JP2009260008A - 半導体装置製造装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
Abstract
【解決手段】基板の貫通孔を形成する工程またはそれ以降の工程において形成される位置合わせ用の第1指標を有する第1基板160を保持する第1基板保持部120と、位置合わせ用の第2指標を有する第2基板170を保持する第2基板保持部130と、第1指標および第2指標を光学的に観察する指標観察部104と、指標観察部が観察した第1指標および第2指標の重なりに応じて第1基板および第2基板の相対位置を調整する位置調整部150とを備える。
【選択図】図1
Description
102 基板処理部
104 指標観察部
106 認識部
108 距離測定部
111 フレームキャスタ
112 枠体
113 除振台
114 天板
116 ボディ定盤
118 ボディ部
120 第1基板保持部
122 基準マーク
130 第2基板保持部
132 基準マーク
141 XYθ座標測定用顕微鏡
142 指標測定用顕微鏡
145 干渉計レーザーヘッド
146 干渉計光学ブロック
147 干渉計光学ブロック
148 干渉計光学ブロック
150 位置調整部
152 下部ステージ
153 上部ステージ
154 圧接部
155 ウエハテーブル
156 ウエハテーブル
158 移動鏡
159 移動鏡
160 第1基板
170 第2基板
180 制御部
181 記憶部
182 ドライバ
184 ドライバ
200 基板
202 素子面
204 裏面
206 貫通孔
212 多層配線層
214 最上層配線
216 パッシベーション層
218 配線
222 絶縁層
226 パッシベーション層
240 シリコン貫通ビア
242 表面バンプ
244 貫通電極
246 絶縁層
248 バリアメタル層
250 裏面バンプ
252 Ni層
254 Au層
260 シリコン貫通ビア
270 裏面バンプ
272 Ni層
274 Au層
282 アライメントマーク
290 スクライブエリア
300 基板
302 素子面
312 多層配線層
314 最上層配線
316 パッシベーション層
318 配線
340 表面バンプ
342 Sn−Ag層
344 Cu層
382 アライメントマーク
390 スクライブエリア
402 導電部材
404 導電部材
600 半導体装置
690 スクライブエリア
Claims (9)
- 基板の貫通孔を形成する工程またはそれ以降の工程において形成される位置合わせ用の第1指標を有する第1基板を保持する第1基板保持部と、
位置合わせ用の第2指標を有する第2基板を保持する第2基板保持部と、
前記第1指標および前記第2指標を光学的に観察する指標観察部と、
前記指標観察部が観察した前記第1指標および前記第2指標の重なりに応じて前記第1基板および前記第2基板の相対位置を調整する位置調整部と、
を備えた半導体装置製造装置。 - 前記位置調整部により相対位置が調整された前記第1基板および前記第2基板を圧接する圧接部をさらに備えた、
請求項1に記載の半導体装置製造装置。 - 前記第1指標は、前記貫通孔の形成工程において前記第1基板に形成された溝パターンまたは前記溝パターンに埋め込まれた導電部材を含む、
請求項1または請求項2に記載の半導体装置製造装置。 - 前記第1指標は、前記第2基板の第2接触部材と接触することにより前記第2基板と電気的に接続する第1接触部材を前記第1基板に形成する工程において形成された前記第1接触部材と同一材料の第1導電体パターンを含む、
請求項1または請求項2に記載の半導体装置製造装置。 - 前記第2指標は、前記第1基板の第1接触部材と接触することにより前記第1基板と電気的に接続する第2接触部材を前記第2基板に形成する工程において形成された前記第2接触部材と同一材料の第2導電体パターンを含む、
請求項1から請求項4の何れか一項に記載の半導体装置製造装置。 - 前記貫通孔の配置パターンまたは前記第2基板の接触部材と接触する前記第1基板上の第1接触部材の配置パターンをパターン認識する認識部と、
前記認識部が認識した前記貫通孔または前記第1接触部材の配置パターンに基づき、前記第1基板および前記第2基板の相対位置を粗調整する位置粗調整部と、
をさらに備えた請求項1から請求項5の何れか一項に記載の半導体装置製造装置。 - 他の基板と電気的に接続する接続部材を形成する工程において第1基板に第1指標を形成する段階と、
前記第1基板を第1基板保持部に保持し、位置合わせ用の第2指標を有する第2基板を第2基板保持部に保持する段階と、
前記第1指標および前記第2指標を光学的に観察する指標観察段階と、
前記指標観察段階で観察した前記第1指標および前記第2指標の重なりに応じて前記第1基板および前記第2基板の相対位置を調整する位置調整段階と、
を備えた半導体装置の製造方法。 - 前記接続部材は、前記第1基板の貫通孔に形成された導電部材である、
請求項7に記載の製造方法。 - 前記接続部材は、前記他の基板に形成された接触部材と接触することにより電気的に接続する前記第1基板に形成された接触部材である、
請求項7に記載の製造方法。
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JP2008106717A JP2009260008A (ja) | 2008-04-16 | 2008-04-16 | 半導体装置製造装置および半導体装置の製造方法 |
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JP2008106717A JP2009260008A (ja) | 2008-04-16 | 2008-04-16 | 半導体装置製造装置および半導体装置の製造方法 |
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JP2008106717A Pending JP2009260008A (ja) | 2008-04-16 | 2008-04-16 | 半導体装置製造装置および半導体装置の製造方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012081144A1 (ja) * | 2010-12-15 | 2012-06-21 | パナソニック株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
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2008
- 2008-04-16 JP JP2008106717A patent/JP2009260008A/ja active Pending
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