JP5018004B2 - 顕微鏡、マーク検出方法、ウェハ接合装置、および、積層3次元半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
特許文献2:基板上の第1マークを赤外線カメラの基準位置に合わせ、次いで素子を対向させ、基板と素子面の間隔を測定して素子面が赤外線カメラの焦点深度内に入るように調整して素子上の第2マークと第1マークを鮮明に観察する。
第1のものは、アクティブ方式と呼ばれているものである。この方式の光学系は、顕微鏡の観察光学系に対する観察対象面(マーク形成面)の位置を測定するために、顕微鏡の観察光学系及び光源の他に、観察対象面に対して光束を照射する光学系又はスリット(指標)を投影するための光学系及び光源と、観察対象面より反射された反射光束又はスリット像を検出するための光学系及び光センサを有している。そして、観察対象面での光束の反射点の座標や反射した反射光束の進行ベクトルの始点と方向、またはスリット像の共役な位置座標の検出を行っている。即ち、観察対象面の位置が観察光学系の光軸上で変化すると、反射光束の状態が変化する、又はスリット像と観察対象面との位置関係が変化してスリット像を検出する光学系での再結像位置が変化することを利用している。(例えば、特開平6−13282号公報、特開2002−40322号公報参照)。このアクティブ方式のひとつに三角測量法がある。
オートフォーカス機能を有する顕微鏡であって、
対物レンズを共有する、アクティブ方式AF光学系及びパッシブ方式AF光学系と、
フォーカス状態の情報を出力する制御部と、
を有し、
該パッシブ方式AF光学系の光源に赤外線光源を用いた顕微鏡である。
顕微鏡10は観察光学系100として、光源116、対物レンズ112(複数枚のレンズからなるレンズ系であり、落射照明系を構成している)、接眼系190(複数のレンズからなるレンズ系を含む)を主たる構成部材とし、ピントを合わせるためのアクティブ方式AF光学系とパッシブ方式AF光学系を有している。図中、符号110はアクティブ方式AF光学系の照明系及び検出系、符号120はパッシブ方式AF光学系の検出系である。
図7(a)を参照する。通常の半導体露光装置を用いてマスク上の回路パターンをレジストが塗布されたウェハ上に縮小投影し、レジストを現像した後にエッチングや不純物の熱拡散処理を行って回路素子513が形成されたウェハ511を得る。
図7(b)に示されたように、ホルダ210にウェハ211を保持する。ウェハ211にはアライメントマーク222、ホルダ210には基準マーク231が複数個形成されている。図8は2つのウェハ(一方のウェハはウェハが既に積層されたウェハ積層体である)間の位置合わせを行う方法を示すものである。
近接された2つのウェハの位置合わせが完了すると、不図示のウェハ上下移動機構により2つのウェハは図7(c)の様に重ね合わされる。接触後、重ね合わされた位置関係を維持するためにホルダどうしを機械的に(例えばクランプ機構)仮固定、または接合力の弱い接着材により仮固定することが行われる(不図示)。仮固定されたホルダ及びウェハ積層体561は不図示のロボットアームにより、次の工程に搬送される。
図7(d)を参照する。位置あわせされ、仮固定されたウェハ積層体561は加圧・加熱装置装着される。上部加圧子551と下部加圧子553とウェハ積層体561との平行度調整を行い、調整が完了すると2つの加圧子551,553によりウェハ積層体561が加圧される。同時に定められたシークエンスに従って、ホルダに内蔵されたヒータ541,543による加熱が行われる。所定の圧力を所定の時間加えることによりウェハ上の電極(金属バンプとパッド、金属バンプと金属バンプ)が接合される。この時、場合によっては、ウェハ間に樹脂を封入して加熱することもある。
このアライメント工程、ウェハ重ね合わせ工程、電極接合工程は積層すべきウェハの数だけの回数分繰り返す。場合によっては、積層接合後に、積層されたウェハを研削、研磨又はエッチングにより薄層化する工程や積層されたウェハ間に封止樹脂を封入することもある。
ウェハレベルで積層接合されたウェハをダイシングラインに従って切断し、チップとして分離する。例えば、図7(e)の破線に従って切断する。切断は通常、ダイシングブレードを用いて切断するダイシングソー方式、レーザ光線によりウェハ表面を溶融させて割る方式、ダイヤモンドカッタにより切断ラインを引いて割る方法が採られている。しかしながら、ウェハ積層体をチップに分離する方式としてはダイシングソー方式が好ましい。
101 ・・・ ウェハ面 112 ・・・ 対物レンズ
114 ・・・ AF接眼レンズ
116 ・・・ 照明系 121 ・・・ 光源
122 ・・・ スリット
124 ・・・ コンデンサ−レンズ
126 ・・・ 結像レンズ126, 128 ・・・ 第1の2次元センサ
129 ・・・ 第2の2次元センサ
130 ・・・ 光束制限マスク
162,142 ・・・ ビームスプリッタ
149 ・・・ 合焦検出用ビームスプリッタ
182 ・・・ 制御部 190 ・・・ 接眼系190
210,212 ・・・ ウェハホルダ
213 ・・・ ウェハ積層体
222,224 ・・・ アライメントマーク
230 ・・・ 顕微鏡
231,233 ・・・ 基準マーク
412 ・・・ アライメントマーク
Claims (4)
- オートフォーカス機能を有する顕微鏡であって、
対物レンズを共有する、アクティブ方式AF光学系及びパッシブ方式AF光学系と、
前記アクティブ方式AF光学系でのウェハの表面のフォーカス状態の情報を出力するとともに、前記パッシブ方式AF光学系での前記ウェハの裏面に形成されたマークのフォーカス状態の情報を出力する制御部と、
を有し、
該パッシブ方式AF光学系の光源が赤外線光源であり、
前記パッシブ方式AF光学系の観察物面の位置が、前記アクティブ方式AFの観察物面の位置よりも前記ウェハの厚さ分だけ光路長として遠ざけられて配される顕微鏡。 - ウェハ面に形成されたアライメントマークを裏面より検出するマーク検出方法であって、
請求項1に記載された顕微鏡を用いてアライメントマークを検出することを特徴とするマーク検出方法。 - 一対のホルダのそれぞれに保持された二つのウェハを観察する顕微鏡と、
前記顕微鏡の観察に基づいて前記二つのウェハの位置を決める位置決め装置と、
前記位置決め装置により位置決めされた前記二つのウェハを重ね合わせるウェハ上下移動機構と、
重ねあわされた前記二つのウェハを加圧する加圧装置と
を備え、
前記顕微鏡は、
対物レンズを共有する、アクティブ方式AF光学系、及び、赤外線光源を有するパッシブ方式AF光学系と、
前記アクティブ方式AF光学系での前記二つのウェハの一方の表面のフォーカス状態の情報を出力するとともに、前記パッシブ方式AF光学系での前記二つのウェハの前記一方の裏面に形成されたマークのフォーカス状態の情報を出力する制御部とを有し、
前記パッシブ方式AF光学系の観察物面の位置が、前記アクティブ方式AFの観察物面の位置よりも前記二つのウェハの前記一方の厚さ分だけ光路長として遠ざけられて配されるウェハ接合装置。 - 複数の半導体装置が形成されたウェハを積層して3次元半導体装置を製造する方法であって、
複数の半導体装置が形成されたウェハを所定の枚数だけ準備する、ウェハ準備工程、
積層するウェハ間の位置関係を測定する、アライメント工程、
位置関係が測定されたウェハを重ね合わせる、ウェハ重ね合わせ工程、
重ね合わされたウェハ上の接続電極どうしを接合する、電極接合工程、
所定の枚数積層されたウェハから個々の半導体装置を分離する、ダイシング工程
を有し、
前記アライメント工程において、対物レンズを共有する、アクティブ方式AF光学系及びパッシブ方式AF光学系を有する顕微鏡を用いて、前記アクティブ方式AF光学系でのウェハの表面のフォーカス状態の情報を出力するとともに、前記パッシブ方式AF光学系での前記ウェハの裏面に形成されたマークのフォーカス状態の情報を観察し、
前記パッシブ方式AF光学系の観察物面の位置が、前記アクティブ方式AFの観察物面の位置よりも前記ウェハの厚さ分だけ光路長として遠ざけられて配される積層3次元半導体装置の製造方法。
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