JP5069232B2 - マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ - Google Patents
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Description
a)屈折形式の第1の光学素子と、
b)第2の光学素子と、
c)第1の光学素子と第2の光学素子との間に形成された間隙と、
d)間隙を満たしている液体と、
e)少なくとも1個のアクチュエータの動作が第1の光学素子の回転非対称変形を生じるように第1の光学素子と結合された少なくとも1個のアクチュエータとを備える。
Claims (23)
- 回転非対称結像誤差を低減させるためのマニピュレータ(M1〜M11)を備えるマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、マニピュレータは、
a)屈折形式の第1の光学素子(52;252;352、452;552;652;752;852;950;1052;1152)と、
b)第2の素子(50;250;350;550;650;750;850;950;1050;1150)と、
c)第1の光学素子と第2の素子との間に形成された間隙(54;254;354;554;654;754;854;954';1054)と、
d)間隙を満たしている液体(62;62')と、
e)アクチュエータの動作が第1の光学素子の回転非対称変形を生じるように第1の光学素子と結合されたアクチュエータ(711〜718;2711、2712;3711〜3718;471;571;671;7711〜7718;8711〜8714;9711〜9714;10711〜10715;11711〜11715)とを備え、
第1の光学素子(52)の屈折率と液体(62)の屈折率との比率は0.9ないし1.1である、投影対物レンズ。 - 第1の光学素子は平行平面板(52;352;552;652;752)である請求項1に記載の投影対物レンズ。
- 第1の光学素子はメニスカスレンズ(252;852;1152)である請求項1に記載の投影対物レンズ。
- 第1の光学素子は膜(850)である請求項1に記載の投影対物レンズ。
- 第1の光学素子(52)の変形は、m=2、3、4、…によるm回対称性又は複数のm回対称性の重ね合せを有する請求項1〜4のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 第1の光学素子(52)に曲げモーメントを行使するように構成されている少なくとも2個のアクチュエータ(711〜718)を備え、少なくとも2個のアクチュエータ(711〜718)は第1の光学素子(52)の円周に沿って配置されている請求項5に記載の投影対物レンズ。
- アクチュエータ(711〜718)は第1の光学素子(52)の少なくとも2つの変形が異なるm回対称性を持って生成されるように構成されている請求項6に記載の投影対物レンズ。
- 第2の素子(250;750;850;950)の変形を生成するためにもっぱら第2の素子(250;750;850;950)だけに作用する第2のアクチュエータ(2711、2712;7711'〜7718';8711'〜8714';9711〜9714)を備える請求項1〜7のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 第1の光学素子(52)は瞳平面(32)に、又はそのごく近傍に配置されている、請求項1〜8のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- アクチュエータ(3711〜3718;471)は第1の光学素子(352;452)の前面又は背面(372;472)に設けられており、アクチュエータ(3711〜3718;471)は、表面(372;472)に対し少なくとも実質的に接線方向である方向に沿って圧縮力及び/又は引張り力を第1の光学素子(352;452)で発生させるように構成されている請求項1〜9のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- アクチュエータ(3711〜3718;471)は表面に施された層によって形成されており、前記層は少なくとも1つの方向に沿って可変の寸法を有する請求項10に記載の投影対物レンズ。
- 層は第1の光学素子の熱膨張係数と異なる熱膨張係数を有する材料によって形成される請求項11に記載の投影対物レンズ。
- 層の温度を制御可能に変化させる装置を備える請求項12に記載の投影対物レンズ。
- 複数の層(3711〜3718)はリングセグメントの形状を有しており、前記リングセグメントが投影対物レンズ(20)の光軸(OA)に関して中心に位置する円形リングを形成する請求項11〜13のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 複数のアクチュエータ(471)が、投影光が伝播する領域内の表面(472)にわたって分散されている請求項10〜14のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 複数のアクチュエータは投影光の波長で不透明であり、マニピュレータは投影対物レンズの瞳平面に、又はそのごく近傍に配置されている請求項15に記載の投影対物レンズ。
- 第1の光学素子(352)の前面又は背面(364)に締結されたセンサ(380)を備えており、センサ(3870)はアクチュエータ(3711〜3718)によって生成された第1の光学素子(352)の変形を測定するように構成されている請求項1〜16のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 複数のアクチュエータ(671)が、液体(62)と接触している表面(664)の反対側にある第1の光学素子(652)の表面(672)の、投影光が通ることができる領域にわたって分散されている請求項1〜17のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 第1の光学素子(952)はその非変形状態において回転非対称である形状を有する請求項1〜18のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 第1の光学素子(952)はその非変形状態において回転非対称である厚さ分布を有する請求項19に記載の投影対物レンズ。
- 第1の光学素子(952)は、液体(62)と接触しており回転非対称の形状を有する第1の表面(964)及び、第1の表面(964)の反対側に第2の表面(972)を有しており、第2の表面(972)は回転対称の形状を有する請求項20に記載の投影対物レンズ。
- 結像誤差を低減させるためのマニピュレータ(M9)を備えるマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、マニピュレータは、
a)非変形状態において回転非対称である厚さ分布を有している屈折形式の第1の光学素子(952)と、
b)第2の素子(986)と、
c)第1の光学素子(952)と第2の素子(986)との間に形成された間隙(954)と、
d)間隙を満たしている流体(62)と、
e)第1の光学素子を変形させるための手段(960)とを備え、
第1の光学素子(52)の屈折率と液体(62)の屈折率との比率は0.9ないし1.1である、投影対物レンズ。 - 請求項1〜22のいずれか1項に記載の投影対物レンズを備える投影露光装置。
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