JP2013194279A5 - - Google Patents

Description

本発明の要旨は次のとおりである。
（１）基材、前記基材上に積層される金属Ｍ１および金属Ｍ２、さらに選択的に金属Ｍ３を組み合わせた合金の低級酸化物層からなる密着層、前記密着層上に積層される金属Ｍ４および金属Ｍ５、さらに選択的に金属Ｍ６を組み合わせた合金と窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる傾斜密着層、前記傾斜密着層上に積層される金属Ｍ７および金属Ｍ８、さらに選択的に金属Ｍ９を組み合わせた合金と窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる耐磨耗層、前記耐磨耗層上に積層される金属Ｍ１０および金属Ｍ１１、さらに選択的に金属Ｍ１２を組み合わせた合金と窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる色上げ傾斜層、及び前記色上げ傾斜層の上に積層される有色装飾層から構成される有色硬質装飾部材であって、前記金属Ｍ１、Ｍ４、Ｍ７及びＭ１０は、それぞれＭｏ、Ｗの１種又は２種から選ばれ、前記金属Ｍ２、Ｍ５、Ｍ８及びＭ１１は、それぞれ、Ｎｂ、Ｔａの１種又は２種から選ばれ、前記金属Ｍ３、Ｍ６、Ｍ９及びＭ１２はＣｒ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｚｒの１種又は２種以上から選ばれ、前記傾斜密着層を構成する反応化合物における非金属元素の含有量が基材から離れるにつれて厚さ方向に傾斜的に増加し、前記色上げ傾斜層を構成する反応化合物における非金属元素の含有量が基材から離れるにつれて厚さ方向に傾斜的に減少することを特徴とする有色硬質装飾部材。
（２）前記有色装飾層は、Ｐｔ、Ｐｄ又はＲｈの白色貴金属膜であり、前記色上げ傾斜層との境界に前記色上げ傾斜層中の金属と前記白色貴金属との金属間化合物が形成されていることを特徴とする上記（１）に記載の有色硬質装飾部材。
（３）前記有色装飾層は、Ｔｉ、Ｚｒ又はＨｆの窒化物、炭化物、炭窒化物、又は窒酸化物からなる硬質膜であることを特徴とする上記（１）に記載の有色硬質装飾部材。
（４）前記有色装飾層は、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）硬質膜であることを特徴とする上記（１）に記載の有色硬質装飾部材。
（５）前記有色装飾層は、誘電体膜を単層又は多層で形成されてなる誘電体層であることを特徴とする上記（１）に記載の有色硬質装飾部材。
（６）前記色上げ傾斜層と前記有色装飾層と間にＳｉ又はＴｉからななる密着層が単層又は多層で形成されていることを特徴とする上記（４）又は（５）に記載の有色硬質装飾部材。
（７）前記有色装飾層は、ツートン構造であることを特徴とする上記（１）〜（６）のいずれかに記載の有色硬質装飾部材。
（８）基材上に、金属Ｍ１および金属Ｍ２、さらに選択的に金属Ｍ３を組み合わせた合金の低級酸化物層からなる密着層を積層し、前記密着層上に金属Ｍ４および金属Ｍ５、さらに選択的に金属Ｍ６を組み合わせた合金の窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる傾斜密着層を、前記傾斜密着層を構成する反応混合物中の非金属元素の含有量が基材から離れるにつれて厚さ方向に傾斜的に増加するように積層させ、前記傾斜密着層上に金属Ｍ７および金属Ｍ８、さらに選択的に金属Ｍ９を組み合わせた合金の窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる耐磨耗層を積層させ、次いで、前記耐磨耗層上に金属Ｍ１０および金属Ｍ１１、さらに金属Ｍ１２を組み合わせた合金の窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる色上げ傾斜層を、前記色上げ傾斜層を構成する反応化合物における非金属元素の含有量が基材から離れるにつれて厚さ方向に傾斜的に減少するように積層し、さらに前記色上げ傾斜層上に有色装飾層を積層する有色硬質装飾部材の製造方法であって、前記金属Ｍ１、Ｍ４、Ｍ７及びＭ１０は、それぞれＭｏ、Ｗの１種又は２種から選ばれ、前記金属Ｍ２、Ｍ５、Ｍ８及びＭ１１は、それぞれＮｂ、Ｔａの１種又は２種から選ばれ，前記金属Ｍ３、Ｍ６、Ｍ９及びＭ１２は、それぞれＣｒ，Ｔｉ，Ｈｆ、Ｚｒの１種または２種以上から選ばれる有色硬質装飾部材の製造方法。
（９）反応性スパッタリング法により、前記密着層、前記傾斜密着層、前記耐磨耗層、前記色上げ傾斜層及び前記有色装飾層の少なくとも１つを積層することを特徴とする上記（８）に記載の有色硬質装飾部材の製造方法。
（１０）反応性スパッタリング法において、前記非金属元素を含む反応ガス量を時系列的に増加又は減少させることにより前記傾斜密着層及び前記色上げ傾斜層を積層することを特徴とする上記（９）に記載の有色硬質装飾部材の製造方法。
（１１）さらに、前記有色装飾層の一部にマスクを塗布し、前記有色装飾層のマスクされていない部分を酸またはアルカリにより剥離させることにより前記有色装飾層をツートン構造とする上記（８）〜（１０）のいずれか１項に記載の有色硬質装飾部材の製造方法。

Claims (11)

1. 基材、前記基材上に積層される金属Ｍ１および金属Ｍ２、さらに選択的に金属Ｍ３を組み合わせた合金の低級酸化物層からなる密着層、前記密着層上に積層される金属Ｍ４および金属Ｍ５、さらに選択的に金属Ｍ６を組み合わせた合金と窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる傾斜密着層、前記傾斜密着層上に積層される金属Ｍ７および金属Ｍ８、さらに選択的に金属Ｍ９を組み合わせた合金と窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる耐磨耗層、前記耐磨耗層上に積層される金属Ｍ１０および金属Ｍ１１、さらに選択的に金属Ｍ１２を組み合わせた合金と窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる色上げ傾斜層、及び前記色上げ傾斜層の上に積層される有色装飾層から構成される有色硬質装飾部材であって、前記金属Ｍ１、Ｍ４、Ｍ７及びＭ１０は、それぞれＭｏ、Ｗの１種又は２種から選ばれ、前記金属Ｍ２、Ｍ５、Ｍ８及びＭ１１は、それぞれ、Ｎｂ、Ｔａの１種又は２種から選ばれ、前記金属Ｍ３、Ｍ６、Ｍ９及びＭ１２はＣｒ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｚｒの１種又は２種以上から選ばれ、前記傾斜密着層を構成する反応化合物における非金属元素の含有量が基材から離れるにつれて厚さ方向に傾斜的に増加し、前記色上げ傾斜層を構成する反応化合物における非金属元素の含有量が基材から離れるにつれて厚さ方向に傾斜的に減少することを特徴とする有色硬質装飾部材。
2. 前記有色装飾層は、Ｐｔ、Ｐｄ又はＲｈの白色貴金属膜であり、前記色上げ傾斜層との境界に前記色上げ傾斜層中の金属と前記白色貴金属との金属間化合物が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の有色硬質装飾部材。
3. 前記有色装飾層は、Ｔｉ、Ｚｒ又はＨｆの窒化物、炭化物、炭窒化物、又は窒酸化物からなる有色硬質膜であることを特徴とする請求項１に記載の有色硬質装飾部材。
4. 前記有色装飾層は、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）硬質膜であることを特徴とする請求項１に記載の有色硬質装飾部材。
5. 前記有色装飾層は、誘電体膜が単層又は多層形成されてなる誘電体層であることを特徴とする請求項１に記載の有色硬質装飾部材。
6. 前記色上げ傾斜層と前記有色装飾層と間にＳｉ又はＴｉからななる密着層を単層又は多層で形成されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の有色硬質装飾部材。
7. 前記装飾膜は、ツートン構造であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の有色硬質装飾部材。
8. 基材上に、金属Ｍ１および金属Ｍ２、さらに選択的に金属Ｍ３を組み合わせた合金の低級酸化物層からなる密着層を積層し、前記密着層上に金属Ｍ４および金属Ｍ５、さらに選択的に金属Ｍ６を組み合わせた合金の窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる傾斜密着層を、前記傾斜密着層を構成する反応混合物中の非金属元素の含有量が基材から離れるにつれて厚さ方向に傾斜的に増加するように積層させ、前記傾斜密着層上に金属Ｍ７および金属Ｍ８、さらに選択的に金属Ｍ９を組み合わせた合金の窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる耐磨耗層を積層させ、次いで、前記耐磨耗層上に金属Ｍ１０および金属Ｍ１１、さらに金属Ｍ１２を組み合わせた合金の窒素、炭素、酸素の１種又は２種以上から選ばれる非金属元素との反応化合物からなる色上げ傾斜層を、前記色上げ傾斜層を構成する反応化合物における非金属元素の含有量が基材から離れるにつれて厚さ方向に傾斜的に減少するように積層し、さらに前記色上げ傾斜層上に有色装飾層を積層する有色硬質装飾部材の製造方法であって、前記金属Ｍ１、Ｍ４、Ｍ７及びＭ１０は、それぞれＭｏ、Ｗの１種又は２種から選ばれ、前記金属Ｍ２、Ｍ５、Ｍ８及びＭ１１は、それぞれＮｂ、Ｔａの１種又は２種から選ばれ，前記金属Ｍ３、Ｍ６、Ｍ９及びＭ１２は、それぞれＣｒ，Ｔｉ，Ｈｆ、Ｚｒの１種または２種以上から選ばれる有色硬質装飾部材の製造方法。
9. 反応性スパッタリング法により、前記密着層、前記傾斜密着層、前記耐磨耗層、前記色上げ傾斜層及び前記有色装飾層の少なくとも１つを積層することを特徴とする請求項８に記載の有色硬質装飾部材の製造方法。
10. 反応性スパッタリング法において、前記非金属元素を含む反応ガス量を時系列的に増加又は減少させることにより前記傾斜密着層及び前記色上げ傾斜層を積層することを特徴とする請求項９に記載の有色硬質装飾部材の製造方法。
11. さらに、前記有色装飾層の一部にマスクを塗布し、前記有色装飾層のマスクされていない部分を酸またはアルカリにより剥離させることにより前記有色装飾層をツートン構造とする請求項８〜１０のいずれか１項に記載の有色硬質装飾部材の製造方法。