であって、ウェーハの外周から中心に向かってデバイスが形成された領域に至らない所定の幅で外周縁に沿って研削して薄仕上げ部を形成する研削工程と、リングフレームの開口を塞ぐように貼着した開口部分のテープにウェーハを貼着させリングフレームとウェーハとを一体化させるワークセット形成工程と、該テープを介して保持テーブルがウェーハを保持する保持工程と、該薄仕上げ部が形成されたウェーハの分割予定ラインに沿って切削水を供給しながら切削ブレードを切り込ませウェーハを完全切断する切削工程と、を備えた。本発明では、上記ワークセット形成工程を実施した後に、上記研削工程を実施することが望ましい。
また、本発明では、ウェーハの全周に薄仕上げ部を形成することが望ましい。
本発明に係るウェーハの分割方法は、ウェーハの外周から中心に向かってデバイスが形成された領域に至らない所定の幅で外周縁に沿って研削して薄仕上げ部を形成する研削工程と、リングフレームの開口を塞ぐように貼着した開口部分のテープにウェーハを貼着させリングフレームとウェーハとを一体化させるワークセット形成工程と、テープを介して保持テーブルがウェーハを保持する保持工程と、薄仕上げ部が形成されたウェーハの分割予定ラインに沿って切削水を供給しながら切削ブレードを切り込ませウェーハを完全切断する切削工程とを備えたため、ウェーハの切削中に、ウェーハの外周縁に形成された薄仕上げ部が切削水の水圧の影響や切削ブレードの加工負荷の影響が受け難くなり、三角チップが周囲に飛んで、切削ブレードが割れたりチップが欠けたりするのを防止することができる。
また、本発明では、ウェーハの全周に薄仕上げ部を形成するため、ウェーハの外周縁全域の厚みを薄くすることができ、三角チップが飛ぶのを確実に防ぐことができる。
図1に示す加工装置10は、装置ベース11を有し、装置ベース11の上面11aには、被加工物であるウェーハWを保持する保持面13aを有する保持テーブル13と、保持テーブル13を加工送り方向(X軸方向)に加工送りする加工方向送り手段20とが配設されている。保持テーブル13は、加工方向送り手段20の上に配設された回転支持台14によって回転可能に支持されている。保持テーブル13の外周側には、中央に開口を有するリングフレーム1を保持するフレーム保持手段15が複数配設されている。フレーム保持手段15は、リングフレーム1が載置されるフレーム載置台150と、フレーム載置台150に載置されたリングフレーム1をクランプするクランプ部151とを備えている。
加工方向送り手段20は、X軸方向に延在するボールネジ21と、ボールネジ21の一端に接続されたモータ22と、ボールネジ21と平行に延在する一対のガイドレール23と、X軸方向に水平に移動可能な移動基台24とを備えている。移動基台24の上面には、保持テーブル13を支持した回転支持台14が立設されている。移動基台24の下面には、一対のガイドレール23が摺接し、移動基台24の中央に形成されたナットにはボールネジ21が螺合している。そして、モータ22によって駆動されてボールネジ21が回動することにより、移動基台24とともに保持テーブル13をガイドレール23に沿ってX軸方向に移動させることができる。
装置ベース11のX軸方向後部において加工方向送り手段20を跨ぐようにして門型のコラム12が立設されている。コラム12の側方には、ウェーハWの外周縁に沿って研削する研削手段30と、ウェーハWを個々のチップに分割する切削手段40と、研削手段30及び切削手段40をそれぞれインデックス送り方向(Y軸方向)にインデックス送りするインデックス送り手段50A,50Bと、研削手段30及び切削手段40をそれぞれ切り込み送り方向(Z軸方向)に昇降させる昇降手段60A,60Bとが配設されている。なお、本実施形態に示すコラム12は、門型の形状となっているが、この形状に限定されるものではない。
研削手段30は、コラム12の−Y方向側に配設され、Y軸方向の軸心を有するスピンドル31と、スピンドル31を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング32と、スピンドル31の先端に装着された円盤状の研削砥石33と、スピンドル31に接続されたモータとを備えている。モータによりスピンドル31が回転することにより研削砥石33を回転させることができる。
切削手段40は、研削手段30と対向してコラム12の+Y方向側に配設され、Y軸方向の軸心を有するスピンドル41(図6で図示)と、スピンドル41を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング42と、スピンドル41の先端に装着された切削ブレード43(図6で図示)と、切削ブレード43に向けて切削水を供給する切削水ノズルと、スピンドル41に接続されたモータとを備えている。モータによりスピンドル41が回転することにより切削ブレード43を回転させることができる。なお、研削手段30及び切削手段40の配設箇所は、上記の構成に限定されず、コラム12の+Y方向側に研削手段30を配設して、コラム12の−Y方向側に切削手段40を配設するようにしてもよい。
インデックス送り手段50A,50Bは、Y軸方向に延在するボールネジ51と、ボールネジ51の先端に接続されたモータ52と、ボールネジ51と平行に延在するガイドレール53と、研削手段30及び切削手段40をY軸方向にそれぞれ移動させる移動板54とをそれぞれ備えている。移動板54の側部に各ガイドレール53が摺接しており、移動板54の中央部に形成されたナットにはボールネジ51が螺合している。モータ52によって駆動されてボールネジ51が回動することにより、研削手段30及び切削手段40をそれぞれY軸方向にインデックス送りすることができる。
昇降手段60A,60Bは、各移動板54にそれぞれ取り付けられている。昇降手段60A,60Bは、Z軸方向に延在するボールネジ61と、ボールネジ61の一端に接続されたモータ62と、ボールネジ61と平行に延在する一対のガイドレール63と、研削手段30及び切削手段40をZ軸方向にそれぞれ昇降させる昇降板64とをそれぞれ備えている。昇降板64の側部に一対のガイドレール63が摺接しており、昇降板64の中央部に形成されたナットにはボールネジ61が螺合している。モータ62によって駆動されてボールネジ61が回動することにより、昇降板64がガイドレール63にガイドされてZ軸方向に移動可能となっており、研削手段30及び切削手段40をそれぞれZ軸方向に昇降させることができる。
次に、加工装置10を用いてウェーハWを個々のチップに分割するウェーハの分割方法について説明する。図2に示すように、ウェーハWは、円形板状の基板を有する被加工物の一例であって、その表面Waには、格子状の分割予定ラインSによって区画されたそれぞれの領域にデバイスDが形成されている。表面Waと反対側の裏面Wbは、テープ2を介して保持テーブル13の保持面13aに保持される被保持面となっている。加工前のウェーハWは、例えば100〜300μmの厚みを有している。
(1)ワークセット形成工程
中央が開口したリングフレーム1でウェーハWを支持するために、リングフレーム1の開口を塞ぐようにリングフレーム1の下面にテープ2を貼着し、リングフレーム1の開口部分から露出したテープ2にウェーハWの裏面Wbを貼着して表面Waを上向きに露出させる。このようにして、テープ2を介してリングフレーム1とウェーハWとを一体化させたワークセット3を形成する。ワークセット3の形態で、ウェーハWに対して研削及び切削が施される。
中央が開口したリングフレーム1でウェーハWを支持するために、リングフレーム1の開口を塞ぐようにリングフレーム1の下面にテープ2を貼着し、リングフレーム1の開口部分から露出したテープ2にウェーハWの裏面Wbを貼着して表面Waを上向きに露出させる。このようにして、テープ2を介してリングフレーム1とウェーハWとを一体化させたワークセット3を形成する。ワークセット3の形態で、ウェーハWに対して研削及び切削が施される。
(2)保持工程
図3に示すように、保持テーブル13でワークセット3を保持する。具体的には、ウェーハWの裏面Wbに貼着されたテープ2側を保持テーブル13の保持面13aに載置するとともにリングフレーム1をフレーム載置台150に載置する。クランプ部151がリングフレーム1の上部を押さえて動かないように固定する。そして、保持テーブル13に接続された吸引源16が作動し、吸引力が作用した保持面13aでウェーハWを吸引保持する。
図3に示すように、保持テーブル13でワークセット3を保持する。具体的には、ウェーハWの裏面Wbに貼着されたテープ2側を保持テーブル13の保持面13aに載置するとともにリングフレーム1をフレーム載置台150に載置する。クランプ部151がリングフレーム1の上部を押さえて動かないように固定する。そして、保持テーブル13に接続された吸引源16が作動し、吸引力が作用した保持面13aでウェーハWを吸引保持する。
(3)研削工程
ワークセット形成工程及び保持工程を実施した後、図1に示した加工方向送り手段20によって、保持テーブル13を例えば+X方向に加工送りすることにより、保持テーブル13を研削手段30の下方側に移動させる。インデックス送り手段50Aは、研削手段30を例えば+Y方向にインデックス送りして、図4に示すように、ウェーハWの外周縁から中心に向かってデバイスDが形成された領域に至らない所定の幅Hに研削砥石33の位置を合わせる。所定の幅Hは、例えば300〜500μmに設定される。
ワークセット形成工程及び保持工程を実施した後、図1に示した加工方向送り手段20によって、保持テーブル13を例えば+X方向に加工送りすることにより、保持テーブル13を研削手段30の下方側に移動させる。インデックス送り手段50Aは、研削手段30を例えば+Y方向にインデックス送りして、図4に示すように、ウェーハWの外周縁から中心に向かってデバイスDが形成された領域に至らない所定の幅Hに研削砥石33の位置を合わせる。所定の幅Hは、例えば300〜500μmに設定される。
研削手段30は、モータが駆動されてスピンドル31が回転することにより、研削砥石33を例えば矢印A方向に回転させる。続いて、図1に示した昇降手段60Aにより研削砥石33を例えば−Z方向に下降させることにより、ウェーハWの外周縁に沿って研削砥石33の刃先33aを所定の深さ位置Pに至るまで切り込ませ、研削砥石33で所定の幅Hで外周縁に沿って研削して薄仕上げ部4を形成する。薄仕上げ部4は、ウェーハWの外周縁がわずかに残存した厚み部分であり、所定の厚みTを有している。所定の厚みTは、例えば50μm〜100μmに設定される。
研削工程では、保持テーブル13を少なくとも1回転させることにより、図5に示すように、ウェーハWの全周にリング状の薄仕上げ部4を形成するとよい。このリング状の薄仕上げ部4は、デバイスDが形成された中央部分に比べて厚みが薄いため、後述する切削工程を実施する際に、ウェーハWの外周全域に外力が作用し難くなる。図示の例における薄仕上げ部4は、ウェーハWの外周縁の全周に形成したが、これに限られず、ウェーハWの外周縁の半周に相当する領域に薄仕上げ部4を形成するようにしてもよい。
(4)切削工程
ウェーハWに薄仕上げ部4を形成した後、図1に示したインデックス送り手段50Bによって、切削手段40のY軸方向の位置を調整し、切削を開始する1列目の分割予定ラインSと切削ブレード43との位置を合わせる。図6に示すように、切削手段40は、スピンドル41を回転させることにより切削ブレード43を例えば矢印B方向に回転させながら、切削ブレード43の刃先43aをウェーハWの表面Wa側からテープ2に至るまで切り込ませる。図1に示した加工方向送り手段20によって保持テーブル13を例えば+X方向に加工送りすることにより、切削ブレード43の回転方向と保持テーブル13の往動方向とが同じ方向となるようにする。そして、切削ブレード43をウェーハWの一端から他端に向けて移動させ、図示しない切削ノズルから切削ブレード43に切削水を供給しながら分割予定ラインSに沿って切削して表裏面を完全切断した溝5を形成する。
ウェーハWに薄仕上げ部4を形成した後、図1に示したインデックス送り手段50Bによって、切削手段40のY軸方向の位置を調整し、切削を開始する1列目の分割予定ラインSと切削ブレード43との位置を合わせる。図6に示すように、切削手段40は、スピンドル41を回転させることにより切削ブレード43を例えば矢印B方向に回転させながら、切削ブレード43の刃先43aをウェーハWの表面Wa側からテープ2に至るまで切り込ませる。図1に示した加工方向送り手段20によって保持テーブル13を例えば+X方向に加工送りすることにより、切削ブレード43の回転方向と保持テーブル13の往動方向とが同じ方向となるようにする。そして、切削ブレード43をウェーハWの一端から他端に向けて移動させ、図示しない切削ノズルから切削ブレード43に切削水を供給しながら分割予定ラインSに沿って切削して表裏面を完全切断した溝5を形成する。
X軸方向に向く1列目の溝5を形成したら、インデックス送り手段50Bによって、例えば+Y方向側から−Y方向側へと順次切削手段40をインデックス送りして、上記同様の切削加工を行い、2列目、3列目…の溝5を分割予定ラインSに沿って順次形成していく。そして、X軸方向に向く全ての分割予定ラインSに沿って溝5を形成したら、保持テーブル13を90°回転させることにより、ウェーハWの向きを変えて、1列毎の溝5の形成とY軸方向のインデックス送りとを繰り返し行うことにより、ウェーハWを複数のチップCに分割する。ウェーハWの裏面Wbにはテープ2が貼着されているため、ウェーハWを完全に切断した後も各チップCがばらばらになることはなく、ウェーハWの形状が維持される。
ここで、縦横に延在する分割予定ラインSに沿ってウェーハWに溝5を形成して、個々のチップCに個片化すると、図7に示すように、ウェーハWの外周縁において、最外側のデバイスD1,D2,D3とウェーハWの最外周Eとの間に三角チップTcが形成されるが、ウェーハWの外周縁には薄仕上げ部4が形成されているため、三角チップTcが周囲に飛散することはない。つまり、図8に示す従来のウェーハW1のように、外周縁が薄くなっていない場合は、切削中に使用される切削水の水圧や回転する切削ブレード43によって三角チップTc1が飛ぶことがあるが、本実施形態に示す図7の例の場合では、薄仕上げ部4により、テープ2に対して三角チップTcの高さが、デバイスDが形成された中央側よりも低くなった状態でテープ2に貼着されていることから、切削水の水圧によるチップCの側面を押す力が小さくなり切削水の水圧の影響を受け難い。そのため、切削ブレード43の周囲に飛散する切削水により、三角チップTcがテープ2から剥がれて飛ぶのを防止することができる。
また、切削ブレード43によって図7に示す縦横に交差する溝5を形成して、切削ブレード43がウェーハWの最外周Eから切り抜ける際に、薄くなった三角チップTcにかかる切削ブレード43の加工負荷(回転方向に働く力)が小さくなるため、三角チップTcが飛ぶのを防止することができる。本実施形態では、ウェーハWの全周に薄仕上げ部4を形成したが、切削工程において、ウェーハWの全周のうち、切削ブレード43が実際にウェーハWの最外周Eから切り抜ける半周部分に薄仕上げ部4を形成しておけば、三角チップTcが飛ぶのを防ぐことが可能である。
上記実施形態に示す切削工程では、切削ブレード43を保持テーブル13の往動方向と同じ方向に回転させて切削するいわゆるダウンカットを実施した場合を説明したが、切削ブレード43を保持テーブル13の往動方向と対向する方向に回転させて切削するいわゆるアップカットを実施してもよい。アップカットの場合は、回転する切削ブレード43に対して対向するように移動してくるウェーハWを捲り上げるように切削ブレード43で切り込んで切削するため、ウェーハWの最外周Eから切削ブレード43で切り込み始めるときに三角チップTcを飛ばしてしまうことがある。したがって、切削工程においてアップカットを実施する場合は、切削ブレード43がウェーハWの最外周Eから切り抜ける半周部分だけに薄仕上げ部4を形成するだけでは足りず、上記実施形態に示したウェーハWの全周に薄仕上げ部4を形成する方がよい。このように、ウェーハWの全周に薄仕上げ部4を形成することにより、ウェーハWの外周全域の厚みを薄くすることができ、三角チップTcが飛ぶのを確実に防ぐことができる。
以上のとおり、本発明に係るウェーハの分割方法は、ウェーハWの外周から中心に向かってデバイスDが形成された領域に至らない所定の幅Hで外周縁に沿って研削して薄仕上げ部4を形成する研削工程と、リングフレーム1の開口を塞ぐように貼着した開口部分のテープ2にウェーハWを貼着させリングフレーム1とウェーハWとを一体化させるワークセット形成工程と、テープ2を介して保持テーブル13がウェーハWを保持する保持工程と、薄仕上げ部4が形成されたウェーハWの分割予定ラインSに沿って切削水を供給しながら切削ブレード43を切り込ませウェーハWを完全切断する切削工程とを備えたため、ウェーハWの切削中に、ウェーハWの外周縁に形成された薄仕上げ部4が切削水の水圧の影響や切削ブレード43による加工負荷の影響を受け難い。これにより、三角チップTcが周囲に飛んで、切削ブレード43が割れたりチップCが欠けたりするのを防止することができる。
1:リングフレーム 2:テープ 3:ワークセット 4:薄仕上げ部 5:溝
10:加工装置 11:装置ベース 11a:上面 12:コラム
13:保持テーブル 13a:保持面 14:回転支持台
15:フレーム保持手段 150:フレーム載置台 151:クランプ部
16:吸引源
20:加工方向送り手段 21:ボールネジ 22:モータ 23:ガイドレール
24:移動基台
30:研削手段 31:スピンドル 32:スピンドルハウジング 33:研削砥石
40:切削手段 41:スピンドル 42:スピンドルハウジング 43:切削ブレード
50A,50B:インデックス送り手段 51:ボールネジ 52:モータ
53:ガイドレール 54:移動板
60A,60B:昇降手段 61:ボールネジ 62:モータ 63:ガイドレール
64:昇降板
10:加工装置 11:装置ベース 11a:上面 12:コラム
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Claims (3)
- 分割予定ラインによって格子状に区画された領域にデバイスが形成されたウェーハの該分割予定ラインに沿って切削水を供給しながら切削ブレードを切り込ませて分割するウェーハの分割方法であって、
ウェーハの外周から中心に向かってデバイスが形成された領域に至らない所定の幅で外周縁に沿って研削して薄仕上げ部を形成する研削工程と、
リングフレームの開口を塞ぐように貼着した開口部分のテープにウェーハを貼着させリングフレームとウェーハとを一体化させるワークセット形成工程と、
該テープを介して保持テーブルがウェーハを保持する保持工程と、
該薄仕上げ部が形成されたウェーハの分割予定ラインに沿って切削水を供給しながら切削ブレードを切り込ませウェーハを完全切断する切削工程と、を備えたウェーハの分割方法。 - 前記ワークセット形成工程を実施した後、前記研削工程を実施する請求項1記載のウェーハの分割方法。
- ウェーハの全周に前記薄仕上げ部を形成する請求項1または請求項2記載のウェーハの分割方法。
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JP2012160575A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体ウエハーのダイシング方法及び半導体ウエハー |
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