JP2013529166A - ガラスシート切断装置 - Google Patents

ガラスシート切断装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2013529166A
JP2013529166A JP2013503704A JP2013503704A JP2013529166A JP 2013529166 A JP2013529166 A JP 2013529166A JP 2013503704 A JP2013503704 A JP 2013503704A JP 2013503704 A JP2013503704 A JP 2013503704A JP 2013529166 A JP2013529166 A JP 2013529166A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass sheet
glass
glass substrate
defect
cutter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013503704A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5514955B2 (ja
Inventor
ホ・キュン・イ
キュ・ファン・イ
ソン・キ・ヘオ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LG Chem Ltd
Original Assignee
LG Chem Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LG Chem Ltd filed Critical LG Chem Ltd
Publication of JP2013529166A publication Critical patent/JP2013529166A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5514955B2 publication Critical patent/JP5514955B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B13/00Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
    • B24B13/015Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor of television picture tube viewing panels, headlight reflectors or the like
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00Other grinding machines or devices
    • B24B27/033Other grinding machines or devices for grinding a surface for cleaning purposes, e.g. for descaling or for grinding off flaws in the surface
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/03Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037Controlling or regulating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/10Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B15/00Systems controlled by a computer
    • G05B15/02Systems controlled by a computer electric
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T83/00Cutting
    • Y10T83/04Processes
    • Y10T83/0524Plural cutting steps
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T83/00Cutting
    • Y10T83/525Operation controlled by detector means responsive to work
    • Y10T83/538Positioning of tool controlled

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本発明は、溶融及び固化の工程を介して連続的に供給されるガラスシートから四角形ガラス基板を切断する装置に関する。前記装置は、ガラスシートを四角形ガラス基板の形に切断する2つ以上のカッターと、ガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向においてガラスシートを三次元的にスキャンすることによりガラスシートの欠陥を検査する欠陥検査部材と、前記カッターのうちの1つ以上のカッターを、欠陥が分布していないガラスシート位置に移動する位置コントローラと、欠陥検査部材のスキャン結果に基づいて位置コントローラによりカッターの位置を向けるコントローラと、を含む。

Description

本発明はガラスシート切断装置に関し、より具体的には、溶融および固化の工程後に連続的に供給されるガラスシートを、四角形ガラス基板に切断する装置であって、ガラスシートを四角形ガラス基板に切断する2つ以上のカッターと、ガラスシートをスキャンして、ガラスシートの長さ方向、幅方向および厚さ方向における欠陥位置を三次元的にチェックする欠陥検査器と、前記カッターの少なくとも1つを、欠陥が分布していないガラスシート部分に移動する位置調節器と、欠陥検査器から受けたスキャン結果に基づいて前記位置調節器にカッターの位置を知らせるコントローラと、を含むガラスシート切断装置に関する。
近年、液晶ディスプレイ(LCD)、プラズマディスプレイパネル(PDP)、および有機発光ダイオード(OLED)などのフラットパネルディスプレイが、多くの注目を集めている
このようなフラットパネルディスプレイを製造するために用いられるガラス基板は、ガラス溶鉱炉において溶融されたガラスを、フラットパネルの形に成形する成形工程と、一次標準に従ってフラットガラスパネルを切断する切断工程と、により製造される。製造されたガラス基板は、ガラスパネルが処理される処理ラインに運ばれる。前記処理ラインにおいて、ガラス基板は、所望のフラットパネルディスプレイのスタンダードに適したサイズに切断され、かつ尖った角は研磨される。また、前記処理ラインにおいて製造されたガラス基板の品質は、検査器を用いて検査されて、ガラス基板が欠陥を有するかどうかを測定する。ガラス基板が欠陥を有する場合、ガラス基板は破棄される。ガラス基板が欠陥を有しない場合、ガラス基板は最終製品として出荷される。
一方、上述したように、ガラス基板の、このような一連の成形工程、切断工程および研磨工程の間に、様々な原因により、ガラス基板が、気泡、異物、例えば石の粒子、汚染物、スクラッチ、切断チップ、クラックなどの欠陥を有することがある。このため、高品質のフラットパネルディスプレイを製造するために、ガラス基板の欠陥が検査されて、ガラス基板を良品質の製品と欠陥製品とに選別し、かつ製造工程中に生じた欠陥の原因がチェックされるとともに修正される。
ガラス基板は、肉眼検査を通して検査されるとともに、カメラ及びマイクロスコープを用いた光学的検査を通して検査される。また、ガラス基板は、全体的に検査されるとともに、次に検査の精度および信頼性を確保するために、検査されたガラス基板のいくつかがサンプルされる。
ガラス基板の欠陥を検査する肉眼検査は通常、ガラス基板の移送ラインとは別個に装着された検査ステーションで行われる。検査器は、ハンドラを用いて、ガラス基板を移送ラインからアンロードするとともに、アンロードされたガラス基板を検査ステーションにロードして、検査ステーションに設けられた蛍光ランプ又はハロゲンランプなどの照明デバイスを用いてガラス基板の欠陥を検査する。しかしながら、ガラス基板には、物理的接触およびハンドラを用いたガラス基板のロードおよびアンロード時のショックにより、スクラッチまたはクラックが生じることがある。また、多くの時間が必要とされ、それにより生産性が低下する。特に、ガラス基板のサイズの大型化および厚さの薄化により、ガラス基板の扱いがますます難しくなっている。このため、ガラス基板の検査には多くの時間と労力がかかる。
このため、連続的な切断工程中、ガラスシートをスキャンしてガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向においてガラスシートの欠陥位置を三次元的にチェックし、かつガラスシートをさまざまな種類のガラス基板に切断し、それにより欠陥率を下げ、廃棄物を抑制し、かつ製造コストを減らす、ガラスシート切断装置に対する、高い必要性がある。
したがって、本発明は前記問題点および未だ解決すべき他の技術的問題点を解決するためになされたものである。
具体的には、本発明の目的は、ガラスシートがガラス基板に切断される場合、ガラスシートが欠陥検査器を用いてスキャンされてガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向における欠陥位置を三次元的にチェックし、かつ少なくとも1つのカッターが、欠陥が分布していないガラスシート部分に動かされて複数のガラス基板を製造し、それによりガラス基板の歩留まり(yield)を最大化する、ガラスシート切断装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、ガラスシートを少なくとも二種類のガラス基板に切断し、それによりガラス基板の歩留まりを改善しかつ製造コストを低減するガラスシート切断装置を提供することにある。
本発明の一態様によれば、前記目的及び他の目的は、溶融および固化の工程後に連続的に供給されるガラスシートを四角形ガラス基板に切断する装置を提供することにより達成され、前記ガラスシート切断装置は、ガラスシートを四角形ガラス基板に切断する2つ以上のカッターと、前記ガラスシートをスキャンしてガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向の欠陥位置を三次元的にチェックする欠陥検査器と、少なくとも1つのカッターを、欠陥が分布していないガラスシート部分に移動する位置調節器と、前記欠陥検出器から受けたスキャン結果に基づいて前記カッターの位置を前記位置調節器に知らせるコントローラと、を含む。
本発明に係るガラスシート切断装置は、ガラスシートをスキャンして前記ガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向における欠陥位置を三次元的にチェックし、欠陥が分布していないガラスシート部分に少なくとも1つのカッターを移動し、かつ前記ガラスシートを四角形ガラス基板に切断する。この結果、ガラス基板の欠陥率を最小にしながら、連続的な量産工程の間、ガラス基板を効率的に製造することができる。
また、欠陥検査器は、ガラスシートの位置を三次元的にチェックしてカッターの位置を決定する。この結果、検出位置に基づいてカッターを適切に移動することができるとともに、連続的な切断工程を行うことができる。
カッターの種類は、カッターがガラスシートを四角形ガラス基板に切断する構造又は特性を有しているのであれば、特に制限されない。各カッターの代表的実施形態は、ダイヤモンドナイフ、又はレーザなどの切断用光源とすることができる。
好適な実施形態において、カッターは、ガラスシートを幅方向(「Y方向」)において第一ガラス基板に切断する第一カッターと、前記各第一ガラス基板を長さ方向(「X方向」)において第二ガラス基板に切断する第二カッターと、前記各第二ガラス基板を幅方向(「X方向」)において第三ガラス基板に切断する第三カッターと、前記第三ガラス基板を長さ方向「Y方向」において切断する第四カッターと、を含むことができる。
例えば、第一カッターは、欠陥が長さ方向(「X方向」)において分布していないガラスシート部分に移動させられて、ガラスシートを第一ガラス基板に切断し、それにより第一ガラス基板の歩留まりを改善することができる。
例えば、各第一ガラス基板が欠陥を有していない場合、第二カッターは、各第一ガラス基板を、欠陥を有していない第二ガラス基板に切断し、それにより良品質の第二ガラス基板を容易に製造することができる。各第二ガラス基板のサイズを、例えば製品規格に基づいて決定することができる。
例えば、各第二ガラス基板が欠陥を有している場合、第三カッターは、各第二ガラス基板を、欠陥を有している第三ガラス基板及び欠陥を有していない第三ガラス基板に切断することができる。
例えば、第四カッターは、欠陥を有している第三ガラス基板を切断して、第三ガラス基板から欠陥を除去することができ、それにより良品質の第四ガラス基板を容易に製造することができる。各第四ガラスのサイズを、例えば製品規格に基づいて決定することができる。
好適な実施形態において、第四カッターは、欠陥を有する第三ガラス基板を、第三ガラス基板の一端又は反対端から第三ガラス基板の長さの30%未満の範囲内で切断して、第三ガラス基板から前記欠陥を除去することができる。より好ましくは、欠陥を有している第三ガラス基板の部分が、第三ガラス基板の長さの0.1〜30%の範囲内で、第三ガラス基板の一端又は反対端から延在する。
一方、第三ガラス基板のうちの、第四カッターにより除去することのできない部分に存在する欠陥を有する欠陥ガラス基板は、破壊することができる。
上記の構成において、欠陥ガラス基板の欠陥のサイズを最小化するため、欠陥ガラス基板の幅は、欠陥を有していないガラス基板のサイズの、20%以下、好ましくは0.1%〜20%とすることができる。
一方、欠陥検出器を、カッターの前段、好ましくは、ガラスシートの長さ方向において配置することができる。この結果、検査工程は、カッターがガラスシートを切断する前に行われ、これにより、ガラスシートを切断した後に検査工程を行う一般的なガラスシート切断装置に比較し、歩留まりが大幅に改善する。
特に、ガラスシートの欠陥を検査する検査工程中、ガラスシートの厚さ方向(Z方向)、並びに長さ方向(X方向)及び幅方向(Y方向)を考慮して、ガラスシートの欠陥を三次元的にチェックする欠陥検査器の特徴は、一般的なガラスシート切断装置から分かるように、新概念である。
好適な実施形態において、欠陥検査器は、2つ以上のカメラを含み、ガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向におけるガラスシートの欠陥位置をチェックすることができる。カメラの数は、ガラスシートの幅に応じて変更することができる。好ましくは、欠陥検査器は、2〜30台のカメラを含む。
前記カメラは、カメラと欠陥との間の距離および角度を測定して、欠陥位置をチェックすることができる。具体的には、欠陥検出器は、2つ以上のカメラを含み、カメラと各欠陥との間の角度及び直線距離を三次元的に測定する。この結果、測定された角度及び直線距離を用いて、各欠陥の位置座標(X,Y,Z)を正確にチェックすることが可能である。
欠陥は、様々な形態で生じることがある。例えば欠陥は、斑点(fish eyes)、泡、黒色点、白色点、或いは、ガラスシートの外面に形成された突起又は溝を含むことがある。
一方、ガラスシートの外面、つまりガラスシートの上部又は底部に存在する欠陥は、切断される対象から除外される。例えば、ガラスシートの上部又は底部に存在する欠陥を、後処理工程(post processing process)中、研磨により除去することができる。この結果、欠陥は、切断される対象から除外され、これにより生産性を向上している。状況次第で、ガラスシートの底部に存在する欠陥のみを、後処理工程中、研磨により除去することができ、かつガラスシートの上部に位置する欠陥を、切断される対象として分離することができる。
好適な実施形態において、コントローラは、サーバー構成(arrangement server)を含み、欠陥検査器により入力される欠陥位置情報に基づいて混合整数線形計画法を実行して、ガラスシートにガラス基板を仮想的に配置することができる。この結果、ガラスシートに対しガラス基板を最適に配置するプランを立てることができる。
例えば、混合整数線形計画法において、制限条件は、欠陥のX,Y,Z座標、ガラス基板の種類及びサイズ、並びにガラスシートのサイズを含むことができ、かつガラス基板のスペース利用を最大化するように目的関数を設定することができる。
具体的な実施形態において、混合整数線形計画法モデルを、以下のように定義することができる。
変数の定義:
:四角形kが有効な場合、1又は0
ZZkk´m:2つの四角形k,k´間の位置関係
kn:四角形k(n=1,2,3,4)の欠陥nのX座標
kn:四角形k(n=1,2,3,4)の欠陥nのY座標
k:欠陥を有する全ての四角形のセット
:四角形kの長さ
:四角形kの高さ
M:0〜1変数の有効性を表す非常に大きい数
前記モデルにおいて、式(2)〜式(7)は、四角形kの角点間の位置関係を示す制限条件であり、かつ式(8)〜(11)は、2つの四角形k,k´間の位置関係を制限条件である。
ここで、m=1は四角形kが四角形k´の左側に配置されることを意味し、m=2は四角形kが四角形k´の右側に配置されることを意味する。また、m=3は四角形kが四角形k´の上側に配置されることを意味し、m=4は四角形kが四角形k´の下側に配置されることを意味する。Mは、前記混合整数線形計画法から、実行不可能な解を除くための変数である。
しかしながら、前記混合整数線形計画法モデルは、例示的な実施形態である。本発明に関係する当業者は、本発明の開示に基づいて、様々な混合整数線形計画法モデルを設定することができ、したがって、本発明の範囲は、前記例示的な実施形態に限定されない。
場合によっては、ガラスシート切断装置は、厚さ検査器をさらに含み、ガラスシート外面の凹凸をチェックすることができる。具体的な実施形態において、厚さ検査器は、センサーを含むことができる。このため、光がガラスシートを透過する場合、ガラスシートの屈折率を測定することができるとともに、前記測定された屈折率に基づいてガラスシート外面の凹凸をチェックすることができる。
好適な実施形態において、ガラスシート外面の凹凸が、ガラスシートの厚さの1%以上の場合、前記凹凸を、除去される欠陥とみなすことができる。
すなわち、ガラスシート外面の凹凸が、ガラスシートの厚さの1%以上の場合、研磨により、良品質のガラスシートを得るのは不可能である。このため、凹凸は、除去される欠陥とみなされ、これにより、ガラス基板の品質の度合いを改善することができる。
別の好適な実施形態において、厚さ検査器を、欠陥検査器とカッターとの間に配置することができる。このため、欠陥検査器を用いて欠陥の座標を測定することが可能であり、さらに、厚さ検査器を用いてガラスシートの凹凸が原因の欠陥をチェックすることが可能であり、これによりガラス基板の品質の度合いを改善することができる。
ガラス基板は、ガラス基板がフラットパネルディスプレイを製造するのに用いることができる限り、特に限定されない。好ましくは、各ガラス基板は、液晶ディスプレイ(LCDs)用ガラスパネル、有機発光ダイオード(OLEDs)用ガラスパネル、又はプラズマディスプレイパネル(PDPs)用ガラスパネルである。
これに対し、ガラスシート切断装置は、欠陥が除去された比較的大型のガラス基板を製造するための第一製造ラインと、欠陥が除去された比較的小型のガラス基板を製造するための第二製造ラインと、を含むことができる。
良品質の製品と欠陥製品とを容易に分けることができるように、第二製造ラインは、第一製造ラインから分岐することができる。
本発明の別の態様に従って、ガラス基板製造方法が提供される。具体的な実施形態において、溶融及び固化の工程後に連続的に供給されるガラスシートから四角形ガラス基板を製造する方法が提供される。前記ガラスシート製造方法は、欠陥検査器を用いてガラスシートをスキャンして、ガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向における欠陥の位置を三次元的にチェックする検査工程と、第一カッターを用いて前記ガラスシートを幅方向(「X方向」)において切断して前記ガラスシーを第一ガラス基板に分割する第一分割工程と、第二カッターを用いて前記各第一ガラス基板を長さ方向(「Y方向」)において切断して前記各第一ガラス基板を第二ガラス基板に分割する第二分割工程と、第三カッターを用いて前記各第二ガラス基板を幅方向(「X方向」)において切断して前記各第二ガラス基板を第三ガラス基板に分割する第三分割工程と、第四カッターを用いて前記各第三ガラス基板を長さ方向(「Y方向」)において切断する第四切断工程と、前記第四切断工程において得られたガラス基板の表面を研磨して、前記検査工程において除去できる欠陥に分類された欠陥を除去する後処理工程と、を含む。
例えば、第二分割工程を介して得られた良品質の第二ガラス基板は、大型サイズのLCDs用のガラス基板とすることができ、第三分割工程を介して得られた良品質の第三ガラス基板は、中型サイズのLCDs用のガラス基板とすることができ、かつ第四切断工程を介して得られた良品質の第四ガラス基板は、小型サイズのLCDs用のガラス基板とすることができる。場合によっては、第三ガラス基板は、製品としての第四ガラス基板を製造するために用いられる半製品とすることができる。同様に、第二ガラス基板は、製品としての第三ガラス基板及び/又は第四ガラス基板を製造するために用いられる半製品とすることができる。
例えば、第一カッターを、欠陥が長さ方向(「X方向」)において分布していないガラスシート部分に移動して、ガラスシートを第一ガラス基板に切断することができる。
例えば、各第一ガラス基板が欠陥を有していない場合、第二カッターは、各第一ガラス基板を、欠陥を有していない第二ガラス基板に切断することができる。
例えば、各第二ガラス基板が欠陥を有している場合、第三カッターは、各第二ガラス基板を、欠陥を有する第三ガラス基板及び欠陥を有していない第三ガラス基板に切断することができる。
例えば、第四カッターは、欠陥を有している第三ガラス基板を切断して、第三ガラス基板から欠陥を除去することができる。
前記ガラスシート製造方法は、前記検査工程の実行後に、混合整数線形計画法を実行して、ガラスシートにガラス基板を仮想的に配置する配置工程をさらに含むことができる。
この場合、混合整数線形計画法の制限的表現(restrictive expression)は、欠陥のX,Y,Z座標、ガラス基板の種類及びサイズ、並びにガラスシートのサイズを含み、かつ混合整数線形計画法の客観的表現(objective expression)は、ガラス基板のスペース利用を最大化するように構成することができる。
本発明の前記目的及び他の目的、特徴、並びに利点は、添付の図面と併用される以下の詳細な説明から、より明確に理解される。
図1は、本発明の一実施形態に係るガラスシート切断装置の構成を示す図である。 図2は、本発明の一実施形態に係るガラスシート切断装置の配置を示す図である。 図3は、図2の欠陥検査器を主に示す垂直断面図である。 図4は、図2のA−A´線に沿って切り取られた垂直断面図である。 図5は、本発明の一実施形態に係るガラスシート製造方法を示すフローチャートである。 図6は、本発明の例示的な実施形態と比較例との比較を示すグラフである。 図7は、本発明の例示的な実施形態と比較例との比較を示す典型的なプランである。
本発明の好適な実施形態が添付の図面を参照して詳細に説明される。しかしながら、本発明の要旨は、例示的な実施形態により限定されないことに留意されたい。
図1は、本発明の一実施形態に係るガラスシート切断装置の構成を主に示す。
図1を参照すると、ガラスシート切断装置100は、カッター20と、欠陥検査器40と、位置調整器10と、コントローラ30と、を含む。
カッター20は、ガラスシートを四角形ガラス基板に切断し、かつ位置調整器10は、少なくとも1つのカッターを、欠陥が分布していないガラスシート部分に移動する。
欠陥検査器40は、ガラスシートをスキャンして、ガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向における、ガラスシートの欠陥位置を三次元的にチェックする。
また、欠陥検査器40は、スキャン結果、すなわちX座標、Y座標及びX座標により示された欠陥位置情報を、コントローラ30に送る。
欠陥検査器40は、カメラを用いて欠陥の形状をキャプチャして、欠陥が、ガラスシートの内側又は外側に存在するかどうかを判断する。
コントローラ30は、欠陥検査器40から受けたスキャン結果に基づいて、カッター20の位置を、位置調節器10に知らせるとともに、欠陥検査器40から受けた欠陥を、修復される必要のある欠陥、良状態を有している欠陥、悪い状態を有している欠陥、及び判断するのが困難な状態を有している欠陥に分類する。
また、コントローラ30は、サーバー構成(図示省略)を含み、欠陥検査器40により入力された欠陥の位置情報に基づいて、混合整数線形計画法を実行して、ガラスシートにガラス基板を仮想的に配置する。
図2は、本発明の一実施形態に係るガラスシート切断装置の配置を主に示す図である。図3は、図2の欠陥検査器を主に示す垂直断面図である。また、図4は、図2のA−A´線に沿って切り取られた垂直断面図である。
これらの図を参照すると、ガラスシート切断装置102は、溶融及び固化の工程後に、連続的に供給されるガラスシート10を、四角形ガラス基板14,18に切断するものであり、位置調節器を含む4つのカッター22,24,26,28と、欠陥検査器42と、厚さ検査器44と、コントローラ(図示省略)と、を含む。
カッター22,24,26,28は、ガラスシート10を幅方向(「Y方向」)において第一ガラス基板12に切断するための第一カッター22と、前記各第一ガラス基板12を長さ方向(「X方向」)において第二ガラス基板14に切断するための第二カッター24と、前記各第二ガラス基板14を幅方向(「X方向」)において第三ガラス基板15,16に切断する第三カッター26と、第三ガラス基板15,16を長さ方向(「Y方向」)において切断する第四カッター28と、を含む。
また、第一カッター22は、ガラスシート10を、欠陥位置にかかわらず同じ間隔で、第一ガラス基板12に切断し、かつ第二カッター24は、各第一ガラス基板12が欠陥を有していない場合、各第一ガラス基板12を、欠陥を有していない第二ガラス基板14に切断する。
第三カッター26は、各第二ガラス基板14が欠陥を有している場合、第二ガラス基板14を、欠陥を有している第三ガラス基板15と欠陥を有していない第三ガラス基板17とに切断する。第四カッター28は、第三ガラス基板15を切断して、第三ガラス基板15から欠陥を除去する。
また、第四カッター28は、第三ガラス基板15を、第三ガラス基板15の一端から、第三ガラス基板15の長さLの20%未満の範囲内で切断して、第三ガラス基板15から欠陥を除去する。
第三ガラス基板15,16,17のうち、第四カッター28により除去することができない部分に存在する欠陥を有している欠陥ガラス基板16は、破壊される。欠陥ガラス基板16の幅は、欠陥を有していない第三ガラス基板17のサイズの10%以下であり、欠陥ガラス基板16のサイズを最小化するために、それは破壊される。
欠陥検査器42は、ガラスシート10の長さ方向Xにおいて第一カッター22の前段に配置される。欠陥検査器42は、4つ以上のカメラを含み、ガラスシート10の長さ方向、幅方向及び厚さ方向においてガラスシート10の欠陥位置をチェックする。
各カメラ46は、前記各カメラと前記欠陥52,54,56との間の距離b,b´及び角度a,a´を測定して、前記欠陥位置をチェックする。
欠陥52,54,56は、ガラスシート10の上部及び底部に存在する欠陥52,54と、ガラスシート10内に存在する欠陥56と、を含む。ガラスシート10の上部及び底部に存在する欠陥52,54は、後処理工程としての研磨工程において除去される。この結果、欠陥52,54は、切断される対象から除外される。
厚さ検査器44は、欠陥検査器44と第一カッター22との間に位置させられて、ガラスシート10の外面の凹凸をチェックする。ガラスシート10の外面に形成された不均一部分57,58が、例えば、ガラスシート10の厚さの1%以上を占める場合、前記不均一部分は後処理工程である研磨工程において除去することのできる欠陥であり、前記欠陥はガラスシート10から除去される。
一方、ガラスシート切断装置102は、欠陥が除去された比較的大型の第二ガラス基板14を製造するための第一製造ライン32と、欠陥が除去された比較的小型の第四ガラス基板18を製造するための第二製造ライン34と、を含む。
また、第二製造ライン34は、第一製造ライン32から分岐している。
図5は、本発明の一実施形態に係るガラスシート製造方法を主に示すフローチャートである。
図5を図2及び図3とともに参照すると、ガラスシート製造方法は、溶融及び固化の工程後に連続的に供給されるガラスシート10から、四角形ガラス基板14,18を製造する方法であり、欠陥検査器42を用いてガラスシート10をスキャンして、ガラスシート10の長さ方向、幅方向及び厚さ方向における欠陥52,54,56の位置を三次元的にチェックする検査工程(S10)と、第一カッター22を用いてガラスシート10を幅方向(「X方向」)において切断して、ガラスシート10を第一ガラス基板12に分割する第一分割工程(S20)と、第二カッター24を用いて各第一ガラス基板12を長さ方向(「Y方向」)において切断して、各第一ガラス基板12を第二ガラス基板14に分割する第二分割工程(S30)と、第三カッター26を用いて各第二ガラス基板14を幅方向(「X方向」)において切断して、各第二ガラス基板14を第三ガラス基板15に分割する第三分割工程(40)と、第四カッター28を用いて各第三ガラス基板15を長さ方向(「Y方向」)において切断する第四切断工程(S50)と、前記第四切断工程(S50)において得られたガラス基板の表面を研磨して、前記検査工程(S10)において除去することができる欠陥に分類された欠陥を除去する後処理工程(S60)と、を含む。
また、第一カッター22は、欠陥位置にかかわらず同じ間隔で、ガラスシート10を第一ガラス基板12に切断し、かつ第二カッター24は、各第一ガラス基板12が欠陥を有していない場合、各第一ガラス基板12を、欠陥を有していない第二ガラス基板14に切断する。
各第二ガラス基板14が欠陥を有している場合、第三カッター26は、各第二ガラス基板14を、欠陥を有している第三ガラス基板15と欠陥を有していない第三ガラス基板17とに切断する。第四カッター28は、第三ガラス基板15を切断して、第三ガラス基板15から欠陥を除去する。
以下、本発明は、実験に基づいて、より詳細に説明されるが、以下の実験は、本発明を説明するためだけになされたものであり、したがって本発明の要旨は、前記実験に限定されない。
<実施例1>
混合整数線形計画法は、A型液晶ディスプレイ(LCDs)用ガラス基板のサイズを考慮して実行されて、ガラスシート上の欠陥を有していない位置に、A型LCDs用ガラス基板を配置した。混合整数線形計画法の客観的表現において、A型LCDs用ガラス基板の面積効率は最大化された。混合整数線形計画法の制限的表現において、コンピュータシミュレーションは、A型LCDs用ガラス基板のサイズ及び欠陥座標(X,Y,Z)を用いて実行された。
<実施例2>
B型LCDs用ガラス基板のサイズを除いて実施例1と同じ方法が用いられ、A型LCDs用ガラス基板サイズの半分のB型LCDs用ガラス基板のサイズが、混合整数線形計画法の客観的表現において考慮され、かつB型LCDs用ガラス基板の面積効率は、実施例1において得られた結果に基づいてA型LCDs用ガラス基板がガラスシートに配置された状態で、混合整数線形計画法の制限的表現において最大化された。
<比較例1>
混合整数線形計画法を用いることなく、A型LCDs用ガラス基板のサイズに基づいて、A型LCDs用ガラス基板は順次、ガラスシートに、ガラスシートの長さ方向においてガラスシートの左端から右端へと配置された。
<実験例1>
前記実施例及び比較例において行われたガラス基板の配置に基づく切断結果は、図6及び図7に示されている。
まず、図6を参照すると、実施例及び比較例1に係るガラス基板の欠陥密度が増加すると、ガラス基板の歩留まりが低下しているが、実施例1及び実施例2に係るガラス基板の歩留まりは、比較例1に係るガラス基板の歩留まりよりも、序々に低下していることがわかる。
次に、図7を図6とともに参照すると、欠陥密度が0.17である場合、比較例1の歩留まりは約25%であり、実施例1の歩留まりは約43%であり、実施例2の歩留まりは約69%であることがわかる。この結果、本発明に係るガラスシート切断装置が用いられると、歩留まりは急激に上がり、その結果、生産コストを大幅に低減することができることがわかる。
具体的には、比較例1に従ってA型LCDs用の6つの良品質のガラス基板が製造され、実施例1に従ってA型LCDs用の7つの良品質のガラス基板が製造されていることがわかる。また、A型LCDs用の7つの良品質のガラス基板が製造されるとともに、同時に、B型LCDs用の16つの良品質のガラス基板が実施例2に従って製造されていることがわかる。
本発明の好適な実施形態が説明の目的のために開示されたが、当業者であれば、添付の特許請求の範囲に開示された発明の範囲および精神を逸脱することなく、さまざまな修正、追加及び置換が可能であることを理解する。
上記説明から明らかなように、本発明に係るガラスシート切断装置は、ガラスシートが四角形ガラス基板に切断されると、前記ガラスシートは、欠陥検査器を用いてスキャンされて、前記ガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向における欠陥位置を三次元的にチェックし、かつ少なくとも1つのカッターが、欠陥が分布していないガラスシート部分に移動させられて複数のガラス基板を製造するように、構成されている。この結果、ガラス基板の歩留まりを最大化することが可能となる。
また、前記ガラスシートは、少なくとも2種類のガラス基板に切断される。この結果、ガラス基板の歩留まりを改善することが可能となり、これにより製造コストを大幅に低減している。
10 位置調節器
20 カッター
30 コントローラ
40 欠陥検査器
100 ガラスシート切断装置

Claims (25)

  1. 溶融及び固化の工程後に連続的に供給されるガラスシートを四角形ガラス基板に切断する装置であって、前記ガラスシートの切断装置が、
    ガラスシートを四角形ガラス基板に切断する2つ以上のカッターと、
    前記ガラスシートをスキャンして、前記ガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向における欠陥位置を三次元的にチェックする欠陥検査器と、
    少なくとも1つの前記カッターを、欠陥が分布していない前記ガラスシート部分に移動する位置調節器と、
    前記欠陥検査器から受けたスキャン結果に基づいて前記カッターの位置を前記位置調節器に知らせるコントローラと、
    を備えるガラスシート切断装置。
  2. 前記各カッターが、ダイヤモンドナイフ、又は切断用光源である請求項1に記載のガラスシート切断装置。
  3. 前記切断用光源が、レーザである請求項2に記載のガラスシート切断装置。
  4. 前記カッターが、
    前記ガラスシートを幅方向(「Y方向」)において第一ガラス基板に切断する第一カッターと、
    前記各第一ガラス基板を長さ方向(「X方向」)において第二ガラス基板に切断する第二カッターと、
    前記各第二ガラス基板を幅方向(「X方向」)において第三ガラス基板に切断する第三カッターと、
    前記第三ガラス基板を長さ方向(「Y方向」)において切断する第四カッターと、
    を備える請求項1に記載のガラスシート切断装置。
  5. 前記第一カッターが、欠陥が長さ方向(「X方向」)において分布していない前記ガラスシート部分に移動させられて、前記ガラスシートを前記第一ガラス基板に切断する請求項4に記載のガラスシート切断装置。
  6. 前記各第一ガラス基板が欠陥を有していない場合、前記第二カッターが、前記各第一ガラスを、欠陥を有していない第二ガラス基板に切断する請求項4に記載のガラスシート切断装置。
  7. 前記各第二ガラス基板が欠陥を有している場合、前記第三カッターが、前記各第二ガラス基板を、欠陥を有している第三ガラス基板及び欠陥を有していない第三ガラス基板に切断する請求項4に記載のガラスシート切断装置。
  8. 前記第四カッターが、欠陥を有している前記第三ガラス基板を切断して、前記第三ガラス基板から前記欠陥を除去する請求項4に記載のガラスシート切断装置。
  9. 前記第四カッターが、欠陥を有している前記第三ガラス基板を、前記第三ガラス基板の一端又は反対端から前記第三ガラス基板の長さの30%未満の範囲内で切断して、前記第三ガラス基板から前記欠陥を除去する請求項8に記載のガラスシート切断装置。
  10. 前記第三ガラス基板のうちの、前記第四カッターにより除去することができない部分に存在する欠陥を有する欠陥ガラス基板が、破壊される請求項7に記載のガラスシート切断装置。
  11. 前記欠陥ガラス基板のサイズを最小化するため、前記欠陥ガラス基板の幅が、欠陥を有していない前記ガラス基板のサイズの20%以下である請求項10に記載のガラスシート切断装置。
  12. 前記欠陥検査器が、前記ガラスシートの長さ方向において前記カッターの前段に配置されている請求項1に記載のガラスシート切断装置。
  13. 前記欠陥検査器が、2つ以上のカメラを備え、前記ガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向において前記ガラスシートの欠陥位置をチェックする請求項1に記載のガラスシート切断装置。
  14. 前記カメラが、前記カメラと前記欠陥との距離及び角度を測定して、前記欠陥位置をチェックする請求項13に記載のガラスシート切断装置。
  15. 前記欠陥が、斑点、泡、黒色点、白色点、或いは前記ガラスシートの外面に形成された突起又は溝を備える請求項1に記載のガラスシート切断装置。
  16. 前記ガラスシートの外面、すなわち前記ガラスシートの上部又は底部に存在する前記欠陥が、切断される対象から除外される請求項1に記載のガラスシート切断装置。
  17. 前記コントローラが、サーバー構成を備え、前記欠陥検査器により入力された前記欠陥位置情報に基づいて混合整数線形計画法を実行して、前記ガラスシートにガラス基板を仮想的に配置する請求項1に記載のガラスシート切断装置。
  18. 厚さ検査器をさらに備え、前記ガラスシート外面の凹凸をチェックする請求項1に記載のガラスシート切断装置。
  19. 前記ガラスシート外面の凹凸が前記ガラスシートの厚さの1%以上の場合、前記凹凸が、除去される欠陥とみなされる請求項18に記載のガラスシート切断装置。
  20. 前記厚さ検査器が、前記欠陥検査器と前記カッターとの間に配置されている請求項18に記載のガラスシート切断装置。
  21. 前記各ガラス基板が、液晶ディスプレイ用(LCDs)ガラスパネル、有機発光ダイオード用(OLEDs)ガラスパネル、又はプラズマディスプレイパネル(PDPs)用ガラスパネルである請求項1に記載のガラスシート切断装置。
  22. 前記ガラスシート切断装置が、
    欠陥が除去された、比較的大型のガラス基板を製造するための第一製造ラインと、
    欠陥が除去された、比較的小型のガラス基板を製造するための第二製造ラインと、
    を備える請求項1に記載のガラスシート切断装置。
  23. 前記第二製造ラインが前記第一製造ラインから分岐している請求項22に記載のガラスシート切断装置。
  24. 溶融及び固化の工程後に連続的に供給されるガラスシートから四角形ガラス基板を製造する方法であって、前記ガラスシートの製造方法が、
    欠陥検査器を用いて前記ガラスシートをスキャンして、前記ガラスシートの長さ方向、幅方向及び厚さ方向における欠陥位置を三次元的にチェックする検査工程と、
    第一カッターを用いて、前記ガラスシートを幅方向(「X方向」)において切断して、前記ガラスシートを第一ガラス基板に分割する第一分割工程と、
    第二カッターを用いて、前記各第一ガラス基板を長さ方向(「Y方向」)において切断して、前記各第一ガラス基板を第二ガラス基板に分割する第二分割工程と、
    第三カッターを用いて、前記各第二ガラス基板を幅方向(「X方向」)において切断して、前記各第二ガラス基板を第三ガラス基板に分割する第三分割工程と、
    第四カッターを用いて、前記各第三ガラス基板を長さ方向(「Y方向」)において切断する第四切断工程と、
    前記第四切断工程において得られたガラス基板の表面を研磨して、前記検査工程において除去することができる欠陥に分類された欠陥を除去する後処理工程と、
    を備えるガラスシート製造方法。
  25. 前記検査工程の実行後に混合整数線形計画法を実行して、前記ガラスシートにガラス基板を仮想的に配置する配置工程をさらに備える請求項24に記載のガラスシート製造方法。
JP2013503704A 2010-04-21 2011-04-20 ガラスシート切断装置 Active JP5514955B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20100036729 2010-04-21
KR10-2010-0036729 2010-04-21
PCT/KR2011/002826 WO2011132929A2 (ko) 2010-04-21 2011-04-20 유리시트 커팅 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013529166A true JP2013529166A (ja) 2013-07-18
JP5514955B2 JP5514955B2 (ja) 2014-06-04

Family

ID=44834636

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013503704A Active JP5514955B2 (ja) 2010-04-21 2011-04-20 ガラスシート切断装置

Country Status (4)

Country Link
US (2) US8821211B2 (ja)
JP (1) JP5514955B2 (ja)
KR (1) KR101259349B1 (ja)
WO (1) WO2011132929A2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018055696A (ja) * 2017-10-27 2018-04-05 サン−ゴバン グラス フランス ガラスの欠陥を識別する方法及びシステム
WO2018123406A1 (ja) * 2016-12-26 2018-07-05 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法
CN108387586A (zh) * 2018-02-06 2018-08-10 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 刀轮检测装置及刀轮检测方法
CN115321804A (zh) * 2022-08-16 2022-11-11 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 一种玻璃基板切割整理分析装置
WO2023243308A1 (ja) * 2022-06-17 2023-12-21 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及び製造装置

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101179071B1 (ko) * 2009-03-10 2012-09-03 주식회사 엘지화학 사각형 단위체의 제조방법
KR101259349B1 (ko) * 2010-04-21 2013-04-30 주식회사 엘지화학 유리시트 커팅 장치
FR2975687A1 (fr) * 2011-05-27 2012-11-30 Saint Gobain Procede de decoupe d'un ou plusieurs vitrages
WO2014079478A1 (en) 2012-11-20 2014-05-30 Light In Light Srl High speed laser processing of transparent materials
EP2754524B1 (de) 2013-01-15 2015-11-25 Corning Laser Technologies GmbH Verfahren und Vorrichtung zum laserbasierten Bearbeiten von flächigen Substraten, d.h. Wafer oder Glaselement, unter Verwendung einer Laserstrahlbrennlinie
US20140263211A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Apple Inc. Methods for Trimming Display Polarizers Using Lasers
US20140268105A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Zygo Corporation Optical defect inspection system
EP2781296B1 (de) 2013-03-21 2020-10-21 Corning Laser Technologies GmbH Vorrichtung und verfahren zum ausschneiden von konturen aus flächigen substraten mittels laser
US11556039B2 (en) 2013-12-17 2023-01-17 Corning Incorporated Electrochromic coated glass articles and methods for laser processing the same
US9676167B2 (en) 2013-12-17 2017-06-13 Corning Incorporated Laser processing of sapphire substrate and related applications
US9850160B2 (en) 2013-12-17 2017-12-26 Corning Incorporated Laser cutting of display glass compositions
US9815730B2 (en) 2013-12-17 2017-11-14 Corning Incorporated Processing 3D shaped transparent brittle substrate
US20150165560A1 (en) 2013-12-17 2015-06-18 Corning Incorporated Laser processing of slots and holes
US10293436B2 (en) 2013-12-17 2019-05-21 Corning Incorporated Method for rapid laser drilling of holes in glass and products made therefrom
US9701563B2 (en) 2013-12-17 2017-07-11 Corning Incorporated Laser cut composite glass article and method of cutting
US10442719B2 (en) 2013-12-17 2019-10-15 Corning Incorporated Edge chamfering methods
TWI730945B (zh) 2014-07-08 2021-06-21 美商康寧公司 用於雷射處理材料的方法與設備
US10526234B2 (en) 2014-07-14 2020-01-07 Corning Incorporated Interface block; system for and method of cutting a substrate being transparent within a range of wavelengths using such interface block
US10335902B2 (en) 2014-07-14 2019-07-02 Corning Incorporated Method and system for arresting crack propagation
US10611667B2 (en) 2014-07-14 2020-04-07 Corning Incorporated Method and system for forming perforations
EP3169477B1 (en) 2014-07-14 2020-01-29 Corning Incorporated System for and method of processing transparent materials using laser beam focal lines adjustable in length and diameter
US10047001B2 (en) 2014-12-04 2018-08-14 Corning Incorporated Glass cutting systems and methods using non-diffracting laser beams
WO2016115017A1 (en) 2015-01-12 2016-07-21 Corning Incorporated Laser cutting of thermally tempered substrates using the multi photon absorption method
US11773004B2 (en) 2015-03-24 2023-10-03 Corning Incorporated Laser cutting and processing of display glass compositions
CN107666983B (zh) 2015-03-27 2020-10-02 康宁股份有限公司 可透气窗及其制造方法
KR101971954B1 (ko) * 2015-06-22 2019-04-24 주식회사 엘지화학 유리기판 결함 제거 시스템 및 이를 이용한 유리기판의 표면결함 제거 방법
CN107835794A (zh) 2015-07-10 2018-03-23 康宁股份有限公司 在挠性基材板中连续制造孔的方法和与此相关的产品
SG11201809797PA (en) 2016-05-06 2018-12-28 Corning Inc Laser cutting and removal of contoured shapes from transparent substrates
US10410883B2 (en) 2016-06-01 2019-09-10 Corning Incorporated Articles and methods of forming vias in substrates
US10794679B2 (en) 2016-06-29 2020-10-06 Corning Incorporated Method and system for measuring geometric parameters of through holes
KR20190035805A (ko) 2016-07-29 2019-04-03 코닝 인코포레이티드 레이저 처리를 위한 장치 및 방법
JP2019532908A (ja) 2016-08-30 2019-11-14 コーニング インコーポレイテッド 強度マッピング光学システムによる材料のレーザー切断
CN113399816B (zh) 2016-09-30 2023-05-16 康宁股份有限公司 使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法
WO2018081031A1 (en) * 2016-10-24 2018-05-03 Corning Incorporated Substrate processing station for laser-based machining of sheet-like glass substrates
US20180118602A1 (en) * 2016-11-01 2018-05-03 Corning Incorporated Glass sheet transfer apparatuses for laser-based machining of sheet-like glass substrates
US10752534B2 (en) 2016-11-01 2020-08-25 Corning Incorporated Apparatuses and methods for laser processing laminate workpiece stacks
US10688599B2 (en) 2017-02-09 2020-06-23 Corning Incorporated Apparatus and methods for laser processing transparent workpieces using phase shifted focal lines
CN107105044B (zh) * 2017-05-02 2020-03-20 中国建材国际工程集团有限公司 一种玻璃切割控制系统及方法
US11078112B2 (en) 2017-05-25 2021-08-03 Corning Incorporated Silica-containing substrates with vias having an axially variable sidewall taper and methods for forming the same
US10580725B2 (en) 2017-05-25 2020-03-03 Corning Incorporated Articles having vias with geometry attributes and methods for fabricating the same
US10626040B2 (en) 2017-06-15 2020-04-21 Corning Incorporated Articles capable of individual singulation
EP3474003A1 (en) * 2017-10-20 2019-04-24 Essilor International Method for evaluating cosmetic defects of an optical device
US11554984B2 (en) 2018-02-22 2023-01-17 Corning Incorporated Alkali-free borosilicate glasses with low post-HF etch roughness
CN110655313A (zh) * 2019-09-26 2020-01-07 湖南巨强再生资源科技发展有限公司 一种浮法玻璃优化切割的方法及设备
WO2023091304A1 (en) * 2021-11-17 2023-05-25 Corning Incorporated Methods and apparatus for processing a glass ribbon

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0682735A (ja) * 1992-09-01 1994-03-25 Sharp Corp 液晶表示装置の欠陥修正方法
JPH08257890A (ja) * 1995-03-27 1996-10-08 Toshiba Electron Eng Corp 研磨装置
JPH08327561A (ja) * 1995-06-05 1996-12-13 Nippon Sheet Glass Co Ltd 連続シート状物体の欠点検査装置
JPH11337324A (ja) * 1998-05-28 1999-12-10 Taiyo Elex Kk 板ガラス検査システム
JP2004122351A (ja) * 2002-07-31 2004-04-22 Asahi Glass Co Ltd 基板の研磨方法及びその装置
JP2005053774A (ja) * 2003-08-01 2005-03-03 Schott Ag 板ガラスを連続的に製造されたガラス板から切断する方法及び装置
WO2005122116A1 (ja) * 2004-06-11 2005-12-22 Nippon Electric Glass Co., Ltd. フラットパネルディスプレイ用板ガラスの選別方法、フラットパネルディスプレイ用板ガラス及びその製造方法
JP2007256106A (ja) * 2006-03-23 2007-10-04 Sharp Corp 表示パネル検査装置及びそれを用いた表示パネル検査方法
JP2009008564A (ja) * 2007-06-28 2009-01-15 Panasonic Electric Works Co Ltd 画像処理による外観検査方法およびその装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4044639A (en) * 1973-01-18 1977-08-30 Mitsubishi Rayon Co., Ltd. System for cutting pieces from a traveling strip of sheet material
FR2500630A1 (fr) * 1981-02-25 1982-08-27 Leser Jacques Procede pour la recherche des defauts des feuilles de verre et dispositif mettant en oeuvre ce procede
EP0880023A1 (de) * 1997-05-23 1998-11-25 Siemag Transplan Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Detektion von Oberflächenfehlern beim kontinuierlichen mechanischem Abtragen von Material von Stranggiessprodukten
JP2000311924A (ja) * 1999-04-26 2000-11-07 Hitachi Ltd 外観検査方法および装置
FR2819505B1 (fr) * 2001-01-12 2003-02-28 Saint Gobain Procede de decoupe des bords d'un ruban continu de verre, dispositif de mise en oeuvre, plateau de verre decoupe selon ce procede
SG147307A1 (en) * 2001-11-08 2008-11-28 Sharp Kk Method and apparatus for cutting apart a glass substrate, liquid crystal panel, and apparatus for fabricating a liquid crystal panel
KR100742195B1 (ko) * 2002-04-03 2007-07-25 엔에이치 테크노글라스 가부시키가이샤 액정표시장치용 유리기판 및 그 기본유리의 제조방법과기본유리 검사장치
JP3739333B2 (ja) * 2002-04-16 2006-01-25 川崎重工業株式会社 板ガラスの割断システム
KR100742273B1 (ko) * 2006-03-24 2007-07-24 주식회사 넥스트아이 엘씨디 패널의 이물질 검사 장치
US8051679B2 (en) * 2008-09-29 2011-11-08 Corning Incorporated Laser separation of glass sheets
KR101259349B1 (ko) * 2010-04-21 2013-04-30 주식회사 엘지화학 유리시트 커팅 장치

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0682735A (ja) * 1992-09-01 1994-03-25 Sharp Corp 液晶表示装置の欠陥修正方法
JPH08257890A (ja) * 1995-03-27 1996-10-08 Toshiba Electron Eng Corp 研磨装置
JPH08327561A (ja) * 1995-06-05 1996-12-13 Nippon Sheet Glass Co Ltd 連続シート状物体の欠点検査装置
JPH11337324A (ja) * 1998-05-28 1999-12-10 Taiyo Elex Kk 板ガラス検査システム
JP2004122351A (ja) * 2002-07-31 2004-04-22 Asahi Glass Co Ltd 基板の研磨方法及びその装置
JP2005053774A (ja) * 2003-08-01 2005-03-03 Schott Ag 板ガラスを連続的に製造されたガラス板から切断する方法及び装置
WO2005122116A1 (ja) * 2004-06-11 2005-12-22 Nippon Electric Glass Co., Ltd. フラットパネルディスプレイ用板ガラスの選別方法、フラットパネルディスプレイ用板ガラス及びその製造方法
JP2007256106A (ja) * 2006-03-23 2007-10-04 Sharp Corp 表示パネル検査装置及びそれを用いた表示パネル検査方法
JP2009008564A (ja) * 2007-06-28 2009-01-15 Panasonic Electric Works Co Ltd 画像処理による外観検査方法およびその装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018123406A1 (ja) * 2016-12-26 2018-07-05 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法
JP2018104221A (ja) * 2016-12-26 2018-07-05 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法
CN110023256A (zh) * 2016-12-26 2019-07-16 日本电气硝子株式会社 玻璃板的制造方法
TWI743265B (zh) * 2016-12-26 2021-10-21 日商日本電氣硝子股份有限公司 玻璃板的製造方法
CN110023256B (zh) * 2016-12-26 2021-11-16 日本电气硝子株式会社 玻璃板的制造方法
JP2018055696A (ja) * 2017-10-27 2018-04-05 サン−ゴバン グラス フランス ガラスの欠陥を識別する方法及びシステム
CN108387586A (zh) * 2018-02-06 2018-08-10 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 刀轮检测装置及刀轮检测方法
WO2023243308A1 (ja) * 2022-06-17 2023-12-21 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及び製造装置
CN115321804A (zh) * 2022-08-16 2022-11-11 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 一种玻璃基板切割整理分析装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2011132929A2 (ko) 2011-10-27
JP5514955B2 (ja) 2014-06-04
US8821211B2 (en) 2014-09-02
KR101259349B1 (ko) 2013-04-30
US9327381B2 (en) 2016-05-03
US20140102143A1 (en) 2014-04-17
KR20110117618A (ko) 2011-10-27
US20130078891A1 (en) 2013-03-28
WO2011132929A3 (ko) 2012-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5514955B2 (ja) ガラスシート切断装置
EP1560018B1 (en) Method and device for preparing reference image in glass bottle inspection device
TWI311128B (en) Manufacturing method of glass substrate for liquid crystal display device, inspection method of mother glass, manufacturing method of mother glass, and mother glass inspection apparatus
CN103646893A (zh) 晶圆缺陷检测方法
US8670605B2 (en) Identification method of data point distribution area on coordinate plane and recording medium
KR102044788B1 (ko) 글라스 기판 검사 장치
JP2011202991A (ja) 板ガラスの端部検査方法及び端部検査装置
JP5123244B2 (ja) 形状欠損検査装置、形状モデリング装置および形状欠損検査プログラム
CN103646889A (zh) 晶圆缺陷检测方法
CN111624208A (zh) 面板残材检测装置及检测方法
US20110264404A1 (en) Identification method of data point distribution area on coordinate plane and recording medium
JP2018112411A (ja) ガラス板の検査方法及びその製造方法並びにガラス板の検査装置
TW201415011A (zh) 板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置
TWI585395B (zh) 面板檢測裝置與方法
US8655049B2 (en) Identification method of data point distribution area on coordinate plane and recording medium
JP2018195735A (ja) 半導体製造装置および半導体装置の製造方法
US8610889B2 (en) Automated optical inspection device and calibration method thereof
TWI593958B (zh) 鑑別光學薄膜缺陷方法
CN110579489B (zh) 针对镜面碗状结构产品的缺陷检测方法
CN214276846U (zh) 一种适用于半导体封装基板类产品目检治具套板
JP2010096513A (ja) 半導体チップの外観検査方法
CN110741244A (zh) 基板边缘测试装置、系统和方法
WO2024095708A1 (ja) 判定システム及び判定方法
JP2003322842A (ja) 基板の分類法、基板の作用面積を定義して該基板を分類する方法、および基板の作用面積を定義する方法
CN211235590U (zh) 多工位自动晶圆检查机

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131126

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20131129

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140109

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140303

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140331

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5514955

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250