JP2013197396A - 半導体記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態によれば、半導体基板100と、前記半導体基板の表面方向に沿って複数層に積層される複数の絶縁層303及び複数の第1配線層302と、前記複数の第1配線層と交差する方向に配置される複数の第2配線層305と、前記第1、第2配線層が交わる交点に配置される複数の抵抗変化膜304と有する複数のメモリセルMCを備えるメモリセルアレイMAとを具備する半導体記憶装置であって、前記抵抗変化膜304と接する前記第1配線層302の端部が、前記表面方向(x方向)において、前記絶縁層303の端部よりも内側である。
【選択図】図7
Description
下記の実施形態と比較するために、参考例について説明する。
<1.構成例>
まず、第1の実施形態に係る半導体記憶装置の構成例について説明する。
まず、図1を用い、第1の実施形態に係る半導体記憶装置の全体構成例について説明する。
図示するように、本例に係る半導体記憶装置は、メモリブロック20、アドレスバッファ14−1、コマンドバッファ14−2、ヒューズ用レジスタ15、パワーオンリセット回路16、制御回路17、電圧生成回路18、および入出力バッファ19を備える。
ロウデコーダ11は、ロウアドレスをデコードする。ロウデコーダ11は、ワード線を駆動する駆動回路を備える(図示せず)。
カラムデコーダ12は、カラムアドレスをデコードする。カラムデコーダ12は、ビット線を駆動する駆動回路を備える(図示せず)。
パワーオンリセット回路16は、この半導体記憶装置のパワーオンを検知してリセット信号を制御回路17に出力する。
電圧生成回路18は、ロウデコーダ11、カラムデコーダ12、センスアンプ13に電気的に接続され、制御回路17の制御に従ってこれらの回路に必要な電圧を供給する。
入出力バッファ19は、センスアンプ13およびヒューズ用レジスタ15にデータバス線を介して電気的に接続され、外部のホスト装置等のデータ(Data)、アドレス(Address)、コマンド(Command)を保持する。
制御回路17は、上記回路を制御する。例えば、制御回路17は、上記回路を制御し、後述するSet, Reset, Read, and Sensing operation等を行う。
次に、図2を用い、図1中のメモリブロック20の3次元構成(3D Structure)について説明する。
図示するように、第1の実施形態に係るメモリブロック20は、グローバルバス等の配線やトランジスタが形成される周辺領域23、及びワード線コンタクト領域25上に積層される複数層(この例では、4層)のメモリセルアレイMA0〜MA3を備える。
次に、図3を用い、各メモリセルアレイ(MA)の構成例について説明する。ここでは、図2で示したメモリセルアレイMA0を一例に挙げる。
可変抵抗素子33の電流経路の一端は、複数のワード線WLのいずれかに接続され、他端はビット線BLに接続される。可変抵抗素子33は、例えば、金属酸化物からなり、タンタル、ニオブ、タングステン、ニッケル、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、遷移金属を含む金属酸化物、もしくはシリコン、アルミニウム等の合金から構成される。尚、メモリセルMCの構成は、本例に示す形態に限らない。
次に、図4を用い、本例に係るSet, Reset, Read動作について簡単に説明する。
(Set)
まず、メモリセルのデータ書き込み動作(Set)について、簡単に説明する。
データを書き込むためには、選択されたメモリセルの可変抵抗素子33に電圧を印加し、その選択可変抵抗素子33内に電位勾配を発生させて電流を流すことにより行う。
例えば、ワード線WLの電位がビット線BLの電位よりも相対的に低い状態を作る。図示するように、例えば、時間tsetの間、ワード線WLに接地電位を与え、ビット線BLに書込み電圧(Vset)を与える。
メモリセルのデータ消去動作(Reset)は、選択された可変抵抗素子33を電流パルスによりジュール加熱して、その可変抵抗素子VRにおける酸化還元反応を促進させること等により行う。
メモリセルのデータ読み出し動作(Read)は、例えば、電圧パルスを選択された可変抵抗素子33に印加し、そのメモリセルの抵抗によって定まる電流をセンスアンプ13により、検出することにより行う。ここで、この電圧パルスは、可変抵抗素子33を構成する材料が状態変化を起こさない程度の微小な振幅とすることが望ましい。そして、読み出し電圧を、ビット線BLから選択メモリセルに印加し、センスアンプ13によりそのときの電流値を測定することにより行う。
例えば、図示するように、時間treadの間、読み出し電圧(Vread)を、ビット線BLから選択メモリセル与えることにより行う。
次に、図5を用い、参考例に係るメモリセルアレイMAの断面構成について説明する。
図示するように、参考例に係るメモリセルアレイの断面構造では、縦方向(z方向)に、導電性層302、絶縁性層303が積層される。そして、導電性層302と対向電極となる導電性層305との間に挟まれた抵抗変化層304を備える。
次に、本例に係るメモリセルアレイMAの平面及び断面構成について説明する。
図6は、メモリセルアレイMAの平面構造である。
図示するように、二端子素子を形成する領域が円柱状であって、抵抗変化層304によって隔離される複数の単位メモリセルMCが配置される。例えば、図中で囲って示す単位メモリセルMCは、二端子素子を形成する領域が円柱状であって、対向電極305(BL)と導電層302(WL)との間に挟まれた抵抗変化層304の接点に形成される。対向電極305(BL)及び導電層302(WL)に流れる電流より形成される抵抗変化層304中の可変抵抗が、単位メモリセルMCの可変抵抗素子33となる。
図示するように、半導体基板(Si-sub)100の表面上に、導電層302(WL)及び絶縁層303が積層される。導電層302(WL)及び絶縁層303の積層中を層間絶縁膜301まで貫通するように、対向電極305および抵抗変化層304が配置される。例えば、図中で囲って示す単位メモリセルMCは、対向電極305(BL)と導電層302(WL)との間に挟まれた抵抗変化層304の接点に形成される。
次に、第1の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法について説明する。
第1の実施形態に係る半導体記憶装置及びその製造方法によれば、少なくとも下記(1)の効果が得られる。
次に、第2の実施形態に係る半導体記憶装置及びその製造方法について説明する。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
図15に示すように、メモリセルアレイを駆動する周辺回路23が形成された基板(図示せず)上に、層間絶縁膜301が形成される。層間絶縁膜301上に、複数の導電性層302と絶縁性層303とが繰り返し積層されている。
第2の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法は、まず、上記と同様の製造工程を用い、導電性層702、絶縁性層703の積層構造を形成する。
第2の実施形態に係る半導体記憶装置及びその製造方法によれば、少なくとも下記(1)と同様の効果が得られる。
次に、第3の実施形態に係る半導体記憶装置及びその製造方法について説明する。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
図17に示すように、メモリセルアレイを駆動する周辺回路23が形成された基板(図示せず)上に、層間絶縁膜301が設けられる。層間絶縁膜301上に、複数の導電性層302と絶縁性層303とが繰り返し積層されており、導電性層302は絶縁性層303よりもセル端から内側に配置され、かつ導電性層302が凸形状の先端部320を備えている点で、上記実施形態と相違する。
第3の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法は、まず、上記と同様の製造工程を用い、導電性層702、絶縁性層703の積層構造を形成する。続いて、上記と同様の製造方法により、導電性層702を絶縁性層703に対して、x方向に沿って、内側に後退させる。
第3の実施形態に係る半導体記憶装置及びその製造方法によれば、少なくとも下記(1)と同様の効果が得られる。
次に、第4の実施形態に係る半導体記憶装置及びその製造方法について説明する。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
図19に示すように、本例に係る半導体記憶装置は、メモリセルアレイを駆動する周辺回路23が形成された基板(図示せず)上に、層間絶縁膜301が形成される。さらに、複数の導電性層302と絶縁性層303が繰り返し積層されており、導電性層302は絶縁性層303よりもセル端から内側に配置され、導電性層302が凸形状の先端部320であり、絶縁性層303がz方向において下に凸形状である。
製造方法に関しては、上記実施形態と実質的に同様であるため、詳細な説明を省略する。
第4の実施形態に係る半導体記憶装置及びその製造方法によれば、少なくとも下記(1)と同様の効果が得られる。
次に、第5の実施形態に係る半導体記憶装置及びその製造方法について説明する。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
図20に示すように、本例に係る半導体記憶装置は、メモリセルアレイを駆動する周辺回路23が形成された基板(図示せず)上に、層間絶縁膜301が形成される。導電性層302及び抵抗性層304は、絶縁性層303よりもセル端からx方向に内側に配置されており、導電性層302に接する領域にのみ抵抗変化層304が形成される。換言すると、抵抗変化膜304は、絶縁性層303よりもセル端からx方向に沿った内側にのみに配置される。
製造方法に関しては、上記実施形態と実質的に同様であるため、詳細な説明を省略する。
第5の実施形態に係る半導体記憶装置及びその製造方法によれば、少なくとも下記(1)と同様の効果が得られる。
Claims (7)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の表面方向に沿って複数層に積層される複数の絶縁層及び複数の第1配線層と、前記複数の第1配線層と交差する方向に配置される複数の第2配線層と、前記第1、第2配線層が交わる交点に配置される複数の抵抗変化膜と有する複数のメモリセルを備えるメモリセルアレイとを具備する半導体記憶装置であって、
前記抵抗変化膜と接する前記第1配線層の端部が、前記表面方向において、前記絶縁層の端部よりも内側である。 - 前記抵抗変化層と接する前記絶縁層の電極端部が凸形状である
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記抵抗変化層と接する前記第1配線層の電極端部が凸形状である
請求項1又は2に記載の半導体記憶装置。 - 前記第2配線層と接する抵抗変化層が、前記表面方向において、前記絶縁層の端部よりも内側に設けられる
請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体記憶装置。 - 半導体基板上に、層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜上に、第1配線層と第1絶縁層とを交互に積層して積層膜を形成する工程と、
前記積層膜に、前記層間絶縁膜の表面上までの溝を形成する工程と、
前記溝の内部を第2絶縁膜で埋める工程と、
セル部における前記第2絶縁膜に、前記前記層間絶縁膜の表面上までの穴を形成する工程と、
前記セル部における前記穴中の前記第1配線層の端部を、表面方向において、前記第1絶縁層の端部よりも内側となるように、後退させる工程と、
前記穴の側壁上に抵抗変化膜を形成する工程と、
前記抵抗変化膜上に第2配線層を形成し、前記穴の内部を埋め込む工程とを具備する
半導体記憶装置の製造方法。 - 前記セル部における前記穴中の前記第1配線層の端部を、表面方向において、前記第1絶縁層の端部よりも内側となるように、後退させた後に、
前記第1絶縁層の端部をエッチングして凸形状を形成し、上下において非対称な前記第1絶縁層の端部を形成する工程を更に具備する
請求項5に記載の半導体記憶装置の製造方法。 - 前記セル部における前記穴中の前記第1配線層の端部を、表面方向において、前記第1絶縁層の端部よりも内側となるように、後退させた後に、
第1配線層の先端部を、前記表面方向において成長させ、凸形状を形成する工程とを更に具備する
請求項5又は6に記載の半導体記憶装置の製造方法。
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