JP2005271198A - ナノスケールフィーチャを備えたテンプレートが形成されている構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口部930が形成されているレジスト層を備えたテンプレート500を基板420上に配置し、ナノワイヤ、ナノ微粒子、ナノロッド、ナノチューブ、フラーレン、ウイルス微粒子、ポリ核酸、ポリペプチド、タンパク質、DNAなどのナノスケール物体910を開口部930に置く。そして化学結合、接着剤、熱処理などの手段で基板420に付着させる。その後、テンプレート500を化学洗浄などで除去すると、基板420上にナノスケール物体910が残りナノスケール構造体が完成する。
【選択図】図11
Description
110、420、2010 基板
120、910、920、2050、2350 ナノスケール物体
200 ウェーハ
220 電子ビーム
300 型
340 歯
400 ウェーハ構造体
410 レジスト層
500、1510、1600、2000、2100、2400 テンプレート
810、930、1530、2020、2120、2310 開口部
2330、2340、2370、2380 ワイヤ
Claims (32)
- テンプレートが、開口部の形成されているレジスト層を備え、ナノスケール物体を制御してアセンブリを構成させることを特徴とする、基板に配置されるナノスケールフィーチャを備えたパターンを形作っているテンプレートが形成された構造体。
- 前記ナノスケール物体が前記テンプレートの周囲で、前記基板の近くに配置されるのを、前記テンプレートが助けるように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記ナノスケール物体は除去しないで、前記テンプレートが前記基板から除去されるように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記テンプレートは、前記開口部を通して前記ナノスケール物体を成長させるように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記テンプレートは、前記開口部を通して前記基板の表面から外に向かってナノスケールワイヤを成長させるように構成されていることを特徴とする、請求項4に記載の構造体。
- 前記テンプレートは、前記テンプレートの前記開口部を通して前記基板の前記表面に対して所定の向きに前記ナノスケール物体を成長させるように構成されていることを特徴とする、請求項4に記載の構造体。
- 前記テンプレートは、前記開口部で前記ナノスケール物体が堆積するように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記ナノスケール物体は、加熱されると融着するように構成されている薄膜であることを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記ナノスケール物体は、ラングミュア−ブロジェット、自己組織化、蒸着、電気めっき、無電解めっき、浸漬、噴霧、物理結合あるいは化学結合のうちの少なくとも1つの方法によって前記テンプレート上に堆積されることを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記ナノスケール物体は、分子膜、電気めっきされた薄膜、ナノワイヤ、ナノ微粒子、ナノロッド、ナノチューブ、フラーレン、ウイルス微粒子、ポリ核酸、ポリペプチド、タンパク質、DNA、多量のポリ核酸および液体のうちの少なくとも1つであることを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記開口部のうちの少なくとも1つのサイズおよび形状は、特定範囲のサイズのナノスケール物体を除外することを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記開口部のうちの少なくとも1つのサイズおよび形状は、1つの開口部に特定のサイズの複数のナノスケール物体を収容し、別の開口部に別のサイズのナノスケール物体を収容することを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記開口部のうちの少なくとも1つのサイズおよび形状は、所定の最大数のナノスケール物体を収容することを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記開口部のうちの少なくとも1つのサイズ、形状および位置は、概ね所定の向きに配列された複数のナノスケール物体を収容することを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記開口部のうちの少なくとも1つのサイズおよび形状は、前記ナノスケール物体を所定範囲の向きに収容することを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記開口部のうちの少なくとも1つのサイズおよび形状は、1つの開口部の個別の段に異なるサイズのナノスケール物体を収容することを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 大きな開口部に小さな開口部を有し、異なるサイズの開口部に異なるサイズのナノスケール物体を収容する多段のナノスケール開口部をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記構造体は、部品の置かれている基板上に配置され、前記テンプレートは、開口部が形成されているレジスト層を備え、前記開口部は、前記ナノスケール物体を前記部品と接触させ、前記基板の反対側の前記テンプレート表面に前記部品を電気伝導可能に露出させるように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記構造体は、部品が配置されている基板上に配置され、前記テンプレートが、開口部の形成されたレジスト層を備え、前記開口部は、前記部品を前記基板と反対側にある前記テンプレートの表面上に位置する他の部品と接触させ、前記部品を電気伝導可能に露出させるように前記ナノスケール物体を配置させる構成であることを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 前記構造体は、導電性ワイヤが配置されている基板上に配置され、前記テンプレートは、スルーバイアが形成されたレジスト層を備え、前記基板と反対側にある前記テンプレートの表面上に配置されている導電性ワイヤと接触させ、前記導電性ワイヤを電気伝導可能に露出させるように前記ナノスケール物体を配置させるのを助ける構成であることを特徴とする、請求項1に記載の構造体。
- 基板表面上にナノスケールフィーチャの規則的なパターンを備えたテンプレートと、
前記ナノスケール物体が前記基板表面に接触するか、近接するように、前記テンプレートの周囲にナノスケール物体を供給する手段とを含むことを特徴とする、基板表面上にナノスケールフィーチャの規則的なパターンを備えた構造体を形成するシステム。 - 型を使ってテンプレートを作製する手段をさらに含むことを特徴とする、請求項21に記載のシステム。
- 型を使ってテンプレートを作製する前記手段は、ウェーハを前記規則的なパターンと逆に彫刻することにより型を作製する手段を含むことを特徴とする、請求項22に記載のシステム。
- 型を使ってテンプレートを作製する前記手段は、ウェーハを前記規則的なパターンに対して相補的な形状に彫刻することにより型を作製する手段を含むことを特徴とする、請求項22に記載のシステム。
- 前記ウェーハは、金属、シリコン、プラスチック、ガラスおよび石英のうちの1つで構成されることを特徴とする、請求項23に記載のシステム。
- 型を使ってテンプレートを作製する前記手段は、電子ビームを用いてウェーハから型を作製する手段を含むことを特徴とする、請求項24に記載のシステム。
- テンプレートを作製する前記手段は、熱インプリントリソグラフィを使ってテンプレートを作製する手段を含むことを特徴とする、請求項24に記載のシステム。
- 前記ナノスケールフィーチャは前記テンプレートを貫通するバイアを設けていることを特徴とする、請求項21に記載のシステム。
- 前記基板上に置かれている伝導手段と、ナノスケール微粒子を収容して、前記テンプレートの反対側に前記伝導手段を電気伝導可能に露出させる、前記テンプレートのスルーバイアとをさらに含むことを特徴とする、請求項21に記載のシステム。
- 前記基板上に置かれている伝導手段と、ナノスケール微粒子を収容して、前記テンプレートの反対側に配置されている他の伝導手段に前記伝導手段を電気伝導させるように露出させる、前記テンプレート内のスルーバイアとをさらに含むことを特徴とする、請求項21に記載のシステム。
- 前記バイアは、ナノスケール微粒子が前記バイアに堆積されると、前記テンプレートの反対側に配置されているワイヤを接続することを特徴とする、請求項28に記載のシステム。
- 第2の1群のナノスケール物体が第1の1群のナノスケール物体に接触するか、近接するように、前記テンプレートの周囲に前記第2の1群のナノスケール物体を供給する手段をさらに含むことを特徴とする、請求項21に記載のシステム。
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