JP2013062456A - 薄膜デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】IGZO膜2によりチャネル膜を作製するTFTの製造方法であり、IGZO膜2とゲート電極膜4との間に、ゲート絶縁膜3として機能する有機膜をスピンコート等の塗布法を用いて作製し(図1(b))、その後、IGZO膜2と、外部に導出されたソース・ドレイン電極膜7との間に、絶縁膜として機能する層間膜5をスパッタリング法を用いて作製する(図1(c)、(d))。
【選択図】図1
Description
また、前記チャネル膜のうち前記層間膜の下部に配された領域の抵抗率を、前記チャネル膜のうち前記有機膜の下部に配された領域の抵抗率より低く設定することが好ましい。
本実験例を図2を用いて説明する。
まず、図2に示すように、2種類のサンプルを作製した。
2,102 IGZO膜
2´ 低抵抗IGZO膜
2a チャネル領域
3,103 ゲート絶縁膜(有機膜)
4,104 ゲート電極膜
5,108 層間膜(SiO2膜)
6,106 ソース・ドレイン領域
7,107 ソース・ドレイン電極膜
105 Al層
Claims (8)
- 酸化物半導体によりチャネル膜を作製する薄膜デバイスの製造方法において、該チャネル膜とゲート電極膜との間に、ゲート絶縁膜として機能する有機膜を塗布法を用いて作製し、その後、該チャネル膜と、外部に導出されたソース・ドレイン電極膜との間に、絶縁膜として機能する層間膜をスパッタリング法を用いて作製することを特徴とする薄膜デバイスの製造方法。
- 前記有機膜がオレフィン系の有機材料により形成されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜デバイスの製造方法。
- 前記チャネル膜と前記ソース・ドレイン電極膜との間に配される前記絶縁膜がSiO2であることを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜デバイスの製造方法。
- 前記チャネル膜のうち前記層間膜の下部に配された領域の抵抗率を、前記チャネル膜のうち前記有機膜の下部に配された領域の抵抗率より低く設定することを特徴とする請求項1から3のうちいずれか1項に記載の薄膜デバイスの製造方法。
- 前記チャネル膜を構成する前記酸化物半導体が、インジウム、ガリウム、亜鉛、スズ、アルミニウム、シリコン、ゲルマニウム、ボロン、マンガン、チタンおよびモリブデンのうち少なくとも1つの元素を含む酸化物半導体により形成されることを特徴とする請求項1から4のうちいずれか1項に記載の薄膜デバイスの製造方法。
- 前記チャネル膜を構成する前記酸化物半導体が、酸化インジウムガリウム亜鉛により形成されることを特徴とする請求項1から4のうちいずれか1項に記載の薄膜デバイスの製造方法。
- 製造工程におけるプロセス温度が、150℃以下に調整されることを特徴とする請求項1から6のうちいずれか1項に記載の薄膜デバイスの製造方法。
- 請求項1から7のうちいずれか1項記載の薄膜デバイスの製造方法により作製されたことを特徴とする薄膜デバイス。
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