JP5696076B2 - 半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法 - Google Patents
半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5696076B2 JP5696076B2 JP2012064451A JP2012064451A JP5696076B2 JP 5696076 B2 JP5696076 B2 JP 5696076B2 JP 2012064451 A JP2012064451 A JP 2012064451A JP 2012064451 A JP2012064451 A JP 2012064451A JP 5696076 B2 JP5696076 B2 JP 5696076B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- semiconductor
- control unit
- unit
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 436
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 43
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 32
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 31
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 6
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
- H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
- H01L2223/54426—Marks applied to semiconductor devices or parts for alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/0401—Bonding areas specifically adapted for bump connectors, e.g. under bump metallisation [UBM]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/06—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
- H01L2224/061—Disposition
- H01L2224/0612—Layout
- H01L2224/0615—Mirror array, i.e. array having only a reflection symmetry, i.e. bilateral symmetry
- H01L2224/06154—Mirror array, i.e. array having only a reflection symmetry, i.e. bilateral symmetry covering only portions of the surface to be connected
- H01L2224/06155—Covering only the peripheral area of the surface to be connected, i.e. peripheral arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16135—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/16145—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/757—Means for aligning
- H01L2224/75753—Means for optical alignment, e.g. sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/8112—Aligning
- H01L2224/81121—Active alignment, i.e. by apparatus steering, e.g. optical alignment using marks or sensors
- H01L2224/8113—Active alignment, i.e. by apparatus steering, e.g. optical alignment using marks or sensors using marks formed on the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06513—Bump or bump-like direct electrical connections between devices, e.g. flip-chip connection, solder bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06541—Conductive via connections through the device, e.g. vertical interconnects, through silicon via [TSV]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06593—Mounting aids permanently on device; arrangements for alignment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
<1.1.1 半導体チップの構成>
図1〜図7を用いて、第1の実施形態に係る半導体素子の基本的な構成について説明する。図1は、第1の実施形態に係る半導体素子の基本的な構成を模式的に示す鳥瞰図である。図2は、第1の実施形態に係る半導体素子の上面の基本的な構成を模式的に示す平面図であり、図3は、図2中の波線部Aに囲まれた部分を拡大した平面図である。図4は、第1の実施形態に係る半導体素子の底面の基本的な構成を模式的に示す平面図であり、図5は、図4中の波線部Bに囲まれた部分を拡大した平面図である。図6は、第1の実施形態に係る半導体素子の側面の基本的な構成を模式的に示す平面図であり、図7は、図6中の波線部Cに囲まれた部分を拡大した平面図である。尚、図6(a)及び図7(a)においては、y軸方向に沿った半導体チップ10の辺に接するアライメントマーク11a及び11bを図示していない。また、図6(b)及び図7(b)においては、x軸方向に沿った半導体チップ10の辺に接するアライメントマーク11a及び11bを図示していない。
次に、図8〜図10を用いて、本実施形態に係る半導体装置200について説明する。図8は、本実施形態に係る半導体装置200の基本的な構成を模式的に示した鳥瞰図であり、図9は、図8に示す半導体装置200をx軸―z軸平面から見た図であり、図10は、図9中の波線部Eを拡大した図である。ここでは簡単の為に4枚の半導体チップ10が積層されている例を示している。尚、図9(a)及び図10(a)においては、y軸方向に沿った半導体チップ10の辺に接するアライメントマーク11a及び11bを図示していない。また、図9(b)及び図10(b)においては、x軸方向に沿った半導体チップ10の辺に接するアライメントマーク11a及び11bを図示していない。
次に、図11及び図12を用いて、第1の実施形態に係る、個片化される前の半導体素子10の基本的な構成について概略的に説明する。図11は、第1の実施形態に係る、個片化される前の半導体素子10の基本的な構成を模式的に示した平面図である。図12は、個片化される前の4つの半導体素子10を示したものである。簡単のため、図11、及び図12は、半導体素子10の底面10b側を示している。
次に、図13を用いて、半導体装置200を製造するための半導体製造装置100について説明する。図13は、本実施形態に係る半導体製造装置100の基本的な構成を模式的に示すブロック図である。この半導体製造装置100は、半導体装置200の製造と、半導体装置200の検査を行う機構を有している。
次に、本実施形態に係る半導体装置の基本的な製造方法について、概略的に説明する。図14は、本実施形態に係る半導体装置の基本的な製造方法を模式的に示したフローチャートである。尚、ここでは、上述で説明した半導体チップ10を複数積層することによって、半導体装置200を製造する方法について説明する。
まず、制御部30は、半導体チップ10を積層する際に用いる補正値が、制御部30内に設定されているか否かを確認する。
制御部30は、ステップS1001において、補正値が確定していないと判定する場合、フリップチップボンダ装置(不図示)などで、半導体チップ10のはんだバンプ面10bのアライメントマーク11bと、接続する半導体チップ10の金属電極面10aのアライメントマーク11aの認識し、ステージ20及び保持部50の座標を決定し、その後、半導体チップ10の位置座標に基づいて、半導体チップ10の積層を行う。また、後述するステップS1006によって、仮の補正値が導出されている場合は、制御部30は、該仮の補正値を用いて、保持部50の位置を補正しながら、半導体チップ10の積層を行う。
具体的には、まず、半導体チップ10は、ステージ20に、金属電極12が設けられた上面10aが、保持部50に保持された半導体チップ10の底面10bと接着されるように保持される。また、ステージ20に保持された半導体チップ10に積層される他の半導体チップ10は、保持部50に、はんだバンプ13が設けられた底面10bが、ステージ20に保持された半導体チップ10の上面10aと接着されるように保持される。
そして、例えば計測部60が、ステージ20に保持された半導体チップ10の位置を撮影する。その後、制御部30は、計測部60により得られた情報に基づいて、ステージ20上の半導体チップの位置座標を導出する。そして、制御部30は、ステージ20に保持された半導体チップ10の金属電極12に、該金属電極12に対応するはんだバンプ13が接着されるような位置座表を決定する。そして、制御部30は、決定された位置座標に基づいて、補正部40により、保持部50の位置を調整し、保持部50に保持された半導体チップ10を、ステージ20に保持された半導体チップ10と仮接着させる。この際、ヒータ20aまたはヒータ50a等によって、ステージ20または保持部50を暖めることで、半導体チップ10のはんだバンプ13を、金属電極12に仮接着できる程度に溶かすことができる。そして、同様の工程を繰り返すことによって、図9に示すように、所望の枚数だけ、半導体チップ10を積層することができる。
次に、計測部60は、前記の連続して積層した半導体装置200の各半導体チップ100の同一の角に形成されているアライメントマーク11a及び11bの検査を半導体装置200の側面より、計測部60にて検査する。具体的には、半導体チップ10間の段毎に、半導体チップ10のはんだバンプ面10b側のアライメントマーク11bと、相手方となる半導体チップ10の金属電面極10a側のアライメントマーク11aとを、計測部60にて観察する。
x座標、y座標、及びθを割り出す為に、各角において、x軸方向に沿った半導体チップ10の辺及び、y軸方向に沿った半導体チップ10の辺をそれぞれ独立に計測する必要がある。
図15に示すように、計測部60によって、半導体チップ10のx軸方向に沿った辺(領域X1)と、半導体チップ10のy軸方向に沿った辺(領域Y1)とを観察する。
図16に示すように、例えば、計測部60は、半導体チップ10のx軸方向に沿った辺を計測する場合、各半導体チップ10に設けられたアライメントマーク11a及び11bが計測できる領域X1の計測を行う。具体的には、少なくとも最下層の半導体チップ10−1に設けられているアライメントマーク11aよりもz軸方向の位置が低い下端部A−Bから、少なくとも最上層の半導体チップ10−4に設けられているアライメントマーク11bよりもz軸方向の位置が高い上端部C−Dまで順に計測を行う。更に具体的には、計測部60は、Iに示すように、半導体チップ10−1に設けられたアライメントマーク11a、IIに示すように、半導体チップ10−2に設けられたアライメントマーク11b、IIIに示すように、半導体チップ10−2に設けられたアライメントマーク11a、IVに示すように、半導体チップ10−3に設けられたアライメントマーク11b、Vに示すように、半導体チップ10−3に設けられたアライメントマーク11a、VIに示すように、半導体チップ10−4に設けられたアライメントマーク11bを順に計測する。
計測部60は、領域Y1に対しても同様の計測行い、好ましくは、半導体装置200の全ての角、最低でも2カ所の角で、上述した計測を行う。
そして、制御部30は、計測部60によって得られた画像等の情報に基づいて、各半導体チップ10間の位置ズレ等を検査する。
次に、図17及び図18を用いて、本実施形態に係る半導体装置の基本的な検査方法について簡単に説明する。図17及び図18は、図16に記載の方法で、計測部60に撮影された画像を模式的に示す図である。ここでは、簡単のため、x軸方向に沿った半導体チップ10の辺に面するアライメントマーク11a及び11bを撮影した場合について説明する。
まず、制御部30は、各半導体チップ10間のZ軸方向の間隔(ギャップ)を導出する。具体的には、図17に示すように、半導体装置200の角で計測した情報に基づいて、制御部30は、半導体チップ10−1の上面10a、及び半導体チップ10−2の底面10bの間(I―II間)と、半導体チップ10−2の上面10a、及び半導体チップ10−3の底面10bの間(III―IV間)と、半導体チップ10−3の上面10a、及び半導体チップ10−4の底面10bの間(V―VI間)と、のそれぞれ距離(ギャップ)を算出する。
次に、制御部30は、各アライメントマークの中心位置を割り出すことで、x軸方向、またはy軸方向の位置情報を導出する。具体的には、図18に示すように、制御部30は、半導体チップ10−1のアライメントマーク11aの中心座標(x座標)11a―1と、半導体チップ10−2のアライメントマーク11bの中心座標(x座標)11b―1との差(VII参照)を割り出す。同様に、制御部30は、半導体チップ10−2のアライメントマーク11aの中心座標(x座標)11a―1と、半導体チップ10−3のアライメントマーク11bの中心座標(x座標)11b―1との差(VIII参照)を割り出す。制御部30は、半導体チップ10−3のアライメントマーク11aの中心座標(x座標)11a―1と、半導体チップ10−4のアライメントマーク11bの中心座標(x座標)11b―1との差(IX参照)を割り出す。これにより、各半導体チップ10間のx軸方向の位置ズレを導出することができる。
同様に、y軸方向に沿った半導体チップ10の辺に面するアライメントマーク11a及び11bについても、各半導体チップ10間のギャップと、各半導体チップ10間のy軸方向の位置ズレを導出する。
また、最低でも半導体装置の2カ所の角からx軸方向の位置ズレ、y軸方向の位置ズレを導出することで、各半導体チップ10のθズレを導出することができる。
次に、制御部30は、ステップS1004の検査結果(各半導体チップ10の位置情報)に基づいて、個々の半導体チップ10のxyz軸方向の位置と位置ずれに対する合否判定を行う。
具体的に、制御部30は、ステップS1004によって導出された、各半導体チップ10間の、z軸方向のギャップと、x軸方向、y軸方向、及びθの位置ズレとが、予め設定されている半導体装置200のデバイススペックを満たしているか否かの合否判定を行う。
制御部30が、ステップS1005において、半導体装置200がデバイススペックを満たしていないと判定する場合、制御部30は、ステップS1004によって導出された位置ズレを補正するための仮の補正値を導出する。そして、制御部30は、この仮の補正値を用いて、保持部50の位置を補正しながら、ステップS1002において、半導体チップ10の積層を行う。
制御部30が、ステップS1005において、半導体装置200がデバイススペックを満たしていると判定する場合、制御部30は、複数の半導体チップ10を積層する際に用いる正式な補正値を確定する。例えば、ステップS1002において、制御部30が、ステップS1006で導出された仮の補正値を用いずに、複数の半導体チップ10の積層を行った結果、半導体装置200がスペックを満たす場合、制御部30は、補正値は“無し”として設定する。また、ステップS1002において、制御部30が、ステップS1006で導出された仮の補正値を用いて、複数の半導体チップ10の積層を行った結果、半導体装置200がスペックを満たす場合、制御部30は、ステップS1006で導出された仮の補正値を正式な補正値として設定する。
制御部30は、ステップS1007で確定された補正値を用いて、保持部50の位置の補正を行い、ステップS1002で説明した方法と同様にして、複数の半導体チップ10の積層を行う。
上述した実施形態によれば、半導体装置200の検査装置(半導体製造装置)100は、所定の数の半導体素子(半導体チップ)10が積層された、半導体装置200の検査を行う検査装置であって、少なくとも一つの半導体素子10を有する第1の半導体装置10と、少なくとも一つの半導体素子10を有する第2の半導体装置10と、第1の半導体装置10を保持する第1の保持部(ステージ)20と、第2の半導体装置10を保持する第2の保持部(保持部)50と、第1及び第2の半導体装置10の画像の取得を行う検査部(計測部)60と、第1の保持部20、第2の保持部50、及び検査部60の制御を行う制御部30と、を備えている。半導体素子10は、第1の方向(x軸方向)に沿った2本の第1の辺10x、及び第1の方向に直交する第2の方向(y軸方向)10yに沿った2本の第2の辺を有する四角形状の第1の面10aと、第1の面10aに平行な四角形状の第2の面10bとを有する直方体であって、第1の面10aは、複数の金属電極12と、第1の辺10x及び第2の辺10yによって形成される角の近傍において第1及び第2の辺に接する少なくとも一つの第1の位置合わせマーク(アライメントマーク)11aと、を備え、第2の面10bは、複数のはんだ(はんだバンプ)13と、第1の辺10x及び第2の辺10yによって形成される角の近傍において第1及び第2の辺に接する少なくとも一つの第2の位置合わせマーク(アライメントマーク)11bと、を備えている。第1の保持部20は、第1の半導体装置10の第1の面10aが露出するように、第1の半導体装置10を保持する。第2の保持部50は、第2の半導体装置10の第2の面10bが露出するように、第2の半導体装置10を保持する。そして、制御部30は、所定の数の半導体素子10が積層されるまで、第1及び第2の保持部によって、第1の半導体装置10の露出している複数の金属電極12と、第2の半導体装置10の露出している複数のはんだ13とを接着させることを繰り返すことで半導体装置200を形成する。更に、検査部60は、所定の数の半導体素子10が積層された後に、第1及び第2の方向に直交する第3の方向(z軸方向)に沿って、第1の辺10x及び第2の辺10yによって形成される第1及び第2の半導体装置の同一の角に形成されている第1及び第2の位置合わせマークの画像を取得することを、少なくとも2か所の角で行う。また、制御部30は、検査部60によって取得された画像に基づいて、半導体装置200の複数の半導体素子10の各間の第3の方向に沿った第1の距離を計測し、且つ第1及び第2の半導体装置の第1及び第2の位置合わせマークの位置ズレを計測する。そして、制御部30は、第1の距離、及び位置ズレが、所定の条件を満たすか否かを判定し、第1の距離、及び位置ズレが、所定の条件を満たさないと判定する場合、制御部30は、第1の距離、及び位置ズレを、所定の条件を満たす値に補正する第1の補正値を決定する。そして、制御部30は、第1の補正値を用いて、第1及び第2の半導体装置の積層を行い、第1の距離、及び位置ズレが、所定の条件を満たすと判定する場合、制御部30は、第1の補正値を、第2の補正値として制御部30内に設定し、第2の補正値が制御部30に設定されていない場合、検査部60によって、半導体装置200の第1及び第2の位置合わせマークの画像の取得を行う。また、制御部30は、第2の補正値が制御部30に設定されている場合、第2の補正値を用いて、第1及び第2の半導体装置の積層を行う。
次に、第2の実施形態に係る半導体製造装置100について説明する。尚、第2の実施形態の半導体製造装置100の基本的な構成及び動作等は、上述した実施形態で説明したものと同様なので、詳細な説明は省略する。
図19(a)及び図19(b)に示すように、計測部60は、第1の実施形態の図14で説明したステップS1003の半導体装置200の検査において、計測部60の検査角度を、各半導体チップ10―1〜10―4の側面に対して、0度〜60度の範囲で適宜変更して検査を行うことが可能である。ここでは、計測部60の検査角度を0度〜60度としているが、半導体チップ10―1〜10−4におけるアライメントマーク11a及び11bが撮影できる角度であれば良い。
また、図20に示すように、半導体製造装置100は、半導体装置200の側面側に配置される反射鏡300を備えている。そして、計測部60は、反射鏡300を介して、半導体装置200の側面を、上部方向もしくは下部方向から検査する。より具体的には、計測部60は、第1の実施形態の図14で説明したステップS1003の半導体装置200の検査において、反射鏡300によって反射された画像を取得して検査を行う。このため、計測部60は、一つの平面(例えばx−y平面)を移動する機構のみ有していれば良く、半導体装置200の側面(x−z平面、またはy−z平面)を直接撮影する機構を有して無くても良い。
上述した第2の実施形態において、検査部60は、半導体素子10の第1及び第2の面に対して0度〜60度の角度で、半導体装置200の第1及び第2の位置合わせマークの画像の取得を行う。また、半導体製造装置100は、第1及び第2の半導体装置の第1及び第3の方向、または第2及び第3の方向に沿った第3の面を反射するように配置された反射鏡300を更に備え、検査部60は、反射鏡300を介して、第1及び第2の半導体装置の第1及び第2の位置合わせマークの画像を取得する。
尚、半導体チップのアライメントマークは、半導体チップの外周に面していれば、上述した検査方法を実現することが可能なので、どのような形でも良い。
10…半導体チップ、 10x…辺、 10y…辺、 10a…上面
10b…底面、 11a…アライメントマーク、 11b…アライメントマーク
11c…アライメントマーク、 11d…アライメントマーク、
11e…アライメントマーク、 12…金属電極、 13…はんだバンプ
20…ステージ、 20a…ヒータ、 30…制御部、 40…補正部
40a…駆動部、 50…保持部、 50a…ヒータ、 60…計測部
70…半導体チップ、 100…半導体製造装置、 100…半導体チップ
200…半導体装置、 300…反射鏡、 400…半導体装置。
Claims (12)
- 所定の数の半導体素子が積層された、半導体装置の検査を行う検査装置であって、
少なくとも一つの半導体素子を有する第1の半導体装置を保持する第1の保持部と、
少なくとも一つの半導体素子を有する第2の半導体装置を保持する第2の保持部と、
前記第1及び第2の半導体装置の画像の取得を行う検査部と、
前記第1の保持部、前記第2の保持部、及び前記検査部の制御を行う制御部と、
を備え、
前記半導体素子は、
第1の方向に沿った2本の第1の辺、及び前記第1の方向に直交する第2の方向に沿った2本の第2の辺を有する四角形状の第1の面と、前記第1の面に平行な四角形状の第2の面とを有する直方体であって、
前記第1の面は、複数の金属電極と、前記第1の辺及び前記第2の辺によって形成される角の近傍において前記第1及び第2の辺に接する少なくとも一つの第1の位置合わせマークと、を備え、
前記第2の面は、複数のはんだと、前記第1の辺及び前記第2の辺によって形成される角の近傍において前記第1及び第2の辺に接する少なくとも一つの第2の位置合わせマークと、を備え、
前記第1の保持部は、
前記第1の半導体装置の前記第1の面が露出するように、前記第1の半導体装置を保持し、
前記第2の保持部は、
前記第2の半導体装置の前記第2の面が露出するように、前記第2の半導体装置を保持し、
前記制御部は、
所定の数の前記半導体素子が積層されるまで、前記第1及び第2の保持部によって、前記第1の半導体装置の露出している前記複数の金属電極と、前記第2の半導体装置の露出している前記複数のはんだとを接着させることを繰り返し、
所定の数の前記半導体素子が積層された後に、前記検査部によって、前第1及び第2の方向に直交する第3の方向に沿って、前記第1の辺及び前記第2の辺によって形成される前記第1及び第2の半導体装置の同一の角に形成されている前記第1及び第2の位置合わせマークの画像を取得することを、少なくとも2か所の前記角で行い、
前記検査部によって取得された画像に基づいて、積層された複数の前記半導体素子の各間の前記第3の方向に沿った第1の距離を計測し、且つ前記第1及び第2の半導体装置の前記第1及び第2の位置合わせマークの位置ズレを計測し、
前記第1の距離、及び前記位置ズレが、所定の条件を満たすか否かを判定し、
前記第1の距離、及び前記位置ズレが、所定の条件を満たさないと判定する場合、前記制御部は、前記第1の距離、及び前記位置ズレを、所定の条件を満たす値に補正する第1の補正値を決定し、
前記第1の補正値を用いて、前記第1及び第2の半導体装置の積層を行い、前記第1の距離、及び前記位置ズレが、所定の条件を満たすと判定する場合、前記制御部は、前記第1の補正値を、第2の補正値として前記制御部内に設定し、
前記第2の補正値が前記制御部に設定されていない場合、前記検査部によって、前記第1及び第2の位置合わせマークの画像の取得を行い、
前記第2の補正値が前記制御部に設定されている場合、前記第2の補正値を用いて、前記第1及び第2の半導体装置の積層を行うことを特徴とする
半導体装置の検査装置。 - 所定の数の半導体素子が積層された、半導体装置の検査を行う検査装置であって、
少なくとも一つの半導体素子を有する第1の半導体装置を保持する第1の保持部と、
少なくとも一つの半導体素子を有する第2の半導体装置を保持する第2の保持部と、
前記第1及び第2の半導体装置の画像の取得を行う検査部と、
前記第1の保持部、前記第2の保持部、及び前記検査部の制御を行う制御部と、
を備え、
前記半導体素子は、
第1の方向に沿った2本の第1の辺、及び前記第1の方向に直交する第2の方向に沿った2本の第2の辺を有する四角形状の第1の面と、前記第1の面に平行な四角形状の第2の面とを有する直方体であって、
前記第1の面は、複数の金属電極と、前記第1の辺及び前記第2の辺によって形成される角の近傍において前記第1及び第2の辺に接する少なくとも一つの第1の位置合わせマークと、を備え、
前記第2の面は、複数のはんだと、前記第1の辺及び前記第2の辺によって形成される角の近傍において前記第1及び第2の辺に接する少なくとも一つの第2の位置合わせマークと、を備え、
前記第1の保持部は、
前記第1の半導体装置の前記第1の面が露出するように、前記第1の半導体装置を保持し、
前記第2の保持部は、
前記第2の半導体装置の前記第2の面が露出するように、前記第2の半導体装置を保持し、
前記制御部は、
所定の数の前記半導体素子が積層されるまで、前記第1及び第2の保持部によって、前記第1の半導体装置の露出している前記複数の金属電極と、前記第2の半導体装置の露出している前記複数のはんだとを接着させることを繰り返し、
所定の数の前記半導体素子が積層された後に、前記検査部によって、前第1及び第2の方向に直交する第3の方向に沿って、前記第1の辺及び前記第2の辺によって形成される前記第1及び第2の半導体装置の同一の角に形成されている前記第1及び第2の位置合わせマークの画像を取得することを、少なくとも2か所の前記角で行うことを特徴とする
半導体装置の検査装置。 - 前記制御部は、前記検査部によって取得された画像に基づいて、積層された複数の前記半導体素子の各間の前記第3の方向に沿った第1の距離を計測し、且つ前記第1及び第2の半導体装置の前記第1及び第2の位置合わせマークの位置ズレを計測することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の検査装置。
- 前記制御部は、前記第1の距離、及び前記位置ズレが、所定の条件を満たすか否かを判定することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の検査装置。
- 前記制御部は、前記第1の距離、及び前記位置ズレが、所定の条件を満たさないと判定する場合、前記制御部は、前記第1の距離、及び前記位置ズレを、所定の条件を満たす値に補正する第1の補正値を決定することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の検査装置。
- 前記制御部は、前記第1の補正値を用いて、前記第1及び第2の半導体装置の積層を行うことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の検査装置。
- 前記制御部は、前記第1の補正値を用いて前記第1及び第2の半導体装置の積層を行い、前記第1の距離、及び前記位置ズレが、所定の条件を満たすと判定する場合、前記制御部は、前記第1の補正値を、第2の補正値として前記制御部内に設定することを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の検査装置。
- 前記制御部は、前記第2の補正値が前記制御部に設定されていない場合、前記検査部によって、前記第1及び第2の位置合わせマークの画像の取得を行うことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の検査装置。
- 前記制御部は、前記第2の補正値が前記制御部に設定されている場合、前記第2の補正値を用いて、前記第1及び第2の半導体装置の積層を行うことを特徴とする請求項7または8に記載の半導体装置の検査装置。
- 前記検査部は、前記半導体素子の前記第1及び第2の面に対して0度〜60度の角度で、前記第1及び第2の位置合わせマークの画像の取得を行うことを特徴とする請求項2乃至9の何れか一項に記載の半導体装置の検査装置。
- 前記第1及び第2の半導体装置の前記第1及び第3の方向、または前記第2及び第3の方向に沿った第3の面を反射するように配置された反射鏡を更に備え、
前記検査部は、前記反射鏡を介して、前記第1及び第2の半導体装置の前記第1及び第2の位置合わせマークの画像を取得することを特徴とする、請求項2乃至9の何れか一項に記載の半導体装置の検査装置。 - 第1の半導体装置と、第2の半導体装置とを接着させることを繰返すことにより所定の数の半導体素子が積層された半導体装置の検査装置を用いて検査する半導体装置の検査方法であって、
前記第1の半導体装置は、第1の方向に沿った2本の第1の辺、及び前記第1の方向に直交する第2の方向に沿った2本の第2の辺を有する四角形状の第1の面と、前記第1の面に平行な四角形第2の面とを有する直方体であって、
前記第1の面は、複数の金属電極と、前記第1の辺及び前記第2の辺によって形成される角の近傍において前記第1及び第2の辺に接する第1の位置合わせマークと、を備え、
前記第2の面は、複数のはんだと、前記第1の辺及び前記第2の辺によって形成される角の近傍において前記第1及び第2の辺に接する第2の位置合わせマークと、を備える半導体素子を少なくとも一つ有し、
前記第2の半導体装置は少なくとも一つの前記半導体素子を有し、
前記半導体装置の検査装置は、前記第1の半導体装置を保持する第1の保持部と、
前記第2の半導体装置を保持する第2の保持部と、
前記第1の半導体装置及び前記第2の半導体装置の画像の取得を行う検査部と、
前記第1の保持部、前記第2の保持部、及び前記検査部の制御を行う制御部と、
を備え、
前記制御部によって、所定の数の半導体素子が積層されるまで前記第1の半導体装置の露出している前記複数の金属電極と、前記第2の半導体装置の露出している前記複数のはんだとを接着させることを繰返して半導体装置を形成することと、
前記半導体装置が形成された後に、前第1及び第2の方向に直交する第3の方向に沿って、前記検査部によって、前記第1及び第2の半導体装置の同一の角に形成されている前記第1及び第2の位置合わせマークの画像を取得することを、少なくとも2回行うことと、
を備えることを特徴とする半導体装置の検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012064451A JP5696076B2 (ja) | 2012-03-21 | 2012-03-21 | 半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法 |
US13/784,334 US9052187B2 (en) | 2012-03-21 | 2013-03-04 | Inspection apparatus and inspection method for semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012064451A JP5696076B2 (ja) | 2012-03-21 | 2012-03-21 | 半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013197412A JP2013197412A (ja) | 2013-09-30 |
JP5696076B2 true JP5696076B2 (ja) | 2015-04-08 |
Family
ID=49211507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012064451A Expired - Fee Related JP5696076B2 (ja) | 2012-03-21 | 2012-03-21 | 半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9052187B2 (ja) |
JP (1) | JP5696076B2 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6207190B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2017-10-04 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2015005637A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエルPS4 Luxco S.a.r.l. | 半導体装置 |
CN103615986B (zh) * | 2013-12-11 | 2016-08-24 | 齐鲁工业大学 | 层去法获取皮革样品截面序列图片层间距的测量方法 |
US9589900B2 (en) | 2014-02-27 | 2017-03-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Metal pad for laser marking |
WO2015159338A1 (ja) * | 2014-04-14 | 2015-10-22 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
US9666522B2 (en) | 2014-05-29 | 2017-05-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Alignment mark design for packages |
TWI580511B (zh) * | 2014-06-10 | 2017-05-01 | Shinkawa Kk | A bonding device, and a method of estimating the placement position of the engagement tool |
JP6305887B2 (ja) * | 2014-09-16 | 2018-04-04 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置の製造方法及び半導体製造装置 |
KR20160142943A (ko) * | 2015-06-03 | 2016-12-14 | 한국전자통신연구원 | 반도체 패키지 및 반도체 패키지의 제조 방법 |
JP6553459B2 (ja) * | 2015-09-09 | 2019-07-31 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置の製造方法および実装装置 |
JP6478939B2 (ja) * | 2016-03-31 | 2019-03-06 | 東レエンジニアリング株式会社 | 実装装置および実装方法 |
CN106409724B (zh) * | 2016-09-30 | 2019-05-21 | 西安微电子技术研究所 | 一种PoP自动堆叠系统及方法 |
US20180096946A1 (en) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | Intel Corporation | Semiconductor packages having a fiducial marker and methods for aligning tools relative to the fiducial marker |
KR102022267B1 (ko) | 2017-12-28 | 2019-09-18 | 삼성전자주식회사 | 팬-아웃 반도체 패키지 |
KR102217201B1 (ko) * | 2018-03-29 | 2021-02-18 | 주식회사 엘지화학 | 전극조립체의 얼라인 검사 장치 및 그를 이용한 전극조립체의 얼라인 검사 방법 |
US10672674B2 (en) * | 2018-06-29 | 2020-06-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method of forming semiconductor device package having testing pads on a topmost die |
US20230207479A1 (en) * | 2021-12-23 | 2023-06-29 | Intel Corporation | Hbi die architecture with fiducial in street for no metal depopulation in active die |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03175647A (ja) * | 1989-12-04 | 1991-07-30 | Hitachi Ltd | 半導体製造装置 |
JP3920399B2 (ja) * | 1997-04-25 | 2007-05-30 | 株式会社東芝 | マルチチップ半導体装置用チップの位置合わせ方法、およびマルチチップ半導体装置の製造方法・製造装置 |
JP3175647B2 (ja) | 1997-07-04 | 2001-06-11 | 住友電装株式会社 | グロメット |
JP2001044247A (ja) * | 1999-08-03 | 2001-02-16 | Nec Corp | 部品搭載装置 |
JP2004273612A (ja) | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Seiko Epson Corp | 半導体装置及びその製造方法、フォトマスク |
WO2005071735A1 (ja) * | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Bondtech Inc. | 接合方法及びこの方法により作成されるデバイス並びに接合装置 |
JP4687340B2 (ja) * | 2005-09-02 | 2011-05-25 | ソニー株式会社 | 半導体装置 |
JP4155994B2 (ja) * | 2006-02-01 | 2008-09-24 | カシオ計算機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
TWI533394B (zh) * | 2007-06-21 | 2016-05-11 | 尼康股份有限公司 | Conveying method and conveying device |
JP5278664B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2013-09-04 | 株式会社村田製作所 | ワーク位置決め装置、およびワーク位置決め方法 |
JP5732631B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2015-06-10 | ボンドテック株式会社 | 接合装置および接合方法 |
JP2011124523A (ja) * | 2010-02-02 | 2011-06-23 | Napura:Kk | 電子デバイス用基板、電子デバイス用積層体、電子デバイス及びそれらの製造方法 |
JP2011169816A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Nec Corp | 半導体装置の接合傾き測定装置 |
-
2012
- 2012-03-21 JP JP2012064451A patent/JP5696076B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-03-04 US US13/784,334 patent/US9052187B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013197412A (ja) | 2013-09-30 |
US20130250298A1 (en) | 2013-09-26 |
US9052187B2 (en) | 2015-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5696076B2 (ja) | 半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法 | |
JP5354382B2 (ja) | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法、並びに積層半導体装置の製造方法 | |
JP5275941B2 (ja) | 積層チップパッケージおよびその製造方法 | |
JP4720469B2 (ja) | 貼り合わせ半導体装置製造用の露光方法 | |
US7968374B2 (en) | Layered chip package with wiring on the side surfaces | |
TWI511215B (zh) | A bonding apparatus, and a method of manufacturing the semiconductor device | |
TWI612593B (zh) | 半導體裝置之製造方法及半導體製造裝置 | |
WO2012137926A1 (ja) | 電極積層装置および電極積層方法 | |
JP6589663B2 (ja) | 検査方法、積層型電池の製造方法、検査装置、および積層型電池の製造装置 | |
JP2005251972A (ja) | ウェハ重ね合わせ方法及びウェハ重ね合わせ装置 | |
TWI603424B (zh) | Plate with alignment mark | |
JP2016171106A (ja) | ボンディング装置及びボンディング方法 | |
KR20160090842A (ko) | 3차원 실장 방법 및 3차원 실장 장치 | |
JP7147778B2 (ja) | 積層基板の製造方法、および製造装置 | |
JP5018004B2 (ja) | 顕微鏡、マーク検出方法、ウェハ接合装置、および、積層3次元半導体装置の製造方法 | |
TW201140739A (en) | Three-dimensional mounting method and apparatus | |
JP5943030B2 (ja) | 基板重ね合わせ装置、基板重ね合わせ方法、及びデバイスの製造方法 | |
JP6643198B2 (ja) | 半導体装置の製造方法および製造装置 | |
JP2006100656A (ja) | ウェハ積層時の重ね合わせ方法 | |
JP5531508B2 (ja) | 基板重ね合わせ装置、基板重ね合わせ方法、及びデバイスの製造方法 | |
WO2023065410A1 (zh) | 半导体结构的键合方法和半导体设备 | |
JP2009260008A (ja) | 半導体装置製造装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2014123656A (ja) | 積層半導体装置及びその製造方法 | |
JP5549335B2 (ja) | 基板観察装置およびデバイスの製造方法 | |
CN218769420U (zh) | 一种键合芯片及晶圆的光学对准装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131205 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131212 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131219 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131226 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140109 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140204 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140820 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150113 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150209 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5696076 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |