JP2013506978A - マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学構成体 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
本願は、2009年9月30日付けで出願された独国特許出願第10 2009 045 163.3号及び2009年9月30日付けで出願された米国特許仮出願第61/247,059号の優先権を主張する。上記出願の内容は参照により本明細書に援用される。
少なくとも1つの光学素子と、
光学素子用の支持要素とを備え、
光学素子及び支持要素は少なくとも3つのデカップリング要素により相互に接続され、
該デカップリング要素は光学素子及び支持要素と一体的に形成される。
キャリア構造と、
少なくとも1つの光学素子と、
少なくとも3つの接合箇所で光学素子に取着される支持要素とを備え、
支持要素は取り付け要素によりキャリア構造に接続され、
取り付け要素は接合箇所に対して周方向に変位して配置され、
光学素子は最大厚さに対する最大直径の比が少なくとも10である。
キャリア構造と、
最大厚さに対する最大直径の比が少なくとも10である少なくとも1つの光学素子と、
該光学素子用の支持要素とを備え、
支持要素は取り付け要素によりキャリア構造に接続され、
光学素子、支持要素、及び取り付け要素からなるシステムの固有振動数は少なくとも250Hzである。
Claims (43)
- マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学構成体であって、
少なくとも1つの光学素子(110、210)と、
該光学素子(110、210)用の支持要素(120、220)とを備え、
前記光学素子(110、210)及び前記支持要素(120、220)は少なくとも3つのデカップリング要素(131、132、133;231、232、233)により相互に接続され、
該デカップリング要素(131、132、133;231、232、233)は前記光学素子(110、210)及び前記支持要素(120、220)と一体的に形成される
光学構成体。 - 請求項1に記載の光学構成体において、前記支持要素(120、220)は取り付け要素により前記投影露光装置のキャリア構造に接続され、前記取り付け要素は前記デカップリング要素(131〜133;231〜233)に対して周方向に変位して配置されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1又は2に記載の光学構成体であって、前記光学素子(110、210、310、410)は、最大厚さに対する最大直径の比が少なくとも10、特に少なくとも15、さらに詳細には少なくとも20であることを特徴とする光学構成体。
- マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学構成体であって、
キャリア構造と、
少なくとも1つの光学素子(310、410)と、
少なくとも3つの接合箇所(331、332、333)で前記光学素子(310、410)に取着される支持要素(320、420)とを備え、
前記支持要素(320、420)は取り付け要素により前記キャリア構造に接続され、
前記取り付け要素は前記接合箇所(331、332、333)に対して周方向に変位して配置され、
前記光学素子(110、210、310、410)は最大厚さに対する最大直径の比が少なくとも10である
光学構成体。 - 請求項4に記載の光学構成体において、前記光学素子(110、210、310、410)は、最大厚さに対する最大直径の比が少なくとも15、さらに詳細には少なくとも20であることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記デカップリング要素(131〜133;231〜233)又は前記接合箇所(331、332、333)は、周方向に相互から実質的に一定の間隔でそれぞれ配置されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項2〜6のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記取り付け要素は、前記デカップリング要素(131〜133;231〜233)又は前記接合箇所(331、332、333)に対して周方向に相互から実質的に一定の間隔でそれぞれ配置されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記デカップリング要素(131〜133;231〜233)又は前記接合箇所(331、332、333)は、相互に対して周方向に120°±30°、特に120°±20°、さらに詳細には120°±10°の角度でそれぞれ変位することを特徴とする光学構成体。
- 請求項2〜8のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記取り付け要素は、周方向に60°±20°、特に60°±10°、さらに詳細には60°±3°の角度で前記デカップリング要素(131〜133;231〜233)又は前記接合箇所(331、332、333)に対してそれぞれ変位することを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記支持要素(120、220、320、420)は、正確に3つのデカップリング要素又は接合箇所(331、332、333)により前記光学素子(110、210、310、410)に接続されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項2〜10のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記取り付け要素は、前記光学素子(110、210、310、410)に静定的な取り付けを提供するような構成であることを特徴とする光学構成体。
- 請求項4〜11のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記光学素子(310、410)及び前記支持要素(320、420)は、相互に異なる熱膨張係数を有する材料からできていることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記光学素子(110、210、310、410)及び前記支持要素(120、220、320、420)は、同じ材料からできていることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記光学素子(110、210、310、410)及び前記支持要素(120、220、320、420)は、0.5ppm/K未満の熱膨張係数を有する材料、特に、石英ガラス(SiO2)、ULE(登録商標)、Zerodur(登録商標)、又はClearceram(登録商標)からできていることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記光学素子(110、210、310、410)はミラーであることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜15のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記支持要素(420)及び/又は前記光学素子(110)は、半径方向に少なくとも部分的なデカップリングをもたらす少なくとも1つのスロット(461、161)を有することを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜16のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記支持要素(120、320、420)は、前記光学素子(110、310、410)の外部に配置されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜16のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記支持要素(220)は、前記光学素子(210)のうち光学有効表面に面しない側に配置されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜18のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記光学素子(110、310)は中心孔(150、250、350)を有することを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜19のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記光学素子(110、210)は、該光学素子(110、210)を強化するための補強縁部分(115、215)を有することを特徴とする光学構成体。
- 照明系(6)及び投影対物光学系(31)を備えるEUVリソグラフィ用のマイクロリソグラフィ投影露光装置であって、前記照明系及び/又は前記投影対物光学系は、請求項1〜20のいずれか1項に記載の光学構成体を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 照明系(6)及び投影対物光学系(31)を備えるEUVリソグラフィ用のマイクロリソグラフィ投影露光装置であって、
前記照明系及び/又は前記投影対物光学系は光学構成体を有し、
該光学構成体は、
ミラーである少なくとも1つの光学素子と、
前記ミラー用の支持要素(120、220)とを備え、
前記ミラー及び前記支持要素(120、220)は少なくとも3つのデカップリング要素(131、132、133;231、232、233)により相互に接続され、
該デカップリング要素(131、132、133;231、232、233)は前記ミラーと一体的に形成される
マイクロリソグラフィ投影露光装置。 - 請求項21又は22に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記光学素子(110、210、310)は、光ビーム経路内の最後にある前記投影対物光学系(31)のミラー(M6)であることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項21又は22に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記光学素子(110、210、310)は、前記投影対物光学系(31)の前記像平面(9)に対して最小間隔で配置されるミラー(M5)であることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項21〜24のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記投影対物光学系は、少なくとも0.3、特に少なくとも0.4、特に少なくとも0.45、さらに詳細には少なくとも0.5の開口数を有することを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜25のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記支持要素(120、220)は取り付け要素により前記投影露光装置のキャリア構造に接続され、前記取り付け要素は前記デカップリング要素(131〜133;231〜233)に対して周方向に変位して配置されることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜26のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記光学素子(110、210、310、410)は、最大厚さに対する最大直径の比が少なくとも10、特に少なくとも15、さらに詳細には少なくとも20であることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜27のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記デカップリング要素(131〜133;231〜233)又は前記接合箇所(331、332、333)は、周方向に相互から実質的に一定の間隔でそれぞれ配置されることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項26〜28のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記取り付け要素は、前記デカップリング要素(131〜133;231〜233)又は前記接合箇所(331、332、333)に対して周方向に相互から実質的に一定の間隔でそれぞれ配置されることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜29のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記デカップリング要素(131〜133;231〜233)又は前記接合箇所(331、332、333)は、相互に対して周方向に120°±30°、特に120°±20°、さらに詳細には120°±10°の角度でそれぞれ変位することを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項26〜30のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記取り付け要素は、周方向に60°±20°、特に60°±10°、さらに詳細には60°±3°の角度で前記デカップリング要素(131〜133;231〜233)又は前記接合箇所(331、332、333)に対してそれぞれ変位することを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜31のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記支持要素(120、220、320、420)は、正確に3つのデカップリング要素又は接合箇所(331、332、333)により前記光学素子(110、210、310、410)に接続されることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項26〜32のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記取り付け要素は、前記光学素子(110、210、310、410)に静定的な取り付けを提供するような構成であることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜33のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記光学素子(110、210、310、410)及び前記支持要素(120、220、320、420)は、同じ材料からできていることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜34のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記光学素子(110、210、310、410)及び前記支持要素(120、220、320、420)は、0.5ppm/K未満の熱膨張係数を有する材料、特に、石英ガラス(SiO2)、ULE(登録商標)、Zerodur(登録商標)、又はClearceram(登録商標)からできていることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜35のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記支持要素(420)及び/又は前記光学素子(110)は、半径方向に少なくとも部分的なデカップリングをもたらす少なくとも1つのスロット(461、161)を有することを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求子22〜36のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記支持要素(120、320、420)は、前記光学素子(110、310、410)の外部に配置されることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜36のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記支持要素(220)は、前記光学素子(210)のうち光学有効表面に面しない側に配置されることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜38のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記光学素子(110、310)は中心孔(150、250、350)を有することを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- 請求項22〜39のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置において、前記光学素子(110、210)は、該光学素子(110、210)を強化するための補強縁部分(115、215)を有することを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学構成体であって、
キャリア構造と、
最大厚さに対する最大直径の比が少なくとも10である少なくとも1つの光学素子(110、210、310、410)と、
該光学素子(110、210、310、410)用の支持要素(120、220、320、420)とを備え、
該支持要素(120、220、320、420)は取り付け要素により前記キャリア構造に接続され、
前記光学素子(110、210、310、410)、前記支持要素(120、220、320、420)、及び前記取り付け要素からなるシステムの固有振動数は少なくとも250Hzである
光学構成体。 - 請求項41に記載の光学構成体において、前記光学素子(110、210、310、410)は、最大厚さに対する最大直径の比が少なくとも5、特に少なくとも10、さらに詳細には少なくとも15、特に少なくとも20であることを特徴とする光学構成体。
- 請求項41又は42に記載の光学構成体において、前記マイクロリソグラフィ投影露光装置は、15nm未満の作動波長用に設計されることを特徴とする光学構成体。
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