JP2013531383A - 薄膜トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
本明細書に開示された薄膜トランジスタの実施形態は、下にあるチャネル層と対をなす組成物を有するパッシベーション層を含む。チャネル層は半導体酸化物であり、対をなすパッシベーション層は、パッシベーション層がチャネル層に対してパッシベーション層のバンドギャップを増大させる1つ又は複数の追加の種も含むことを除いて、チャネル層の組成と類似した組成を有する酸化物である。例示的な実施形態において、1つ又は複数の追加の種の組み込みに起因して、パッシベーション層は、導電性でない電気的に不活性の材料(即ち、約1015/cm3未満の、平衡自由キャリア又は可動電荷キャリアの極わずかな集まりを有する)であり、適度な電界(即ち、約0.5MV/cm以下の電界)の存在下で導電性にならない。そのようなものとして、本明細書に開示されたパッシベーション層の実施形態は、所望のデバイス動作(例えば、チャネル層が極めて導電性になることを防ぐ)を可能にする物理的および化学的特性を有するチャネル背面界面を確立して維持する。また、本明細書に開示されたパッシベーション層の実施形態は、i)薄膜トランジスタ及び後に形成される上に横たわる層からの相互接続金属(例えば、追加の相互接続階層、ピクセルプレートのようなディスプレイ要素、液晶材料など)の電気的、化学的、及び物理的絶縁、及びii)デバイス性能を変更する可能性がある環境的種(例えば、大気水分)からの薄膜トランジスタの化学的および物理的絶縁(隔離)も提供する。
本明細書に開示された実施形態による薄膜トランジスタは、シリコン基板上に製造された。このテスト構造において、ドープド(導電性)シリコンウェハーは、基板およびゲート電極としての機能を果たし、シリコンウェハー上の熱成長された二酸化ケイ素層がゲート誘電体としての機能を果たした。二酸化ケイ素のゲート誘電体層の厚さは100nmであった。
また、比較用の薄膜トランジスタもシリコン基板上に製造された。このテスト構造において、ドープド(導電性)シリコンウェハーは、基板およびゲート電極としての機能を果たし、シリコンウェハー上の熱成長された二酸化ケイ素層がゲート誘電体としての機能を果たした。二酸化ケイ素のゲート誘電体層の厚さは100nmであった。
Claims (15)
- 薄膜トランジスタ(10、10’)であって、
ゲート電極(14)と、
前記ゲート電極(14)上に堆積されたゲート誘電体(16)と、
第1の表面(SF)及び対向する第2の表面(SB)を有するチャネル層(18)であって、前記第1の表面(SF)が前記ゲート誘電体(16)の少なくとも一部の上に堆積され、前記チャネル層(18)が少なくとも1つの所定の陽イオンを含む第1の酸化物組成物を有する、チャネル層(18)と、
前記チャネル層(18)の前記対向する第2の表面(SB)の少なくとも一部に隣接して堆積されたパッシベーション層(24)とを含み、前記パッシベーション層(24)が、前記第1の酸化物組成物の少なくとも1つの所定の陽イオン、及び前記チャネル層(18)に対して前記パッシベーション層(24)のバンドギャップを増大させる少なくとも1つの追加の陽イオンを含む第2の酸化物組成物を含む、薄膜トランジスタ(10、10’)。 - 前記第1の酸化物組成物の前記少なくとも1つの所定の陽イオンが、インジウム、ガリウム、スズ、亜鉛、及びそれらの組み合わせから選択され、前記第2の酸化物組成物の前記少なくとも1つの追加の陽イオンが、アルミニウム、ホウ素、ハフニウム、マグネシウム、ニオブ、シリコン、タンタル、イットリウム、ジルコニウム、及びそれらの組み合わせから選択される、請求項1に記載の薄膜トランジスタ(10、10’)。
- 前記第1の酸化物組成物が酸化亜鉛スズであり、前記第2の酸化物組成物が亜鉛スズアルミニウム酸化物及び亜鉛スズシリコン酸化物から選択されるか、又は前記第1の酸化物組成物が亜鉛インジウム酸化物であり、前記第2の酸化物組成物が亜鉛インジウムアルミニウム酸化物および亜鉛インジウムシリコン酸化物から選択される、請求項1又は2に記載の薄膜トランジスタ(10、10’)。
- 前記第2の酸化物組成物の前記少なくとも1つの追加の陽イオン元素の量が、前記第2の酸化物組成物の全陽イオン種の約20原子百分率から約70原子百分率までの範囲にわたる、請求項1から3の何れかに記載の薄膜トランジスタ(10、10’)。
- 前記パッシベーション層(24)に隣接して堆積された第2のパッシベーション層(26)を更に含み、前記第2のパッシベーション層(26)が、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、窒化ケイ素、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、及び酸化ジルコニウムから選択される、請求項1から4の何れかに記載の薄膜トランジスタ(10、10’)。
- 前記チャネル層(18)と電気接触する少なくとも1つのドレイン電極(22)と、
前記チャネル層(18)と電気接触する少なくとも1つのソース電極(20)とを更に含み、
前記パッシベーション層(24)が前記チャネル層(18)の前記対向する第2の表面(SB)上に配置されて、前記少なくとも1つのソース電極(20)と前記少なくとも1つのドレイン電極(22)との間の領域を少なくとも覆う、請求項1から5の何れかに記載の薄膜トランジスタ(10、10’)。 - 前記第1の酸化物組成物が、アルミニウム、水素、及び窒素から選択された少なくとも1つのドーパント種を含み、前記少なくとも1つのドーパント種が、前記第1の酸化物組成物に存在する全ての種の約0.5原子百分率から約4原子百分率までの範囲にわたる量で存在する、請求項1から6の何れかに記載の薄膜トランジスタ(10、10’)。
- 薄膜トランジスタ(10、10’)であって、
基板(12)と、
前記基板(12)上に堆積されたゲート電極(14)と、
前記ゲート電極(14)上に堆積されたゲート誘電体(16)と、
第1の表面(SF)及び対向する第2の表面(SB)を有するチャネル層(18)であって、前記第1の表面(SF)が前記ゲート誘電体(16)の少なくとも一部の上に堆積され、前記チャネル層(18)が、亜鉛、スズ、インジウム、及びガリウムから選択された少なくとも1つの陽イオンを含む第1の酸化物組成物を有する、チャネル層(18)と、
前記チャネル層(18)と電気接触する少なくとも1つのドレイン電極(22)と、
前記チャネル層(18)と電気接触する少なくとも1つのソース電極(20)と、
前記チャネル層(18)の前記対向する第2の表面(SB)の少なくとも一部に隣接して堆積されたパッシベーション層(24)であって、前記パッシベーション層(24)が、前記第1の酸化物組成物の少なくとも1つの陽イオン、並びにアルミニウム、ホウ素、ハフニウム、マグネシウム、ニオブ、シリコン、タンタル、イットリウム、及びジルコニウムから選択された少なくとも1つの追加の陽イオンを含む第2の酸化物組成物を有する、パッシベーション層(24)と、
前記パッシベーション層(24)に隣接して堆積された第2のパッシベーション層(26)とを含み、前記第2のパッシベーション層(26)が、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、窒化ケイ素、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、及び酸化ジルコニウムから選択される、薄膜トランジスタ(10、10’)。 - 構造体(10、10’)を形成する方法であって、
少なくとも1つの所定の陽イオンを含む第1の酸化物組成物、及び第2の酸化物組成物を選択し、前記第2の酸化物組成物が、前記第1の酸化物組成物の前記少なくとも1つの所定の陽イオン、及び前記第1の酸化物組成物に対して前記第2の酸化物組成物のバンドギャップを増大させる少なくとも1つの追加の陽イオンを含み、
ゲート誘電体(16)の少なくとも一部の上に前記第1の酸化物組成物を堆積してチャネル層(18)を形成し、
前記チャネル層(18)の露出部分を前記第2の酸化物組成物で不動態化して、パッシベーション層(24)を形成することを含む、方法。 - 前記第1の酸化物組成物の選択が、インジウム、ガリウム、スズ、亜鉛、及びそれらの組み合わせの酸化物を選択することを含み、前記第2の酸化物組成物の選択が、アルミニウム、ホウ素、ハフニウム、マグネシウム、ニオブ、シリコン、タンタル、イットリウム、ジルコニウム、及びそれらの組み合わせからなるグループから前記追加の陽イオンを選択することを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記チャネル層(18)の露出部分を不動態化することが、真空蒸着技術およびフォトリソグラフィーパターン形成技術を用いて行われる、請求項9又は10に記載の方法。
- 前記パッシベーション層(24)の形成後、前記方法は、約150℃から約400℃の範囲にわたる所定の温度で、約5分から約2時間までの範囲にわたる所定の時間、空気中で前記構造体をアニーリングすることを更に含む、請求項9から11の何れかに記載の方法。
- 前記チャネル層(18)の前記露出部分を不動態化する前に、前記方法は、
前記チャネル層(18)の一部と電気接触する少なくとも1つのドレイン電極(22)を堆積し、
前記チャネル層(18)の他の部分と電気接触する少なくとも1つのソース電極(20)を堆積することを更に含み、
前記少なくとも1つのドレイン電極(22)及び前記少なくとも1つのソース電極(20)のそれぞれの前記堆積が、前記チャネル層(18)の前記露出部分を画定する、請求項9から12の何れかに記載の方法。 - 前記パッシベーション層(24)に隣接して第2のパッシベーション層(26)を堆積することを更に含み、前記第2のパッシベーション層(26)が、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、窒化ケイ素、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、及び酸化ジルコニウムから選択される、請求項9から13の何れかに記載の方法。
- 前記チャネル層(18)の前記露出部分を不動態化する前に、前記方法は、約150℃から約400℃の範囲にわたる所定の温度で、約5分から約2時間までの範囲にわたる所定の時間、空気中で前記構造体をアニーリングすることを更に含む、請求項9から14の何れかに記載の方法。
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