JP2003257052A5 - 露光装置、収束レンズの制御方法及び装置、並びに記録及び/又は再生装置 - Google Patents
露光装置、収束レンズの制御方法及び装置、並びに記録及び/又は再生装置 Download PDFInfo
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、近接場光を利用して露光用原盤の露光を行う露光装置及び近接場光を利用して光記録媒体に対して情報信号の記録等を行う記録及び/又は再生装置に関する。
【発明の属する技術分野】
本発明は、近接場光を利用して露光用原盤の露光を行う露光装置及び近接場光を利用して光記録媒体に対して情報信号の記録等を行う記録及び/又は再生装置に関する。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明による露光装置は、露光用レーザ光を出射する露光用レーザ光源と、上記露光用レーザ光源から出射される露光用レーザ光とは異なる波長を有する検出用レーザ光を出射する検出用レーザ光源と、上記露光用レーザ光と上記検出用レーザ光が入射され、露光用原盤の露光面の近接場領域に配される収束レンズと、上記収束レンズの先端面で反射された上記検出用レーザ光の一方の直線偏光成分を検出する検出部と、上記検出部からの検出信号に基づいて上記収束レンズの先端面と上記露光面との間の距離を制御する制御部とを備える。
【課題を解決するための手段】
本発明による露光装置は、露光用レーザ光を出射する露光用レーザ光源と、上記露光用レーザ光源から出射される露光用レーザ光とは異なる波長を有する検出用レーザ光を出射する検出用レーザ光源と、上記露光用レーザ光と上記検出用レーザ光が入射され、露光用原盤の露光面の近接場領域に配される収束レンズと、上記収束レンズの先端面で反射された上記検出用レーザ光の一方の直線偏光成分を検出する検出部と、上記検出部からの検出信号に基づいて上記収束レンズの先端面と上記露光面との間の距離を制御する制御部とを備える。
本発明による露光装置では、露光用原盤の露光面の近接場領域に配される収束レンズ先端面で反射された検出用レーザ光の一方の直線偏光成分を検出部により検出し、その検出信号に基づいて収束レンズの先端面と露光面との間の距離を制御するようにしているので、露光用レーザ光と検出用レーザ光の波長が異なることにより生じる収束レンズの色収差が補正される。
また、本発明は、収束レンズの制御方法であり、第1のレーザ光の波長とは異なる波長を有する第2のレーザ光を被照射面の近接場領域に配される収束レンズに入射させ、次いで、上記収束レンズの先端面で反射されたレーザ光の一方の直線偏光成分を検出し、その後、上記検出された結果得られる検出信号に基づいて上記収束レンズを光軸方向に移動させることによって上記収束レンズの先端面と上記被照射面との間の距離を制御するようにしたものである。
本発明に係る収束レンズの制御方法は、第1のレーザ光の波長とは異なる波長を有する第2のレーザ光を被照射面の近接場領域に配される収束レンズに入射させるようにしているので、互いに波長を異にする第1のレーザ光と第2のレーザ光に起因する収束レンズの色収差が補正される。
本発明に係る記録及び/又は再生装置は、記録及び/又は再生レーザ光を出射する記録及び/又は再生用レーザ光源と、上記記録及び/又は再生用レーザ光とは異なる波長を有する検出用レーザ光を出射する検出用レーザ光源と、上記記録及び/又は再生用レーザ光と上記検出用レーザ光が入射され、記録媒体の記録面の近接場領域に配される収束レンズと、上記収束レンズの先端面で反射された上記検出用レーザ光の一方の直線偏光成分を検出する検出部と、上記検出部からの検出信号に基づいて上記収束レンズの先端面と上記記録面との間の距離を制御する制御部とを備える。
本発明に係る記録及び/又は再生装置では、検出用レーザ光源から出射された検出用レーザ光を収斂又は発散手段により収斂又は発散させて光記録媒体の信号記録面の近接場領域に配置される収束レンズに入射させるようにするため、記録及び/又は再生レーザ光と検出用レーザ光の波長が異なることにより生じる収束レンズの色収差が補正される。
【0084】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、近接場光を利用した露光又は情報信号の記録及び/又は再生において、露光用レーザ光又は記録及び/又は再生用レーザ光とは波長が異なる検出用レーザ光を用いてギャップ制御を行っても、検出用レーザ光を収斂又は発散させることにより収束レンズの色収差を補正することができるようにしたので、精度良く安定したギャップ制御を行うことができる。
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、近接場光を利用した露光又は情報信号の記録及び/又は再生において、露光用レーザ光又は記録及び/又は再生用レーザ光とは波長が異なる検出用レーザ光を用いてギャップ制御を行っても、検出用レーザ光を収斂又は発散させることにより収束レンズの色収差を補正することができるようにしたので、精度良く安定したギャップ制御を行うことができる。
Claims (52)
- 露光用レーザ光を出射する露光用レーザ光源と、
上記露光用レーザ光源から出射される露光用レーザ光とは異なる波長を有する検出用レーザ光を出射する検出用レーザ光源と、
上記露光用レーザ光と上記検出用レーザ光が入射され、露光用原盤の露光面の近接場領域に配される収束レンズと、
上記収束レンズの先端面で反射された上記検出用レーザ光の一方の直線偏光成分を検出する検出部と、
上記検出部からの検出信号に基づいて上記収束レンズの先端面と上記露光面との間の距離を制御する制御部と
を備えることを特徴とする露光装置。 - 上記検出用レーザ光源から出射される上記検出用レーザ光の波長は、上記露光用レーザ光による上記露光用原盤の露光に影響を与えない波長であることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 上記検出用レーザ光源から出射される上記検出用レーザ光の波長は、上記露光用レーザ光源から出射される上記露光用レーザ光の波長に近い波長であることを特徴とする請求項2記載の露光装置。
- 上記検出用レーザ光源から出射される上記検出用レーザ光は、上記露光用原盤が露光されない強度を有することを特徴とする請求項3記載の露光装置。
- 更に上記露光用レーザ光と上記検出用レーザ光のいずれか一方のレーザ光を反射し、他方のレーザ光を透過するダイクロイックミラーを備えていることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 上記検出部は、上記収束レンズの先端面で反射された上記検出用レーザ光のうち、上記ダイクロイックミラーを介し上記検出用レーザ光源から出射された上記検出用レーザ光と同じ直線偏光成分を検出することを特徴とする請求項1項記載の露光装置。
- 上記収束レンズは、対物レンズと上記対物レンズと上記露光面との間に配されるソリッドイマージョンレンズとを備えていることを特徴とする請求項6記載の露光装置。
- 更に上記検出用レーザ光源と上記ダイクロイックミラーとの間の光路中に配される偏光ビームスプリッタと上記偏光ビームスプリッタと上記ダイクロイックミラーとの間に配される1/4波長板とを備えていることを特徴とする請求項7記載の露光装置。
- 更に上記検出用レーザ光源から出射された上記検出用レーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタで反射された光を吸収する光吸収部材を備えていることを特徴とする請求項8記載の露光装置。
- 更に上記検出用レーザ光源と上記偏光ビームスプリッタとの光路中に配されたビームスプリッタを備えていることを特徴とする請求項8記載の露光装置。
- 上記ビームスプリッタは、無偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項10記載の露光装置。
- 上記検出部は、上記先端面で反射された上記検出用レーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタを透過し、上記ビームスプリッタで反射された光を検出することを特徴とする請求項10記載の露光装置。
- 更に上記検出用レーザ光源から出射された検出用レーザ光を発散させて上記ダイクロイックミラーを介して上記収束レンズに入射させ、上記収束レンズの先端面で反射され上記ダイクロイックミラーを介した上記検出用レーザ光を収斂させる光学部を備えていることを特徴とする請求項8記載の露光装置。
- 上記光学部は、凹レンズと凸レンズから構成されていることを特徴とする請求項13記載の露光装置。
- 第1のレーザ光の波長とは異なる波長を有する第2のレーザ光を被照射面の近接場領域に配される収束レンズに入射させ、
次いで、上記収束レンズの先端面で反射されたレーザ光の一方の直線偏光成分を検出し、
その後、上記検出された結果得られる検出信号に基づいて上記収束レンズを光軸方向に移動させることによって上記収束レンズの先端面と上記被照射面との間の距離を制御する
ことを特徴とする収束レンズの制御方法。 - 上記第2レーザ光の波長は、上記第1レーザ光の波長に近い波長であることを特徴とする請求項15記載の収束レンズの制御方法。
- 更に上記第1のレーザ光と上記第2のレーザ光のいずれか一方のレーザ光を反射し、他方のレーザ光を透過するダイクロイックミラーを用いて上記第1のレーザ光と上記第2のレーザ光とを分離することを特徴とする請求項15の収束レンズの制御方法。
- 上記収束レンズの先端面で反射された上記検出用レーザ光のうち、上記検出用レーザ光源から出射された検出用レーザ光と同じ直線偏光成分を検出することを特徴とする請求項15記載の収束レンズの制御方法 。
- 上記収束レンズは、対物レンズと上記対物レンズと上記被照射面との間に配されるソリッドイマージョンレンズとを備えていることを特徴とする請求項18記載の収束レンズの制御方法。
- 上記検出用レーザ光源から出射された検出用レーザ光と同じ直線偏光成分を透過し、上記同じ直線偏光成分と直交する直線偏光成分を反射する偏光ビームスプリッタと1/4波長板を用い、上記方法は上記収束レンズの先端面に臨界角以下で入射した光を上記1/4波長板によって上記直交する直線偏光成分とすることによって上記偏光ビームスプリッタで反射させることを特徴とする請求項19記載の収束レンズの制御方法 。
- 上記偏光ビームスプリッタによって反射された光は、吸収部材によって吸収されることを特徴とする請求項20記載の収束レンズの制御方法。
- 上記先端面で反射された上記検出用レーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタを透過した光を検出することを特徴とする請求項19記載の収束レンズの制御方法。
- 第1のレーザ光を出射する第1のレーザ光源と、
上記第1のレーザ光源から出射される第1のレーザ光とは異なる波長を有する第2のレーザ光を出射する第2のレーザ光源と、
上記第1のレーザ光と上記第2のレーザ光が入射され、被照射面の近接場領域に配される収束レンズと、
上記収束レンズの先端面で反射された上記検出用レーザ光の一方の直線偏光成分を検出する検出部と、
上記検出部からの検出信号に基づいて上記収束レンズの先端面と上記被照射面との間の距離を制御する制御部と
を有することを特徴とする収束レンズ装置。 - 上記第2のレーザ光源から出射される上記第2のレーザ光の波長は、上記第1のレーザ光による上記被照射面における物理的変化に影響を与えない波長であることを特徴とする請求項23記載の収束レンズ制御装置。
- 上記第2のレーザ光源から出射される上記第2のレーザ光の波長は、上記第1のレーザ光源から出射される上記第1のレーザ光の波長に近い波長であることを特徴とする請求項24記載の収束レンズ制御装置。
- 上記第2のレーザ光源から出射される上記第2のレーザ光は、上記第1のレーザ光による上記照射面における物理的な変化に影響を与えない強度を有することを特徴とする請求項25記載の収束レンズ制御装置。
- 更に上記第1のレーザ光と上記第2のレーザ光のいずれか一方のレーザ光を反射し、他方のレーザ光を透過するダイクロイックミラーを備えていることを特徴とする請求項23載の収束レンズ制御装置。
- 上記検出部は、上記収束レンズの先端面で反射された上記第2のレーザ光のうち、上記ダイクロイックミラーを介し上記第2のレーザ光源から出射された第2のレーザ光と同じ直線偏光成分を検出することを特徴とする請求項23記載の収束レンズ制御装置。
- 上記収束レンズは、対物レンズと上記対物レンズと上記照射面との間に配されるソリッドイマージョンレンズとを備えていることを特徴とする請求項28記載の収束レンズ制御装置。
- 更に上記第2のレーザ光源と上記ダイクロイックミラーとの間の光路中に配される偏光ビームスプリッタと上記偏光ビームスプリッタと上記ダイクロイックミラーとの間に配される1/4波長板とを備えていることを特徴とする請求項29記載の収束レンズ制御装置。
- 更に上記第2のレーザ光源から出射された第2のレーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタで反射された光を吸収する光吸収部材を備えていることを特徴とする請求項30記載の収束レンズ制御装置。
- 更に上記第2のレーザ光源と上記偏光ビームスプリッタとの光路中に配されたビームスプリッタを備えていることを特徴とする請求項30記載の収束レンズ制御装置。
- 上記ビームスプリッタは、無偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項32記載の収束レンズ制御装置。
- 上記検出部は、上記先端面で反射された上記第2のレーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタを透過し、上記ビームスプリッタで反射された光を検出することを特徴とする請求項32記載の収束レンズ制御装置。
- 更に上記第2のレーザ光源から出射された第2のレーザ光を発散させて上記ダイクロイックミラーを介して上記収束レンズに入射させ、上記収束レンズの先端面で反射され上記ダイクロイックミラーを介した上記第2のレーザ光を収斂させる光学部を備えていることを特徴とする請求項30記載の収束レンズ制御装置。
- 上記光学部は、凹レンズと凸レンズから構成されていることを特徴とする請求項35記載の収束レンズ制御装置。
- 記録及び/又は再生レーザ光を出射する記録及び/又は再生用レーザ光源と、
上記記録及び/又は再生用レーザ光とは異なる波長を有する検出用レーザ光を出射する検出用レーザ光源と、
上記記録及び/又は再生用レーザ光と上記検出用レーザ光が入射され、記録媒体の記録面の近接場領域に配される収束レンズと、
上記収束レンズの先端面で反射された上記検出用レーザ光の一方の直線偏光成分を検出する検出部と、
上記検出部からの検出信号に基づいて上記収束レンズの先端面と上記記録面との間の距離を制御する制御部と
を備えることを特徴とする記録及び/又は再生装置。 - 上記検出用レーザ光源から出射される上記検出用レーザ光の波長は、上記露光用レーザ光による上記記録媒体の記録及び/又は再生に影響を与えない波長であることを特徴とする請求項37記載の記録及び/又は再生装置。
- 上記検出用レーザ光源から出射される上記検出用レーザ光の波長は、上記記録及び/又は再生用レーザ光源から出射される上記記録及び/又は再生用レーザ光の波長に近い波長であることを特徴とする請求項38記載の記録及び/又は再生装置。
- 上記検出用レーザ光源から出射される上記検出用レーザ光は、上記記録媒体に記録が行われない強度を有することを特徴とする請求項39記載の記録及び/又は再生装置。
- 更に上記記録及び/又は再生用レーザ光と上記検出用レーザ光のいずれか一方のレーザ光を反射し、他方のレーザ光を透過するダイクロイックミラーを備えていることを特徴とする請求項37記載の記録及び/又は再生装置。
- 上記検出部は、上記収束レンズの先端面で反射された上記検出用レーザ光のうち、上記ダイクロイックミラーを介し上記検出用レーザ光源から出射された上記検出用レーザ光と同じ直線偏光成分を検出することを特徴とする請求項37記載の記録及び/又は再生装置。
- 上記収束レンズは、対物レンズと上記対物レンズと上記記録媒体の記録面との間に配されるソリッドイマージョンレンズとを備えていることを特徴とする請求項42記載の記録及び/又は再生装置。
- 更に上記検出用レーザ光源と上記ダイクロイックミラーとの間の光路中に配される偏光ビームスプリッタと上記偏光ビームスプリッタと上記ダイクロイックミラーとの間に配される1/4波長板とを備えていることを特徴とする請求項43記載の記録及び/又は再生装置。
- 更に上記検出用レーザ光源から出射された上記検出用レーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタで反射された光を吸収する光吸収部材を備えていることを特徴とする請求項44記載の記録及び/又は再生装置。
- 更に上記検出用レーザ光源と上記偏光ビームスプリッタとの光路中に配されたビームスプリッタを備えていることを特徴とする請求項44記載の記録及び/又は再生装置。
- 上記ビームスプリッタは、無偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項46記載の記録及び/又は再生装置。
- 上記検出部は、上記先端面で反射された上記検出用レーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタを透過し、上記ビームスプリッタで反射された光を検出することを特徴とする請求項46記載の記録及び/又は再生装置。
- 更に上記検出用レーザ光源から出射された検出用レーザ光を発散させて上記ダイクロイックミラーを介して上記収束レンズに入射させ、上記収束レンズの先端面で反射され上記ダイクロイックミラーを介した上記検出用レーザ光を収斂させる光学部を備えていることを特徴とする請求項44記載の記録及び/又は再生装置。
- 上記光学部は、凹レンズと凸レンズから構成されていることを特徴とする請求項49記載の記録及び/又は再生装置。
- 更に上記収束レンズと上記ダイクロイックミラーを介して上記記録媒体によって記録面によって反射され、上記収束レンズと上記ダイクロイックミラーを介した反射光を検出する信号検出部を備えていることを特徴とする請求項41記載の記録及び/又は再生装置。
- 更に上記反射光と上記記録及び/又は再生用光源から出射された記録及び/又は再生用レーザ光とを分離するビームスプリッタを備えていることを特徴とする請求項51記載の記録及び/又は再生装置。
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