KR20140100119A

KR20140100119A - 얼라인 장치 및 이를 이용한 얼라인 방법

Info

Publication number: KR20140100119A
Application number: KR1020130012958A
Authority: KR
Inventors: 이창선
Original assignee: 주식회사 원익아이피에스
Priority date: 2013-02-05
Filing date: 2013-02-05
Publication date: 2014-08-14

Abstract

기판과 마스크가 평행하지 않은 상태에서도 용이하게 기판과 마스크를 얼라인시킬 수 있는 얼라인장치를 개시한다. 개시된 얼라인장치는 제1부재를 지지하는 제1부재 지지부와, 제2부재를 지지하고, 상기 제2부재를 이동시켜 상기 제1부재와 얼라인시키는 다수의 얼라인모듈을 갖는 얼라인부와, 상기 제1부재와 제2부재의 위치를 확인하는 카메라부를 포함하고,
상기 얼라인모듈은, 상기 제2부재를 지지하는 제2부재 지지축 및 상기 제2부재 지지축과 연동되는 Z축 이동스테이지와, 상기 Z축 이동스테이지를 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 이동모터를 포함하는 Z축 이동유닛을 포함한다.

Description

얼라인 장치 및 이를 이용한 얼라인 방법{Aligning apparatus and aligning method using the same}

본 발명은 마스크와 기판을 얼라인하는 얼라인장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판과 마스크가 평행하지 않는 경우에도 용이하게 기판과 마스크를 얼라인시킬 수 있는 얼라인장치에 관한 것이다.

일반적으로 유기 발광 소자(OLED)와 같은 평판 디스플레이 소자는 기판 상에 박막을 증착하는 공정 등을 포함하는 다수의 공정을 진행함으로써 제조된다. 이 중 박막 증착 공정 이전에는 기판(Glass)과 마스크(Mask)를 얼라인시키는 공정이 선행되어야 한다.

한편, 종래의 기판과 마스크를 얼라인시키는 과정은, 기준이 되는 제1부재(기판)와 이 제1부재와 얼라인시킬 제2부재(마스크)의 위치를 카메라부재를 통해 확인하고, 카메라부재를 통해 위치가 확인된 제2부재를 위치 조정하는 과정을 통해 이루어진다. 이때, 제2부재의 위치 조정은 제2부재를 X축과 Y축방향으로 이동시키는 것을 통해 이루어진다.

그러나 상기의 얼라인장치는 기판과 마스크가 평행하지 않는 경우 기판과 마스크의 합착 시 슬립이 발생되고, 이로 인해 기판과 마스크의 정밀한 얼라인이 이루어지지 않게 된다.

따라서, 본 발명은 기판과 마스크가 평행하지 않는 경우에도 용이하게 기판과 마스크를 얼라인시킬 수 있는 얼라인장치를 제공한다.

본 발명의 실시예에 따른 얼라인장치는, 제1부재를 지지하는 제1부재 지지부와, 제2부재를 지지하고, 상기 제2부재를 이동시켜 상기 제1부재와 얼라인시키는 다수의 얼라인모듈을 갖는 얼라인부와, 상기 제1부재와 제2부재의 위치를 확인하는 카메라부를 포함하고,

상기 얼라인모듈은, 상기 제2부재를 지지하는 제2부재 지지축; 및 상기 제2부재 지지축과 연동되는 Z축 이동스테이지와, 상기 Z축 이동스테이지를 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 이동모터를 포함하는 Z축 이동유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기의 구조를 갖는 얼라인장치를 이용하여 제1부재와 제2부재를 얼라인시키는 얼라인방법은,

상기 카메라부를 통해 상기 제1부재와 제2부재 간의 수평위치를 확인하는 단계; 및

상기 제2부재를 Z축 방향으로 이동시켜 상기 제1부재와 제2부재 간의 이격 간격을 평행하게 하는 단계;를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 기판과 마스크의 얼라인 시 기판가 마스크가 평행하지 않은 상태에서도 마스크의 Z축 이동을 통해 마스크의 기울기를 조절할 수 있으므로 용이하게 기판과 마스크를 얼라인시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 얼라인장치가 설치된 모습을 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 얼라인장치를 발췌하여 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 일부를 확대 도시한 도면이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 통해 설명될 것이다. 그러나 본 발명은 여기에서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 단지, 본 실시 예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여 제공되는 것이다.

도면들에 있어서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니며 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 본 명세서에서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미 한정이나 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 권리 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.

본 명세서에서 '및/또는'이란 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 또한, '연결되는' 또는 '결합되는'과 같은 표현은 다른 구성요소와 직접적으로 연결되거나 다른 구성요소를 통해서 간접적으로 연결되는 것을 포함하는 의미로 사용된다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또, 명세서에서 사용되는 '포함한다' 또는 '포함하는'으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및 소자의 존재 또는 추가를 의미한다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다.

도 1을 참고하면, 본 발명의 실시예에 따른 얼라인장치는 기준이 되는 제1부재(예로 들면, 기판(10))과 이 제1부재에 얼라인시키는 제2부재(예로 들면, 마스크(20))를 상호간에 얼라인시키기 위해 마련된다.

상기의 얼라인장치는 기판(10)이 진입되어 마스크(20)와 상호간에 얼라인이 수행되는 공간인 챔버(30)에 설치된다. 이러한 챔버(30)의 일측에는 기판(10)이 챔버(30)의 내부로 진입할 수 있도록 개방되는 통공(35)이 형성된다.

한편, 상기의 얼라인장치는 챔버(30)의 내부에서 기판(10)을 지지하는 기판 지지부(110,제1부재 지지부)와, 마스크(20)를 지지하는 동시에 기판 지지부(110)에 의해 지지된 기판(10)에 마스크(20)를 움직여 기판(10)과 얼라인시키는 얼라인부(120)와, 챔버(30) 내부의 기판(10)과 마스크(20)의 위치를 확인하게 하는 카메라부(170)를 포함한다.

기판 지지부(110)는 상술한 바와 같이 기판(10)을 지지하는 역할을 한다. 이를 위해 기판 지지부(110)는 도시된 바와 같이, 챔버(30)의 내부로 진입된 제1부재 즉, 기판(10)의 저면을 받쳐 지지하는 기판 지지 플레이트(111,제1부재 지지 플레이트)와, 이 기판 지지 플레이트(111)를 챔버(30) 내부의 설정 위치에 이동시킬 수 있도록 승강시키는 승강축(113)을 포함한다. 이때, 승강축(113)은 승강모터(미도시)에 의해 승강 가능하게 마련된다.

얼라인부(120)는 상술한 바와 같이 챔버(30) 내부의 제2부재 즉, 마스크(20)의 저면을 받쳐 지지하는 동시에 마스크(20)를 X축, Y축, θ축 및 Z축방향으로 이동시켜 기판(10)과 얼라인시키는 역할을 한다.

즉, 상기의 얼라인부(120)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 사각형상의 네 코너 부분을 각각 지지하여 마스크(20)를 X축, Y축, θ축 및 Z축방향으로 이동시키는 4개의 얼라인모듈(130)을 포함하는데, 이러한 각 얼라인모듈(130)의 구성은 다음과 같다.

얼라인모듈(130)은 마스크(20)의 코너 부분을 지지하는 마스크 지지축(135,제2부재 지지축)과, 마스크 지지축(135)을 X축방향으로 이동시키는 X축 이동유닛(140)과, 마스크 지지축(135)을 Y축방향으로 이동시키는 Y축 이동유닛(150)과, 마스크 지지축(135)을 Z축방향으로 이동시키는 Z축 이동유닛(160)을 포함한다.

이때, 상기의 X축, Y축, Z축 이동유닛(140,150,160)은 순서에 상관없이 얼라인 프레임(125) 상에서 3개의 층으로 적층될 수 있다. 다만, 마스크 지지축(135)은 최상층에 적층된 이동유닛에 연결된다.

한편, 본 발명의 실시예에서는 도시된 바와 같이, 얼라인 프레임(125) 상에서 X축 이동유닛(140), Y축 이동유닛(150), Z축 이동유닛(160) 순으로 적층되며, 마스크 지지축(135)은 Z축 이동유닛(160)에 연결되어 있다.

먼저, X축 이동유닛(140)은 얼라인 프레임(125)의 일측 모서리 부분에 설치되는 X축 이동스테이지(141)와, 이 X축 이동스테이지(141)를 X축방향으로 이동시키는 X축 이동모터(143)를 포함한다.

Y축 이동유닛(150)은 X축 이동스테이지(141)의 상측에 적층되는 Y축 이동스테이지(151)와, 이 Y축 이동스테이지(151)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동모터(153)를 포함한다.

Z축 이동유닛(160)은 Y축 이동스테이지(151)의 상측에 적층되는 Z축 이동스테이지(161)와, 이 Z축 이동스테이지(161)를 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 이동모터(163)를 포함한다. 이때, Z축 이동스테이지(161)의 상면에는 상술한 바와 같이 마스크 지지축(135)이 연결된다.

또, 상기의 Z축 이동유닛(160)은 X축 이동유닛(140)과 Y축 이동유닛(150)과 달리 얼라인 프레임(125)의 4코너 중 적어도 3코너에 설치될 수 있다. 이는 Z축 이동유닛(160)이 X축 이동유닛(140)과 Y축 이동유닛(150)과 달리 얼라인 프레임(125)의 3코너에만 설치되어 있어도 마스크(20)를 기판(10)과 평행하도록 마스크(20)의 기울기를 조절할 수 있기 때문이다.

즉, 본 발명의 실시예에서는 X축 이동모터(143)에 의해 X축 이동스테이지(141)가 X축 방향으로 이동될 때 X축 이동스테이지(141)의 상측에 Y축 이동스테이지(151)와 Z축 이동스테이지(161)가 순차적으로 적층되어 있으므로 Z축 이동스테이지(161) 역시 X축 방향으로 이동된다. 이로 인해 마스크 지지축(135) 역시 X축 방향으로 이동되어 마스크(20)를 X축 방향으로 이동시키게 된다.

그리고 Y축 이동모터(153)에 의해 Y축 이동스테이지(151)가 Y축 방향으로 이동될 때 Y축 이동스테이지(151)의 상측에 Z축 이동스테이지(161)가 적층되어 있으므로 Z축 이동스테이지(161) 역시 Y축 방향으로 이동된다. 이로 인해 마스크 지지축(135) 역시 Y축 방향으로 이동되어 마스크(20)를 Y축 방향으로 이동시키게 된다. 이때, X축 이동스테이지(141)는 Y축 이동스테이지(151)의 하측에 배치되므로 움직이지 않게 된다.

또, Z축 이동모터(163)에 의해 Z축 이동스테이지(161)가 Z축 방향으로 이동될 때 이 Z축 이동스테이지(161)에 마스크 지지축(135)이 직접 연결되어 있으므로 마스크(20)를 Z축 방향으로 이동시키게 된다. 이때, X축 이동스테이지(141)와 Y축 이동스테이지(151)는 Z축 이동스테이지(161)의 하측에 배치되므로 움직이지 않게 된다.

또, 본 발명의 실시예서는 X축 이동모터(143)와 Y축 이동모터(153)를 동시에 작동시킬 수 있다. 이 경우 X축 이동스테이지(141)와 Y축 이동스테이지(151)에 연결되어 있는 Z축 이동스테이지(161)가 X축 방향과 Y축 방향으로 동시에 이동 즉, θ축 방향으로 이동되고, 이로 인해 마스크 지지축(135) 역시 θ축 방향으로 이동되어 마스크(20)를 θ축 방향으로 이동시키게 된다.

카메라부(170)는 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이 얼라인부(120)와 마찬가지로 얼라인 프레임(125)의 네 코너 부분에 각각 설치되는 4개의 카메라부재를 포함한다. 각 카메라부재는 마스크(20)를 움직여 기판(10)과 마스크(20)를 X축, Y축, θ축 방향으로 얼라인시킬 수 있도록, 기판(10)과 마스크(20)의 네 코너에 각각 형성되어 있는 얼라인마크(11,21)에 대한 영상을 출력한다.

또, 카메라부(170)는 기판(10)과 마스크(20)를 Z축 방향으로 얼라인시킬 수 있도록, 기판(10)과 마스크(20)에 형성되어 있는 얼라인마크(11,21)에 대한 초점을 맞추기 위해 각 카메라부재를 Z축 방향으로 이동시키는 별도의 이동유닛(미도시)이 설치될 수 있다.

더불어 각 카메라부재는 상술한 바와 같이 별도의 이동유닛에 의해 이동되는 것이 아닌 아닌 각 카메라부재의 초점 거리를 변화시킬 수 있는 모터가 내장된 모터라이즈(Motorize) 카메라부재일 수도 있다.

이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 얼라인장치에서 기판과 마스크를 얼라인하는 과정을 살펴본다.

기판(10)과 마스크(20)를 얼라인하기 위해서는 가장 먼저 기준이 되는 기판(10)을 챔버(30)의 내부로 진입시킨다. 이와 같이 챔버(30) 내부로 진입된 기판(10)은 기판 지지 플레이트(111)에 안착되고, 기판 지지 플레이트(111)를 하강시켜 설정된 위치 즉, 마스크(20)와 얼라인이 이루어지는 위치로 이동시킨다.

다음으로 설정된 위치로 이동된 기판(10) 측으로 이 기판(10)과 얼라인시킬 마스크(20)를 하강시킨다. 이때 마스크(20)는 마스크 지지축(135)에 의해 4개의 코너 부분이 지지된 상태에 있다가 마스크 지지축(135)의 하강을 통해 하강된다.

이후 카메라부(170)를 통해 기판(10)과 마스크(20)의 위치를 확인한다. 이때, 카메라부(170)를 통한 기판(10)과 마스크(20)의 위치 확인은 기판(10)과 마스크(20)의 네 코너에 각각 형성되어 있는 얼라인마크(11,21)를 통해 확인할 수 있다.

예를 들면, 기판(10)과 마스크(20)가 X축, Y축, θ축 방향으로 정렬되어 있지 않은 상태인 것은, 원형으로 이루어진 기판(11)의 각 얼라인마크(11)의 내부에 십자형으로 이루어진 마스크(20)의 각 얼라인마크(21)가 위치되어 있는 지를 확인하는 것을 통해 알 수 있다.

그리고 기판(10)과 마스크(20)가 Z축 방향으로 정렬되지 않은 즉, 상호 평행하지 않은 상태인 것은, 먼저 카메라부(170) 즉, 4개의 카메라부재가 기판(10)의 네 코너에 각각 형성되어 있는 얼라인마크(11)에 대한 초점을 맞춘 후 마스크(20)의 네 코너에 각각 형성되어 있는 얼라인마크(21)에 대한 초점을 맞추기 위해 이동되는 거리를 계산하는 것을 통해 알 수 있다.

다시 말하면, 기판(10)과 마스크(20)가 상호 평행 상태에 있지 않고 기울어져 있는 경우에는, 4개의 카메라부재가 기판(10)의 얼라인마크(11)에 대한 초점을 맞춘 상태에서 다시 마스크(20)의 얼라인마크(21)에 대한 초점을 맞추기 위해 각각 움직이는 과정에서 적어도 하나의 카메라부재가 움직이는 거리가 나머지 카메라부재의 움직이는 거리와 서로 상이하다. 따라서 본 발명의 실시예에서는 상기의 과정을 통해 각 카메라부재가 움직이는 거리를 확인하여 기판(10)과 마스크(20)의 평행도가 얼마나 틀어져있는지를 확인할 수 있다.

다음으로 카메라부(170)를 통해 위치 확인된 마스크(20)를 얼라인부(120)를 통해 기판(10)과 얼라인시킨다.

이때, 앞선 기판(10)과 마스크(20)의 얼라인마크(11,21)를 확인하는 과정에서 마스크(20)를 X축 방향으로 이동시킬 필요가 있는 경우에는, X축 이동모터(143)를 작동시켜 X축 이동스테이지(141)를 X축 방향으로 이동시킴에 따라 X축 이동스테이지(141)의 상측에 배치되어 있는 Z축 이동스테이지(161)와 이 Z축 이동스테이지(161)와 연결되어 있는 마스크 지지축(135)을 X축 방향으로 이동시킨다.

그리고 앞선 기판(10)과 마스크(20)의 얼라인마크(11,21)를 확인하는 과정에서 마스크(20)를 Y축 방향으로 이동시킬 필요가 있는 경우에는, Y축 이동모터(153)를 작동시켜 Y축 이동스테이지(151)를 Y축 방향으로 이동시킴에 따라 Y축 이동스테이지(151)에 적층되어 있는 Z축 이동스테이지(161)와 이 Z축 이동스테이지(161)와 연결되어 있는 마스크 지지축(135)을 Y축 방향으로 이동시킨다.

그리고 앞선 기판(10)과 마스크(20)의 얼라인마크(11,21)를 확인하는 과정에서 마스크(20)를 θ축 방향으로 이동시켜야 하는 경우에는, X축 이동모터(143)와 Y축 이동모터(153)를 작동시켜 X축 이동스테이지(141)를 X축 방향으로 이동시키는 동시에 Y축 이동스테이지(151)를 Y축 방향으로 이동시킴에 따라 Z축 이동스테이지(161)와 이 Z축 이동스테이지(161)와 연결되어 있는 마스크 지지축(135)을 θ축 방향으로 이동시킨다.

예를 들면, 상기와 같이 마스크를 X축, Y축, θ축 방향으로 이동시켜 기판과 마스크를 얼라인시키는 것은 원형으로 이루어진 기판(11)의 얼라인마크(11)의 내부에 십자형으로 이루어진 마스크(20)의 얼라인마크(21)를 위치 시키는 과정을 통해 이루어질 수 있다.

그리고 앞선 기판(10)과 마스크(20)의 얼라인마크(11,21)의 초점거리를 맞추는 과정에서 마스크(20)를 Z축 방향으로 이동시켜야 하는 경우 다시 말하면, 마스크(20)가 기판(10)과 평행 상태에 있지 않고 기울어져 있는 경우에는, Z축 이동모터(163)를 작동시켜 Z축 이동스테이지(161)와 이 Z축 이동스테이지(161)와 연결되어 있는 마스크 지지축(135)을 Z축 방향으로 이동시킨다.

이때, 상기와 같이 마스크(20)를 Z축 방향으로 이동시키는 과정은 기판(10)과 마스크(20)가 X축, Y축, θ축 방향으로 얼라인되어 있는 상태임을 전제로 하며, 앞선 과정에서 계산된 각 카메라부재가 움직이는 거리에 따라 다수의 Z축 이동유닛(160) 중에서 적어도 하나를 선택적으로 작동시켜 마스크(20)의 기울기를 조정한다.

또, 마스크(20)를 상기의 X축, Y축, θ축, Z축 방향 중 둘 이상의 방향으로 이동시켜야 하는 경우에는, 하나의 방향으로 먼저 마스크(20)를 이동시킨 후 나머지 방향으로 이동시킨다. 반면에 마스크(20)를 둘 이상의 방향을 동시에 이동시킬 수도 있다.

이후, 상기와 같이 기판(10)과 마스크(20)를 얼라인시킨 후에는 기판(10)에 마스크(20)를 합착시키면 모든 과정이 종료된다.

따라서 본 발명의 실시예에서는 상기와 같은 구조를 얼라인장치를 이용하여 기판과 마스크를 얼라인 시키는데, 기판과 마스크의 얼라인 시 마스크를 X축, Y축, θ축 방향으로 이동시켜 마스크를 동일 평면 상에서 이동시킬 수 있을 뿐만 아니라 Z축 방향으로도 이동시킬 수 있으므로 마스크가 기판과 평행하지 않은 상태에서도 용이하게 기판과 마스크를 얼라인시킬 수 있다.

한편, 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

10: 마스크 20: 마스크
30: 챔버 110: 기판 지지부
111: 기판 지지 플레이트 113: 승강축
120: 얼라인부 125: 얼라인 프레임
130: 얼라인모듈 135: 마스크 지지축
140: X축 이동유닛 141: X축 이동스테이지
143: X축 이동모터 150: Y축 이동유닛
151: Y축 이동스테이지 153: Y축 이동모터
160: Z축 이동유닛 161: Z축 이동스테이지
163: Z축 이동모터 170: 카메라부

Claims

제1부재를 지지하는 제1부재 지지부와,
제2부재를 지지하고, 상기 제2부재를 이동시켜 상기 제1부재와 얼라인시키는 다수의 얼라인모듈을 갖는 얼라인부와,
상기 제1부재와 제2부재의 위치를 확인하는 카메라부를 포함하고,
상기 얼라인모듈은,
상기 제2부재를 지지하는 제2부재 지지축; 및
상기 제2부재 지지축과 연동되는 Z축 이동스테이지와, 상기 Z축 이동스테이지를 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 이동모터를 포함하는 Z축 이동유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
제1항에 있어서,
상기 얼라인모듈은,
X축 이동스테이지와, 상기 X축 이동스테이지를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동모터를 포함하는 X축 이동유닛과,
Y축 이동스테이지와, 상기 Y축 이동스테이지를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동모터를 포함하는 Y축 이동유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
제2항에 있어서,
상기 X축 이동유닛, Y축 이동유닛, Z축 이동유닛은 상호간에 적층되고,
상기 제2부재 지지축은 상기 X축 이동유닛, Y축 이동유닛, Z축 이동유닛 중 최상층에 배치된 이동유닛에 연결된 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
제1항에 있어서,
상기 Z축 이동유닛은 상기 제2부재의 기울기를 조절할 수 있도록, 상기 제2부재의 네 코너 중 적어도 세 코너에 설치된 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
제1항에 있어서,
상기 카메라부는 상기 제1부재와 제2부재의 각 코너에 형성되어 있는 얼라인마크를 확인하는 다수의 카메라부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
제5항에 있어서,
상기 카메라부는 상기 제1,2부재의 각 코너에 형성되어 있는 얼라인마크에 대한 초점을 맞추기 위해 상기 다수의 카메라부재를 Z축 방향으로 각각 이동시키는 이동유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
제5항에 있어서,
상기 다수의 카메라부재는 초점 거리를 변화시킬 수 있는 모터가 내장된 카메라부재인 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
제1항에 있어서,
상기 제1부재는 기판과 마스크 중 하나이고,
상기 제2부재는 상기 기판과 마스크 중 다른 하나인 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
제1항의 얼라인 장치를 이용하여 제1부재와 제2부재를 얼라인시키는 얼라인방법에 있어서,
상기 카메라부를 통해 상기 제1부재와 제2부재 간의 수평위치를 확인하는 단계; 및
상기 제2부재를 Z축 방향으로 이동시켜 상기 제1부재와 제2부재 간의 이격 간격을 평행하게 하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인방법.
제9항에 있어서,
상기 수평위치를 확인하는 단계는,
상기 제1,2부재의 네 코너의 대응 위치에 각각 설치되는 카메라부재를 갖는 카메라부를 통해 상기 제1부재의 네 코너에 각각 형성되어 있는 제1얼라인마크에 대한 초점을 맞추고,
상기 각 카메라부재를 움직여 상기 제2부재의 네 코너에 각각 형성되어 있는 제2얼라인마크에 대한 초점을 맞추고,
상기 각 카메라부재가 상기 제1얼라인마크의 초점을 맞춘 상태에서 상기 제2얼라인마크의 초점을 맞추기 위해 움직이는 거리를 비교하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인 방법.
제10항에 있어서,
상기 제1부재와 제2부재 간의 이격 간격을 평행하게 하는 단계는,
상기 각 카메라부재가 움직이는 거리를 비교하여 상기 각 카메라부재 중 적어도 하나가 나머지와 움직이는 거리가 상이할 경우 상기 제2부재의 네 코너에 설치되는 상기 Z축 이동유닛 중 적어도 하나를 작동시키는 것을 특징으로 하는 얼라인 방법.
제9항에 있어서,
상기 확인하는 단계 후에는,
상기 제2부재를 X축 또는/및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 제1,2부재를 XY 평면 상에서 얼라인시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인방법.
제12항에 있어서,
상기 제1,2부재를 XY 평면 상에서 얼라인시키는 단계는,
상기 제1,2부재에 각각 형성되어 있는 얼라인마크를 얼라인시키는 것을 특징으로 하는 얼라인방법.