JP2003257052A - 露光装置、露光方法、記録および／または再生装置ならびに記録および／または再生方法 - Google Patents

露光装置、露光方法、記録および／または再生装置ならびに記録および／または再生方法

Info

Publication number
JP2003257052A
JP2003257052A JP2002054837A JP2002054837A JP2003257052A JP 2003257052 A JP2003257052 A JP 2003257052A JP 2002054837 A JP2002054837 A JP 2002054837A JP 2002054837 A JP2002054837 A JP 2002054837A JP 2003257052 A JP2003257052 A JP 2003257052A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser light
light
exposure
gap detection
converging lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002054837A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003257052A5 (ja
Inventor
Shingo Imanishi
慎悟 今西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2002054837A priority Critical patent/JP2003257052A/ja
Priority to US10/373,490 priority patent/US7099259B2/en
Publication of JP2003257052A publication Critical patent/JP2003257052A/ja
Publication of JP2003257052A5 publication Critical patent/JP2003257052A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1392—Means for controlling the beam wavefront, e.g. for correction of aberration
    • G11B7/13925—Means for controlling the beam wavefront, e.g. for correction of aberration active, e.g. controlled by electrical or mechanical means
    • G11B7/13927—Means for controlling the beam wavefront, e.g. for correction of aberration active, e.g. controlled by electrical or mechanical means during transducing, e.g. to correct for variation of the spherical aberration due to disc tilt or irregularities in the cover layer thickness
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216—Mask projection systems
    • G03F7/70325—Resolution enhancement techniques not otherwise provided for, e.g. darkfield imaging, interfering beams, spatial frequency multiplication, nearfield lenses or solid immersion lenses
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/125—Optical beam sources therefor, e.g. laser control circuitry specially adapted for optical storage devices; Modulators, e.g. means for controlling the size or intensity of optical spots or optical traces
    • G11B7/127—Lasers; Multiple laser arrays
    • G11B7/1275—Two or more lasers having different wavelengths
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1362—Mirrors
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B7/1374—Objective lenses
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B7/1378—Separate aberration correction lenses; Cylindrical lenses to generate astigmatism; Beam expanders
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1387—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector using the near-field effect
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1395—Beam splitters or combiners
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1398—Means for shaping the cross-section of the beam, e.g. into circular or elliptical cross-section
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B2007/13725—Catadioptric lenses, i.e. having at least one internal reflective surface
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B2007/13727—Compound lenses, i.e. two or more lenses co-operating to perform a function, e.g. compound objective lens including a solid immersion lens, positive and negative lenses either bonded together or with adjustable spacing
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
    • G11B7/0937—Piezoelectric actuators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Optical Head (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 近接場光を利用して露光または情報信号の記
録や再生を行う際に、ギャップ制御を精度よく安定して
行うことができる露光装置、露光方法、記録および／ま
たは再生装置ならびに記録および／または再生方法を提
供する。 【解決手段】 露光用レーザ光Ｌａとは波長が異なるギ
ャップ検出用レーザ光Ｌｇを収斂角調整レンズ群１６に
より収斂角αを調整して収束レンズ２３に入射させる。
これにより収束レンズ２３の色収差を補正することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、近接場光を利用し
て露光用原盤の露光を行う露光装置および露光方法、近
接場光を利用して光記録媒体に対して情報信号の記録等
を行う記録および／または再生装置ならびに記録および
／または再生方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、光ディスクの高密度化のニーズに
対応してスポット径をより一層微小化させるために、対
物レンズと露光原盤や光ディスクとの間に、球形レンズ
の一部を切り取った形状をした高屈折率のレンズである
ソリッドイマージョンレンズ（ＳＩＬ：Solid Immersio
n Lens）を配置することにより、対物レンズ自体の開口
数よりも大きな開口数（例えば１よりも大きな開口数）
を得ることが実現されている。このＳＩＬは、球面が対
物レンズ側に、球面と反対側が露光原盤等側に向けられ
るように配置されている。また、ソリッドイマージョン
ミラー（ＳＩＭ：Solid Immersion Mirror）を用いても
大きな開口数を実現できる。
【０００３】このＳＩＬを用いて露光や情報信号の記録
・再生を行うには、対物レンズを透過したレーザ光をＳ
ＩＬに集光させ、かつ、ＳＩＬの最下部端面である先端
面（ＳＩＬの露光原盤等との対向面）と露光原盤等の被
照射面との距離を近接場光が生じる領域（ニアフィール
ド領域）まで接近させ、さらに、ＳＩＬの先端面と露光
原盤等の被照射面との距離を一定にするギャップ制御を
行う必要がある。
【０００４】このギャップ制御を行うために、ギャップ
長を検出する方法が必要になるが、この方法の一つに全
反射検出法がある。この全反射検出法では、ＳＩＬの先
端面が露光原盤の被照射面より大きく離れているときに
は、ＳＩＬと対物レンズにより構成される収束レンズへ
の入射光の高ＮＡ成分（ＮＡ≧１．０）がＳＩＬの先端
面で全反射されるが、ＳＩＬの先端面が露光原盤の被照
射面に対して近接場領域にまで近づくと戻り光の光強度
が低下することを利用する。
【０００５】すなわち、ＳＩＬの先端面からの戻り光の
光強度が低下し、この戻り光の光強度が所定の値に達し
たところで維持するようにサーボをかけることにより、
ＳＩＬの先端面と露光原盤の被照射面との距離が一定に
保たれるギャップ制御が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この全
反射検出法によりギャップ制御を行うのに、露光や情報
信号の記録・再生に用いられる光の反射を利用すると、
露光・記録条件等の違いによって基準となるＳＩＬへの
入射光量が変化してしまう。このため、例えば露光パワ
ー等を変化させるたびにサーボの引き込み目標値を設定
し直さないと、ギャップが変化してしまうことになる。
【０００７】また、露光や情報信号の記録・再生で必要
とされる照射パワーが小さい場合には、全反射検出を行
っても、ノイズに埋もれる懸念があり、サーボに用いる
信号としては不十分になる。
【０００８】更に、露光ビームが記録信号に合わせて変
調された場合、サーボに用いる信号にもその変調信号が
重畳してしまう。特に、サーボ帯域と変調信号帯域が大
きく離れている場合には、周波数フィルターを用いて変
調信号成分を減少させることはできるが、完全に除去す
るのは難しく、ノイズの原因となってしまう。
【０００９】そこで、十分なパワーの一定光量で、露光
や情報信号の記録・再生には関与しないギャップ制御用
の光を露光用の光等とは別にギャップ制御に用いること
が提案されている。
【００１０】しかし、このようにギャップ制御用の光を
露光用の光等とは別にギャップ制御に用いる場合には、
ギャップ制御用の光と露光用の光等との波長の違いによ
り対物レンズおよびＳＩＬにより構成される収束レンズ
の色収差が発生するために、その色収差を補正すること
が必要となる。また、それぞれの光の波長が大きく離れ
ると色収差が大きくなり、色収差の補正も難しくなる。
よって、できるかぎり色収差の少ない状態でこのような
ギャップ制御を行うことが望まれる。
【００１１】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、近接場光を利用して露光用原盤に露
光を行う際に、ギャップ制御を精度よく安定して行うこ
とができる露光装置、露光方法、また、近接場光を利用
して光記録媒体に情報信号の記録および／または再生を
行う際に、ギャップ制御を精度よく安定して行うことが
できる記録および／または再生装置ならびに記録および
／または再生方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明による露光装置
は、露光用原盤の露光面の近接場領域に配置される収束
レンズにより、露光用光源から出射される露光用レーザ
光を露光用原盤の露光面に集光させて露光用原盤を露光
する露光装置であって、露光用レーザ光とは波長が異な
るギャップ検出用レーザ光を出射するギャップ検出用光
源と、ギャップ検出用レーザ光を収斂または発散させて
収束レンズに入射させる収斂または発散手段と、収束レ
ンズの先端面において反射されたギャップ検出用レーザ
光の戻り光の光強度を検出する光強度検出手段と、光強
度検出手段で検出されたギャップ検出用レーザ光の戻り
光の光強度に応じて、収束レンズの先端面と露光用原盤
の露光面との距離を制御するギャップ制御手段とを備え
る。
【００１３】本発明による露光装置では、ギャップ検出
用光源から出射されたギャップ検出用レーザ光を収斂ま
たは発散手段により収斂または発散させて露光用原盤の
露光面の近接場領域に配置される収束レンズに入射させ
るようにするため、露光用レーザ光とギャップ検出用レ
ーザ光の波長が異なることにより生じる収束レンズの色
収差が補正される。
【００１４】本発明による露光方法は、露光用原盤の露
光面の近接場領域に配置される収束レンズにより、露光
用光源から出射される露光用レーザ光を露光用原盤の露
光面に集光させて露光用原盤を露光する露光方法であっ
て、露光用レーザ光とは波長が異なるギャップ検出用レ
ーザ光を収斂または発散させて収束レンズに入射させ、
収束レンズの先端面において反射されたギャップ検出用
レーザ光の戻り光の光強度を検出し、検出されたギャッ
プ検出用レーザ光の戻り光の光強度に応じて、収束レン
ズの先端面と露光用原盤の露光面との距離を制御する。
【００１５】本発明による露光装方法では、ギャップ検
出用レーザ光を収斂または発散させて露光用原盤の露光
面の近接場領域に配置される収束レンズに入射させるよ
うにするため、露光用レーザ光とギャップ検出用レーザ
光の波長が異なることにより生じる収束レンズの色収差
が補正される。
【００１６】本発明による記録および／または再生装置
は、光記録媒体の信号記録面の近接場領域に配置される
収束レンズにより、記録および／または再生用光源から
出射される記録および／または再生用レーザ光を光記録
媒体の信号記録面に集光させて光記録媒体に対して情報
信号の記録および／または再生を行う記録および／また
は再生装置であって、記録および／または再生用レーザ
光とは波長が異なるギャップ検出用レーザ光を出射する
ギャップ検出用光源と、ギャップ検出用レーザ光を収斂
または発散させて収束レンズに入射させる収斂または発
散手段と、収束レンズの先端面において反射されたギャ
ップ検出用レーザ光の戻り光の光強度を検出する光強度
検出手段と、光強度検出手段で検出されたギャップ検出
用レーザ光の戻り光の光強度に応じて、収束レンズの先
端面と光記録媒体の信号記録面との距離を制御するギャ
ップ制御手段とを備える。
【００１７】本発明による記録および／または再生装置
では、ギャップ検出用光源から出射されたギャップ検出
用レーザ光を収斂または発散手段により収斂または発散
させて光記録媒体の信号記録面の近接場領域に配置され
る収束レンズに入射させるようにするため、記録および
／または再生用レーザ光とギャップ検出用レーザ光の波
長が異なることにより生じる収束レンズの色収差が補正
される。
【００１８】本発明による記録および／または再生方法
は、光記録媒体の信号記録面の近接場領域に配置される
収束レンズにより、記録および／または再生用光源から
出射される記録および／または再生用レーザ光を光記録
媒体の信号記録面に集光させて光記録媒体に対して情報
信号の記録および／または再生を行う記録および／また
は再生方法であって、記録および／または再生用レーザ
光とは波長が異なるギャップ検出用レーザ光を収斂また
は発散させて収束レンズに入射させ、収束レンズの先端
面において反射されたギャップ検出用レーザ光の戻り光
の光強度を検出し、検出されたギャップ検出用レーザ光
の戻り光の光強度に応じて、収束レンズの先端面と光記
録媒体の信号記録面との距離を制御する。
【００１９】本発明による記録および／または再生方法
では、ギャップ検出用レーザ光を収斂または発散させて
光記録媒体の信号記録面の近接場領域に配置される収束
レンズに入射させるようにするため、記録および／また
は再生用レーザ光とギャップ検出用レーザ光の波長が異
なることにより生じる収束レンズの色収差が補正され
る。
【００２０】なお、本発明においては、ギャップを満た
す材質が空気の場合には、ギャップ検出用レーザ光に対
しては、収束レンズの開口数は１以上である。
【００２１】また、本発明においては、ギャップ検出用
レーザ光を収斂または発散させるのに、凹レンズおよび
凸レンズを用いるようにしてもよい。凹レンズと凸レン
ズとの距離を調整することにより、ギャップ検出用レー
ザ光の収束レンズへの収斂角または発散角を調整するこ
とができる。
【００２２】また、本発明において、ギャップ検出用レ
ーザ光の戻り光のうち、ギャップ検出用レーザ光の偏光
状態と同じ偏光状態の成分の光強度を検出するようにす
ることができる。例えば、収束レンズに入射させるギャ
ップ検出用レーザ光の偏光状態がＰ偏光の場合に、ギャ
ップ検出用レーザ光の戻り光のうち、Ｐ偏光成分の光強
度を検出するようにできる。
【００２３】さらに、本発明において、ギャップ検出用
レーザ光を偏光ビームスプリッタと１／４波長板に順次
透過させて収束レンズに入射させ、収束レンズの先端面
において反射されたギャップ検出用レーザ光の戻り光の
うち１／４波長板と偏光ビームスプリッタに順次透過さ
れた成分の光強度を検出するようにしてもよい。例え
ば、ギャップ検出用レーザ光は、Ｐ偏光で偏光ビームス
プリッタを透過して、１／４波長板で円偏光に変換され
る。１／４波長板で円偏光に変換されたギャップ検出用
レーザ光は、収斂または発散され、収束レンズに入射す
る。収束レンズの先端面において臨界角以上の角度で入
射したギャップ検出用レーザ光は、収束レンズの先端面
で反射されて、楕円偏光となり、この戻り光のＰ偏光成
分は１／４波長板、偏光ビームスプリッタを透過して、
光強度が検出される。
【００２４】また、本発明において、ギャップ検出用レ
ーザ光の戻り光のうちギャップ検出用レーザ光の偏光状
態と同じ偏光状態の成分の光強度に応じて、ギャップ検
出用レーザ光の収束レンズへの収斂角または発散角を調
整するようにしてもよい。特に、ギャップ検出用レーザ
光を偏光ビームスプリッタと１／４波長板に順次透過さ
せて収束レンズに入射させ、収束レンズの先端面におい
て反射されたギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち１
／４波長板と偏光ビームスプリッタに順次透過された成
分の光強度に応じて、ギャップ検出用レーザ光の収束レ
ンズへの収斂角または発散角を調整するとよい。例え
ば、ギャップ検出用レーザ光をＰ偏光で偏光ビームスプ
リッタに透過させた場合には、収束レンズの先端面にお
いて反射されたギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち
１／４波長板と偏光ビームスプリッタに順次透過された
成分はＰ偏光成分であり、この成分は、収束レンズの先
端面に臨界角以上の角度で入射したギャップ検出用レー
ザ光の戻り光の成分である。
【００２５】このような成分の光強度がほぼ最大となる
ようにギャップ検出レーザ光の収束レンズへの収斂角ま
たは発散角を調整すれば、例えばギャップを満たす材質
が空気である場合には、収束レンズの開口数が１以上と
なる成分が収束レンズの先端面に集光するように調整す
ることとほぼ同じことになる。
【００２６】また、本発明において、ギャップ検出用レ
ーザ光のビーム径と、ギャップ検出用レーザ光を偏光ビ
ームスプリッタと１／４波長板に順次透過させて収束レ
ンズに入射させ、収束レンズの先端面において反射され
たギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち１／４波長板
と偏光ビームスプリッタに順次透過された成分のビーム
径とが等しくなるように、ギャップ検出用レーザ光の収
束レンズへの収斂角または発散角を調整することによっ
ても、ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち１／４波
長板と偏光ビームスプリッタに順次透過された成分をほ
ぼ最大とすることができる。
【００２７】また、本発明においては、露光用レーザ光
または記録および／または再生用レーザ光とはそれぞれ
波長が異なり、露光用原盤または光記録媒体にそれぞれ
ダメージを与えない波長およびパワーであるギャップ検
出用レーザ光を用いることもできる。ギャップ検出用レ
ーザ光の波長を短くしすぎると、光のエネルギーが大き
くなり、露光用原盤または光記録媒体にダメージを与え
てしまいかねない。また、ギャップ検出用レーザ光のパ
ワーが大きすぎても、露光用原盤または光記録媒体にダ
メージを与えてしまいかねない。
【００２８】また、本発明においては、ギャップ検出用
レーザ光の波長が、露光用レーザ光または記録および／
または再生用レーザ光との波長の違いにより生じる収束
レンズの色収差を低減するように露光用レーザ光または
記録および／または再生用レーザ光の波長に近いように
するとよい。ギャップ検出用レーザ光の波長を露光用レ
ーザ光または記録および／または再生用レーザ光の波長
に近づけると、収束レンズの色収差自体を低減すること
ができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【００３０】[第１の実施の形態]図１は本発明の第１の
実施の形態である露光装置におけるギャップ検出用光学
系の概略構成を表すものである。この露光装置は、ギャ
ップ検出用光学系によりＳＩＬの最下部端面である先端
面と露光用原盤１０の露光面との間の距離（ギャップ
長）を一定にするギャップ制御を行って、露光用レーザ
光Ｌａにより露光用原盤１０の露光を行うものである。
【００３１】このギャップ検出用光学系１は、ギャップ
検出用光源１１と、エキスパンダーレンズ群１２と、無
偏光ビームスプリッタ（ＮＢＳ：Normal Beam Splitte
r）１３と、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ：Polarized
Beam Splitter）１４と、１／４波長板（ＱＷＰ：Quar
ter Wave Plate）１５と、収斂角調整レンズ群１６と、
ダイクロイックミラー１７と、対物レンズ１８とＳＩＬ
１９とからなる収束レンズ２３と、アクチュエータ２０
と、ギャップ制御装置２１と、ビームストップ２２と、
集光レンズ２５と、フォトディテクタ（ＰＤ）２６とを
有する。
【００３２】ギャップ検出用光源１１は、ギャップ検出
用レーザ光Ｌｇを出射する光源であり、露光用の光源と
は別に設けられるものである。ギャップ検出用光源１１
から出射されるギャップ検出用レーザ光Ｌｇの波長は、
露光用原盤１０にダメージを与えない限り、露光用の光
源からの露光用レーザ光Ｌａの波長とできる限り近づけ
るとよい。
【００３３】ギャップ検出用レーザ光Ｌｇの波長を露光
用レーザ光Ｌａの波長に近づけることにより、収束レン
ズ２３の色収差を低減することができる。また、このよ
うにギャップ検出用レーザ光Ｌｇの波長を露光用レーザ
光Ｌａに近づけて収束レンズ２３の色収差を低減するこ
とにより、ダイクロイックミラー１７と収斂角レンズ群
１６を構成する収斂角レンズの径を小さくすることがで
きるので、ギャップ検出用光学系の小型化が可能とな
る。
【００３４】ただ、ギャップ検出用レーザ光Ｌｇの波長
を露光用レーザ光Ｌａの波長に近づけすぎると、露光用
原盤１０のレジスト１０ａが感光してしまい、また、ギ
ャップ検出用レーザ光Ｌｇの波長を露光用レーザ光Ｌａ
の波長に近づけるために短くしすぎると、光のエネルギ
ーが大きくなり露光用原盤１０にダメージを与えかねな
い。
【００３５】なお、ギャップ検出用レーザ光Ｌｇの波長
を露光用レーザ光Ｌａの波長に近づけない場合にも、収
斂角調整レンズ群１６による調整により色収差を補正す
ることは可能である。
【００３６】ギャップ検出用光源１１には、レジスト１
０ａが例えばノボラック系のｇ線（４３６ｎｍ）である
場合には、例えば波長５３２ｎｍのＳＨＧ（Second Har
monic Generation）レーザが用いられる。この波長が５
３２ｎｍのＳＨＧレーザは、露光用レーザ光Ｌａの波長
である例えば３５１ｎｍや４１３ｎｍに波長が近いため
収束レンズ２３の色収差を低減でき、かつ、露光用原盤
１０上の例えばノボラック系のｇ線（４３６ｎｍ）レジ
ストが感光することもなく、このレジストがダメージを
受けることもほとんどない。
【００３７】また、例えば波長が２６６ｎｍの露光用レ
ーザ光Ｌａによってレジスト１０ａとして化学増幅レジ
ストを露光する場合には、ギャップ検出用光源１１とし
て例えば短波長である３５１ｎｍのレーザを用いると、
波長が近いため色収差を低減でき、かつ、露光原盤１０
上の化学増幅レジストが感光することもなく、このレジ
ストが、ギャップ検出用光源１１が短波長であることで
光エネルギーが大きくなることによりダメージを受ける
こともほとんどない。
【００３８】ギャップ検出用光源１１のパワーも、露光
用原盤１０にダメージを与えないように設定する。この
ギャップ検出用光源１１のパワーが大きすぎると露光用
原盤１０にダメージを与えてしまう。例えば、ギャップ
検出用光源１１として波長５３２ｎｍのＳＨＧレーザを
用いて、収束レンズ２３との相対速度を１．５ｍ／ｓで
露光用原盤１０を回転させ、０．５μｍのスポット径で
ノボラック系のｇ線（４３６ｎｍ）レジストを露光する
場合には、このギャップ検出用光源１１のパワーは１ｍ
Ｗ以上２０ｍＷ未満とする。この場合に、ギャップ検出
用光源１１のパワーを２０ｍＷ以上とすると、露光用原
盤１０にダメージを与えてしまい、１ｍＷ未満とする
と、十分なギャップ検出信号が得られない。
【００３９】エキスパンダーレンズ群１２は、例えば集
光レンズやコリメータレンズ等から構成される。また、
ビームストップ２２は、例えば黒色の板等であって、光
を吸収するものであればよい。なお、ビームストップ２
２を設けなくても、光を十分遠方で散乱させるようにし
てもよい。
【００４０】収斂角調整レンズ群１６は、収束レンズ２
３に入射するギャップ検出用レーザ光の収斂角αを調整
するものである。この収斂角調整レンズ群１６は、例え
ば凸レンズ１６Ａと凹レンズ１６Ｂとにより構成されて
いる。このような構成の場合には、凸レンズ１６Ａと凹
レンズ１６Ｂとの距離を調整することにより、ギャップ
検出用レーザ光の収斂角αを調整することができる。例
えば凸レンズ１６Ｂを固定して、凹レンズ１６Ａを凸レ
ンズ１６Ｂから遠ざけるとギャップ検出用レーザ光は、
収斂角αが大きくなり収斂し、凹レンズ１６Ａを凸レン
ズ１６Ｂに近づけるとギャップ検出用レーザ光は、収斂
角αが小さくなり発散する。なお、収斂角調整レンズ群
１６は、このように凹レンズ１６Ａおよび凸レンズ１６
Ｂにより構成せずとも、いったん光を拡散して、収束レ
ンズ２３に収斂させながら入射させるような構成であれ
ばどのような構成でもよい。例えば、凸レンズを２枚用
いることにより、収斂角調整レンズ群１６を構成しても
よい。
【００４１】ダイクロイックミラー１７は、波長選択性
ミラーであって、特定の波長の光だけを反射するミラー
である。本実施の形態では、ダイクロイックミラー１７
は露光用レーザ光Ｌａを反射するように構成されてい
る。このダイクロイックミラー１７の厚さはなるべく薄
いほうがよい。
【００４２】対物レンズ１８とＳＩＬ１９とからなる収
束レンズ２３により2群レンズが構成される。ＳＩＬ１
９は、球面レンズの一部を切り取った形状をした高屈折
率のレンズであり、球面を対物レンズ側１８に、球面と
反対側の最下部端面である先端面面１９ａを露光用原盤
１０の露光面に向けて配置されている。
【００４３】対物レンズ１８とＳＩＬ１９とにより構成
される収束レンズ２３のＮＡ（開口数）は、ギャップを
満たす材質が空気である場合には、１以上とする。
【００４４】また、対物レンズ１８とＳＩＬ１９は、図
示しない支持体に一体に支持されており、この支持体に
例えばピエゾ素子からなるアクチュエータ２０が取りつ
けられている。このアクチュエータ２０は、ピエゾ素子
には限られず、例えば電磁アクチュエータ等であっても
よい。
【００４５】次に、このようなギャップ検出用光学系１
を用いて、ＳＩＬ１９の先端面１９ａと露光用原盤１０
の露光面との間の距離を一定にするギャップ制御を行う
原理について説明する。
【００４６】まず、ギャップ検出用光源１１から露出用
レーザ光Ｌａの波長とは異なるができる限り近いギャッ
プ検出用レーザ光Ｌｇを出射する。このギャップ検出用
レーザ光Ｌｇは、エキスパンダーレンズ群１２により径
を大きくされてＮＢＳ１３に入射される。このＮＢＳ１
３に入射されたギャップ検出用レーザ光Ｌｇは、一部が
ＮＢＳ１３を透過してＰＢＳ１４に入射される。
【００４７】このＰＢＳ１４に入射されたギャップ検出
用レーザ光Ｌｇは、ＰＢＳ１４の反射面に対してＰ偏光
となっているためにＰＢＳ１４をほぼ１００％透過す
る。ＰＢＳ１４を透過したギャップ検出用レーザ光Ｌｇ
は、結晶軸が入射偏光方向に対して４５°傾けられて配
置された１／４波長板１５を透過して円偏光に変換され
る。
【００４８】この１／４波長板１５を透過したギャップ
検出用レーザ光Ｌｇは、収斂角調整レンズ群１６により
ダイクロイックミラー１７を介して対物レンズ１８に入
射する収斂角αが調整される。具体的には、収斂角調整
レンズ群１６により、収束レンズ２３のＮＡが１以上と
なる領域のギャップ検出用レーザ光Ｌｇの高ＮＡ成分が
ＳＩＬ１９の先端面１９ａに集光するように、収斂角α
を調整するが、この調整方法については後述する。
【００４９】収斂角調整レンズ群１６により収斂角αが
調整されたギャップ検出用レーザ光Ｌｇは、ダイクロイ
ックミラー１７を透過し、対物レンズ１８に入射され
る。この対物レンズ１８に入射されたギャップ検出用レ
ーザ光Ｌｇは、収束されてＳＩＬ１９に入射される。
【００５０】このＳＩＬ１９に入射されたギャップ検出
用レーザ光Ｌｇのうち先端面１９ａに臨界角以下の角度
で入射した光は、先端面１９ａで反射されて戻り光とし
て、ＳＩＬ１９、対物レンズ１８、ダイクロイックミラ
ー１７および収斂角調整レンズ群１６を透過して１／４
波長板１５で直線偏光に変換される。この１／４波長板
１５で直線偏光に変換された戻り光は、ＰＢＳ１４にＳ
偏光で入射されるために、ＰＢＳ１４で反射される。こ
のＰＢＳ１４で反射された戻り光はビームストップ２２
により吸収される。このようにビームストップ２２によ
りＰＢＳ１４で反射された戻り光を吸収させることによ
り、再びＰＢＳ１４にこのような戻り光の反射成分が逆
戻りしないようにすることができる。
【００５１】一方、このＳＩＬ１９に入射されたギャッ
プ検出用レーザ光Ｌｇのうち先端面１９ａにおいて臨界
角以上で入射した光、すなわち対物レンズ１８およびＳ
ＩＬ１９とにより構成される収束レンズ２３のＮＡが１
以上となる領域のギャップ検出用レーザ光Ｌｇの高ＮＡ
成分は、先端面１９ａで反射されて楕円偏光となり、戻
り光として、ＳＩＬ１９、対物レンズ１８、ダイクロイ
ックミラー１７および収斂角調整レンズ群１６を透過し
て１／４波長板１５を透過しても直線偏光には変換され
ない。このため、戻り光のＳ偏光成分はＰＢＳ１４で反
射されてビームストップ２２に吸収されるが、Ｐ偏光成
分はＰＢＳ１４を透過する。
【００５２】このＰＢＳ１４を透過した戻り光のＰ偏光
成分は、ＮＢＳ１３において一部が透過するが、一部が
反射する。このＮＢＳ１３で一部反射された戻り光が集
光レンズ２５により集光されることにより、この戻り光
のＰ偏光成分の強度がＰＤ２６により検出される。すな
わち、ギャップ検出用レーザ光Ｌｇの偏光状態であるＰ
偏光と同じ偏光状態である戻り光のＰ偏光成分の強度が
ＰＤ２６により検出される。
【００５３】このＰＤ２６での戻り光の検出強度は、Ｓ
ＩＬ１９の先端面１９ａと露光用原盤１０の露光面との
間が十分離れており、ＳＩＬ１９の先端面１９ａがニア
フィールド領域から離れている場合には、ギャップ検出
用レーザ光ＬｇのうちＳＩＬ１９の先端面１９ａに臨界
角以上で入射した光は先端面１９ａで全反射するので、
ある一定の値を示す。しかし、ＳＩＬ１９の先端面１９
ａと露光用原盤１０の露光面との間の距離が例えば光の
波長以下のニアフィールド領域内にまで近づくと、ギャ
ップ検出用レーザ光ＬｇのＳＩＬ１９の先端面１９ａで
全反射していた成分が露光用原盤１０側に透過してくる
ので、ＰＤ２６での戻り光の検出強度は低下する。さら
に、ＳＩＬ１９の先端面１９ａと露光用原盤１０の露光
面との間のギャップが０になると、ギャップ検出用レー
ザ光ＬｇのＳＩＬ１９の先端面１９ａで全反射していた
成分のほぼすべてが露光用原盤１０側にしみだし、透過
するため、ＰＤ２６での戻り光の検出強度はほぼ０とな
る。
【００５４】そこで、ＳＩＬ１９の先端面１９ａと露光
用原盤１０の露光面との間の距離が十分離れており、ニ
アフィールド領域から離れている場合の戻り光のＰ偏光
成分の検出強度に対して例えば６０％程度にＰＤ２６に
おけるリファレンスレベルを設定する。そして、ＰＤ２
６における戻り光の強度がリファレンスレベルになるよ
うに、対物レンズ１８およびＳＩＬ１９を一体で光軸方
向に例えばピエゾ素子からなるアクチュエータ２０によ
りギャップ制御装置２１を用いてサーボ制御することに
より、ＳＩＬ１９の先端面１９ａと露光用原盤１０の露
光面との間のギャップを一定に保持できるようになる。
【００５５】すなわち、ギャップ制御装置２１におい
て、ＰＤ２６で検出された戻り光のＰ偏光成分の強度を
被制御量としてギャップ制御電圧が出力され、このギャ
ップ制御電圧に応じてアクチュエータ２０である例えば
ピエゾ素子が伸縮制御されることにより、このピエゾ素
子が取り付けられた対物レンズ１８およびＳＩＬ１９
と、露光原盤１０の露光面との間の距離が制御される。
【００５６】ここで、収斂角調整レンズ群１６により、
収束レンズ２３のＮＡが１以上となる領域のギャップ検
出用レーザ光Ｌｇの高ＮＡ成分がＳＩＬ１９の先端面１
９ａに集光するように、すなわち、ギャップ検出用レー
ザ光Ｌｇの焦点位置がＳＩＬ１９の先端面１９ａに再接
近するように、収斂角αを調整する方法の一例について
説明する。
【００５７】まず、露光用原盤１０を露光する前に、例
えば、露光用原盤１０のダミー原盤を用いて、ＳＩＬ１
９の先端面１９ａとダミー原盤の照射面との間が十分離
れるように、すなわちＳＩＬ１９の先端面１９ａがニア
フィールド領域から離れるようにして、ギャップ検出用
レーザ光ＬｇのうちＳＩＬ１９の先端面１９ａに臨界角
以上で入射した光、すなわち、収束レンズ２３のＮＡが
１以上となる領域のギャップ検出用レーザ光Ｌｇの高Ｎ
Ａ成分をＳＩＬ１９の先端面１９ａで全反射させる。
【００５８】このＳＩＬ１９の先端面１９ａで全反射さ
れたギャップ検出用レーザ光Ｌｇの戻り光のＰ偏光成分
は、ＰＢＳ１４を透過するので、このＰＢＳ１４を透過
した戻り光がなるべくレンズ光路中の蹴られや反射吸収
損失を受けることなく光量が最大となるように、収斂角
調整レンズ群１６によりギャップ検出用レーザ光Ｌｇの
収斂角αを調整する。このように、ギャップ検出用レー
ザ光Ｌｇの偏光状態であるＰ偏光と同じ偏光状態であ
る、ＰＢＳ１４を透過した戻り光のＰ偏光成分の光量が
最大となるようにギャップ検出用レーザ光Ｌｇの収斂角
αを調整することは、収束レンズ２３のＮＡが１以上と
なる領域のギャップ検出用レーザ光Ｌｇの高ＮＡ成分が
ＳＩＬ１９の先端面１９ａに集光するようにギャップ検
出用レーザ光Ｌｇの収斂角αを調整することとほぼ同じ
ことである。
【００５９】ギャップ検出用レーザ光Ｌｇの偏光状態で
あるＰ偏光と同じ偏光状態である戻り光のＰ偏光成分の
光量が最大となることを確認するのには、ＰＢＳ１４を
透過した戻り光がＰＢＳ１４に入射するギャップ検出用
レーザ光Ｌｇと同光路を逆行することを利用するとよ
い。例えば、ビームスプリッタを用いてＰＢＳ１４に入
射するギャップ検出用レーザ光Ｌｇの一部とＰＢＳ１４
を透過した戻り光の一部とをそれぞれ取りだし、それぞ
れのビーム径をモニタリングする。このモニタリングに
よりそれぞれのビーム径が等しくなれば、ＰＢＳ１４を
透過した戻り光の光量が最大となることを確認すること
ができる。すなわち、モニタリングによりＰＢＳ１４に
入射するギャップ検出用レーザ光Ｌｇのビーム径と、Ｐ
ＢＳ１４を透過した戻り光のビーム径が等しくなるよう
に、収斂角調整レンズ群１６によりギャップ検出用レー
ザ光Ｌｇの収斂角αを調整する。
【００６０】なお、ＰＢＳ１４を透過した戻り光の光量
が最大となることを確認するのに、ＰＤ２６でＰＢＳ１
４を透過した戻り光の光量を検出してこの検出量が最大
となることを確認するようにしてもよい。
【００６１】また、この収斂角調整レンズ群１６による
収斂角調整においては、ギャップ制御に必要なだけの戻
り光量が得られればよく、必ずしもＰＢＳ１４を透過し
た戻り光の光量が最大となるようにする必要はない。
【００６２】このように露光用レーザ光Ｌａとは波長が
異なるができる限り近いギャップ検出用レーザ光Ｌｇに
よってギャップ制御を行いながら、露光用レーザ光Ｌａ
をダイクロイックミラー１７に反射させて、収束レンズ
２３に入射させることにより、ＳＩＬ１９の先端面１９
ａ上に集光された露光用レーザ光Ｌａがしみだして、近
接場光を利用した露光用原盤１０の露光を行うことがで
きる。
【００６３】このように本実施の形態では、露光用レー
ザ光Ｌａとは別に波長が異なるギャップ検出用レーザ光
Ｌｇをギャップ制御に用いるようにしたので、露光条件
等の違いによって露光用レーザ光Ｌａのパワー等を変化
させてもギャップ制御に悪影響を与えることはない。ま
た、本実施の形態では、露光用レーザ光Ｌａの照射パワ
ーが小さい場合にも、ギャップ検出用レーザ光Ｌｇの照
射パワーをギャップ制御に必要な十分な戻り光量を得ら
れるように調節できる。更に、本実施の形態では、露光
用レーザ光Ｌａが記録信号に合わせて変調された場合に
も、ギャップ検出用レーザ光Ｌｇは変調の影響を受ける
ことがない。
【００６４】また、本実施の形態では、収斂角調整レン
ズ群１６によりギャップ検出用レーザ光Ｌｇの収斂角α
を調整することができるようにしたので、露光用レーザ
光Ｌａとの波長の違いにより生じる収束レンズ２３の色
収差を補正することができる。よって、ＳＩＬ１９の先
端面１９ａと露光用原盤１０の露光面との間の距離を一
定にするギャップ制御を精度良く安定して行うことがで
き、また、このような露光用原盤１０により製造された
光ディスクのＳＮＲ（Signal Noise Ration）は向上す
る。そして、収斂角調整レンズ群１６によりＰＢＳ１４
を透過した戻り光の光量が最大となるようにギャップ検
出用レーザ光Ｌｇの収斂角αを調整すれば、より精度良
く安定したギャップ制御が可能になるとともに、光ディ
スクのＳＮＲをより向上させることができる。
【００６５】さらに、本実施の形態では、ギャップ検出
用レーザ光Ｌｇの波長を露光用レーザ光Ｌａの波長に近
づけるようにしたので、対物レンズ１８およびＳＩＬ１
９の色収差自体を低減できる。よって、収斂角レンズ群
１６等の径を小さくすることができ、光学系の小型化が
可能となる。
【００６６】また、本実施の形態では、ギャップ検出用
レーザ光Ｌｇの波長およびパワーを露光原盤１０にダメ
ージを与えないように選択するようにしたので、良好な
露光を行うことができる。
【００６７】[第２の実施の形態]図２は本発明の第２の
実施の形態である光ディスク装置のギャップ検出用光学
系を含んだ概略構成を表すものである。この光ディスク
装置は、ギャップ検出用光学系によりＳＩＬ１９の最下
部端面である先端面１９ａと光ディスク３０の信号記録
面３０ａとの間の距離を一定にするギャップ制御を行っ
て、光記録媒体３０の信号記録面３０ａに対して情報信
号の記録および／または再生を行うものである。本実施
の形態の光ディスク装置は、第１の実施の形態における
ギャップ検出用光学系と同様に構成されたギャップ検出
用光学系を有している。よって、本実施の形態の光ディ
スク装置においては、第１の実施の形態の露光装置と同
一の構成の部分には同一の符号を付し、第１の実施の形
態の説明を援用し、第１の実施の形態と異なる点につい
てのみ説明する。
【００６８】この光ディスク装置は、第１の実施の形態
と同様に構成されたギャップ検出用光学系１と、記録お
よび／または再生用レーザ光源ユニット３１と、光記録
媒体３０の情報信号により変調された戻り光の再生系の
構成部分として、ＰＢＳ３２と、１／４波長板３３と、
集光レンズ３４と、ＰＤ３５と、信号再生処理部３６と
を備えている。なお、記録および／または再生用レーザ
光源ユニット３１にはエキスパンダーレンズ群等も含ま
れている。この記録および／または再生用レーザ光源と
しては、例えば発振波長が４０５ｎｍ程度のＧａＮ系半
導体レーザ等が用いられる。
【００６９】ギャップ検出用光源１１は、記録および／
または再生用レーザ光源ユニット３１とは別に独立して
設けられている。ギャップ検出用光源１１から出射され
るギャップ検出用レーザ光Ｌｇの波長は、光記録媒体３
０にダメージを与えない限り、記録および／または再生
用レーザ光Ｌｂの波長とできる限り近づける。
【００７０】ギャップ検出用レーザ光Ｌｇの波長を記録
および／または再生用レーザ光Ｌｂの波長に近づけるこ
とにより、収束レンズ２３の色収差を低減することがで
きる。また、このようにギャップ検出用レーザ光Ｌｇの
波長を記録および／または再生用レーザ光Ｌｂに近づけ
て対物レンズ１８等の色収差を低減することにより、ダ
イクロイックミラー１７と収斂角レンズ群１６を構成す
る収斂角レンズの径を小さくすることができるので、ギ
ャップ検出用光学系の小型化が可能となる。
【００７１】ただ、ギャップ検出用レーザ光Ｌｇの波長
を記録および／または再生用レーザ光Ｌｂの波長に近づ
けすぎると、光記録媒体３０の情報信号の記録や再生に
悪影響を与えてしまい、また、ギャップ検出用レーザ光
Ｌｇの波長を記録および／または再生用レーザ光Ｌｂの
波長に近づけるために短くしすぎると、光のエネルギー
が大きくなり光記録媒体３０にダメージを与えかねな
い。
【００７２】例えば記録および／または再生用レーザ光
Ｌｂの波長４０５ｎｍであるときには、ギャップ検出用
レーザ光Ｌｇの波長は８００ｎｍ程度であればよい。
【００７３】この光ディスク装置により光記録媒体３０
へ情報信号の記録を行うには、まず、記録および／また
は再生用レーザ光源ユニット３１から出射された記録レ
ーザ光Ｌｂを、ＰＢＳ３２に透過させる。このＰＢＳ３
２を透過した記録レーザ光Ｌｂは、１／４波長板３３を
介してダイクロイックミラー１７に反射されて、対物レ
ンズ１８およびＳＩＬ１９に入射される。そして、ＳＩ
Ｌ１９の先端面１９ａ上に集光された記録レーザ光Ｌｂ
がしみだして、光記録媒体３０への情報信号の記録が行
われる。
【００７４】また、この光ディスク装置により光記録媒
体３０からの情報信号の再生を行うには、まず、記録お
よび／または再生用レーザ光源ユニット３１から出射さ
れた再生用レーザ光ＬｂをＰＢＳ３２に透過させる。こ
のＰＢＳ３２を透過した再生光Ｌｂは、１／４波長板３
３を透過してダイクロイックミラー１７に反射されて、
対物レンズ１８およびＳＩＬ１９に入射される。これに
より、ＳＩＬ１９の先端面１９ａ上に集光された記録レ
ーザ光Ｌｂがしみだす。そして、光記録媒体３０の信号
記録面３０ａで反射された戻り光がＳＩＬ１９、対物レ
ンズ１８を介して、ダイクロイックミラー１７に反射さ
れて、１／４波長板３３を透過してＰＢＳ３２に入射さ
れる。この戻り光は、ＰＢＳ３２で反射され、集光レン
ズ３４に入射され、集光レンズ３４によりＰＤ３５上に
集光される。このＰＤ３５により戻り光の強度が検出さ
れ、ＰＤ３５は戻り光の強度に応じた電気信号を出力す
る。この電気信号が信号再生処理部３６に入力されて、
信号再生処理部３６によって光記録媒体３０からの情報
信号の再生の処理が行われる。
【００７５】このように本実施の形態の光ディスク装置
では、光記録媒体３０に対して情報信号の記録および／
または再生を行うと同時に、第１の実施の形態で説明し
たのと同様に、記録および／または再生用レーザ光Ｌｂ
とは別に波長が異なるギャップ検出用レーザ光Ｌｇを用
いてギャップ制御ができるようにしたので、記録、再生
条件等の違いによって記録および／または再生用レーザ
光Ｌｂのパワー等を変化させてもギャップ制御に悪影響
を与えることはない。また、本実施の形態では、記録お
よび／または再生用レーザ光Ｌｂの照射パワーが小さい
場合にも、ギャップ検出用レーザ光Ｌｇの照射パワーを
ギャップ制御に必要な十分な戻り光量を得られるように
調節できる。さらに、本実施の形態では、記録用レーザ
光Ｌｂが変調された場合にも、検出用レーザ光Ｌｇが変
調の影響を受けることがなくなる。
【００７６】また、本実施の形態では、収斂角調整レン
ズ群１６によりギャップ検出用レーザ光Ｌｇの収斂角α
を調整することができるようにしたので、記録および／
または再生用レーザ光Ｌｂとの波長の違いにより生じる
収束レンズ２３の色収差を補正することができる。よっ
て、ＳＩＬ１９の先端面１９ａと光記録媒体３０の信号
記録面３０ａとの間の距離を一定にするギャップ制御を
精度良く安定して行うことができ、また、光記録媒体３
０のＳＮＲは向上する。そして、収斂角調整レンズ群１
６によりＰＢＳ１４を透過した戻り光の光量が最大とな
るようにギャップ検出用レーザ光Ｌｇの収斂角αを調整
すれば、より精度良く安定したギャップ制御が可能にな
るとともに、光記録媒体３０のＳＮＲをより向上させる
ことができる。
【００７７】さらに、本実施の形態では、ギャップ検出
用レーザ光Ｌｇの波長を記録または／および再生用レー
ザ光Ｌｂの波長に近づけるようにしたので、対物レンズ
１８およびＳＩＬ１９の色収差自体を低減できる。よっ
て、収斂角レンズ群１６等の径を小さくすることがで
き、光学系の小型化が可能となる。
【００７８】また、本実施の形態では、ギャップ検出用
レーザ光Ｌｇの波長およびパワーを光記録媒体３０にダ
メージを与えないように選択するようにしたので、良好
な記録または／および再生を行うことができる。
【００７９】以上、実施の形態を挙げて本発明を説明し
たが、本発明は上記各実施の形態に限定されるものでは
なく、種々変形可能である。上記各実施の形態では、Ｓ
ＩＬ１９の先端面１９ａに臨界角以上で入射するレーザ
光の成分を収束レンズのＮＡが１以上となる領域のレー
ザ光の成分としているが、これはギャップを満たす材質
が空気であるとして、空気の屈折率が１．０００２９１
８程度であるためである。例えば、ギャップ付近に水を
注ぎながら露光等を行う場合、露光原盤とレンズ全体を
水没させながら露光等を行う場合等のようにギャップを
満たす材質が水である場合には、水の屈折率は１．３程
度である。よって、この場合には、ＳＩＬ１９の先端面
１９ａに臨界角以上で入射するレーザ光の成分は収束レ
ンズのＮＡが１．３以上となる領域のレーザ光の成分と
なる。このように、ギャップを満たす材質によって、Ｓ
ＩＬ１９の先端面１９ａに臨界角以上で入射するレーザ
光の成分が、収束レンズのどのようなＮＡの領域のレー
ザ光の成分となるかは異なる。
【００８０】また、上記各実施の形態では、収束レンズ
として対物レンズとＳＩＬとにより構成される収束レン
ズ２３を用いる例について説明したが、対物レンズが不
要で、曲面設計で高ＮＡが可能である図３に示すような
ＳＩＭ（Solid Immersion Mirror）を用いるようにして
もよい。このＳＩＭ４０を用いる場合には、光源からの
レーザ光Ｌは、例えば凹状の球面からなる面４０ａに入
射されて、平面形状からなる面４０ｂの反射膜４１に反
射させた後、さらに例えば凸状の球面からなる面４０ｃ
の反射膜４１に反射させる。そして、面４０ｃの反射膜
４１に反射されたレーザ光Ｌは、被照射体に対向した凸
面４０ｄ上に集光される。この凸面４０ｄ上に集光され
たレーザ光Ｌのしみだしにより、被照射体に対する照射
を行うことができる。
【００８１】さらに、本発明においては、収束レンズ
は、３群以上で構成される光学手段であってもよく、Ｓ
ＩＬやＳＩＭを含み、ＳＩＬやＳＩＭの先端面に全反射
光が生じる角度以上でレーザ光が入射するものであれば
よい。
【００８２】また、上記各実施の形態において、ギャッ
プ検出用レーザ光Ｌｇを収斂角調整レンズ群１６により
収斂させる例について説明したが、露光用レーザ光Ｌａ
とギャップ検出用レーザ光Ｌｇとの関係によっては、ギ
ャップ検出用レーザ光Ｌｇを発散角調整レンズ群により
発散させるようにしてもよい。
【００８３】さらに、上記各実施の形態において、ギャ
ップ検出用レーザ光ＬｇがＮＢＳ１３で反射された光を
吸収するビームストップを設けるようにしてもよい。こ
れによりＮＢＳ１３で反射された光が再度ＮＢＳに戻っ
てギャップ検出の精度に悪影響を与えることを防止する
ことができる。
【００８４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による露光
装置、露光方法、記録および／または再生装置ならびに
記録および／または再生方法によれば、近接場光を利用
した露光または情報信号の記録および／または再生にお
いて、露光用レーザ光または記録および／または再生用
レーザ光とは波長が異なるギャップ検出用レーザ光を用
いてギャップ制御を行っても、ギャップ検出用レーザ光
を収斂または発散させることにより収束レンズの色収差
を補正することができるようにしたので、精度良く安定
したギャップ制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態である露光装置にお
けるギャップ検出用光学系の概略構成を表す説明図であ
る。
【図２】本発明の第２の実施の形態である光ディスク装
置のギャップ検出用光学系を含んだ概略構成を表す説明
図である。
【図３】本発明の露光装置等が備える収束レンズとして
適用可能なＳＩＭの断面図である。
【符号の説明】
１…ギャップ検出用光学系、１０…露光用原盤、１１…
ギャップ検出用光源、１３…ＮＢＳ、１４…ＰＢＳ、１
５…１／４波長板、１６…収斂角調整レンズ群、１６Ａ
…凹レンズ、１６Ｂ…凸レンズ、１７…ダイクロイック
ミラー、１８…対物レンズ、１９…ＳＩＬ、２１…ギャ
ップ制御装置、２３…収束レンズ、２６…ＰＤ、Ｌｇ…
ギャップ検出用レーザ光、Ｌａ…露光用レーザ光、Ｌｂ
…記録および／または再生用レーザ光、α…収斂角、３
０…光ディスク、３０ａ…信号記録面、３１…記録およ
び／または再生用レーザ光源ユニット
フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D118 AA01 AA13 AA18 BA01 BB01 BB02 BB09 BF02 BF03 CA11 CD02 CG03 CG07 CG26 DC03 DC04 5D119 AA01 AA11 AA22 AA29 BA01 BB01 BB02 BB03 BB09 DA01 DA02 EA03 EB02 EC03 FA05 FA08 FA13 JA29 JA44 JA48 5D121 BB21 BB38 5D789 AA01 AA11 AA22 AA29 BA01 BB01 BB02 BB03 BB09 CA21 CA22 CA23 DA01 DA02 EA03 EB02 EC03 FA05 FA08 FA13 JA29 JA44 JA48

Claims (36)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 露光用原盤の露光面の近接場領域に配置
    される収束レンズにより、露光用光源から出射される露
    光用レーザ光を前記露光用原盤の露光面に集光させて前
    記露光用原盤を露光する露光装置であって、 前記露光用レーザ光とは波長が異なるギャップ検出用レ
    ーザ光を出射するギャップ検出用光源と、 前記ギャップ検出用レーザ光を収斂または発散させて前
    記収束レンズに入射させる収斂または発散手段と、 前記収束レンズの先端面において反射された前記ギャッ
    プ検出用レーザ光の戻り光の光強度を検出する光強度検
    出手段と、 前記光強度検出手段で検出された前記ギャップ検出用レ
    ーザ光の戻り光の光強度に応じて、前記収束レンズの先
    端面と前記露光用原盤の露光面との距離を制御するギャ
    ップ制御手段とを備えることを特徴とする露光装置。
  2. 【請求項２】 前記収斂または発散手段は、凹レンズお
    よび凸レンズから構成されることを特徴とする請求項１
    記載の露光装置。
  3. 【請求項３】 前記光強度検出手段は、前記ギャップ検
    出用レーザ光の戻り光のうち、前記ギャップ検出用レー
    ザ光の偏光状態と同じ偏光状態の成分の光強度を検出す
    ることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
  4. 【請求項４】 前記光強度検出手段は、前記ギャップ検
    出用レーザ光を偏光ビームスプリッタと１／４波長板に
    順次透過させて前記収束レンズに入射させ、前記収束レ
    ンズの先端面において反射された前記ギャップ検出用レ
    ーザ光の戻り光のうち前記１／４波長板と前記偏光ビー
    ムスプリッタに順次透過された成分の光強度を検出する
    ことを特徴とする請求項３記載の露光装置。
  5. 【請求項５】 前記収斂または発散手段は、前記ギャッ
    プ検出用レーザ光の戻り光のうち前記ギャップ検出用レ
    ーザ光の偏光状態と同じ偏光状態の成分の光強度に応じ
    て、前記ギャップ検出用レーザ光の前記収束レンズへの
    収斂角または発散角を調整することを特徴とする請求項
    １記載の露光装置。
  6. 【請求項６】 前記ギャップ検出用レーザ光を偏光ビー
    ムスプリッタと１／４波長板に順次透過させて前記収束
    レンズに入射させ、前記収束レンズの先端面において反
    射された前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち前
    記１／４波長板と前記偏光ビームスプリッタに順次透過
    された成分の光強度に応じて、前記収斂または発散手段
    は、前記ギャップ検出用レーザ光の前記収束レンズへの
    収斂角または発散角を調整することを特徴とする請求項
    ５記載の露光装置。
  7. 【請求項７】 前記ギャップ検出用レーザ光のビーム径
    と、前記ギャップ検出用レーザ光を偏光ビームスプリッ
    タと１／４波長板に順次透過させて前記収束レンズに入
    射させ、前記収束レンズの先端面において反射された前
    記ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち前記１／４波
    長板と前記偏光ビームスプリッタに順次透過された成分
    のビーム径とが等しくなるように、前記収斂または発散
    手段は、前記ギャップ検出用レーザ光の前記収束レンズ
    への収斂角または発散角を調整することを特徴とする請
    求項１記載の露光装置。
  8. 【請求項８】 露光用原盤の露光面の近接場領域に配置
    される収束レンズにより、露光用光源から出射される露
    光用レーザ光を前記露光用原盤の露光面に集光させて前
    記露光用原盤を露光する露光装置であって、 前記露光用レーザ光とは波長が異なり、前記露光用原盤
    にダメージを与えない波長およびパワーであるギャップ
    検出用レーザ光を出射するギャップ検出用光源と、 前記収束レンズの先端面において反射された前記ギャッ
    プ検出用レーザ光の戻り光の光強度を検出する光強度検
    出手段と、 前記光強度検出手段で検出された前記ギャップ検出用レ
    ーザ光の戻り光の光強度に応じて、前記収束レンズの先
    端面と前記露光用原盤の露光面との距離を制御するギャ
    ップ制御手段とを備えることを特徴とする露光装置。
  9. 【請求項９】 前記ギャップ検出用レーザ光の波長は、
    前記露光用レーザ光との波長の違いにより生じる前記収
    束レンズの色収差を低減するように前記露光用レーザ光
    の波長に近いことを特徴とする請求項１ないし８記載の
    露光装置。
  10. 【請求項１０】 露光用原盤の露光面の近接場領域に配
    置される収束レンズにより、露光用光源から出射される
    露光用レーザ光を前記露光用原盤の露光面に集光させて
    前記露光用原盤を露光する露光方法であって、 前記露光用レーザ光とは波長が異なるギャップ検出用レ
    ーザ光を収斂または発散させて前記収束レンズに入射さ
    せ、 前記収束レンズの先端面において反射された前記ギャッ
    プ検出用レーザ光の戻り光の光強度を検出し、 前記検出された前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光の
    光強度に応じて、前記収束レンズの先端面と前記露光用
    原盤の露光面との距離を制御することを特徴とする露光
    方法。
  11. 【請求項１１】 凹レンズおよび凸レンズから構成され
    る調整レンズ群により前記ギャップ検出用レーザ光を収
    斂または発散させて前記収束レンズに入射させることを
    特徴とする請求項１０記載の露光方法。
  12. 【請求項１２】 前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光
    のうち、前記ギャップ検出用レーザ光の偏光状態と同じ
    偏光状態の成分の光強度を検出することを特徴とする請
    求項１０記載の露光方法。
  13. 【請求項１３】 前記ギャップ検出用レーザ光を偏光ビ
    ームスプリッタと１／４波長板に順次透過させて前記収
    束レンズに入射させ、前記収束レンズの先端面において
    反射された前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち
    前記１／４波長板と前記偏光ビームスプリッタに順次透
    過された成分の光強度を検出することを特徴とする請求
    項１２記載の露光方法。
  14. 【請求項１４】 前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光
    のうち前記ギャップ検出用レーザ光の偏光状態と同じ偏
    光状態の成分の光強度に応じて、前記ギャップ検出用レ
    ーザ光の前記収束レンズへの収斂角または発散角を調整
    することを特徴とする請求項１０記載の露光方法。
  15. 【請求項１５】 前記ギャップ検出用レーザ光を偏光ビ
    ームスプリッタと１／４波長板に順次透過させて前記収
    束レンズに入射させ、前記収束レンズの先端面において
    反射された前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち
    前記１／４波長板と前記偏光ビームスプリッタに順次透
    過された成分の光強度に応じて、前記ギャップ検出用レ
    ーザ光の前記収束レンズへの収斂角または発散角を調整
    することを特徴とする請求項１４記載の露光方法。
  16. 【請求項１６】 前記ギャップ検出用レーザ光のビーム
    径と、前記ギャップ検出用レーザ光を偏光ビームスプリ
    ッタと１／４波長板に順次透過させて前記収束レンズに
    入射させ、前記収束レンズの先端面において反射された
    前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち前記１／４
    波長板と前記偏光ビームスプリッタに順次透過された成
    分のビーム径とが等しくなるように、前記ギャップ検出
    用レーザ光の前記収束レンズへの収斂角または発散角を
    調整することを特徴とする請求項１０記載の露光方法。
  17. 【請求項１７】 露光用原盤の露光面の近接場領域に配
    置される収束レンズにより、露光用光源から出射される
    露光用レーザ光を前記露光用原盤の露光面に集光させて
    前記露光用原盤を露光する露光方法であって、 前記露光用レーザ光とは波長が異なり、前記露光用原盤
    にダメージを与えない波長およびパワーであるギャップ
    検出用レーザ光を前記収束レンズに入射させ、 前記収束レンズの先端面において反射された前記ギャッ
    プ検出用レーザ光の戻り光の光強度を検出し、 前記検出された前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光の
    光強度に応じて、前記収束レンズの先端面と前記露光用
    原盤の露光面との距離を制御することを特徴とする露光
    方法。
  18. 【請求項１８】 前記ギャップ検出用レーザ光の波長
    は、前記露光用レーザ光との波長の違いにより生じる前
    記収束レンズの色収差を低減するように前記露光用レー
    ザ光の波長に近いことを特徴とする請求項１０ないし１
    ７記載の露光方法。
  19. 【請求項１９】 光記録媒体の信号記録面の近接場領域
    に配置される収束レンズにより、記録および／または再
    生用光源から出射される記録および／または再生用レー
    ザ光を前記光記録媒体の信号記録面に集光させて前記光
    記録媒体に対して情報信号の記録および／または再生を
    行う記録および／または再生装置であって、 前記記録および／または再生用レーザ光とは波長が異な
    るギャップ検出用レーザ光を出射するギャップ検出用光
    源と、 前記ギャップ検出用レーザ光を収斂または発散させて前
    記収束レンズに入射させる収斂または発散手段と、 前記収束レンズの先端面において反射された前記ギャッ
    プ検出用レーザ光の戻り光の光強度を検出する光強度検
    出手段と、 前記光強度検出手段で検出された前記ギャップ検出用レ
    ーザ光の戻り光の光強度に応じて、前記収束レンズの先
    端面と前記光記録媒体の信号記録面との距離を制御する
    ギャップ制御手段とを備えることを特徴とする記録およ
    び／または再生装置。
  20. 【請求項２０】 前記収斂または発散手段は、凹レンズ
    および凸レンズから構成されることを特徴とする請求項
    １９記載の記録および／または再生装置。
  21. 【請求項２１】 前記光強度検出手段は、前記ギャップ
    検出用レーザ光の戻り光のうち、前記ギャップ検出用レ
    ーザ光の偏光状態と同じ偏光状態の成分の光強度を検出
    することを特徴とする請求項１９記載の記録および／ま
    たは再生装置。
  22. 【請求項２２】 前記光強度検出手段は、前記ギャップ
    検出用レーザ光を偏光ビームスプリッタと１／４波長板
    に順次透過させて前記収束レンズに入射させ、前記収束
    レンズの先端面において反射された前記ギャップ検出用
    レーザ光の戻り光のうち前記１／４波長板と前記偏光ビ
    ームスプリッタに順次透過された成分の光強度を検出す
    ることを特徴とする請求項２１記載の記録および／また
    は再生装置。
  23. 【請求項２３】 前記収斂または発散手段は、前記ギャ
    ップ検出用レーザ光の戻り光のうち前記ギャップ検出用
    レーザ光の偏光状態と同じ偏光状態の成分の光強度に応
    じて、前記ギャップ検出用レーザ光の前記収束レンズへ
    の収斂角または発散角を調整することを特徴とする請求
    項１９記載の記録および／または再生装置。
  24. 【請求項２４】 前記ギャップ検出用レーザ光を偏光ビ
    ームスプリッタと１／４波長板に順次透過させて前記収
    束レンズに入射させ、前記収束レンズの先端面において
    反射された前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち
    前記１／４波長板と前記偏光ビームスプリッタに順次透
    過された成分の光強度に応じて、前記収斂または発散手
    段は、前記ギャップ検出用レーザ光の前記収束レンズへ
    の収斂角または発散角を調整することを特徴とする請求
    項２３記載の記録および／または再生装置。
  25. 【請求項２５】 前記ギャップ検出用レーザ光のビーム
    径と、前記ギャップ検出用レーザ光を偏光ビームスプリ
    ッタと１／４波長板に順次透過させて前記収束レンズに
    入射させ、前記収束レンズの先端面において反射された
    前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち前記１／４
    波長板と前記偏光ビームスプリッタに順次透過された成
    分のビーム径とが等しくなるように、前記収斂または発
    散手段は、前記ギャップ検出用レーザ光の前記収束レン
    ズへの収斂角または発散角を調整することを特徴とする
    請求項１９記載の記録および／または再生装置。
  26. 【請求項２６】 光記録媒体の信号記録面の近接場領域
    に配置される収束レンズにより、記録および／または再
    生用光源から出射される記録および／または再生用レー
    ザ光を前記光記録媒体の信号記録面に集光させて前記光
    記録媒体に対して情報信号の記録および／または再生を
    行う記録および／または再生装置であって、 前記記録および／または再生用レーザ光とは波長が異な
    り、前記光記録媒体にダメージを与えない波長およびパ
    ワーであるギャップ検出用レーザ光を出射するギャップ
    検出用光源と、 前記収束レンズの先端面において反射された前記ギャッ
    プ検出用レーザ光の戻り光の光強度を検出する光強度検
    出手段と、 前記光強度検出手段で検出された戻り光の光強度に応じ
    て、前記収束レンズの先端面と前記光記録媒体の信号記
    録面との距離を制御するギャップ制御手段とを備えるこ
    とを特徴とする記録および／または再生装置。
  27. 【請求項２７】 前記ギャップ検出用レーザ光の波長
    は、前記記録および／または再生用レーザ光との波長の
    違いにより生じる前記収束レンズの色収差を低減するよ
    うに前記記録および／または再生用レーザ光の波長に近
    いことを特徴とする請求項１９ないし２６記載の記録お
    よび／または再生装置。
  28. 【請求項２８】 光記録媒体の信号記録面の近接場領域
    に配置される収束レンズにより、記録および／または再
    生用光源から出射される記録および／または再生用レー
    ザ光を前記光記録媒体の信号記録面に集光させて前記光
    記録媒体に対して情報信号の記録および／または再生を
    行う記録および／または再生方法であって、 前記記録および／または再生用レーザ光とは波長が異な
    るギャップ検出用レーザ光を収斂または発散させて前記
    収束レンズに入射させ、 前記収束レンズの先端面において反射された前記ギャッ
    プ検出用レーザ光の戻り光の光強度を検出し、 前記検出された前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光の
    光強度に応じて、前記収束レンズの先端面と前記光記録
    媒体の信号記録面との距離を制御することを特徴とする
    記録および／または再生方法。
  29. 【請求項２９】 凹レンズおよび凸レンズから構成され
    る調整レンズ群により前記ギャップ検出用レーザ光を収
    斂または発散させて前記収束レンズに入射させることを
    特徴とする請求項２８記載の記録および／または再生方
    法。
  30. 【請求項３０】 前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光
    のうち、前記ギャップ検出用レーザ光の偏光状態と同じ
    偏光状態の成分の光強度を検出することを特徴とする請
    求項２８記載の記録および／または再生方法。
  31. 【請求項３１】 前記ギャップ検出用レーザ光を偏光ビ
    ームスプリッタと１／４波長板に順次透過させて前記収
    束レンズに入射させ、前記収束レンズの先端面において
    反射された前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち
    前記１／４波長板と前記偏光ビームスプリッタに順次透
    過された成分の光強度を検出することを特徴とする請求
    項３０記載の記録および／または再生方法。
  32. 【請求項３２】 前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光
    のうち前記ギャップ検出用レーザ光の偏光状態と同じ偏
    光状態の成分の光強度に応じて、前記ギャップ検出用レ
    ーザ光の前記収束レンズへの収斂角または発散角を調整
    することを特徴とする請求項２８記載の記録および／ま
    たは再生方法。
  33. 【請求項３３】 前記ギャップ検出用レーザ光を偏光ビ
    ームスプリッタと１／４波長板に順次透過させて前記収
    束レンズに入射させ、前記収束レンズの先端面において
    反射された前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち
    前記１／４波長板と前記偏光ビームスプリッタに順次透
    過された成分の光強度に応じて、前記ギャップ検出用レ
    ーザ光の前記収束レンズへの収斂角または発散角を調整
    することを特徴とする請求項３２記載の記録および／ま
    たは再生方法。
  34. 【請求項３４】 前記ギャップ検出用レーザ光のビーム
    径と、前記ギャップ検出用レーザ光を偏光ビームスプリ
    ッタと１／４波長板に順次透過させて前記収束レンズに
    入射させ、前記収束レンズの先端面において反射された
    前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光のうち前記１／４
    波長板と前記偏光ビームスプリッタに順次透過された成
    分のビーム径とが等しくなるように、前記ギャップ検出
    用レーザ光の前記収束レンズへの収斂角または発散角を
    調整することを特徴とする請求項２８記載の記録および
    ／または再生方法。
  35. 【請求項３５】 光記録媒体の信号記録面の近接場領域
    に配置される収束レンズにより、記録および／または再
    生用光源から出射される記録および／または再生用レー
    ザ光を前記光記録媒体の信号記録面に集光させて前記光
    記録媒体に対して情報信号の記録および／または再生を
    行う記録および／または再生方法であって、 前記記録および／または再生用レーザ光とは波長が異な
    り、前記光記録媒体にダメージを与えない波長およびパ
    ワーであるギャップ検出用レーザ光を前記収束レンズに
    入射させ、 前記収束レンズの先端面において反射された前記ギャッ
    プ検出用レーザ光の戻り光の光強度を検出し、 前記検出された前記ギャップ検出用レーザ光の戻り光の
    光強度に応じて、前記収束レンズの先端面と前記光記録
    媒体の信号記録面との距離を制御することを特徴とする
    記録および／または再生方法。
  36. 【請求項３６】 前記ギャップ検出用レーザ光の波長
    は、前記記録および／または再生用レーザ光との波長の
    違いにより生じる前記収束レンズの色収差を低減するよ
    うに前記記録および／または再生用レーザ光の波長に近
    いことを特徴とする請求項２８ないし３５記載の記録お
    よび／または再生方法。
JP2002054837A 2002-02-28 2002-02-28 露光装置、露光方法、記録および／または再生装置ならびに記録および／または再生方法 Pending JP2003257052A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002054837A JP2003257052A (ja) 2002-02-28 2002-02-28 露光装置、露光方法、記録および／または再生装置ならびに記録および／または再生方法
US10/373,490 US7099259B2 (en) 2002-02-28 2003-02-24 Exposure apparatus, exposure method, recording and/or reproducing apparatus, and recording and/or reproducing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002054837A JP2003257052A (ja) 2002-02-28 2002-02-28 露光装置、露光方法、記録および／または再生装置ならびに記録および／または再生方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003257052A true JP2003257052A (ja) 2003-09-12
JP2003257052A5 JP2003257052A5 (ja) 2005-04-28

Family

ID=28449037

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002054837A Pending JP2003257052A (ja) 2002-02-28 2002-02-28 露光装置、露光方法、記録および／または再生装置ならびに記録および／または再生方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7099259B2 (ja)
JP (1) JP2003257052A (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005209246A (ja) * 2004-01-20 2005-08-04 Sony Corp 光ディスク装置及びその制御方法
JP4577023B2 (ja) * 2004-03-15 2010-11-10 ソニー株式会社 ソリッドイマージョンレンズ、集光レンズ、光学ピックアップ装置、光記録再生装置及びソリッドイマージョンレンズの形成方法
WO2006013509A1 (en) * 2004-07-27 2006-02-09 Koninklijke Philips Electronics N.V. Initial focus optimization for an optical scanning device
JP4424256B2 (ja) * 2005-05-24 2010-03-03 ソニー株式会社 光ディスク駆動装置、光ディスク装置及びその駆動方法
JP5069232B2 (ja) * 2005-07-25 2012-11-07 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ
CN100381935C (zh) * 2006-11-03 2008-04-16 哈尔滨工业大学 基于谐波共振方法的并行激光直接写入方法与装置
KR102125284B1 (ko) * 2015-03-11 2020-07-08 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 검사와 계측을 위한 방법 및 장치

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6115347A (en) * 1996-02-12 2000-09-05 Sony Corporation Optical pick-up device, optical recording/reproducing apparatus and objective lens
JP2000131603A (ja) * 1998-10-22 2000-05-12 Sony Corp 光学ヘッド及び記録再生装置
JP2001023190A (ja) * 1999-07-07 2001-01-26 Sony Corp 露光装置、露光方法、光ディスク装置、及び記録及び／又は再生方法
JP2001043562A (ja) * 1999-08-03 2001-02-16 Sony Corp 光情報記録媒体の製造方法及び光情報記録媒体の製造装置
JP3906958B2 (ja) * 1999-08-11 2007-04-18 ソニー株式会社 光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法
AU2001281362A1 (en) * 2000-07-27 2002-02-13 Zetetic Institute Scanning interferometric near-field confocal microscopy with background amplitude reduction and compensation
KR100882306B1 (ko) * 2001-08-31 2009-02-10 소니 가부시끼 가이샤 광학픽업장치 및 기록재생장치

Also Published As

Publication number Publication date
US7099259B2 (en) 2006-08-29
US20030184832A1 (en) 2003-10-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4016179B2 (ja) 露光装置及び収束レンズの制御方法
JP2001023190A (ja) 露光装置、露光方法、光ディスク装置、及び記録及び／又は再生方法
JP2002150598A (ja) 光学ピックアップ装置及び記録再生装置
US7764576B2 (en) Optical information recording and reproducing apparatus
JP2008262692A (ja) 光記録媒体の厚みのバラツキを補償することができる光ピックアップ装置
US7889624B2 (en) Optical information recording-reproduction apparatus
JP2003257052A (ja) 露光装置、露光方法、記録および／または再生装置ならびに記録および／または再生方法
JP2001056944A (ja) 光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法
JPH05135419A (ja) 光学的システムにおける廃棄レーザ光の利用
JP2007293963A (ja) 光情報記録再生装置
JP2003257052A5 (ja) 露光装置、収束レンズの制御方法及び装置、並びに記録及び／又は再生装置
US20070280065A1 (en) Optical information recording/reproduction apparatus
JP2001307370A (ja) 光記録再生装置
JP2000501545A (ja) 異なる構造を有する光記憶媒体との間で書込みおよび／または読取りを行う装置
JP2004335064A (ja) 情報記録装置及び方法、情報再生装置及び方法
JPH01290127A (ja) 光ピックアップ装置
JP2002319157A (ja) 信号記録装置、信号再生装置、及びそれらの方法
JPS627609B2 (ja)
JP2001043575A (ja) 露光装置及び露光方法
JP2000011401A (ja) 光ディスク装置
KR100207720B1 (ko) 기록 재생 겸용 광픽업장치
JP4302303B2 (ja) 光ピックアップ装置
JP2000011421A (ja) 光ディスクの記録再生方法及び光ディスク記録再生装置
JPH11283257A (ja) 光ディスク装置及びそのフォーカスサーボ方法
JPH02227840A (ja) 光学ヘッド装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040428

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20040428

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040618

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041124

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050419

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050620

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060307

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060508

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070116