JP2001056944A - 光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法 - Google Patents
光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法Info
- Publication number
- JP2001056944A JP2001056944A JP11227016A JP22701699A JP2001056944A JP 2001056944 A JP2001056944 A JP 2001056944A JP 11227016 A JP11227016 A JP 11227016A JP 22701699 A JP22701699 A JP 22701699A JP 2001056944 A JP2001056944 A JP 2001056944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- objective lens
- laser beam
- light amount
- detection result
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/085—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam into, or out of, its operative position or across tracks, otherwise than during the transducing operation, e.g. for adjustment or preliminary positioning or track change or selection
- G11B7/08505—Methods for track change, selection or preliminary positioning by moving the head
- G11B7/08511—Methods for track change, selection or preliminary positioning by moving the head with focus pull-in only
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0945—Methods for initialising servos, start-up sequences
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1362—Mirrors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1365—Separate or integrated refractive elements, e.g. wave plates
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1372—Lenses
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1381—Non-lens elements for altering the properties of the beam, e.g. knife edges, slits, filters or stops
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
置のフォーカス制御方法に関し、例えば近接場記録(N
FR:Near Field Reacording )によりディスク原盤を
露光する露光装置に適用して、近接場記録において確実
にフォーカス制御することができるようにする。 【解決手段】 本発明は、ディスク状記録媒体2で反射
した反射光と対物レンズ12の出射面で反射した反射光
とによる干渉光L2Rの光量検出結果S2に基づいて対
物レンズ12を可動する。
Description
び光ディスク装置のフォーカス制御方法に関し、例えば
近接場記録(NFR:Near Field Reacording )により
ディスク原盤を露光する露光装置に適用することができ
る。本発明は、ディスク状記録媒体で反射した反射光
と、対物レンズの出射面で反射した反射光とによる干渉
光の光量検出結果に基づいて対物レンズを可動すること
により、近接場記録において確実にフォーカス制御する
ことができるようにする。
記録媒体であるディスク原盤に近接場記録により所望の
データを高密度記録する露光装置が提案されており、こ
のような露光装置では、対物レンズの出射面で全反射す
る記録用レーザービームの光量を基準にしてフォーカス
制御する方法が提案されている。
ズの出射面に記録用レーザービームを集光することによ
り、開口数1以上の対物レンズにより記録用レーザービ
ームを集光して微細なビームスポットを作成する。さら
に近接場記録においては、対物レンズをディスク原盤に
極めて近接して配置し、近接場効果によって対物レンズ
の先端より漏れ出す記録用レーザービームによりディス
ク原盤を露光する。
される記録用レーザービームのうち、出射面に対して臨
界角以上の角度により入射する成分にあっては、対物レ
ンズとディスク原盤との間の距離が大きく近接場効果が
発揮されない場合、全ての成分が全反射して光源側に戻
ることになる。これに対してこの距離が小さくなって近
接場効果が発揮されるようになると、光源側に戻る光量
が徐々に減少する。これによりこの全反射の成分を基準
にしたフォーカス制御においては、この臨界角以上の角
度により入射して光源側に戻る光量が所定光量になるよ
うに、対物レンズを光軸に沿った方向に移動させてフォ
ーカス制御するようになされている。
反射の成分を基準にしたフォーカス制御においては、実
用上未だ不十分な問題がある。
により記録用レーザービームの光量を変更する場合があ
る。この場合、このような全反射の成分を基準にしたフ
ォーカス制御においては、フォーカス制御の制御目標で
ある光源側に戻る光量も変化することにより、フォーカ
ス制御の基準を設定し直す必要があり、その分操作が煩
雑になる問題がある。
フォーカス制御においては、充分なSN比により光源側
に戻る光量を検出することが困難で、結局、安定にフォ
ーカス制御できない問題もある。
ービームをオンオフ制御してピット列の潜像を作成する
ことにより、このような全反射の成分を基準にしたフォ
ーカス制御においては、光源側に戻る光量検出結果がこ
のオンオフ制御により変調され、これによっても安定に
フォーカス制御できない問題がある。なおこの場合、フ
ィルタにより記録用レーザービームの変調成分を除去す
る方法も考えられるが、フォーカス制御の周波数帯域に
おいては、この種の成分を完全に除去し得ない場合があ
り、この場合結局、このような成分がノイズ成分として
残存することになる。
て、ディスク原盤を感光しない波長によるレーザービー
ムを別途照射し、このレーザービームについて全反射す
る光量を検出する方法が考えられ、しかしながらこの方
法の場合、光学系の色収差により、精度が劣化する欠点
がある。また物理的に全反射する戻り光を検出すること
が困難な場合も考えられる。
で、近接場記録において確実にフォーカス制御すること
ができる光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカ
ス制御方法を提案しようとするものである。
め請求項1又は請求項6に係る発明においては、光ディ
スク装置又は光ディスク装置のフォーカス制御方法に適
用して、ディスク状記録媒体で反射した反射光と対物レ
ンズの出射面で反射した反射光との干渉光を受光し、こ
の干渉光の光量検出結果に基づいて対物レンズを光軸に
沿った方向に可動する。
ィスク状記録媒体で反射した反射光と対物レンズの出射
面で反射した反射光との干渉光を受光し、この干渉光の
光量検出結果に基づいて対物レンズを光軸に沿った方向
に可動することにより、この干渉光の生成元であるフォ
ーカス用レーザービームの波長に対応する精度で、また
安定に、ディスク状記録媒体と対物レンズの出射面との
間隔の変化を検出してフォーカス制御することができ、
その分高い精度によりフォーカス制御することができ
る。
発明の実施の形態を詳述する。
図である。この露光装置1は、所定の駆動機構によりデ
ィスク原盤2を回転駆動した状態で、記録用レーザービ
ームL1をこのディスク原盤2に照射して照射位置を順
次ディスク原盤2の外周側に変位させることにより、こ
のディスク原盤2にラセン状にトラックを形成し、この
トラックにピット列による潜像を作成する。
源3は、Krレーザーであり、所定波長の記録用レーザ
ービームL1を出射する。レンズ4は、この記録用レー
ザービームL1を収束光束に変換してAOM(Acousto
Optic Modulator )4に入射する。AOM4は、信号発
生器6より出力される変調信号S1によりこの記録用レ
ーザービームL1をオンオフ変調して出射する。ここで
信号発生器6は、ピット列に対応する変調信号S1を出
射する。
平行光線に変換して出射する。続くレンズ8A及び8B
は、ビームエキスパンダ8を構成し、レンズ7の出射光
についてビーム径を拡大して所定のビーム径により出射
する。偏光ビームスプリッタ9は、このビームエキスパ
ンダ8の出射光を反射すると共に、この反射光の光路を
逆に辿って入射する記録用レーザービームL1の戻り光
L1Rを透過し、これにより記録用レーザービームL1
と戻り光L1Rとを分離する。
タ9より出射される記録用レーザービームL1に位相差
を与えることによりこの記録用レーザービームL1を円
偏向に変換して出射する。また1/4波長板10は、偏
光ビームスプリッタ9に入射する戻り光L1Rに同様に
位相差を与えることにより、円偏向により入射する戻り
光L1Rを記録用レーザービームL1と偏向面が直交す
る直線偏向により偏光ビームスプリッタ9に出射する。
波長板10より出射される記録用レーザービームL1を
ディスク原盤2に向けて反射すると共に、このディスク
原盤2側より到来する戻り光L1Rを1/4波長板10
に向けて出射する。またダイクロイックミラー11は、
この記録用レーザービームL1と波長が異なるフォーカ
ス用レーザービームL2をディスク原盤2に向けて透過
すると共に、このディスク原盤2側より到来するフォー
カス用レーザービームL2による干渉光L2Rを透過し
て出射する。
2A及び先玉レンズ12Bによる1組のレンズにより構
成され、後玉レンズ12Aにより記録用レーザービーム
L1を収束光束に変換した後、先玉レンズ12Bの後玉
レンズ12A側レンズ面により先玉レンズ12Bの出射
面に集光する。これにより対物レンズ12は、先玉レン
ズ12BがSIL(Solid Immersion Lens)を構成し、
全体として開口数が1以上に設定されて、近接場効果に
より記録用レーザービームL1をディスク原盤2に照射
するようになされている。なおこの先玉レンズ12B
は、ディスク原盤2側面の中央が円形形状に突出するよ
うに形成され、これによりディスク原盤2への衝突を防
止するようになされている。
ムL1の照射によりディスク原盤2、対物レンズ12の
出射面より戻り光L1Rが得られ、この戻り光L1Rが
記録用レーザービームL1の光路を逆に辿り、偏光ビー
ムスプリッタ9を透過して記録用レーザービームL1か
ら分離されることになる。
9より出射される戻り光L1Rの光路上に配置されて、
戻り光L1Rのうちの近軸光線を遮光することにより、
対物レンズ12の出射面に対して臨界角以上の角度によ
り入射した記録用レーザービームL1に対応する成分の
み選択的に透過する。かくするにつきマスク14は、図
2に示すように、透明平行平板の中央に、戻り光L1R
のビーム径に比して小径の遮光領域を作成して構成され
る。すなわち戻り光L1Rにおいて、対物レンズ12の
出射面に臨界角以下の入射角により入射した成分は、こ
の対物レンズ12の出射面とディスク原盤2とで反射さ
れ、これらの反射光が干渉することになる。これにより
露光装置1では、このような干渉する反射光の成分につ
いてはマスク14で除去して戻り光L1Rを処理するよ
うになされている。
戻り光L1Rを受光素子16に集光し、受光素子16
は、戻り光L1Rの光量検出結果S1を出力する。かく
するにつきマスク14は、反射光の干渉によるこの光量
検出結果S1の変動を防止することになる。
の出射面で全反射する記録用レーザービームL1の光量
を検出できるようになされている。かくするにつきこの
ようにして検出される光量検出結果S1は、図3に示す
ように、対物レンズ12がディスク原盤2より一定距離
以上離間している場合には、一定の信号レベルに保持さ
れるのに対し、対物レンズ12がディスク原盤2に一定
距離以上近づくと、対物レンズ12の先端とディスク原
盤2との間の間隔に対応するように信号レベルが変化す
ることになる。
であり、記録用レーザービームL1とは異なる波長であ
り、またディスク原盤2を露光しない波長によるフォー
カス用レーザービームL2を出射する。続くレンズ19
A及び19Bは、ビームエキスパンダ19を構成し、こ
のフォーカス用レーザービームL2のビーム径を縮小し
て小さなビーム径により出射する。偏光ビームスプリッ
タ20は、このビームエキスパンダ19の出射光を透過
すると共に、この透過光の光路を逆に辿って入射するフ
ォーカス用レーザービームL2による干渉光L2Rを反
射し、これによりフォーカス用レーザービームL2と干
渉光L2Rとを分離する。
タ20より出射されるフォーカス用レーザービームL2
に位相差を与えることによりこのフォーカス用レーザー
ビームL2を円偏向に変換してダイクロイックミラー1
1に出射する。またダイクロイックミラー11より偏光
ビームスプリッタ20に入射する干渉光L2Rに同様に
位相差を与えることにより、円偏向により入射する干渉
光L2Rをフォーカス用レーザービームL2と偏向面が
直交する直線偏向により偏光ビームスプリッタ20に出
射する。
ービームL1と波長の異なる小さなビーム径によるフォ
ーカス用レーザービームL2を、記録用レーザービーム
L1と共に対物レンズ12に入射してディスク原盤2に
照射するようになされている。露光装置1は、このフォ
ーカス用レーザービームL1を対物レンズ12の近軸光
線により入射する。
ムL1は、対物レンズ12の出射面と、ディスク原盤2
の表面とでそれぞれ反射され、露光装置1においては、
近接場記録に供する程度に対物レンズ12とディスク原
盤2とが近接して配置されることにより、これら反射光
が干渉することになる。露光装置1では、これらの反射
光による干渉光L2Rがフォーカス用レーザービームL
2の光路を逆に辿って偏光ビームスプリッタ20に入射
し、この偏光ビームスプリッタ20で反射されてフォー
カス用レーザービームL2から分離される。
20で反射された干渉光L2Rを受光素子25に集光
し、受光素子25は、光量検出結果S2を出力する。こ
れらによりこの光量検出結果S2においては、図3に示
すように、対物レンズ12の先端とディスク原盤2との
間の間隔がフォーカス用レーザービームL2の波長λの
2分の1だけ変化する周期により正弦波状に信号レベル
が変化することになる。
及びS2に基づいて、アクチュエータ31を駆動するこ
とにより、対物レンズ12をフォーカス制御する。
り露光の開始が指示されると、何らディスク原盤2にお
けるピット列の記録とは無関係の、例えばディスク原盤
2の内周側領域に対物レンズ12を移動する。
動して記録用レーザービームL1をこの領域に連続的に
照射する。この状態で制御回路30は、アクチュエータ
31を駆動して対物レンズ12をディスク原盤2に徐々
に接近させ、全反射に係る光量検出結果S1を監視す
る。ここで制御回路30は、光量検出結果S1の信号レ
ベルが減少を開始して近接場効果を発揮できる程度に対
物レンズ12とディスク原盤2の接近が検出され、さら
にこの全反射に係る光量検出結果S1によりほぼ制御目
標まで対物レンズ12がディスク原盤2に接近したと判
断すると、干渉光L2Rの光量検出結果S2を基準にし
たフィードバックループによりフォーカス制御を開始す
る。すなわち制御回路30は、このフォーカス制御にお
いて、制御目標に対応する基準電圧REFと干渉光の光
量検出結果S2との誤差信号が0レベルになるようにア
クチュエータ31を駆動する。
2Rの光量検出結果S2を基準にしたフォーカス制御を
開始すると、信号発生器6の動作を制御して連続した記
録用レーザービームL1の照射を停止した後、対物レン
ズ12を露光開始位置に移動させる。さらに制御回路3
0は、信号発生器6により記録用レーザービームL1の
変調を開始し、この露光開始位置より順次ディスク原盤
2の露光を開始する。
1)、ディスク原盤2を載置してオペレータが露光の開
始を指示すると、ディスク原盤2の回転駆動が開始さ
れ、制御回路30の制御により対物レンズ12がピット
列の記録とは無関係の例えば内周側領域に移動する。
より記録用レーザービームL1の照射が開始され、この
記録用レーザービームL1がビームエキスパンダ8によ
り所定のビーム径に拡大された後、偏光ビームスプリッ
タ9、ダイクロイックミラー11を介して対物レンズ1
2に導かれ、この対物レンズ12の先玉レンズ12Bの
先端である出射面に集光される。さらにこの出射面で反
射された記録用レーザービーム、この先端よりディスク
原盤2に出射しディスク原盤2より反射された記録用レ
ーザービーム等が戻り光L1Rとして記録用レーザービ
ームL1の光路を逆に辿って偏光ビームスプリッタ9を
透過し、続くマスク14により対物レンズ12の出射面
に臨界角以上の角度で入射した成分が選択的に透過され
(図2)、受光素子16によりその光量が検出される。
2の出射面で全反射する成分について記録用レーザービ
ームL1の戻り光L1Rの光量が検出され、この光量検
出結果S1においては、近接場記録に供する距離程度に
対物レンズ12がディスク原盤2に接近すると、戻り光
L1Rの光量の低下が観察されるようになる(図3)。
ムL1が連続してディスク原盤2に照射され、この戻り
光L1Rの光量検出結果S1において信号レベルの低下
が観察されるまで、すなわち近接場記録に供する程度に
まで対物レンズ12がディスク原盤2に接近するまで、
アクチュエータ31の駆動により対物レンズ12が徐々
にディスク原盤2に近づけられる。
1の監視により、ほぼ制御目標の距離にまで対物レンズ
12がディスク原盤2に接近すると、フォーカス制御に
おけるサーボループがオン状態に切り換えられ、受光素
子25による光量検出結果S2が所定電圧REFになる
ように対物レンズ12がフォーカス制御される。
ビームL1とは波長の異なるフォーカス用レーザービー
ムL2がレーザー光源18より出射され、このフォーカ
ス用レーザービームL2がビームエキスパンダ19によ
りビーム径が絞られた後、偏光ビームスプリッタ20、
ダイクロイックミラー11を介して対物レンズ12に導
かれる。このときフォーカス用レーザービームL1は、
対物レンズ12の光軸に対して近軸光線により対物レン
ズ12に入射され、その結果対物レンズ12の出射面
と、ディスク原盤2の表面とで反射光が得られ、これら
の反射光が干渉光L2Rとして受光素子25で受光され
る。
いては、フォーカス用レーザービームL2の波長に対応
する周期により、対物レンズ12の出射面とディスク原
盤2との間隔が変化すると信号レベルが正弦波状に変化
し、高い精度によりこの間隔の変化を検出することがで
きる。さらにこの光量検出結果S2においては、記録用
レーザービームL1とは波長が異なることにより、記録
用レーザービームL1のオンオフ変調に何ら影響を受け
ることなく間隔の変化を検出することができ、さらには
高いSN比によりこの間隔の変化を検出することができ
る。
ては、フォーカス用レーザービームL2の波長周期で信
号レベルが正弦波状に変化することにより、間隔の変化
については精度良く検出できるものの、この間隔の絶対
的値については正しく検出することが困難で、結局、単
にこの光量検出結果S2を基準にしてフォーカス制御を
開始したのでは、この間隔が近接場領域内であるとを何
ら保証することが困難になる。
に係る光量検出結果S1が所定の信号レベル以下の範囲
である近接場領域に間隔が保持された時点で、干渉光L
2Rの光量検出結果S2を基準にしたフォーカス制御を
開始すれば、確実に近接場領域内で、高い精度によりフ
ォーカス制御することができる。
て干渉光L2Rの光量検出結果S2を基準にしたフォー
カス制御を開始すると、所定の露光開始位置より、信号
発生器6によりAOM5を駆動して記録用レーザービー
ムL1を照射することにより、ピット列の潜像をディス
ク原盤2に作成することができる。
においては、記録用レーザービームL1と波長が異なる
ことにより、記録用レーザービームL1のオンオフ変調
によっては何ら光量が変化することなく、これにより露
光装置1では安定にフォーカス制御することができる。
また全反射する成分の光量検出結果S1で充分なSN比
が得られ無い場合でも、安定かつ確実にフォーカス制御
することができる。さらに対物レンズ12おける色収差
についても、何ら影響を受けることなく、安定にフォー
カス制御することができる。
ォーカス用レーザービームL2が対物レンズ12に入射
されて干渉光L2Rが生成されることにより、干渉光L
2Rにおいては、マスク14により遮光して得られる戻
り光L1Rとは逆に、その殆どがディスク原盤2と対物
レンズ12との間隔を反映した可干渉成分とすることが
でき、その分光量検出結果S2において、高いSN比、
高い検出感度によりディスク原盤2と対物レンズ12と
の間隔の変化を検出することができる。また必要に応じ
てフォーカス用レーザービームL1の光量を増大できる
ことにより、この光量の増大によってもSN比を向上し
て検出精度を向上することができる。
と、対物レンズの出射面で反射した反射光との干渉光の
光量検出結果に基づいて対物レンズを可動してフォーカ
ス制御することにより、近接場記録において確実にフォ
ーカス制御することができる。
フォーカス用レーザービームを対物レンズに入射するこ
とにより、干渉光の光量検出結果において、充分なSN
比、検出感度を確保することができる。
となる範囲で、干渉光の光量検出結果に基づいて対物レ
ンズを光軸に沿った方向に可動してフォーカス制御する
ことにより、ディスク原盤2と対物レンズ12との間隔
を確実に近接場領域に設定してフォーカス制御すること
ができる。
との間隔を徐々に低減して、全反射による戻り光の光量
が所定光量以下となると、干渉光の光量検出結果に基づ
いたフォーカス制御に動作を切り換えて、確実に近接場
領域においてフォーカス制御することができる。
録用レーザービームと異なる波長により別途ディスク原
盤に照射することにより、記録用レーザービームをオン
オフ変調してピット列の潜像を作成する場合でも、確実
にフォーカス制御することができる。
ト列の潜像を作成する場合について述べたが、本発明は
これに限らず、グルーブによる潜像を作成する場合、さ
らにはピット列とグルーブとの組み合わせに係る潜像を
作成する場合等に広く適用することができる。
カス用のレーザービームを別途照射する場合について述
べたが、本発明はこれに限らず、実用上充分な特性を得
ることができる場合、記録用レーザービームをフォーカ
ス用レーザービームとして使用するようにしてもよい。
なおこの場合、例えばマスク14に代えて、局所的にミ
ラー面を形成した平行平板を配置して、記録用レーザー
ビームの戻り光より近軸光線成分と全反射成分とを分離
し、この近軸光線成分の光量検出結果を干渉光の光量検
出結果とすることができる。またこのように構成する場
合には、記録用レーザービームのオンオフ制御による影
響を回避するために、光量検出結果をサンプリングする
方法も考えられる。このようにすれば光学系の構成を簡
略化できることにより、近接場効果により所望のデータ
を光ディスクに記録する場合に適用して全体構成を簡略
化することができる。
を露光装置に適用する場合について述べたが、本発明は
これに限らず、ディスク状記録媒体に近接場効果により
所望のデータを記録する種々の光ディスク装置に広く適
用することができる。
状記録媒体で反射した反射光と、対物レンズの出射面で
反射した反射光とによる干渉光の光量検出結果に基づい
て対物レンズを可動することにより、近接場記録におい
て確実にフォーカス制御することができる。
図である。
性曲線図である。
ーザー光源、6……信号発生器、8、19……ビームエ
キスパンダ、12……対物レンズ、16、25……受光
素子、30……制御回路、31……アクチュエータ
Claims (9)
- 【請求項1】ディスク状記録媒体に近接して保持した対
物レンズを用いた近接場記録により所望のデータを前記
ディスク状記録媒体に記録する光ディスク装置におい
て、 前記ディスク状記録媒体の表面と前記対物レンズの出射
面との間隔を所定間隔に保持するフォーカス制御機構を
有し、 前記フォーカス制御機構は、 所定波長のフォーカス用レーザービームを出射する光源
と、 前記フォーカス用レーザービームを前記対物レンズに導
き、前記対物レンズを介して前記フォーカス用レーザー
ビームを前記ディスク状記録媒体に照射する照射光学系
と、 前記ディスク状記録媒体で反射した反射光と前記対物レ
ンズの出射面で反射した反射光との干渉光を受光して光
量検出結果を出力する受光光学系と、 前記干渉光の光量検出結果に基づいて前記対物レンズを
光軸に沿った方向に可動する可動手段とを有することを
特徴とする光ディスク装置。 - 【請求項2】前記照射光学系は、 前記対物レンズの近軸光線により前記フォーカス用レー
ザービームを前記対物レンズに入射することを特徴とす
る請求項1に記載の光ディスク装置。 - 【請求項3】前記ディスク状記録媒体に向かって前記対
物レンズの出射面に臨界角以上の角度により入射するレ
ーザービームの成分について、前記対物レンズより得ら
れる戻り光の光量検出結果を出力する戻り光検出手段を
有し、 前記可動手段は、 前記戻り光の光量検出結果により、前記戻り光の光量が
所定光量となる範囲で、前記干渉光の光量検出結果に基
づいて前記対物レンズを光軸に沿った方向に可動するこ
とを特徴とする請求項1に記載の光ディスク装置。 - 【請求項4】前記可動手段は、 前記間隔を徐々に低減して、前記戻り光の光量が所定光
量以下となると、前記干渉光の光量検出結果に基づいた
前記対物レンズの可動を開始することを特徴とする請求
項3に記載の光ディスク装置。 - 【請求項5】前記戻り光検出手段が検出する戻り光に対
応するレーザービームが、 前記ディスク状記録媒体に所望のデータを記録するレー
ザービームであることを特徴とする請求項3に記載の光
ディスク装置。 - 【請求項6】ディスク状記録媒体に近接して保持した対
物レンズを用いた近接場記録により所望のデータを前記
ディスク状記録媒体に記録する光ディスク装置のフォー
カス制御方法において、 前記対物レンズを介して所定波長のフォーカス用レーザ
ービームを前記ディスク状記録媒体に照射し、 前記ディスク状記録媒体で反射した反射光と前記対物レ
ンズの出射面で反射した反射光との干渉光を受光して光
量検出結果を得、 前記干渉光の光量検出結果に基づいて前記対物レンズを
光軸に沿った方向に可動することを特徴とする光ディス
ク装置のフォーカス制御方法。 - 【請求項7】前記対物レンズの近軸光線により前記フォ
ーカス用レーザービームを前記対物レンズに入射するこ
とを特徴とする請求項6に記載の光ディスク装置のフォ
ーカス制御方法。 - 【請求項8】前記ディスク状記録媒体に向かって前記対
物レンズの出射面に臨界角以上の角度により入射するレ
ーザービームの成分について、前記対物レンズより得ら
れる戻り光の光量検出結果を得、 前記戻り光の光量検出結果により、前記戻り光の光量が
所定光量となる範囲で、前記干渉光の光量検出結果に基
づいて前記対物レンズを光軸に沿った方向に可動するこ
とを特徴とする請求項6に記載の光ディスク装置のフォ
ーカス制御方法。 - 【請求項9】前記間隔を徐々に低減して、前記戻り光の
光量が所定光量以下となると、前記干渉光の光量検出結
果に基づいた前記対物レンズの可動を開始することを特
徴とする請求項8に記載の光ディスク装置のフォーカス
制御方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22701699A JP3906958B2 (ja) | 1999-08-11 | 1999-08-11 | 光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法 |
US09/631,172 US6738323B1 (en) | 1999-08-11 | 2000-08-02 | Optical disc apparatus and focusing control method in an optical disc apparatus |
CNB001240102A CN1183522C (zh) | 1999-08-11 | 2000-08-11 | 光盘装置和光盘装置中的聚焦控制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22701699A JP3906958B2 (ja) | 1999-08-11 | 1999-08-11 | 光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001056944A true JP2001056944A (ja) | 2001-02-27 |
JP3906958B2 JP3906958B2 (ja) | 2007-04-18 |
Family
ID=16854205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22701699A Expired - Fee Related JP3906958B2 (ja) | 1999-08-11 | 1999-08-11 | 光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6738323B1 (ja) |
JP (1) | JP3906958B2 (ja) |
CN (1) | CN1183522C (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004053303A (ja) * | 2002-07-17 | 2004-02-19 | Sony Corp | ギャップ検出方法、ギャップ制御方法、及び装置 |
KR100442347B1 (ko) * | 2001-11-27 | 2004-07-30 | 엘지전자 주식회사 | 근접장 광기록재생기의 광축조정장치, 조정방법 |
US7440383B2 (en) | 2001-08-31 | 2008-10-21 | Sony Corporation | Optical pickup device and recording and/or reproducing apparatus |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003248168A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-09-05 | Konica Corp | 光ピックアップ装置、および光学素子 |
TWI252935B (en) * | 2001-12-21 | 2006-04-11 | Konica Corp | Optical pickup apparatus and optical element |
JP2003257052A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-12 | Sony Corp | 露光装置、露光方法、記録および/または再生装置ならびに記録および/または再生方法 |
KR100520508B1 (ko) * | 2003-09-27 | 2005-10-11 | 삼성전자주식회사 | 포커스 인입 장치 및 방법 |
KR20070104556A (ko) * | 2004-12-21 | 2007-10-26 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 근접장 광 시스템의 강인성 향상을 위한 방법 및 장치 |
US7791986B2 (en) * | 2006-03-15 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical information recording/reproducing apparatus |
JP2008204562A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Canon Inc | 光情報記録再生装置 |
JP4645721B2 (ja) * | 2008-10-02 | 2011-03-09 | ソニー株式会社 | 原盤製造方法、光ディスク製造方法 |
KR102125284B1 (ko) | 2015-03-11 | 2020-07-08 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 검사와 계측을 위한 방법 및 장치 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5125750A (en) * | 1991-03-14 | 1992-06-30 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Optical recording system employing a solid immersion lens |
JP3177104B2 (ja) * | 1994-09-16 | 2001-06-18 | 日本アイ・ビー・エム株式会社 | フレア防止光学系、フレア防止方法、浮上量測定装置 |
US6243350B1 (en) * | 1996-05-01 | 2001-06-05 | Terastor Corporation | Optical storage systems with flying optical heads for near-field recording and reading |
JP3229578B2 (ja) * | 1997-12-09 | 2001-11-19 | 株式会社リコー | 光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系 |
-
1999
- 1999-08-11 JP JP22701699A patent/JP3906958B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-08-02 US US09/631,172 patent/US6738323B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-08-11 CN CNB001240102A patent/CN1183522C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7440383B2 (en) | 2001-08-31 | 2008-10-21 | Sony Corporation | Optical pickup device and recording and/or reproducing apparatus |
KR100442347B1 (ko) * | 2001-11-27 | 2004-07-30 | 엘지전자 주식회사 | 근접장 광기록재생기의 광축조정장치, 조정방법 |
JP2004053303A (ja) * | 2002-07-17 | 2004-02-19 | Sony Corp | ギャップ検出方法、ギャップ制御方法、及び装置 |
JP4626121B2 (ja) * | 2002-07-17 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | ギャップ検出方法、ギャップ制御方法、及び装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6738323B1 (en) | 2004-05-18 |
CN1183522C (zh) | 2005-01-05 |
CN1284712A (zh) | 2001-02-21 |
JP3906958B2 (ja) | 2007-04-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7372602B2 (en) | Method for recording and reproducing holographic data and an apparatus therefor | |
US20060171006A1 (en) | Hologram recording/reproducing device and optical unit | |
JPH05258329A (ja) | 光学的データ記憶装置 | |
JP2001056944A (ja) | 光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法 | |
JP2007304263A (ja) | ホログラフィックメモリ装置 | |
US5018127A (en) | Light emitting apparatus having a plurality of light emitting points | |
JP4662186B2 (ja) | 光ディスク装置及び補正サーボ制御信号生成方法 | |
JP3478969B2 (ja) | 光ヘッド | |
US20120069723A1 (en) | Optical recording medium drive device and recording method | |
JP4626121B2 (ja) | ギャップ検出方法、ギャップ制御方法、及び装置 | |
JP2003257052A (ja) | 露光装置、露光方法、記録および/または再生装置ならびに記録および/または再生方法 | |
JP2003257052A5 (ja) | 露光装置、収束レンズの制御方法及び装置、並びに記録及び/又は再生装置 | |
JP2002319157A (ja) | 信号記録装置、信号再生装置、及びそれらの方法 | |
JPH0517528B2 (ja) | ||
JPH0883441A (ja) | 光ディスク原盤露光装置 | |
JPH0449060B2 (ja) | ||
JP2000011401A (ja) | 光ディスク装置 | |
JPH09288850A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2641553B2 (ja) | フォーカスサーボ装置 | |
JPH11283257A (ja) | 光ディスク装置及びそのフォーカスサーボ方法 | |
JP2748900B2 (ja) | 露光装置 | |
JPS54107708A (en) | Optical information recorder | |
JPS5848233A (ja) | 光情報読取装置 | |
JPH07199481A (ja) | 露光装置 | |
JPH087379A (ja) | 磁気ヘッドの位置調整方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060228 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20060228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070110 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100126 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |