JP2013504888A5 - モールドウエハからフィルムを分離させるための装置及び方法 - Google Patents

Description

モールドウエハからフィルムを分離させるための装置及び方法

本発明は、モールドウエハからフィルムを分離させるための装置及び方法に関する。

本発明及び取り組まれている問題は、いかなるディスク状のワークピースにも適用可能であるが、モールドウエハを参照して詳細に記述されるであろう。

本発明による装置は、特にウエハ製造ライン内に配置され、ディスク状のワークピース、特にモールドウエハ又はコンパウンドウエハからフィルムを分離するために使用される。モールドウエハ又はコンパウンドウエハは、個々のチップ、例えばシリコンチップをウエハ状の構造内に組み込むことによって製造されるコンポジットウエハであり、チップは、ディスク状の構造を構成するためにプラスチック材料によって共に接着される。この種のウエハの製造のための様々な作業ステップの過程において、ディスク状のワークピースに対する接着効果によって、フィルムが適用され、具体的には持続的に貼着され又は取り付けられる。これらのフィルムは、自己接着特性を有する。フィルムは、例えば保護又は被覆フィルムとして個々の処理ステップ中に使用されるが、それらはまた、ワークピースの処理のため、例えば個々のワークピースの部分の固定のため、或いは、接着処理のため及び工作機械によるワークピースの移送のためといった両面的な接着支援としても機能的に重要である。

モールドウエハが終了する前に、特にアセンブリラインタイプの処理方法において、可能な限り注意深くかつ確実に、そして可能な限り残留物のないように、特に、高速でかつ大きな信頼性とともに、フィルムをモールドウエハから分離させることが必要となる。

この目的は、請求項１の特徴を有する装置、及び／又は請求項８の特徴を有する方法によって達成される。

それによれば、下記の点が提供される。

モールドウエハからフィルムを分離させるための装置であって、前記モールドウエハを摩擦によって取り付けるための取付手段と、前記フィルムの一部を摩擦によって持ち上げ又は排出するためのフィルム操作部を伴う除去ローラであって、前記フィルム操作部が切替可能な真空／過剰圧力部として構成される除去ローラと、前記取付手段の表面に対して水平及び／又は垂直に前記除去ローラを移動させるための移動手段と、前記除去ローラの中心軸のまわりに前記除去ローラを回転させるための回転手段とを備える装置。

この種の装置を使用して、モールドウエハからフィルムを分離させるための方法であって、以下のステップ、
前記除去ローラを、前記除去ローラのパーキング位置から持ち上げ位置へと水平に移動させ、前記フィルム操作部が前記パーキング位置において前記フィルムと向かい合うステップと、フィルム操作部を起動させ、前記除去ローラを前記フィルムへと垂直に下降させるステップと、前記フィルムの前記一部を前記除去ローラに貼着させるステップと、前記除去ローラを前記モールドウエハから垂直に上昇させ、前記フィルムの前記一部を前記モールドウエハから少なくとも徐々に分離させるステップと、所定のラップ角度で、前記フィルムの前記一部を前記除去ローラ上に少なくとも徐々に巻き付けるために前記除去ローラを回転させ、同時に前記除去ローラを前記パーキング位置の方向に水平に移動させ、前記フィルムが前記モールドウエハから徐々に分離されるステップと、水平移動を同時に伴って、前記除去ローラの垂直エンド位置まで、前記除去ローラを前記モールドウエハから離して垂直に移動させるステップと、前記除去ローラを、前記パーキング位置を越えて排出位置まで水平に移動させ、前記フィルムが前記排出位置において、前記モールドウエハから完全に分離されるステップと、前記フィルム操作部が排出位置に位置するように、前記除去ローラを前記所定のラップ角度の一部で反対方向に回転させることによって、前記除去ローラに巻き付けられる前記フィルムの前記一部を前記除去ローラから解くステップと、前記フィルム操作部によって前記除去ローラから前記フィルムを排出するステップとを備える方法。

これに関し、フィルム、特にフィルムの一部が、除去ローラのフィルム操作部によって除去ローラに付着する。モールドウエハに対する除去ローラの水平及び垂直の移動が、残留物を残すことなく、モールドウエハからフィルムを自動的に素早く分離させる。

本発明の有利な構成及び発展が、そして図面との組み合わせによって、従属項及びその説明において提供される。

除去ローラの望ましい発展によれば、前記除去ローラ（１２）の前記フィルム操作部は、真空によって前記フィルムの前記一部を摩擦によって持ち上げるため、又は、過剰圧力によって前記フィルムの前記一部を排出するための、切替可能な真空／過剰圧力部として、特に、吸引／吹込ノズルとして、又は前記除去ローラの中心軸に沿って設けられる吸引／吹込スロットとして構成される。これは、フィルムの一部の確実な持ち上げ及び排出作用を保証する。

除去ローラのさらなる望ましい発展によれば、前記除去ローラは、前記フィルム操作部によって前記フィルムの前記一部の前記摩擦による持ち上げ又は排出を確定するための真空スイッチを有する。その結果として、フィルム操作部の操作が監視され、したがって、除去ローラの操作の信頼性が向上する。

装置の望ましい発展によれば、前記移動手段は、前記取付手段の前記表面に対して前記除去ローラを水平に移動させるための水平移動要素と、前記取付手段の前記表面に対して前記除去ローラを垂直に移動させるための垂直移動要素とを備える。これは、除去ローラがモールドウエハに対して急速かつ正確に配置されるということを可能にする。

装置のさらなる望ましい発展によれば、前記装置は、前記モールドウエハ及び／又は前記フィルムを１８０℃と２４０℃との間の温度に加熱するための加熱手段を備え、それ故、モールドウエハからのフィルムの確実な分離が保証される。

装置のさらなる望ましい発展によれば、前記取付手段は、前記取付手段のワークピースマウントを前記ワークピースマウントの回転軸のまわりに回転させるための駆動要素を備える。これは、フィルムが除去される前にワークピースマウントが回転させられることを可能にし、その結果、モールドウエハからのフィルムの分離角度が有利に調整され得る。これは、モールドウエハからのフィルムの除去を促進する。

装置のさらなる望ましい発展によれば、前記装置は、前記モールドウエハを越えて突出する前記フィルムの一部を吹き込むための吹込手段を備え、前記吹込手段は、前記除去ローラの方向に前記突出する一部を吹き込むように構成される。これは、除去ローラによる前記一部の確実な持ち上げを保証し、それによって、装置の信頼性が向上する。

本方法の望ましい発展によれば、前記除去ローラの前記回転移動、前記垂直移動及び前記水平移動が互いに融合して、その結果、前記フィルムが前記モールドウエハから円滑に分離される。これは、フィルムの残留物がモールドウエハ上に残留すること、又はモールドウエハが損傷することを確実に防止する。

本方法のさらなる望ましい発展によれば、前記フィルムは、１８０℃から２４０℃までの温度で、前記モールドウエハから分離される。これは、フィルムのモールドウエハからの簡単かつ完全な分離を保証する。

本方法のさらなる望ましい発展によれば、前記モールドウエハを越えて突出する前記フィルムの一部は、前記フィルムの前記一部を前記除去ローラに貼着させるために、吹込手段によって前記除去ローラの方向において吹き込まれる。これは、除去ローラによる真っ直ぐなフィルムの一部の持ち上げを与え、それによって、本方法の信頼性が向上する。

本方法のさらなる望ましい発展によれば、前記ラップ角度として１８０°が選択される。これは、フィルムの一部が除去ローラから滑り落ちることを確実に保証する。

本方法のさらなる望ましい発展によれば、前記取付手段の前記ワークピースマウントは、前記フィルムが除去される前に、除去角度で回転させられる。結果として、モールドウエハからのフィルムの分離角度は、有利に調整され、それによって、モールドウエハからのフィルムの分離を促進及び加速させる。

本方法のさらなる望ましい発展によれば、前記除去ローラからフィルム処理手段への前記フィルムの排出は、前記フィルム処理手段のライトグリッドによって監視される。結果として、除去ローラから分離されていないフィルムを確実に検出することが可能になり、その結果、本方法の異常の脆弱性が軽減される。

図１は、本発明の好ましい実施形態による装置の斜視図である。 図２は、図１による装置の断面図である。 図３Ａは、本発明の好ましい実施形態による除去ローラの平面図である。図３Ｂは、本発明のさらなる好ましい実施形態による除去ローラの平面図である。 図４は、図３ＡによるＩＶ−ＩＶ線に沿う除去ローラの断面図である。 図５は、本発明の好ましい実施形態による方法のフローチャートの例示である。 図６は、図５による方法のステップの実行中における図１による装置の断面図である。 図７は、図５による方法のさらなるステップの実行中における図１による装置の断面図である。 図８は、図５による方法のさらなるステップの実行中における図１による装置の断面図である。 図９は、図５による方法のさらなるステップの実行中における図１による装置の断面図である。 図１０は、図５による方法のさらなるステップの実行中における図１による装置の断面図である。 図１１は、図５による方法のさらなるステップの実行中における図１による装置の断面図である。 図１２は、図５による方法のさらなるステップの実行中における図１による装置の断面図である。 図１３は、図５による方法のさらなるステップの実行中における図１による装置の断面図である。

以下において、本発明は、添付図面を参照するとともに実施形態に基づいてより詳細に説明されるであろう。

図において、同じ参照符号は、他に示されない限り、同じ又は機能的に同一な要素を示す。

図１は、ディスク状のワークピース３、特にコンパウンドウエハ３又はモールドウエハ３からフィルム２を除去又は分離させるための装置１の斜視図である。図２は、図１による装置１の断面図である。図３は、除去ローラ１２の平面図であり、図４は、装置１の除去ローラ１２の断面図である。以下において、図１から図４に対する参照が同時に行われることとなる。装置１は、好ましくは、ディスク状のワークピース３をその表面１０に摩擦によって取り付けるための取付手段４を備える。取付手段４は、好ましくは、例えば駆動要素６によって、その回転軸７に対して回転可能なワークピースマウント５を備える。ワークピースマウント５は、実質的に、円盤状のワークピース支持部８と、ワークピース支持部８の外側に延びる円筒状のシャンク部９とを備える。ワークピース支持部８は、ディスク状のワークピース３が配置される表面１０を有する。ディスク状のワークピース３は、例えば真空によって取付手段４上に摩擦による形で固定される。この目的のために、ワークピース支持部８は、例えば、１つのみに参照番号が付された複数の真空孔１１を有し、それによって、ディスク状のワークピース３は、取付手段４の表面１０上に吸引によって引きつけられる。真空孔１１は、好ましくは、装置１の真空手段（図示せず）に積極的に接続される。シャンク部９は、好ましくは、ワークピース支持部８の表面１０から離れて、表面の外側に延びる。

装置１はまた、例えば、中心軸２５を伴う中空の円筒状に構成される除去ローラ１２を備える。除去ローラ１２は、好ましくは、フィルム２、具体的にはフィルム２の一部１４を摩擦によって吸い上げ又は吐き出すように構成されるフィルム操作部１３を有する。フィルム２の一部１４は、例えばフィルム２の端部１４又は周辺部１４である。フィルム２の一部１４は、例えば、ディスク状のワークピース３を越えて及び／又はワークピースマウント５を越えて突出し得る。フィルム操作部１３は、好ましくは、切替可能な真空−過剰圧力部１３として構成される。その代わりに、フィルム操作部１３は、フィルム２を掴むためのクランピンググリッパを伴う把持手段として構成され得る。例えば、図３Ａに例示されるように、フィルム操作部１３は、除去ローラ１２の中心軸２５に沿って設けられる吸引／吹出スロット１３として構成される。代替又追加として、図３Ｂによるフィルム操作部１３は、１又は複数の吸引／吹出ノズル１３として構成され得る。フィルム操作部１３は、フィルム２、特にフィルム２の一部１４を真空によって摩擦によって吸い上げるために構成され、或いは、フィルム２、特にその一部１４を過剰圧力によって除去ローラ１２から吐き出すために構成される。この目的のために、装置１は、例えば真空／過剰圧力手段（図示せず）を備える。したがって、フィルム操作部１３は、フィルム２、特にフィルム２の一部１４の摩擦による持ち上げ、及び、フィルム２、特にフィルム２の一部１４の除去ローラ１２からの摩擦による排出の両方を選択的に提供する。さらに、除去ローラ１２は、好ましくは、例えば真空スイッチ１５として構成される付着センサ１５を備える。付着センサ１５は、例えば除去ローラ１２の内側１６に設けられる。付着センサ１５の目的は、フィルム２、特にフィルム２の一部１４の摩擦による持ち上げ又は排出を、フィルム操作部１３によって確定することである。

さらに、装置１は、好ましくは、除去ローラ１２を取付手段４の表面１０に対して水平及び／又は垂直に移動させる移動手段１７を備える。移動手段１７は、好ましくは、除去ローラ１２を取付手段４の表面１０に対して水平に移動させるための水平移動要素１８を備える。水平移動要素１８は、好ましくは、例えば装置１の固定フレームプロファイル２０に対して直線的に移動可能なガイドプロファイル１９を有する。プロファイル１９，２０の相互の直線移動は、例えば電気モータによって実現される。装置１は、好ましくは、それぞれ除去ローラ１２の端部の両方に配置される２つの水平移動要素１８を備える。移動手段１７はまた、好ましくは、取付手段４の表面１０に対して除去ローラ１２を垂直に移動させるための垂直移動要素２１を備える。垂直移動要素２１は、例えば、ガイドプロファイル２２に沿って直線的に移動させられるスライディングボディ２３を備える。スライディングボディ２３は、例えば電気モータによって、ガイドプロファイル２２に対して移動させられ得る。ガイドプロファイル２２は、例えば、水平移動要素１７のガイドプロファイル１９に取り付けられる。装置１は、好ましくは、除去ローラ１２の端部にそれぞれ配置される２つの垂直移動要素２１を備える。除去ローラ１２は、好ましくは、その中心軸２５に対して回転可能となるように、垂直移動要素２１のスライディングボディ２３内に取り付けられる。

さらに、装置１は、好ましくは、その中心軸２５に対して除去ローラ１２を回転させるための回転手段２４を備える。回転手段２４は、例えば、除去ローラ１２に接続される電気モータを備える。電気モータは、例えば直接的に又はリダクションステージによって、例えばベルト駆動によって、除去ローラ１２に積極的に接続され得る。

装置はまた、ディスク状のワークピース３及び／又はフィルム２を所定の温度に加熱する加熱手段２６を備える。フィルム２は、例えば、感熱接着層とともに提供され、この層によってディスク状のワークピース３に貼着される。加熱手段２６は、例えば、赤外線ラジエータ２６として、又は、ホットエアファン２６として構成される。加熱手段２６は、例えば、取付手段４の一体的な要素であり、例えば、加熱手段２６は、ワークピース支持部８内に統合される加熱ループであり得る。代わりに、加熱手段２６は、取付手段４から離れて配置され得る。加熱手段２６は、好ましくは、ディスク状のワークピース３及び／又はフィルムを摂氏１８０°と２４０°の間の温度に加熱するために使用される。

装置１はまた、ディスク状のワークピース３を越えて突出するフィルム２の一部１４を吹き込むための吹込手段２７を備える。吹込手段２７は、例えば、１又は複数のエアノズル２７として構成される。吹込手段２７は、フィルム２の一部１４が除去ローラ１２の方向に曲がるように、ディスク状のワークピース３を越えて突出する前記一部を変形させる。吹込手段２７は、例えば取付手段４内に統合される。

以下において同時に参照されることになる図５から図１３は、図１から図４に係る種類の装置１を使用して、ディスク状のワークピース３からフィルム２を分離させるための方法を例示する。図６に示されるステップＳ１において、除去ローラ１２は、移動手段１７によって、特に移動手段１７の水平移動要素１８によって、除去ローラ１２におけるパーキング位置Ｐ１から除去ローラ１２における持ち上げ位置Ａへと水平に移動させられる。持ち上げ位置Ａにおいて、フィルム操作部１３は、回転手段２４によってフィルム２と向かい合う。ステップＳ１はまた、好ましくは、フィルム操作部１３の起動、例えば真空接続及び移動手段１７、特に移動手段１７の垂直移動要素２１による除去ローラ１２のフィルム２への垂直下降を含む。持ち上げ位置は、例えば、装置１の制御手段のソフトウェアの調整によって調整され得る。

図７によるステップＳ２において、フィルム２、特にフィルム２の一部１４は、フィルム操作部１３により、吸引によって除去ローラ１２上に引き付けられる。フィルム２の一部１４は、その後、除去ローラ１２に付着する。ステップＳ２は、一部１４がディスク状のワークピース３から突出している場合に、吹込手段２７によるフィルム２の一部１４の吹き込みを含み得る。吹き込み処理中に、一部１４は、そこに付着するように、除去ローラ１２の方向に吹き付けられる。これは、フィルム操作部１３による一部１４の持ち上げを促進する。フィルム２の除去ローラ１２上への吸引は、付着センサ１５によって監視される。

図８に例示されるステップＳ３において、除去ローラ１２は、移動手段１７、特に移動手段１７の垂直移動要素２１によって垂直に上昇させられ、フィルム２の一部１４は、ディスク状のワークピース３から少なくとも徐々に分離されていく。フィルム２及び／又はディスク状のワークピース３は、好ましくは、フィルム２を分離させるための加熱手段２６によって、事前に所定の温度に加熱されている。除去ローラ１２は、最初に、除去ローラ１２とディスク状のワークピース３との間の接触がちょうどなくなるまで、ディスク状のワークピース３から上げられる。

図９に例示されるように、ステップＳ４において、除去ローラ１２は、回転手段２４によって、所定のラップ角度αで回転し、同時に移動手段１７によってパーキング位置Ｐ１の方向において水平に移動する。その際、フィルム２は、除去ローラ１２上に徐々に巻き付けられる。ラップ角度αは、好ましくは、１８０°であり、すなわち、フィルム操作部１３は、回転後にはディスク状のワークピース３から離れている。除去ローラ１２の回転と同時に、前記ローラは、移動手段１７、特に水平移動要素１８によって、パーキング位置Ｐ１の方向に水平に移動させられる。その際、フィルム２は、ディスク状のワークピース３から徐々に分離させられる。除去ローラ１２の回転及びその同時の水平移動は、所定の比率で行われる。ラップ角度α又は除去ローラ１２上のフィルム２のラップ半径は、例えば、装置１の制御手段のソフトウェアの調整によって調整され得る。ステップＳ４は、除去ローラ１２がラップ角度αで回転した後に、さらに水平に移動し、パーキング位置Ｐ１の方向におけるその水平直線移動中に、ディスク状のワークピース３との衝突を防止すべく、ディスク状のワークピース３から安全な間隔で垂直に上昇させられる中間ステップを含んでもよい。

図１０に例示されるように、ステップＳ５において、除去ローラ１２は、移動手段１７によって、ディスク状のワークピース３からさらに垂直に離れるように移動し、同時に、除去ローラ１２が垂直エンド位置Ｖに到達するまで、さらに水平に移動する。垂直エンド位置Ｖは、パーキング位置Ｐ１の垂直位置に対応し得る。垂直エンド位置Ｖに到達すると、除去ローラ１２は、パーキング位置Ｐ１の方向にさらに水平に移動し、それに伴い、フィルム２は、分離角度χで、ディスク状のワークピース３からさらに分離される。分離角度χは、取付手段４の表面１０と分離されているフィルム２との間の角度で決まる。

図１１に例示されるように、ステップＳ６において、除去ローラ１２は、移動手段１７、特に移動手段１７の水平移動要素１８によって除去ローラ１２のパーキング位置Ｐ１を越えて、排出位置Ｐ２又は最後尾のパーキング位置Ｐ２へと移動する。排出位置Ｐ２に到達すると、フィルム２は、好ましくは、ディスク状のワークピース３から完全に分離している。除去ローラ１２の全ての水平、垂直、半径方向の移動は、好ましくは、ディスク状のワークピース３からのフィルム２の除去処置中に互いに融合し、その結果、ディスク状のワークピース３からのフィルム２の統一的な除去作用が保証され、そして、フィルム２は円滑にそこから除去される。フィルム２がディスク状のワークピース３から分離されているときに、除去ローラ１２は、好ましくは、所定の軌道を辿る。その軌道は、例えば、機械的な案内によって、特に、接続リンクガイドによって、又は移動手段１７の電気モータの適切な制御手段によって進められる。除去ローラ１２の水平、垂直及び半径方向の移動速度は、好ましくは、互いに適合され、その結果、ディスク状のワークピース３からのフィルム２の緩やかで円滑な除去が常に保証される。

図１２に例示されるように、ステップＳ７において、回転手段２４による反対方向への除去ローラ１２の回転によって、除去ローラ１２に巻き付けられるフィルム２の一部１４は、除去ローラ１２から再び解ける。その際、除去ローラ１２は、所定のラップ角度αの一部φで回転し、その結果、フィルム操作部１３は、排出位置に配置される。フィルム操作部１３の排出位置において、フィルム操作部１３の中心軸２９は、好ましくは、取付手段４の表面１０に対して平行に配列される。除去ローラ１２の内側１６に行き渡っている真空は切断され、例えば過剰圧力が除去ローラ１２の内側１６に生じ、その結果、圧力サージがフィルム２の一部１４をフィルム操作部１３の外側に吹き込む。除去ローラ１２からのフィルム２の的確な排出は、付着センサ１５によって監視される。フィルム２は、好ましくは、フィルム処理手段３０の廃棄物用コンテナ内に置かれ、その的確な配置は、フィルム処理手段３０の排出センサ３１によって監視される。排出センサ３１は、好ましくは、ライトグリッド３１として構成される。フィルム２が除去ローラ１２から除去された後に、前記ローラは、そのパーキング位置Ｐ１に復帰できる。

ステップＳ２において、フィルム２が除去ローラ１２によって持ち上げられない場合、又は、本方法の後続のステップの１つにおいて、不意に除去ローラ１２からフィルム２が分離された場合には、この異常は、付着センサ１５によって検出されることになり、装置は、例えば故障信号を発信する。機械のオペレータは、その後、フィルム２を例えば手動で除去でき、そして誤った処理を認識できる。

図１３によれば、フィルム２がディスク状のワークピース３から除去される前に、ディスク状のワークピース３から引きはなされているフィルム２の分離エッジ３２とディスク状のワークピース３との間の除去角度βが、その回転軸７の周りにワークピースマウント５を回転させることによって調整され得る。その結果、フィルム２は、真っ直ぐな形で除去されずに、ディスク状のワークピース３のチップパス３３から斜めに除去される。その結果として、除去ローラ１２は、チップパス３３に対して直角に進行せずに、斜めに進行する。フィルム２の除去中の急な動きが防止される。ワークピースマウント５は、例えば、フィルム２が持ち上げられる前に回転させられてもよい。

フィルム２を除去するための装置１及び方法は、加熱手段２６とともに説明されたが、前記加熱手段２６は、装置１及び／又は方法の単に任意選択的な要素である。加熱処理２６がなくても可能である。加熱手段２６の任意選択的な使用は、例えば、フィルム２とディスク状のワークピース３との間に使用される接着層の種類次第である。

１…装置、２…フィルム、３…ディスク状のワークピース、４…取付手段、５…ワークピースマウント、６…駆動要素、７…回転軸、８…ワークピース支持部、９…シャンク部、１０…表面、１１…真空孔、１２…除去ローラ、１３…フィルム操作部、１４…一部、１５…付着センサ、１６…内側、１７…移動手段、１８…水平移動要素、１９…ガイドプロファイル、２０…フレームプロファイル、２１…垂直移動要素、２２…ガイドプロファイル、２３…スライディングボディ、２４…回転手段、２５…中心軸、２６…加熱手段、２７…吹込手段、２８…中心軸、３０…フィル処理手段、３１…排出センサ、３２…分離エッジ、３３…チップパス、Ａ…持ち上げ位置、Ｐ１…パーキング位置、Ｐ２…排出位置、Ｖ…垂直エンド位置、α…ラップ角度、β…除去角度、χ…分離角度、φ…角度部分

Claims (14)

1. モールドウエハ（３）からフィルム（２）を分離させるための装置（１）であって、
   前記モールドウエハ（３）を摩擦によって取り付けるための取付手段（４）と、
   前記フィルム（２）の一部（１４）を摩擦によって持ち上げ又は排出するためのフィルム操作部（１３）を伴う除去ローラ（１２）であって、前記フィルム操作部（３）が切替可能な真空／過剰圧力部（１３）として構成される除去ローラと、
   前記取付手段（４）の表面（１０）に対して水平及び／又は垂直に前記除去ローラ（１２）を移動させるための移動手段（１７）と、
   前記除去ローラ（１２）の中心軸（２５）のまわりに前記除去ローラ（１２）を回転させるための回転手段（２４）とを備える装置。
2. 前記移動手段（１７）は、前記取付手段（４）の前記表面（１０）に対して前記除去ローラ（１２）を水平に移動させるための水平移動要素（１８）と、前記取付手段（４）の前記表面（１０）に対して前記除去ローラ（１２）を垂直に移動させるための垂直移動要素（２１）とを備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 前記装置（１）は、前記モールドウエハ（３）及び／又は前記フィルム（２）を１８０℃と２４０℃との間の温度に加熱するための加熱手段（２６）を備える請求項１又は２に記載の装置。
4. 前記取付手段（４）は、前記取付手段（４）のワークピースマウント（５）を前記ワークピースマウント（５）の回転軸（７）のまわりに回転させるための駆動要素（６）を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の装置。
5. 前記装置（１）は、前記モールドウエハ（３）を越えて突出する前記フィルム（２）の一部（１４）を吹き込むための吹込手段（２７）を備え、前記吹込手段（２７）は、前記除去ローラ（１２）の方向に前記突出する一部（１４）を吹き込むように構成される請求項１から４のいずれか１項に記載の装置。
6. 前記除去ローラ（１２）の前記フィルム操作部（１３）は、真空によって前記フィルム（２）の前記一部（１４）を摩擦によって持ち上げるため、又は、過剰圧力によって前記フィルム（２）の前記一部（１４）を排出するための吸引／吹込ノズル（１３）として、又は前記除去ローラ（１２）の中心軸（２５）に沿って設けられる吸引／吹込スロット（１３）として構成されることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の装置。
7. 前記除去ローラ（１２）は、前記フィルム操作部（１３）によって前記フィルム（２）の前記一部（１４）の前記摩擦による持ち上げ又は排出を確定するための真空スイッチ（１５）を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
8. 請求項１から７のいずれか１項に記載の装置（１）によって、モールドウエハ（３）からフィルム（２）を分離させるための方法であって、以下のステップ、
   前記除去ローラ（１２）を、前記除去ローラ（１２）のパーキング位置（Ｐ１）から持ち上げ位置（Ａ）へと水平に移動させ、前記フィルム操作部（１３）が前記持ち上げ位置（Ａ）において前記フィルム（２）と向かい合うステップと、
   フィルム操作部（１３）を起動させ、前記除去ローラ（１２）を前記フィルム（２）へと垂直に下降させるステップと、
   前記フィルム（２）の前記一部（１４）を前記除去ローラ（１２）に貼着させるステップと、
   前記除去ローラ（１２）を前記モールドウエハ（３）から垂直に上昇させ、前記フィルム（２）の前記一部（１４）を前記モールドウエハ（３）から少なくとも徐々に分離させるステップと、
   所定のラップ角度（α）で、前記フィルム（２）の前記一部（１４）を前記除去ローラ（１２）上に少なくとも徐々に巻き付けるために前記除去ローラ（１２）を回転させ、同時に前記除去ローラ（１２）を前記パーキング位置（Ｐ１）の方向に水平に移動させ、前記フィルム（２）が前記モールドウエハ（３）から徐々に分離されるステップと、
   水平移動を同時に伴って、前記除去ローラ（１２）の垂直エンド位置（Ｖ）まで、前記除去ローラ（１２）を前記モールドウエハ（３）から離して垂直に移動させるステップと、
   前記除去ローラ（１２）を、前記パーキング位置（Ｐ１）を越えて排出位置（Ｐ２）まで水平に移動させ、前記フィルム（２）が前記排出位置（Ｐ２）において、前記モールドウエハ（３）から完全に分離されるステップと、
   前記フィルム操作部（１３）が排出位置に位置するように、前記除去ローラ（１２）を前記所定のラップ角度（α）の一部（φ）で反対方向に回転させることによって、前記除去ローラ（１２）に巻き付けられる前記フィルム（２）の前記一部（１４）を前記除去ローラ（１２）から解くステップと、
   前記フィルム操作部（１３）によって前記除去ローラ（１２）から前記フィルム（２）を排出するステップとを備える方法。
9. 前記除去ローラ（１２）の前記回転移動、前記垂直移動及び前記水平移動が互いに融合して、前記フィルム（２）が前記モールドウエハ（３）から円滑に分離されることを特徴とする請求項８に記載の方法。
10. 前記フィルム（２）は、１８０℃から２４０℃までの温度で、前記モールドウエハ（３）から分離されることを特徴とする請求項８又は９に記載の方法。
11. 前記モールドウエハ（３）を越えて突出する前記フィルム（２）の一部（１４）は、前記フィルム（２）の前記一部（１４）を前記除去ローラ（１２）に貼着させるために、吹込手段（２７）によって前記除去ローラ（１２）の方向において吹き込まれることを特徴とする請求項８から１０のいずれか１項に記載の方法。
12. 前記ラップ角度（α）として１８０°が選択されることを特徴とする請求項８から１１のいずれか１項に記載の方法。
13. 前記取付手段（４）の前記ワークピースマウント（５）は、前記フィルム（２）が除去される前に、除去角度（β）で回転させられることを特徴とする請求項８から１２のいずれか１項に記載の方法。
14. 前記除去ローラ（１２）からフィルム処理手段（３０）への前記フィルム（２）の排出は、前記フィルム処理手段（３０）のライトグリッド（３１）によって監視されることを特徴とする請求項８から１１のいずれか１項に記載の方法。