JP2001056944A - 光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法 - Google Patents
光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、光ディスク装置及び光ディスク装
置のフォーカス制御方法に関し、例えば近接場記録（Ｎ
ＦＲ：Near Field Reacording ）によりディスク原盤を
露光する露光装置に適用して、近接場記録において確実
にフォーカス制御することができるようにする。 【解決手段】 本発明は、ディスク状記録媒体２で反射
した反射光と対物レンズ１２の出射面で反射した反射光
とによる干渉光Ｌ２Ｒの光量検出結果Ｓ２に基づいて対
物レンズ１２を可動する。
置のフォーカス制御方法に関し、例えば近接場記録（Ｎ
ＦＲ：Near Field Reacording ）によりディスク原盤を
露光する露光装置に適用して、近接場記録において確実
にフォーカス制御することができるようにする。 【解決手段】 本発明は、ディスク状記録媒体２で反射
した反射光と対物レンズ１２の出射面で反射した反射光
とによる干渉光Ｌ２Ｒの光量検出結果Ｓ２に基づいて対
物レンズ１２を可動する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク装置及
び光ディスク装置のフォーカス制御方法に関し、例えば
近接場記録（ＮＦＲ：Near Field Reacording ）により
ディスク原盤を露光する露光装置に適用することができ
る。本発明は、ディスク状記録媒体で反射した反射光
と、対物レンズの出射面で反射した反射光とによる干渉
光の光量検出結果に基づいて対物レンズを可動すること
により、近接場記録において確実にフォーカス制御する
ことができるようにする。
び光ディスク装置のフォーカス制御方法に関し、例えば
近接場記録（ＮＦＲ：Near Field Reacording ）により
ディスク原盤を露光する露光装置に適用することができ
る。本発明は、ディスク状記録媒体で反射した反射光
と、対物レンズの出射面で反射した反射光とによる干渉
光の光量検出結果に基づいて対物レンズを可動すること
により、近接場記録において確実にフォーカス制御する
ことができるようにする。
【０００２】
【従来の技術】従来、露光装置においては、ディスク状
記録媒体であるディスク原盤に近接場記録により所望の
データを高密度記録する露光装置が提案されており、こ
のような露光装置では、対物レンズの出射面で全反射す
る記録用レーザービームの光量を基準にしてフォーカス
制御する方法が提案されている。
記録媒体であるディスク原盤に近接場記録により所望の
データを高密度記録する露光装置が提案されており、こ
のような露光装置では、対物レンズの出射面で全反射す
る記録用レーザービームの光量を基準にしてフォーカス
制御する方法が提案されている。
【０００３】すなわち近接場記録においては、対物レン
ズの出射面に記録用レーザービームを集光することによ
り、開口数１以上の対物レンズにより記録用レーザービ
ームを集光して微細なビームスポットを作成する。さら
に近接場記録においては、対物レンズをディスク原盤に
極めて近接して配置し、近接場効果によって対物レンズ
の先端より漏れ出す記録用レーザービームによりディス
ク原盤を露光する。
ズの出射面に記録用レーザービームを集光することによ
り、開口数１以上の対物レンズにより記録用レーザービ
ームを集光して微細なビームスポットを作成する。さら
に近接場記録においては、対物レンズをディスク原盤に
極めて近接して配置し、近接場効果によって対物レンズ
の先端より漏れ出す記録用レーザービームによりディス
ク原盤を露光する。
【０００４】このようにして対物レンズの出射面に集光
される記録用レーザービームのうち、出射面に対して臨
界角以上の角度により入射する成分にあっては、対物レ
ンズとディスク原盤との間の距離が大きく近接場効果が
発揮されない場合、全ての成分が全反射して光源側に戻
ることになる。これに対してこの距離が小さくなって近
接場効果が発揮されるようになると、光源側に戻る光量
が徐々に減少する。これによりこの全反射の成分を基準
にしたフォーカス制御においては、この臨界角以上の角
度により入射して光源側に戻る光量が所定光量になるよ
うに、対物レンズを光軸に沿った方向に移動させてフォ
ーカス制御するようになされている。
される記録用レーザービームのうち、出射面に対して臨
界角以上の角度により入射する成分にあっては、対物レ
ンズとディスク原盤との間の距離が大きく近接場効果が
発揮されない場合、全ての成分が全反射して光源側に戻
ることになる。これに対してこの距離が小さくなって近
接場効果が発揮されるようになると、光源側に戻る光量
が徐々に減少する。これによりこの全反射の成分を基準
にしたフォーカス制御においては、この臨界角以上の角
度により入射して光源側に戻る光量が所定光量になるよ
うに、対物レンズを光軸に沿った方向に移動させてフォ
ーカス制御するようになされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところがこのような全
反射の成分を基準にしたフォーカス制御においては、実
用上未だ不十分な問題がある。
反射の成分を基準にしたフォーカス制御においては、実
用上未だ不十分な問題がある。
【０００６】すなわち露光装置においては、露光の条件
により記録用レーザービームの光量を変更する場合があ
る。この場合、このような全反射の成分を基準にしたフ
ォーカス制御においては、フォーカス制御の制御目標で
ある光源側に戻る光量も変化することにより、フォーカ
ス制御の基準を設定し直す必要があり、その分操作が煩
雑になる問題がある。
により記録用レーザービームの光量を変更する場合があ
る。この場合、このような全反射の成分を基準にしたフ
ォーカス制御においては、フォーカス制御の制御目標で
ある光源側に戻る光量も変化することにより、フォーカ
ス制御の基準を設定し直す必要があり、その分操作が煩
雑になる問題がある。
【０００７】またこのような全反射の成分を基準にした
フォーカス制御においては、充分なＳＮ比により光源側
に戻る光量を検出することが困難で、結局、安定にフォ
ーカス制御できない問題もある。
フォーカス制御においては、充分なＳＮ比により光源側
に戻る光量を検出することが困難で、結局、安定にフォ
ーカス制御できない問題もある。
【０００８】さらに露光装置においては、記録用レーザ
ービームをオンオフ制御してピット列の潜像を作成する
ことにより、このような全反射の成分を基準にしたフォ
ーカス制御においては、光源側に戻る光量検出結果がこ
のオンオフ制御により変調され、これによっても安定に
フォーカス制御できない問題がある。なおこの場合、フ
ィルタにより記録用レーザービームの変調成分を除去す
る方法も考えられるが、フォーカス制御の周波数帯域に
おいては、この種の成分を完全に除去し得ない場合があ
り、この場合結局、このような成分がノイズ成分として
残存することになる。
ービームをオンオフ制御してピット列の潜像を作成する
ことにより、このような全反射の成分を基準にしたフォ
ーカス制御においては、光源側に戻る光量検出結果がこ
のオンオフ制御により変調され、これによっても安定に
フォーカス制御できない問題がある。なおこの場合、フ
ィルタにより記録用レーザービームの変調成分を除去す
る方法も考えられるが、フォーカス制御の周波数帯域に
おいては、この種の成分を完全に除去し得ない場合があ
り、この場合結局、このような成分がノイズ成分として
残存することになる。
【０００９】これらの問題を解決する１つの方法とし
て、ディスク原盤を感光しない波長によるレーザービー
ムを別途照射し、このレーザービームについて全反射す
る光量を検出する方法が考えられ、しかしながらこの方
法の場合、光学系の色収差により、精度が劣化する欠点
がある。また物理的に全反射する戻り光を検出すること
が困難な場合も考えられる。
て、ディスク原盤を感光しない波長によるレーザービー
ムを別途照射し、このレーザービームについて全反射す
る光量を検出する方法が考えられ、しかしながらこの方
法の場合、光学系の色収差により、精度が劣化する欠点
がある。また物理的に全反射する戻り光を検出すること
が困難な場合も考えられる。
【００１０】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、近接場記録において確実にフォーカス制御すること
ができる光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカ
ス制御方法を提案しようとするものである。
で、近接場記録において確実にフォーカス制御すること
ができる光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカ
ス制御方法を提案しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め請求項１又は請求項６に係る発明においては、光ディ
スク装置又は光ディスク装置のフォーカス制御方法に適
用して、ディスク状記録媒体で反射した反射光と対物レ
ンズの出射面で反射した反射光との干渉光を受光し、こ
の干渉光の光量検出結果に基づいて対物レンズを光軸に
沿った方向に可動する。
め請求項１又は請求項６に係る発明においては、光ディ
スク装置又は光ディスク装置のフォーカス制御方法に適
用して、ディスク状記録媒体で反射した反射光と対物レ
ンズの出射面で反射した反射光との干渉光を受光し、こ
の干渉光の光量検出結果に基づいて対物レンズを光軸に
沿った方向に可動する。
【００１２】請求項１又は請求項６の構成によれば、デ
ィスク状記録媒体で反射した反射光と対物レンズの出射
面で反射した反射光との干渉光を受光し、この干渉光の
光量検出結果に基づいて対物レンズを光軸に沿った方向
に可動することにより、この干渉光の生成元であるフォ
ーカス用レーザービームの波長に対応する精度で、また
安定に、ディスク状記録媒体と対物レンズの出射面との
間隔の変化を検出してフォーカス制御することができ、
その分高い精度によりフォーカス制御することができ
る。
ィスク状記録媒体で反射した反射光と対物レンズの出射
面で反射した反射光との干渉光を受光し、この干渉光の
光量検出結果に基づいて対物レンズを光軸に沿った方向
に可動することにより、この干渉光の生成元であるフォ
ーカス用レーザービームの波長に対応する精度で、また
安定に、ディスク状記録媒体と対物レンズの出射面との
間隔の変化を検出してフォーカス制御することができ、
その分高い精度によりフォーカス制御することができ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、適宜図面を参照しながら本
発明の実施の形態を詳述する。
発明の実施の形態を詳述する。
【００１４】（１）実施の形態の構成 図１は、本発明の実施の形態に係る露光装置を示す略線
図である。この露光装置１は、所定の駆動機構によりデ
ィスク原盤２を回転駆動した状態で、記録用レーザービ
ームＬ１をこのディスク原盤２に照射して照射位置を順
次ディスク原盤２の外周側に変位させることにより、こ
のディスク原盤２にラセン状にトラックを形成し、この
トラックにピット列による潜像を作成する。
図である。この露光装置１は、所定の駆動機構によりデ
ィスク原盤２を回転駆動した状態で、記録用レーザービ
ームＬ１をこのディスク原盤２に照射して照射位置を順
次ディスク原盤２の外周側に変位させることにより、こ
のディスク原盤２にラセン状にトラックを形成し、この
トラックにピット列による潜像を作成する。
【００１５】すなわち露光装置１において、レーザー光
源３は、Ｋｒレーザーであり、所定波長の記録用レーザ
ービームＬ１を出射する。レンズ４は、この記録用レー
ザービームＬ１を収束光束に変換してＡＯＭ（Acousto
Optic Modulator ）４に入射する。ＡＯＭ４は、信号発
生器６より出力される変調信号Ｓ１によりこの記録用レ
ーザービームＬ１をオンオフ変調して出射する。ここで
信号発生器６は、ピット列に対応する変調信号Ｓ１を出
射する。
源３は、Ｋｒレーザーであり、所定波長の記録用レーザ
ービームＬ１を出射する。レンズ４は、この記録用レー
ザービームＬ１を収束光束に変換してＡＯＭ（Acousto
Optic Modulator ）４に入射する。ＡＯＭ４は、信号発
生器６より出力される変調信号Ｓ１によりこの記録用レ
ーザービームＬ１をオンオフ変調して出射する。ここで
信号発生器６は、ピット列に対応する変調信号Ｓ１を出
射する。
【００１６】続くレンズ７は、このＡＯＭ５の出射光を
平行光線に変換して出射する。続くレンズ８Ａ及び８Ｂ
は、ビームエキスパンダ８を構成し、レンズ７の出射光
についてビーム径を拡大して所定のビーム径により出射
する。偏光ビームスプリッタ９は、このビームエキスパ
ンダ８の出射光を反射すると共に、この反射光の光路を
逆に辿って入射する記録用レーザービームＬ１の戻り光
Ｌ１Ｒを透過し、これにより記録用レーザービームＬ１
と戻り光Ｌ１Ｒとを分離する。
平行光線に変換して出射する。続くレンズ８Ａ及び８Ｂ
は、ビームエキスパンダ８を構成し、レンズ７の出射光
についてビーム径を拡大して所定のビーム径により出射
する。偏光ビームスプリッタ９は、このビームエキスパ
ンダ８の出射光を反射すると共に、この反射光の光路を
逆に辿って入射する記録用レーザービームＬ１の戻り光
Ｌ１Ｒを透過し、これにより記録用レーザービームＬ１
と戻り光Ｌ１Ｒとを分離する。
【００１７】１／４波長板１０は、偏光ビームスプリッ
タ９より出射される記録用レーザービームＬ１に位相差
を与えることによりこの記録用レーザービームＬ１を円
偏向に変換して出射する。また１／４波長板１０は、偏
光ビームスプリッタ９に入射する戻り光Ｌ１Ｒに同様に
位相差を与えることにより、円偏向により入射する戻り
光Ｌ１Ｒを記録用レーザービームＬ１と偏向面が直交す
る直線偏向により偏光ビームスプリッタ９に出射する。
タ９より出射される記録用レーザービームＬ１に位相差
を与えることによりこの記録用レーザービームＬ１を円
偏向に変換して出射する。また１／４波長板１０は、偏
光ビームスプリッタ９に入射する戻り光Ｌ１Ｒに同様に
位相差を与えることにより、円偏向により入射する戻り
光Ｌ１Ｒを記録用レーザービームＬ１と偏向面が直交す
る直線偏向により偏光ビームスプリッタ９に出射する。
【００１８】ダイクロイックミラー１１は、この１／４
波長板１０より出射される記録用レーザービームＬ１を
ディスク原盤２に向けて反射すると共に、このディスク
原盤２側より到来する戻り光Ｌ１Ｒを１／４波長板１０
に向けて出射する。またダイクロイックミラー１１は、
この記録用レーザービームＬ１と波長が異なるフォーカ
ス用レーザービームＬ２をディスク原盤２に向けて透過
すると共に、このディスク原盤２側より到来するフォー
カス用レーザービームＬ２による干渉光Ｌ２Ｒを透過し
て出射する。
波長板１０より出射される記録用レーザービームＬ１を
ディスク原盤２に向けて反射すると共に、このディスク
原盤２側より到来する戻り光Ｌ１Ｒを１／４波長板１０
に向けて出射する。またダイクロイックミラー１１は、
この記録用レーザービームＬ１と波長が異なるフォーカ
ス用レーザービームＬ２をディスク原盤２に向けて透過
すると共に、このディスク原盤２側より到来するフォー
カス用レーザービームＬ２による干渉光Ｌ２Ｒを透過し
て出射する。
【００１９】対物レンズ１２は、いわゆる後玉レンズ１
２Ａ及び先玉レンズ１２Ｂによる１組のレンズにより構
成され、後玉レンズ１２Ａにより記録用レーザービーム
Ｌ１を収束光束に変換した後、先玉レンズ１２Ｂの後玉
レンズ１２Ａ側レンズ面により先玉レンズ１２Ｂの出射
面に集光する。これにより対物レンズ１２は、先玉レン
ズ１２ＢがＳＩＬ（Solid Immersion Lens）を構成し、
全体として開口数が１以上に設定されて、近接場効果に
より記録用レーザービームＬ１をディスク原盤２に照射
するようになされている。なおこの先玉レンズ１２Ｂ
は、ディスク原盤２側面の中央が円形形状に突出するよ
うに形成され、これによりディスク原盤２への衝突を防
止するようになされている。
２Ａ及び先玉レンズ１２Ｂによる１組のレンズにより構
成され、後玉レンズ１２Ａにより記録用レーザービーム
Ｌ１を収束光束に変換した後、先玉レンズ１２Ｂの後玉
レンズ１２Ａ側レンズ面により先玉レンズ１２Ｂの出射
面に集光する。これにより対物レンズ１２は、先玉レン
ズ１２ＢがＳＩＬ（Solid Immersion Lens）を構成し、
全体として開口数が１以上に設定されて、近接場効果に
より記録用レーザービームＬ１をディスク原盤２に照射
するようになされている。なおこの先玉レンズ１２Ｂ
は、ディスク原盤２側面の中央が円形形状に突出するよ
うに形成され、これによりディスク原盤２への衝突を防
止するようになされている。
【００２０】露光装置１では、この記録用レーザービー
ムＬ１の照射によりディスク原盤２、対物レンズ１２の
出射面より戻り光Ｌ１Ｒが得られ、この戻り光Ｌ１Ｒが
記録用レーザービームＬ１の光路を逆に辿り、偏光ビー
ムスプリッタ９を透過して記録用レーザービームＬ１か
ら分離されることになる。
ムＬ１の照射によりディスク原盤２、対物レンズ１２の
出射面より戻り光Ｌ１Ｒが得られ、この戻り光Ｌ１Ｒが
記録用レーザービームＬ１の光路を逆に辿り、偏光ビー
ムスプリッタ９を透過して記録用レーザービームＬ１か
ら分離されることになる。
【００２１】マスク１４は、この偏光ビームスプリッタ
９より出射される戻り光Ｌ１Ｒの光路上に配置されて、
戻り光Ｌ１Ｒのうちの近軸光線を遮光することにより、
対物レンズ１２の出射面に対して臨界角以上の角度によ
り入射した記録用レーザービームＬ１に対応する成分の
み選択的に透過する。かくするにつきマスク１４は、図
２に示すように、透明平行平板の中央に、戻り光Ｌ１Ｒ
のビーム径に比して小径の遮光領域を作成して構成され
る。すなわち戻り光Ｌ１Ｒにおいて、対物レンズ１２の
出射面に臨界角以下の入射角により入射した成分は、こ
の対物レンズ１２の出射面とディスク原盤２とで反射さ
れ、これらの反射光が干渉することになる。これにより
露光装置１では、このような干渉する反射光の成分につ
いてはマスク１４で除去して戻り光Ｌ１Ｒを処理するよ
うになされている。
９より出射される戻り光Ｌ１Ｒの光路上に配置されて、
戻り光Ｌ１Ｒのうちの近軸光線を遮光することにより、
対物レンズ１２の出射面に対して臨界角以上の角度によ
り入射した記録用レーザービームＬ１に対応する成分の
み選択的に透過する。かくするにつきマスク１４は、図
２に示すように、透明平行平板の中央に、戻り光Ｌ１Ｒ
のビーム径に比して小径の遮光領域を作成して構成され
る。すなわち戻り光Ｌ１Ｒにおいて、対物レンズ１２の
出射面に臨界角以下の入射角により入射した成分は、こ
の対物レンズ１２の出射面とディスク原盤２とで反射さ
れ、これらの反射光が干渉することになる。これにより
露光装置１では、このような干渉する反射光の成分につ
いてはマスク１４で除去して戻り光Ｌ１Ｒを処理するよ
うになされている。
【００２２】レンズ１５は、このマスク１４を透過した
戻り光Ｌ１Ｒを受光素子１６に集光し、受光素子１６
は、戻り光Ｌ１Ｒの光量検出結果Ｓ１を出力する。かく
するにつきマスク１４は、反射光の干渉によるこの光量
検出結果Ｓ１の変動を防止することになる。
戻り光Ｌ１Ｒを受光素子１６に集光し、受光素子１６
は、戻り光Ｌ１Ｒの光量検出結果Ｓ１を出力する。かく
するにつきマスク１４は、反射光の干渉によるこの光量
検出結果Ｓ１の変動を防止することになる。
【００２３】これにより露光装置１は、対物レンズ１２
の出射面で全反射する記録用レーザービームＬ１の光量
を検出できるようになされている。かくするにつきこの
ようにして検出される光量検出結果Ｓ１は、図３に示す
ように、対物レンズ１２がディスク原盤２より一定距離
以上離間している場合には、一定の信号レベルに保持さ
れるのに対し、対物レンズ１２がディスク原盤２に一定
距離以上近づくと、対物レンズ１２の先端とディスク原
盤２との間の間隔に対応するように信号レベルが変化す
ることになる。
の出射面で全反射する記録用レーザービームＬ１の光量
を検出できるようになされている。かくするにつきこの
ようにして検出される光量検出結果Ｓ１は、図３に示す
ように、対物レンズ１２がディスク原盤２より一定距離
以上離間している場合には、一定の信号レベルに保持さ
れるのに対し、対物レンズ１２がディスク原盤２に一定
距離以上近づくと、対物レンズ１２の先端とディスク原
盤２との間の間隔に対応するように信号レベルが変化す
ることになる。
【００２４】レーザー光源１８は、Ｈｅ−Ｎｅレーザー
であり、記録用レーザービームＬ１とは異なる波長であ
り、またディスク原盤２を露光しない波長によるフォー
カス用レーザービームＬ２を出射する。続くレンズ１９
Ａ及び１９Ｂは、ビームエキスパンダ１９を構成し、こ
のフォーカス用レーザービームＬ２のビーム径を縮小し
て小さなビーム径により出射する。偏光ビームスプリッ
タ２０は、このビームエキスパンダ１９の出射光を透過
すると共に、この透過光の光路を逆に辿って入射するフ
ォーカス用レーザービームＬ２による干渉光Ｌ２Ｒを反
射し、これによりフォーカス用レーザービームＬ２と干
渉光Ｌ２Ｒとを分離する。
であり、記録用レーザービームＬ１とは異なる波長であ
り、またディスク原盤２を露光しない波長によるフォー
カス用レーザービームＬ２を出射する。続くレンズ１９
Ａ及び１９Ｂは、ビームエキスパンダ１９を構成し、こ
のフォーカス用レーザービームＬ２のビーム径を縮小し
て小さなビーム径により出射する。偏光ビームスプリッ
タ２０は、このビームエキスパンダ１９の出射光を透過
すると共に、この透過光の光路を逆に辿って入射するフ
ォーカス用レーザービームＬ２による干渉光Ｌ２Ｒを反
射し、これによりフォーカス用レーザービームＬ２と干
渉光Ｌ２Ｒとを分離する。
【００２５】１／４波長板２１は、偏光ビームスプリッ
タ２０より出射されるフォーカス用レーザービームＬ２
に位相差を与えることによりこのフォーカス用レーザー
ビームＬ２を円偏向に変換してダイクロイックミラー１
１に出射する。またダイクロイックミラー１１より偏光
ビームスプリッタ２０に入射する干渉光Ｌ２Ｒに同様に
位相差を与えることにより、円偏向により入射する干渉
光Ｌ２Ｒをフォーカス用レーザービームＬ２と偏向面が
直交する直線偏向により偏光ビームスプリッタ２０に出
射する。
タ２０より出射されるフォーカス用レーザービームＬ２
に位相差を与えることによりこのフォーカス用レーザー
ビームＬ２を円偏向に変換してダイクロイックミラー１
１に出射する。またダイクロイックミラー１１より偏光
ビームスプリッタ２０に入射する干渉光Ｌ２Ｒに同様に
位相差を与えることにより、円偏向により入射する干渉
光Ｌ２Ｒをフォーカス用レーザービームＬ２と偏向面が
直交する直線偏向により偏光ビームスプリッタ２０に出
射する。
【００２６】これにより露光装置１では、記録用レーザ
ービームＬ１と波長の異なる小さなビーム径によるフォ
ーカス用レーザービームＬ２を、記録用レーザービーム
Ｌ１と共に対物レンズ１２に入射してディスク原盤２に
照射するようになされている。露光装置１は、このフォ
ーカス用レーザービームＬ１を対物レンズ１２の近軸光
線により入射する。
ービームＬ１と波長の異なる小さなビーム径によるフォ
ーカス用レーザービームＬ２を、記録用レーザービーム
Ｌ１と共に対物レンズ１２に入射してディスク原盤２に
照射するようになされている。露光装置１は、このフォ
ーカス用レーザービームＬ１を対物レンズ１２の近軸光
線により入射する。
【００２７】これによりこのフォーカス用レーザービー
ムＬ１は、対物レンズ１２の出射面と、ディスク原盤２
の表面とでそれぞれ反射され、露光装置１においては、
近接場記録に供する程度に対物レンズ１２とディスク原
盤２とが近接して配置されることにより、これら反射光
が干渉することになる。露光装置１では、これらの反射
光による干渉光Ｌ２Ｒがフォーカス用レーザービームＬ
２の光路を逆に辿って偏光ビームスプリッタ２０に入射
し、この偏光ビームスプリッタ２０で反射されてフォー
カス用レーザービームＬ２から分離される。
ムＬ１は、対物レンズ１２の出射面と、ディスク原盤２
の表面とでそれぞれ反射され、露光装置１においては、
近接場記録に供する程度に対物レンズ１２とディスク原
盤２とが近接して配置されることにより、これら反射光
が干渉することになる。露光装置１では、これらの反射
光による干渉光Ｌ２Ｒがフォーカス用レーザービームＬ
２の光路を逆に辿って偏光ビームスプリッタ２０に入射
し、この偏光ビームスプリッタ２０で反射されてフォー
カス用レーザービームＬ２から分離される。
【００２８】レンズ２４は、この偏光ビームスプリッタ
２０で反射された干渉光Ｌ２Ｒを受光素子２５に集光
し、受光素子２５は、光量検出結果Ｓ２を出力する。こ
れらによりこの光量検出結果Ｓ２においては、図３に示
すように、対物レンズ１２の先端とディスク原盤２との
間の間隔がフォーカス用レーザービームＬ２の波長λの
２分の１だけ変化する周期により正弦波状に信号レベル
が変化することになる。
２０で反射された干渉光Ｌ２Ｒを受光素子２５に集光
し、受光素子２５は、光量検出結果Ｓ２を出力する。こ
れらによりこの光量検出結果Ｓ２においては、図３に示
すように、対物レンズ１２の先端とディスク原盤２との
間の間隔がフォーカス用レーザービームＬ２の波長λの
２分の１だけ変化する周期により正弦波状に信号レベル
が変化することになる。
【００２９】制御回路３０は、これら光量検出結果Ｓ１
及びＳ２に基づいて、アクチュエータ３１を駆動するこ
とにより、対物レンズ１２をフォーカス制御する。
及びＳ２に基づいて、アクチュエータ３１を駆動するこ
とにより、対物レンズ１２をフォーカス制御する。
【００３０】すなわち制御回路３０は、オペレータによ
り露光の開始が指示されると、何らディスク原盤２にお
けるピット列の記録とは無関係の、例えばディスク原盤
２の内周側領域に対物レンズ１２を移動する。
り露光の開始が指示されると、何らディスク原盤２にお
けるピット列の記録とは無関係の、例えばディスク原盤
２の内周側領域に対物レンズ１２を移動する。
【００３１】さらに制御回路３０は、信号発生器６を駆
動して記録用レーザービームＬ１をこの領域に連続的に
照射する。この状態で制御回路３０は、アクチュエータ
３１を駆動して対物レンズ１２をディスク原盤２に徐々
に接近させ、全反射に係る光量検出結果Ｓ１を監視す
る。ここで制御回路３０は、光量検出結果Ｓ１の信号レ
ベルが減少を開始して近接場効果を発揮できる程度に対
物レンズ１２とディスク原盤２の接近が検出され、さら
にこの全反射に係る光量検出結果Ｓ１によりほぼ制御目
標まで対物レンズ１２がディスク原盤２に接近したと判
断すると、干渉光Ｌ２Ｒの光量検出結果Ｓ２を基準にし
たフィードバックループによりフォーカス制御を開始す
る。すなわち制御回路３０は、このフォーカス制御にお
いて、制御目標に対応する基準電圧ＲＥＦと干渉光の光
量検出結果Ｓ２との誤差信号が０レベルになるようにア
クチュエータ３１を駆動する。
動して記録用レーザービームＬ１をこの領域に連続的に
照射する。この状態で制御回路３０は、アクチュエータ
３１を駆動して対物レンズ１２をディスク原盤２に徐々
に接近させ、全反射に係る光量検出結果Ｓ１を監視す
る。ここで制御回路３０は、光量検出結果Ｓ１の信号レ
ベルが減少を開始して近接場効果を発揮できる程度に対
物レンズ１２とディスク原盤２の接近が検出され、さら
にこの全反射に係る光量検出結果Ｓ１によりほぼ制御目
標まで対物レンズ１２がディスク原盤２に接近したと判
断すると、干渉光Ｌ２Ｒの光量検出結果Ｓ２を基準にし
たフィードバックループによりフォーカス制御を開始す
る。すなわち制御回路３０は、このフォーカス制御にお
いて、制御目標に対応する基準電圧ＲＥＦと干渉光の光
量検出結果Ｓ２との誤差信号が０レベルになるようにア
クチュエータ３１を駆動する。
【００３２】制御回路３０は、このようにして干渉光Ｌ
２Ｒの光量検出結果Ｓ２を基準にしたフォーカス制御を
開始すると、信号発生器６の動作を制御して連続した記
録用レーザービームＬ１の照射を停止した後、対物レン
ズ１２を露光開始位置に移動させる。さらに制御回路３
０は、信号発生器６により記録用レーザービームＬ１の
変調を開始し、この露光開始位置より順次ディスク原盤
２の露光を開始する。
２Ｒの光量検出結果Ｓ２を基準にしたフォーカス制御を
開始すると、信号発生器６の動作を制御して連続した記
録用レーザービームＬ１の照射を停止した後、対物レン
ズ１２を露光開始位置に移動させる。さらに制御回路３
０は、信号発生器６により記録用レーザービームＬ１の
変調を開始し、この露光開始位置より順次ディスク原盤
２の露光を開始する。
【００３３】（２）実施の形態の動作 以上の構成において、この露光装置１においては（図
１）、ディスク原盤２を載置してオペレータが露光の開
始を指示すると、ディスク原盤２の回転駆動が開始さ
れ、制御回路３０の制御により対物レンズ１２がピット
列の記録とは無関係の例えば内周側領域に移動する。
１）、ディスク原盤２を載置してオペレータが露光の開
始を指示すると、ディスク原盤２の回転駆動が開始さ
れ、制御回路３０の制御により対物レンズ１２がピット
列の記録とは無関係の例えば内周側領域に移動する。
【００３４】この状態で露光装置１は、レーザー光源３
より記録用レーザービームＬ１の照射が開始され、この
記録用レーザービームＬ１がビームエキスパンダ８によ
り所定のビーム径に拡大された後、偏光ビームスプリッ
タ９、ダイクロイックミラー１１を介して対物レンズ１
２に導かれ、この対物レンズ１２の先玉レンズ１２Ｂの
先端である出射面に集光される。さらにこの出射面で反
射された記録用レーザービーム、この先端よりディスク
原盤２に出射しディスク原盤２より反射された記録用レ
ーザービーム等が戻り光Ｌ１Ｒとして記録用レーザービ
ームＬ１の光路を逆に辿って偏光ビームスプリッタ９を
透過し、続くマスク１４により対物レンズ１２の出射面
に臨界角以上の角度で入射した成分が選択的に透過され
（図２）、受光素子１６によりその光量が検出される。
より記録用レーザービームＬ１の照射が開始され、この
記録用レーザービームＬ１がビームエキスパンダ８によ
り所定のビーム径に拡大された後、偏光ビームスプリッ
タ９、ダイクロイックミラー１１を介して対物レンズ１
２に導かれ、この対物レンズ１２の先玉レンズ１２Ｂの
先端である出射面に集光される。さらにこの出射面で反
射された記録用レーザービーム、この先端よりディスク
原盤２に出射しディスク原盤２より反射された記録用レ
ーザービーム等が戻り光Ｌ１Ｒとして記録用レーザービ
ームＬ１の光路を逆に辿って偏光ビームスプリッタ９を
透過し、続くマスク１４により対物レンズ１２の出射面
に臨界角以上の角度で入射した成分が選択的に透過され
（図２）、受光素子１６によりその光量が検出される。
【００３５】これにより露光装置１では、対物レンズ１
２の出射面で全反射する成分について記録用レーザービ
ームＬ１の戻り光Ｌ１Ｒの光量が検出され、この光量検
出結果Ｓ１においては、近接場記録に供する距離程度に
対物レンズ１２がディスク原盤２に接近すると、戻り光
Ｌ１Ｒの光量の低下が観察されるようになる（図３）。
２の出射面で全反射する成分について記録用レーザービ
ームＬ１の戻り光Ｌ１Ｒの光量が検出され、この光量検
出結果Ｓ１においては、近接場記録に供する距離程度に
対物レンズ１２がディスク原盤２に接近すると、戻り光
Ｌ１Ｒの光量の低下が観察されるようになる（図３）。
【００３６】露光装置１では、この記録用レーザービー
ムＬ１が連続してディスク原盤２に照射され、この戻り
光Ｌ１Ｒの光量検出結果Ｓ１において信号レベルの低下
が観察されるまで、すなわち近接場記録に供する程度に
まで対物レンズ１２がディスク原盤２に接近するまで、
アクチュエータ３１の駆動により対物レンズ１２が徐々
にディスク原盤２に近づけられる。
ムＬ１が連続してディスク原盤２に照射され、この戻り
光Ｌ１Ｒの光量検出結果Ｓ１において信号レベルの低下
が観察されるまで、すなわち近接場記録に供する程度に
まで対物レンズ１２がディスク原盤２に接近するまで、
アクチュエータ３１の駆動により対物レンズ１２が徐々
にディスク原盤２に近づけられる。
【００３７】さらにこの戻り光Ｌ１Ｒの光量検出結果Ｓ
１の監視により、ほぼ制御目標の距離にまで対物レンズ
１２がディスク原盤２に接近すると、フォーカス制御に
おけるサーボループがオン状態に切り換えられ、受光素
子２５による光量検出結果Ｓ２が所定電圧ＲＥＦになる
ように対物レンズ１２がフォーカス制御される。
１の監視により、ほぼ制御目標の距離にまで対物レンズ
１２がディスク原盤２に接近すると、フォーカス制御に
おけるサーボループがオン状態に切り換えられ、受光素
子２５による光量検出結果Ｓ２が所定電圧ＲＥＦになる
ように対物レンズ１２がフォーカス制御される。
【００３８】すなわち露光装置１では、記録用レーザー
ビームＬ１とは波長の異なるフォーカス用レーザービー
ムＬ２がレーザー光源１８より出射され、このフォーカ
ス用レーザービームＬ２がビームエキスパンダ１９によ
りビーム径が絞られた後、偏光ビームスプリッタ２０、
ダイクロイックミラー１１を介して対物レンズ１２に導
かれる。このときフォーカス用レーザービームＬ１は、
対物レンズ１２の光軸に対して近軸光線により対物レン
ズ１２に入射され、その結果対物レンズ１２の出射面
と、ディスク原盤２の表面とで反射光が得られ、これら
の反射光が干渉光Ｌ２Ｒとして受光素子２５で受光され
る。
ビームＬ１とは波長の異なるフォーカス用レーザービー
ムＬ２がレーザー光源１８より出射され、このフォーカ
ス用レーザービームＬ２がビームエキスパンダ１９によ
りビーム径が絞られた後、偏光ビームスプリッタ２０、
ダイクロイックミラー１１を介して対物レンズ１２に導
かれる。このときフォーカス用レーザービームＬ１は、
対物レンズ１２の光軸に対して近軸光線により対物レン
ズ１２に入射され、その結果対物レンズ１２の出射面
と、ディスク原盤２の表面とで反射光が得られ、これら
の反射光が干渉光Ｌ２Ｒとして受光素子２５で受光され
る。
【００３９】この干渉光Ｌ２Ｒの光量検出結果Ｓ２にお
いては、フォーカス用レーザービームＬ２の波長に対応
する周期により、対物レンズ１２の出射面とディスク原
盤２との間隔が変化すると信号レベルが正弦波状に変化
し、高い精度によりこの間隔の変化を検出することがで
きる。さらにこの光量検出結果Ｓ２においては、記録用
レーザービームＬ１とは波長が異なることにより、記録
用レーザービームＬ１のオンオフ変調に何ら影響を受け
ることなく間隔の変化を検出することができ、さらには
高いＳＮ比によりこの間隔の変化を検出することができ
る。
いては、フォーカス用レーザービームＬ２の波長に対応
する周期により、対物レンズ１２の出射面とディスク原
盤２との間隔が変化すると信号レベルが正弦波状に変化
し、高い精度によりこの間隔の変化を検出することがで
きる。さらにこの光量検出結果Ｓ２においては、記録用
レーザービームＬ１とは波長が異なることにより、記録
用レーザービームＬ１のオンオフ変調に何ら影響を受け
ることなく間隔の変化を検出することができ、さらには
高いＳＮ比によりこの間隔の変化を検出することができ
る。
【００４０】しかしながらこの光量検出結果Ｓ２におい
ては、フォーカス用レーザービームＬ２の波長周期で信
号レベルが正弦波状に変化することにより、間隔の変化
については精度良く検出できるものの、この間隔の絶対
的値については正しく検出することが困難で、結局、単
にこの光量検出結果Ｓ２を基準にしてフォーカス制御を
開始したのでは、この間隔が近接場領域内であるとを何
ら保証することが困難になる。
ては、フォーカス用レーザービームＬ２の波長周期で信
号レベルが正弦波状に変化することにより、間隔の変化
については精度良く検出できるものの、この間隔の絶対
的値については正しく検出することが困難で、結局、単
にこの光量検出結果Ｓ２を基準にしてフォーカス制御を
開始したのでは、この間隔が近接場領域内であるとを何
ら保証することが困難になる。
【００４１】ところがこの実施の形態のように、全反射
に係る光量検出結果Ｓ１が所定の信号レベル以下の範囲
である近接場領域に間隔が保持された時点で、干渉光Ｌ
２Ｒの光量検出結果Ｓ２を基準にしたフォーカス制御を
開始すれば、確実に近接場領域内で、高い精度によりフ
ォーカス制御することができる。
に係る光量検出結果Ｓ１が所定の信号レベル以下の範囲
である近接場領域に間隔が保持された時点で、干渉光Ｌ
２Ｒの光量検出結果Ｓ２を基準にしたフォーカス制御を
開始すれば、確実に近接場領域内で、高い精度によりフ
ォーカス制御することができる。
【００４２】これにより露光装置１では、このようにし
て干渉光Ｌ２Ｒの光量検出結果Ｓ２を基準にしたフォー
カス制御を開始すると、所定の露光開始位置より、信号
発生器６によりＡＯＭ５を駆動して記録用レーザービー
ムＬ１を照射することにより、ピット列の潜像をディス
ク原盤２に作成することができる。
て干渉光Ｌ２Ｒの光量検出結果Ｓ２を基準にしたフォー
カス制御を開始すると、所定の露光開始位置より、信号
発生器６によりＡＯＭ５を駆動して記録用レーザービー
ムＬ１を照射することにより、ピット列の潜像をディス
ク原盤２に作成することができる。
【００４３】このときフォーカス用レーザービームＬ２
においては、記録用レーザービームＬ１と波長が異なる
ことにより、記録用レーザービームＬ１のオンオフ変調
によっては何ら光量が変化することなく、これにより露
光装置１では安定にフォーカス制御することができる。
また全反射する成分の光量検出結果Ｓ１で充分なＳＮ比
が得られ無い場合でも、安定かつ確実にフォーカス制御
することができる。さらに対物レンズ１２おける色収差
についても、何ら影響を受けることなく、安定にフォー
カス制御することができる。
においては、記録用レーザービームＬ１と波長が異なる
ことにより、記録用レーザービームＬ１のオンオフ変調
によっては何ら光量が変化することなく、これにより露
光装置１では安定にフォーカス制御することができる。
また全反射する成分の光量検出結果Ｓ１で充分なＳＮ比
が得られ無い場合でも、安定かつ確実にフォーカス制御
することができる。さらに対物レンズ１２おける色収差
についても、何ら影響を受けることなく、安定にフォー
カス制御することができる。
【００４４】さらにビーム径の小さな近軸光線によりフ
ォーカス用レーザービームＬ２が対物レンズ１２に入射
されて干渉光Ｌ２Ｒが生成されることにより、干渉光Ｌ
２Ｒにおいては、マスク１４により遮光して得られる戻
り光Ｌ１Ｒとは逆に、その殆どがディスク原盤２と対物
レンズ１２との間隔を反映した可干渉成分とすることが
でき、その分光量検出結果Ｓ２において、高いＳＮ比、
高い検出感度によりディスク原盤２と対物レンズ１２と
の間隔の変化を検出することができる。また必要に応じ
てフォーカス用レーザービームＬ１の光量を増大できる
ことにより、この光量の増大によってもＳＮ比を向上し
て検出精度を向上することができる。
ォーカス用レーザービームＬ２が対物レンズ１２に入射
されて干渉光Ｌ２Ｒが生成されることにより、干渉光Ｌ
２Ｒにおいては、マスク１４により遮光して得られる戻
り光Ｌ１Ｒとは逆に、その殆どがディスク原盤２と対物
レンズ１２との間隔を反映した可干渉成分とすることが
でき、その分光量検出結果Ｓ２において、高いＳＮ比、
高い検出感度によりディスク原盤２と対物レンズ１２と
の間隔の変化を検出することができる。また必要に応じ
てフォーカス用レーザービームＬ１の光量を増大できる
ことにより、この光量の増大によってもＳＮ比を向上し
て検出精度を向上することができる。
【００４５】（３）実施の形態の効果 以上の構成によれば、ディスク原盤で反射した反射光
と、対物レンズの出射面で反射した反射光との干渉光の
光量検出結果に基づいて対物レンズを可動してフォーカ
ス制御することにより、近接場記録において確実にフォ
ーカス制御することができる。
と、対物レンズの出射面で反射した反射光との干渉光の
光量検出結果に基づいて対物レンズを可動してフォーカ
ス制御することにより、近接場記録において確実にフォ
ーカス制御することができる。
【００４６】またこのとき対物レンズの近軸光線により
フォーカス用レーザービームを対物レンズに入射するこ
とにより、干渉光の光量検出結果において、充分なＳＮ
比、検出感度を確保することができる。
フォーカス用レーザービームを対物レンズに入射するこ
とにより、干渉光の光量検出結果において、充分なＳＮ
比、検出感度を確保することができる。
【００４７】また全反射による戻り光の光量が所定光量
となる範囲で、干渉光の光量検出結果に基づいて対物レ
ンズを光軸に沿った方向に可動してフォーカス制御する
ことにより、ディスク原盤２と対物レンズ１２との間隔
を確実に近接場領域に設定してフォーカス制御すること
ができる。
となる範囲で、干渉光の光量検出結果に基づいて対物レ
ンズを光軸に沿った方向に可動してフォーカス制御する
ことにより、ディスク原盤２と対物レンズ１２との間隔
を確実に近接場領域に設定してフォーカス制御すること
ができる。
【００４８】すなわち対物レンズ１２とディスク原盤２
との間隔を徐々に低減して、全反射による戻り光の光量
が所定光量以下となると、干渉光の光量検出結果に基づ
いたフォーカス制御に動作を切り換えて、確実に近接場
領域においてフォーカス制御することができる。
との間隔を徐々に低減して、全反射による戻り光の光量
が所定光量以下となると、干渉光の光量検出結果に基づ
いたフォーカス制御に動作を切り換えて、確実に近接場
領域においてフォーカス制御することができる。
【００４９】またこのフォーカス用レーザービームを記
録用レーザービームと異なる波長により別途ディスク原
盤に照射することにより、記録用レーザービームをオン
オフ変調してピット列の潜像を作成する場合でも、確実
にフォーカス制御することができる。
録用レーザービームと異なる波長により別途ディスク原
盤に照射することにより、記録用レーザービームをオン
オフ変調してピット列の潜像を作成する場合でも、確実
にフォーカス制御することができる。
【００５０】（４）他の実施の形態 なお上述の実施の形態においては、露光装置によりピッ
ト列の潜像を作成する場合について述べたが、本発明は
これに限らず、グルーブによる潜像を作成する場合、さ
らにはピット列とグルーブとの組み合わせに係る潜像を
作成する場合等に広く適用することができる。
ト列の潜像を作成する場合について述べたが、本発明は
これに限らず、グルーブによる潜像を作成する場合、さ
らにはピット列とグルーブとの組み合わせに係る潜像を
作成する場合等に広く適用することができる。
【００５１】また上述の実施の形態においては、フォー
カス用のレーザービームを別途照射する場合について述
べたが、本発明はこれに限らず、実用上充分な特性を得
ることができる場合、記録用レーザービームをフォーカ
ス用レーザービームとして使用するようにしてもよい。
なおこの場合、例えばマスク１４に代えて、局所的にミ
ラー面を形成した平行平板を配置して、記録用レーザー
ビームの戻り光より近軸光線成分と全反射成分とを分離
し、この近軸光線成分の光量検出結果を干渉光の光量検
出結果とすることができる。またこのように構成する場
合には、記録用レーザービームのオンオフ制御による影
響を回避するために、光量検出結果をサンプリングする
方法も考えられる。このようにすれば光学系の構成を簡
略化できることにより、近接場効果により所望のデータ
を光ディスクに記録する場合に適用して全体構成を簡略
化することができる。
カス用のレーザービームを別途照射する場合について述
べたが、本発明はこれに限らず、実用上充分な特性を得
ることができる場合、記録用レーザービームをフォーカ
ス用レーザービームとして使用するようにしてもよい。
なおこの場合、例えばマスク１４に代えて、局所的にミ
ラー面を形成した平行平板を配置して、記録用レーザー
ビームの戻り光より近軸光線成分と全反射成分とを分離
し、この近軸光線成分の光量検出結果を干渉光の光量検
出結果とすることができる。またこのように構成する場
合には、記録用レーザービームのオンオフ制御による影
響を回避するために、光量検出結果をサンプリングする
方法も考えられる。このようにすれば光学系の構成を簡
略化できることにより、近接場効果により所望のデータ
を光ディスクに記録する場合に適用して全体構成を簡略
化することができる。
【００５２】また上述の実施の形態においては、本発明
を露光装置に適用する場合について述べたが、本発明は
これに限らず、ディスク状記録媒体に近接場効果により
所望のデータを記録する種々の光ディスク装置に広く適
用することができる。
を露光装置に適用する場合について述べたが、本発明は
これに限らず、ディスク状記録媒体に近接場効果により
所望のデータを記録する種々の光ディスク装置に広く適
用することができる。
【００５３】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、ディスク
状記録媒体で反射した反射光と、対物レンズの出射面で
反射した反射光とによる干渉光の光量検出結果に基づい
て対物レンズを可動することにより、近接場記録におい
て確実にフォーカス制御することができる。
状記録媒体で反射した反射光と、対物レンズの出射面で
反射した反射光とによる干渉光の光量検出結果に基づい
て対物レンズを可動することにより、近接場記録におい
て確実にフォーカス制御することができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る露光装置を示す略線
図である。
図である。
【図２】図１の露光装置のマスクを示す平面図である。
【図３】図１の露光装置における光量検出結果を示す特
性曲線図である。
性曲線図である。
１……露光装置、２……ディスク原盤、３、１８……レ
ーザー光源、６……信号発生器、８、１９……ビームエ
キスパンダ、１２……対物レンズ、１６、２５……受光
素子、３０……制御回路、３１……アクチュエータ
ーザー光源、６……信号発生器、８、１９……ビームエ
キスパンダ、１２……対物レンズ、１６、２５……受光
素子、３０……制御回路、３１……アクチュエータ
Claims (9)
- 【請求項１】ディスク状記録媒体に近接して保持した対
物レンズを用いた近接場記録により所望のデータを前記
ディスク状記録媒体に記録する光ディスク装置におい
て、 前記ディスク状記録媒体の表面と前記対物レンズの出射
面との間隔を所定間隔に保持するフォーカス制御機構を
有し、 前記フォーカス制御機構は、 所定波長のフォーカス用レーザービームを出射する光源
と、 前記フォーカス用レーザービームを前記対物レンズに導
き、前記対物レンズを介して前記フォーカス用レーザー
ビームを前記ディスク状記録媒体に照射する照射光学系
と、 前記ディスク状記録媒体で反射した反射光と前記対物レ
ンズの出射面で反射した反射光との干渉光を受光して光
量検出結果を出力する受光光学系と、 前記干渉光の光量検出結果に基づいて前記対物レンズを
光軸に沿った方向に可動する可動手段とを有することを
特徴とする光ディスク装置。 - 【請求項２】前記照射光学系は、 前記対物レンズの近軸光線により前記フォーカス用レー
ザービームを前記対物レンズに入射することを特徴とす
る請求項１に記載の光ディスク装置。 - 【請求項３】前記ディスク状記録媒体に向かって前記対
物レンズの出射面に臨界角以上の角度により入射するレ
ーザービームの成分について、前記対物レンズより得ら
れる戻り光の光量検出結果を出力する戻り光検出手段を
有し、 前記可動手段は、 前記戻り光の光量検出結果により、前記戻り光の光量が
所定光量となる範囲で、前記干渉光の光量検出結果に基
づいて前記対物レンズを光軸に沿った方向に可動するこ
とを特徴とする請求項１に記載の光ディスク装置。 - 【請求項４】前記可動手段は、 前記間隔を徐々に低減して、前記戻り光の光量が所定光
量以下となると、前記干渉光の光量検出結果に基づいた
前記対物レンズの可動を開始することを特徴とする請求
項３に記載の光ディスク装置。 - 【請求項５】前記戻り光検出手段が検出する戻り光に対
応するレーザービームが、 前記ディスク状記録媒体に所望のデータを記録するレー
ザービームであることを特徴とする請求項３に記載の光
ディスク装置。 - 【請求項６】ディスク状記録媒体に近接して保持した対
物レンズを用いた近接場記録により所望のデータを前記
ディスク状記録媒体に記録する光ディスク装置のフォー
カス制御方法において、 前記対物レンズを介して所定波長のフォーカス用レーザ
ービームを前記ディスク状記録媒体に照射し、 前記ディスク状記録媒体で反射した反射光と前記対物レ
ンズの出射面で反射した反射光との干渉光を受光して光
量検出結果を得、 前記干渉光の光量検出結果に基づいて前記対物レンズを
光軸に沿った方向に可動することを特徴とする光ディス
ク装置のフォーカス制御方法。 - 【請求項７】前記対物レンズの近軸光線により前記フォ
ーカス用レーザービームを前記対物レンズに入射するこ
とを特徴とする請求項６に記載の光ディスク装置のフォ
ーカス制御方法。 - 【請求項８】前記ディスク状記録媒体に向かって前記対
物レンズの出射面に臨界角以上の角度により入射するレ
ーザービームの成分について、前記対物レンズより得ら
れる戻り光の光量検出結果を得、 前記戻り光の光量検出結果により、前記戻り光の光量が
所定光量となる範囲で、前記干渉光の光量検出結果に基
づいて前記対物レンズを光軸に沿った方向に可動するこ
とを特徴とする請求項６に記載の光ディスク装置のフォ
ーカス制御方法。 - 【請求項９】前記間隔を徐々に低減して、前記戻り光の
光量が所定光量以下となると、前記干渉光の光量検出結
果に基づいた前記対物レンズの可動を開始することを特
徴とする請求項８に記載の光ディスク装置のフォーカス
制御方法。
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