JP2013511397A - ナノ粒子を柱形態で組織化させるための配列装置及びその配列方法 - Google Patents
ナノ粒子を柱形態で組織化させるための配列装置及びその配列方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013511397A JP2013511397A JP2012539823A JP2012539823A JP2013511397A JP 2013511397 A JP2013511397 A JP 2013511397A JP 2012539823 A JP2012539823 A JP 2012539823A JP 2012539823 A JP2012539823 A JP 2012539823A JP 2013511397 A JP2013511397 A JP 2013511397A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nanoparticles
- substrate
- upper substrate
- nanoparticle
- lower substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 title claims abstract description 216
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 184
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 14
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 3
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 description 2
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000004577 artificial photosynthesis Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
- B81C1/00111—Tips, pillars, i.e. raised structures
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B3/00—Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B3/00—Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
- B82B3/0061—Methods for manipulating nanostructures
- B82B3/0076—Methods for manipulating nanostructures not provided for in groups B82B3/0066 - B82B3/0071
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/03—Static structures
- B81B2203/0361—Tips, pillars
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【選択図】図1
Description
Claims (26)
- ナノ粒子が付着する上部基板を含むナノ粒子輸送板と、
前記上部基板と向い合って対応して前記上部基板に付着したナノ粒子が分離して位置する下部基板を含むナノ粒子収容板と、
前記下部基板上に形成されて前記ナノ粒子が所定の位置に配列されるように誘導する多数のナノホームと、
前記上部基板と下部基板間の距離と、前記ナノ粒子及び前記ナノホームの位置を測定するセンサーとを含むナノ粒子の配列装置。 - 前記上部基板と下部基板の間隔を調節するためのCCD(Charge Coupled Device)をさらに含む、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 前記上部基板及び下部基板が、3次元的移動が可能な上部マルチステージ及び下部マルチステージに付着していることを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 前記上部及び下部基板が、パターン化された形状を有することを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 各ナノ粒子及びナノホームの位置を認識するために、前記パターン化された形状を撮影するための走査電子顕微鏡(Scanning Electron Microscopy、SEM)をさらに含むことを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 前記上部基板及び前記下部基板が、金属、半導体、またはアイソレーターからなることを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 前記ナノホームは、幅が10〜10,000nmで、高さが30〜100,000nmであることを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 前記ナノホームを形成する材料が、フォトレジスター、高分子、シリコン基板または電極物質を含むことを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 前記ナノホームの幅が、前記ナノ粒子の平均直径の85〜95%であることを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 前記ナノ粒子が、10〜10,000nmの平均直径を有することを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 前記ナノ粒子の平均直径が、前記ナノホームの幅に対して85〜95%であることを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 前記センサーが、上部マルチステージ及び下部マルチステージ上にそれぞれ3個以上設置されることを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- 前記上部基板が、下部基板より大きさが小さいことを特徴とする、請求項1記載のナノ粒子の配列装置。
- ナノ粒子が一面に付着する上部基板を含むナノ粒子輸送板を準備する工程と、
多数のナノホームが一面に設置される下部基板を含むナノ粒子収容板を準備する工程と、
前記上部基板及び前記下部基板を隣接させる工程と、
センサーを用いて前記上部基板と前記下部基板間の距離と、前記上部基板及び前記下部基板のパターン位置を測定する工程と、
前記ナノ粒子を前記上部基板から分離した後、前記多数のナノホームに位置させる工程とを含むナノ粒子の配列方法。 - 前記ナノ粒子収容板を準備する工程及び前記ナノ粒子収容板を準備する工程が、予備測定工程を含む、請求項14記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記上部基板及び前記下部基板が、各内部に所定の大きさを有するパターン化された形状を有することを特徴とする、請求項14記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記上部基板及び前記下部基板を隣接させる工程が、CCD(Charge Coupled Device)を用いて前記上部基板と前記下部基板間の間隔を調節する工程を含む、請求項14記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記上部基板と前記下部基板間の距離と、前記上部基板及び前記下部基板のパターン位置を測定する工程が、3個以上のセンサーが上部及び下部にそれぞれ設置されたセンサーを用いて遂行されることを特徴とする、請求項14記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記上部基板及び前記下部基板のパターン位置を測定する工程が、走査電子顕微鏡(SEM)を用いて遂行されることを特徴とする、請求項14記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記工程を反復して遂行することによって、前記多数のナノホームにナノ粒子を積層させてナノ粒子の多層を形成させる工程をさらに含むことを特徴とする、請求項14記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記ナノ粒子の多層が、2層以上からなることを特徴とする、請求項20記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記ナノ粒子の多層を相互に接着させる工程をさらに含むことを特徴とする、請求項20記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記ナノ粒子を前記上部基板から分離した後、前記多数のナノホームに位置させる工程が、前記多数のナノホームに前記ナノ粒子を挿入後、体積膨脹によって前記ナノ粒子を固定するために、前記多数のナノホームに熱を加える工程を含むことを特徴とする、請求項14記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記ナノ粒子を前記上部基板から分離した後、前記多数のナノホームに位置させる工程は、幅が前記ナノ粒子の平均直径の85〜95%である前記多数のナノホームに前記ナノ粒子を強制的に挿入して固定する工程を含むことを特徴とする、請求項14記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記ナノ粒子が、金属、半導体及びアイソレーターからなることを特徴とする、請求項14記載のナノ粒子の配列方法。
- 前記ナノ粒子が、球形、楕円体、五角柱形、六角柱形、八角柱形、七角柱形、円柱型、角が屈曲した六角柱形、六面体型、角が屈曲した六面体型の形状を有することを特徴とする、請求項14記載のナノ粒子の配列方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2009-0117179 | 2009-11-30 | ||
KR1020090117179A KR101161060B1 (ko) | 2009-11-30 | 2009-11-30 | 나노입자를 기둥형태로 조직화시키기 위한 배열장치 및 그 배열방법 |
PCT/KR2010/008493 WO2011065793A2 (ko) | 2009-11-30 | 2010-11-29 | 나노입자를 기둥형태로 조직화시키기 위한 배열장치 및 그 배열방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013511397A true JP2013511397A (ja) | 2013-04-04 |
JP5607747B2 JP5607747B2 (ja) | 2014-10-15 |
Family
ID=44067135
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012539823A Expired - Fee Related JP5607747B2 (ja) | 2009-11-30 | 2010-11-29 | ナノ粒子を柱形態で組織化させるための配列装置及びその配列方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120231151A1 (ja) |
EP (1) | EP2508470A4 (ja) |
JP (1) | JP5607747B2 (ja) |
KR (1) | KR101161060B1 (ja) |
WO (1) | WO2011065793A2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220392810A1 (en) * | 2020-01-09 | 2022-12-08 | Applied Materials, Inc. | Method of enhancing contrast while imaging high aspect ratio structures in electron microscopy |
KR102378177B1 (ko) * | 2020-04-06 | 2022-03-25 | 한국과학기술원 | 수직 방향으로 정렬된 나노패턴을 갖는 2차원 재료의 제조방법 |
Citations (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10261244A (ja) * | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Ricoh Co Ltd | 微粒子の規則的配列方法および光記録媒体 |
JPH1111917A (ja) * | 1997-06-18 | 1999-01-19 | Canon Inc | カーボンナノチューブの製法 |
JP2000133794A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Univ Tokyo | 超微粒子構造の作製方法 |
JP2001057146A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-02-27 | Lucent Technol Inc | ナノスケール導体アセンブリとその製造方法、電界放出装置、マイクロ波真空管増幅器、及びディスプレイ装置 |
JP2003017405A (ja) * | 2001-06-04 | 2003-01-17 | Samsung Electronics Co Ltd | 選択成長させたカーボンナノチューブの電子放出源を用いた電子放出リソグラフィ装置及びその動作方法並びにリソグラフィ用電子放出エミッタの製造方法 |
JP2003185832A (ja) * | 2001-12-17 | 2003-07-03 | Ricoh Co Ltd | 微粒子構造体および微粒子構造体の作成方法 |
JP2004087756A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 金属ボールの配列方法及びこれを用いた半導体装置の製造方法 |
JP2004098246A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-04-02 | Japan Science & Technology Corp | ナノスケール山谷構造基板を用いた金ナノ粒子一次元鎖列の製造法 |
JP2004511828A (ja) * | 2000-10-16 | 2004-04-15 | オジン,ジョフリー,アラン | 基板上の結晶コロイドパターンの自己集合方法および光学的用途 |
JP2004156074A (ja) * | 2002-11-01 | 2004-06-03 | Univ Shinshu | めっき構造物とその製造方法 |
US20040144970A1 (en) * | 2002-10-07 | 2004-07-29 | Dunwei Wang | Nanowires |
WO2004074170A1 (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-02 | Fujitsu Limited | 複合材、構造体およびその製造方法、多結晶構造膜並びに微小粒子の製造方法 |
JP2004259667A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Umk Technology Kk | カーボンナノチューブ電極の垂直整列法及び垂直に配列したカーボンナノチューブを具えたfedカソード |
WO2005022565A1 (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-10 | Japan Science And Technology Agency | ナノ粒子デバイス及びナノ粒子デバイスの製造方法 |
JP2005271198A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Hewlett-Packard Development Co Lp | ナノスケールフィーチャを備えたテンプレートが形成されている構造体 |
JP2006086125A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Samsung Sdi Co Ltd | カーボンナノチューブの整列方法、及びそれを利用した電界放出素子の製造方法 |
JP2006138980A (ja) * | 2004-11-11 | 2006-06-01 | Sony Corp | 微粒子構造体、微粒子構造体の形成方法及びスクリーン |
JP2006152372A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Shinshu Univ | 金属−ファイバ複合めっき物およびその製造方法 |
JP2006297549A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Keio Gijuku | 金属ナノ粒子の配列蒸着方法及び金属ナノ粒子を用いたカーボンナノチューブの成長方法 |
JP2006346820A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Yamagata Fujitsu Ltd | ナノホール構造体及びその製造方法、スタンパ及びその製造方法、磁気記録媒体及びその製造方法、並びに、磁気記録装置及び磁気記録方法 |
JP2007152548A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Samsung Electronics Co Ltd | 多孔性テンプレートを用いたナノワイヤの製造方法及びナノワイヤ構造体 |
JP2007227355A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-09-06 | Samsung Electronics Co Ltd | 3次元構造の発光素子及びその製造方法 |
JP2007277085A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 基板上にナノ粒子を位置付けるための方法 |
JP2008115469A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-22 | Korea Univ Industry & Academy Collaboration Foundation | 鉄−金のバーコードナノワイヤー及びその製造方法 |
JP2008520444A (ja) * | 2004-11-09 | 2008-06-19 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク | 粒子ネットワークおよびこうしたネットワークを実現する方法 |
JP2009178808A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | New Industry Research Organization | ナノオーダーサイズの三次元周期構造を有した三次元構造体 |
JP2010515820A (ja) * | 2007-01-05 | 2010-05-13 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | パルスecdによる、組成変調された強磁性層を含むナノ構造の形成 |
WO2011004993A1 (en) * | 2009-07-10 | 2011-01-13 | Korea University Research And Business Foundation | Structure fabrication using nanoparticles |
JP2011162844A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Nagasaki Univ | 化合物半導体極細線の製造方法、及び化合物半導体極細線集合体 |
Family Cites Families (61)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29507225U1 (de) * | 1995-04-29 | 1995-07-13 | Grünewald, Wolfgang, Dr.rer.nat., 09122 Chemnitz | Ionenstrahlpräparationsvorrichtung für die Elektronenmikroskopie |
WO1998005920A1 (en) * | 1996-08-08 | 1998-02-12 | William Marsh Rice University | Macroscopically manipulable nanoscale devices made from nanotube assemblies |
US7090973B1 (en) * | 1999-04-09 | 2006-08-15 | Oscient Pharmaceuticals Corporation | Nucleic acid sequences relating to Bacteroides fragilis for diagnostics and therapeutics |
US6591658B1 (en) * | 2000-10-25 | 2003-07-15 | Advanced Micro Devices, Inc. | Carbon nanotubes as linewidth standards for SEM & AFM |
NZ513637A (en) * | 2001-08-20 | 2004-02-27 | Canterprise Ltd | Nanoscale electronic devices & fabrication methods |
US7117790B2 (en) * | 2002-01-11 | 2006-10-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Microcontact printing |
EP1471828A1 (en) * | 2002-01-18 | 2004-11-03 | California Institute Of Technology | Method and apparatus for nanomagnetic manipulation and sensing |
JP2003231074A (ja) * | 2002-02-12 | 2003-08-19 | Daiken Kagaku Kogyo Kk | ナノピンセットの操作方法 |
US6872645B2 (en) * | 2002-04-02 | 2005-03-29 | Nanosys, Inc. | Methods of positioning and/or orienting nanostructures |
WO2004034467A2 (en) * | 2002-07-25 | 2004-04-22 | California Institute Of Technology | Sublithographic nanoscale memory architecture |
EP1388521B1 (en) * | 2002-08-08 | 2006-06-07 | Sony Deutschland GmbH | Method for preparing a nanowire crossbar structure |
US6858521B2 (en) * | 2002-12-31 | 2005-02-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method for fabricating spaced-apart nanostructures |
WO2004031289A1 (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-15 | Bridgestone Corporation | カーボンナノチューブ配向複合体,カーボンナノチューブ配向複合体の製造方法,および,カーボンナノチューブ配向複合体を用いた空気入りタイヤ,車両用ホイール,タイヤホイール組立体,ならびにディスクブレーキ |
JP4083673B2 (ja) * | 2002-12-17 | 2008-04-30 | 農工大ティー・エル・オー株式会社 | ナノ構造体の製造方法及び該方法により製造されたナノ構造体、並びに該方法を実行するための製造装置 |
US7828620B2 (en) * | 2003-01-09 | 2010-11-09 | Sony Corporation | Method of manufacturing tubular carbon molecule and tubular carbon molecule, method of manufacturing field electron emission device and field electron emission device, and method of manufacturing display unit and display unit |
GB0304623D0 (en) * | 2003-02-28 | 2003-04-02 | Univ Surrey | Methods for the fabrication of nanoscale structures and semiconductor devices |
KR100504080B1 (ko) * | 2003-05-26 | 2005-07-27 | 한국기계연구원 | 선택적 부가압력을 이용한 uv 나노임프린트 리소그래피공정 |
US6943117B2 (en) * | 2003-03-27 | 2005-09-13 | Korea Institute Of Machinery & Materials | UV nanoimprint lithography process using elementwise embossed stamp and selectively additive pressurization |
ES2490740T3 (es) * | 2003-06-06 | 2014-09-04 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Aparato para toma de muestras de fluido sanguíneo y detección de analitos |
JP2005041835A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Fuji Xerox Co Ltd | カーボンナノチューブ構造体、その製造方法、カーボンナノチューブ転写体および溶液 |
US20070176319A1 (en) * | 2003-08-06 | 2007-08-02 | University Of Delaware | Aligned carbon nanotube composite ribbons and their production |
TWI248106B (en) * | 2003-11-19 | 2006-01-21 | Canon Kk | Method for aligning needle-like substances and alignment unit |
TWI237618B (en) * | 2004-06-03 | 2005-08-11 | Ind Tech Res Inst | A long-distance nanometer positioning apparatus |
US7339184B2 (en) * | 2004-07-07 | 2008-03-04 | Nanosys, Inc | Systems and methods for harvesting and integrating nanowires |
US7718230B2 (en) * | 2004-11-11 | 2010-05-18 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Method and apparatus for transferring an array of oriented carbon nanotubes |
US7390947B2 (en) * | 2005-01-18 | 2008-06-24 | Intel Corporation | Forming field effect transistors from conductors |
US7557470B2 (en) * | 2005-01-18 | 2009-07-07 | Massachusetts Institute Of Technology | 6-axis electromagnetically-actuated meso-scale nanopositioner |
US8414908B2 (en) * | 2005-04-28 | 2013-04-09 | The Regents Of The University Of California | Compositions comprising nanostructures for cell, tissue and artificial organ growth, and methods for making and using same |
JP2007165586A (ja) | 2005-12-14 | 2007-06-28 | Seiko Epson Corp | 原盤、微細構造体の製造方法、製造装置、光学デバイス、及び半導体デバイス |
US7494910B2 (en) * | 2006-03-06 | 2009-02-24 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming semiconductor package |
CN101400599B (zh) * | 2006-03-10 | 2010-12-01 | 松下电器产业株式会社 | 各向异性形状部件的安装方法 |
WO2007117698A2 (en) * | 2006-04-07 | 2007-10-18 | Qd Vision, Inc. | Composition including material, methods of depositing material, articles including same and systems for depositing material |
WO2007120877A2 (en) * | 2006-04-14 | 2007-10-25 | Qd Vision, Inc. | Transfer surface for manufacturing a light emitting device |
KR100810983B1 (ko) | 2006-05-11 | 2008-03-10 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 위치 선택적 수직형 나노선 성장 방법, 수직형 나노선을포함하는 반도체 나노 소자 및 이의 제조 방법 |
CA2551194A1 (en) * | 2006-06-23 | 2007-12-23 | Xinyu Liu | Mems-based nanomanipulators/nanopositioners |
US8389119B2 (en) * | 2006-07-31 | 2013-03-05 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Composite thermal interface material including aligned nanofiber with low melting temperature binder |
WO2008118191A2 (en) * | 2006-09-29 | 2008-10-02 | University Of South Carolina | Reprogrammable parallel nanomanufacturing |
WO2008096335A2 (en) * | 2007-02-07 | 2008-08-14 | Yeda Research And Development Co. Ltd. | Producing an array of nanoscale structures on a substrate surface via a self-assembled template |
US7892610B2 (en) * | 2007-05-07 | 2011-02-22 | Nanosys, Inc. | Method and system for printing aligned nanowires and other electrical devices |
AU2008251612A1 (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Nanoink, Inc. | Compact nanofabrication apparatus |
KR100974623B1 (ko) * | 2007-12-24 | 2010-08-09 | 고려대학교 산학협력단 | 정렬도가 향상된 오산화이바나듐 나노선 박막의 제조방법 및 그로부터 제조된 오산화이바나듐 나노선 박막 |
JP5019537B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2012-09-05 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 配向カーボンナノチューブ集合体の製造方法及び製造装置 |
US8272250B2 (en) * | 2008-04-16 | 2012-09-25 | Her Majesty The Queen As Represented By The Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government | Nanoparticle array sensors |
US20100045169A1 (en) * | 2008-08-25 | 2010-02-25 | Seoul National University Research & Development Business Foundation (Snu R&Db Foundation) | Nano electronic devices |
JP2010054773A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Toshiba Corp | 異物除去方法及び半導体装置の製造方法 |
US8518837B2 (en) * | 2008-09-25 | 2013-08-27 | The University Of Massachusetts | Method of producing nanopatterned articles using surface-reconstructed block copolymer films |
TWI358278B (en) * | 2008-12-22 | 2012-02-21 | Chien Ming Chen | Laser capture microdissection system and electric |
WO2010117102A1 (ko) * | 2009-04-09 | 2010-10-14 | 서강대학교 산학협력단 | 콜로이드 입자들을 단결정들로 정렬하는 방법 |
JP5443070B2 (ja) * | 2009-06-19 | 2014-03-19 | 東京エレクトロン株式会社 | インプリントシステム |
JP5060517B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2012-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | インプリントシステム |
JP2011009362A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Tokyo Electron Ltd | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
US20110085968A1 (en) * | 2009-10-13 | 2011-04-14 | The Regents Of The University Of California | Articles comprising nano-materials for geometry-guided stem cell differentiation and enhanced bone growth |
US8922094B2 (en) * | 2010-02-08 | 2014-12-30 | Uchicago Argonne, Llc | Microelectromechanical (MEMS) manipulators for control of nanoparticle coupling interactions |
WO2011127207A2 (en) * | 2010-04-07 | 2011-10-13 | California Institute Of Technology | Simple method for producing superhydrophobic carbon nanotube array |
US9005648B2 (en) * | 2010-07-06 | 2015-04-14 | The Regents Of The University Of California | Inorganically surface-modified polymers and methods for making and using them |
KR101420232B1 (ko) * | 2010-08-20 | 2014-07-21 | 서강대학교산학협력단 | 홀을 가지는 다공성 박막 및 그의 제조 방법 |
US9455105B2 (en) * | 2010-09-27 | 2016-09-27 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Carbon nanotube or graphene based pressure switch |
WO2012087352A2 (en) * | 2010-12-20 | 2012-06-28 | The Regents Of The University Of California | Superhydrophobic and superoleophobic nanosurfaces |
CN102760804B (zh) * | 2011-04-29 | 2015-01-21 | 清华大学 | 发光二极管 |
US9278855B2 (en) * | 2011-05-27 | 2016-03-08 | Drexel University | Flexible SERS substrates with filtering capabilities |
US20140212575A1 (en) * | 2012-09-24 | 2014-07-31 | The Regents Of The University Of Colorado, A Body Corporate | Novel Self-Assembling Nanocomposite Structures and Methods of Preparing Same |
-
2009
- 2009-11-30 KR KR1020090117179A patent/KR101161060B1/ko active IP Right Grant
-
2010
- 2010-11-29 WO PCT/KR2010/008493 patent/WO2011065793A2/ko active Application Filing
- 2010-11-29 EP EP10833605.8A patent/EP2508470A4/en not_active Withdrawn
- 2010-11-29 JP JP2012539823A patent/JP5607747B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-11-29 US US13/509,991 patent/US20120231151A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10261244A (ja) * | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Ricoh Co Ltd | 微粒子の規則的配列方法および光記録媒体 |
JPH1111917A (ja) * | 1997-06-18 | 1999-01-19 | Canon Inc | カーボンナノチューブの製法 |
JP2000133794A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Univ Tokyo | 超微粒子構造の作製方法 |
JP2001057146A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-02-27 | Lucent Technol Inc | ナノスケール導体アセンブリとその製造方法、電界放出装置、マイクロ波真空管増幅器、及びディスプレイ装置 |
JP2004511828A (ja) * | 2000-10-16 | 2004-04-15 | オジン,ジョフリー,アラン | 基板上の結晶コロイドパターンの自己集合方法および光学的用途 |
JP2003017405A (ja) * | 2001-06-04 | 2003-01-17 | Samsung Electronics Co Ltd | 選択成長させたカーボンナノチューブの電子放出源を用いた電子放出リソグラフィ装置及びその動作方法並びにリソグラフィ用電子放出エミッタの製造方法 |
JP2003185832A (ja) * | 2001-12-17 | 2003-07-03 | Ricoh Co Ltd | 微粒子構造体および微粒子構造体の作成方法 |
JP2004087756A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 金属ボールの配列方法及びこれを用いた半導体装置の製造方法 |
JP2004098246A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-04-02 | Japan Science & Technology Corp | ナノスケール山谷構造基板を用いた金ナノ粒子一次元鎖列の製造法 |
US20040144970A1 (en) * | 2002-10-07 | 2004-07-29 | Dunwei Wang | Nanowires |
JP2004156074A (ja) * | 2002-11-01 | 2004-06-03 | Univ Shinshu | めっき構造物とその製造方法 |
WO2004074170A1 (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-02 | Fujitsu Limited | 複合材、構造体およびその製造方法、多結晶構造膜並びに微小粒子の製造方法 |
JP2004259667A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Umk Technology Kk | カーボンナノチューブ電極の垂直整列法及び垂直に配列したカーボンナノチューブを具えたfedカソード |
WO2005022565A1 (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-10 | Japan Science And Technology Agency | ナノ粒子デバイス及びナノ粒子デバイスの製造方法 |
JP2005271198A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Hewlett-Packard Development Co Lp | ナノスケールフィーチャを備えたテンプレートが形成されている構造体 |
JP2006086125A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Samsung Sdi Co Ltd | カーボンナノチューブの整列方法、及びそれを利用した電界放出素子の製造方法 |
JP2008520444A (ja) * | 2004-11-09 | 2008-06-19 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク | 粒子ネットワークおよびこうしたネットワークを実現する方法 |
JP2006138980A (ja) * | 2004-11-11 | 2006-06-01 | Sony Corp | 微粒子構造体、微粒子構造体の形成方法及びスクリーン |
JP2006152372A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Shinshu Univ | 金属−ファイバ複合めっき物およびその製造方法 |
JP2006297549A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Keio Gijuku | 金属ナノ粒子の配列蒸着方法及び金属ナノ粒子を用いたカーボンナノチューブの成長方法 |
JP2006346820A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Yamagata Fujitsu Ltd | ナノホール構造体及びその製造方法、スタンパ及びその製造方法、磁気記録媒体及びその製造方法、並びに、磁気記録装置及び磁気記録方法 |
JP2007152548A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Samsung Electronics Co Ltd | 多孔性テンプレートを用いたナノワイヤの製造方法及びナノワイヤ構造体 |
JP2007227355A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-09-06 | Samsung Electronics Co Ltd | 3次元構造の発光素子及びその製造方法 |
JP2007277085A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 基板上にナノ粒子を位置付けるための方法 |
JP2008115469A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-22 | Korea Univ Industry & Academy Collaboration Foundation | 鉄−金のバーコードナノワイヤー及びその製造方法 |
JP2010515820A (ja) * | 2007-01-05 | 2010-05-13 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | パルスecdによる、組成変調された強磁性層を含むナノ構造の形成 |
JP2009178808A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | New Industry Research Organization | ナノオーダーサイズの三次元周期構造を有した三次元構造体 |
WO2011004993A1 (en) * | 2009-07-10 | 2011-01-13 | Korea University Research And Business Foundation | Structure fabrication using nanoparticles |
JP2012521306A (ja) * | 2009-07-10 | 2012-09-13 | コリア・ユニバーシティ・リサーチ・アンド・ビジネス・ファウンデーション | ナノ粒子を用いた構造製造 |
JP2011162844A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Nagasaki Univ | 化合物半導体極細線の製造方法、及び化合物半導体極細線集合体 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JEONG GON SON, WAN KI BAE, HUIMAN KANG, PAUL F. NEALEY AND KOOKHEON CHAR: "Placement Control of Nanomaterial Arrays on the Surface-Reconstructed Block Copolymer Thin Films", ACS NANO, vol. 3, no. 12, JPN6013060194, 16 November 2009 (2009-11-16), pages 3927 - 3934, ISSN: 0002870365 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5607747B2 (ja) | 2014-10-15 |
WO2011065793A2 (ko) | 2011-06-03 |
WO2011065793A3 (ko) | 2011-11-10 |
EP2508470A4 (en) | 2016-07-06 |
KR20110060565A (ko) | 2011-06-08 |
EP2508470A2 (en) | 2012-10-10 |
KR101161060B1 (ko) | 2012-06-29 |
US20120231151A1 (en) | 2012-09-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206696201U (zh) | 一种面向柔性电路板的多尺度自动视觉检测装置 | |
JP5696076B2 (ja) | 半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法 | |
CN111290088B (zh) | 发光元件的透镜耦合方法及装置 | |
KR20120034862A (ko) | 나노 스케일 3차원 프린팅을 사용한 초정밀 가공 장치 및 방법 | |
JP2012507882A (ja) | エッジ・フィールドでのナノインプリントのためのアライメント | |
WO2010050500A1 (ja) | アライメント装置制御装置およびアライメント方法 | |
JP5607747B2 (ja) | ナノ粒子を柱形態で組織化させるための配列装置及びその配列方法 | |
CN110102908A (zh) | 一种基于三维视觉定位的激光除胶装置及方法 | |
JP2010510519A (ja) | ガラスシートの歪を測定するためのゲージ | |
JP2018004378A (ja) | 自動撮像装置 | |
CN110082922A (zh) | 基板层叠装置、基板层叠方法及立体图像显示装置 | |
JP2019527482A (ja) | ボンディング位置合わせのためのデバイスおよび方法 | |
US20100025868A1 (en) | Apparatus and method for manufacturing optical elements | |
JP2007163333A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
CN109506626A (zh) | 一种相机倾斜角的测量方法 | |
JP5600952B2 (ja) | 位置検出装置、基板貼り合わせ装置、位置検出方法、基板貼り合わせ方法、及びデバイスの製造方法 | |
EP1525085B1 (en) | Method and device for forming a body having a three-dimensional structure | |
CN115031626B (zh) | 一种基片坐标测量方法 | |
KR20140100119A (ko) | 얼라인 장치 및 이를 이용한 얼라인 방법 | |
CN114571725A (zh) | 一种led封装挡墙的打印设备 | |
CN107112273A (zh) | 真空卡盘装置 | |
JP2009503820A (ja) | 型および物品を整合配置する方法 | |
CN116249895A (zh) | 基于x射线检验集成电路的方法和系统 | |
WO2017158819A1 (ja) | 微細構造体の加工方法および微細構造体の加工装置 | |
TW201535694A (zh) | 晶圓級光學模組及其製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140805 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140828 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5607747 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |