JP2013190937A - 半導体集積回路の電源ノイズ解析装置及び電源ノイズ解析方法 - Google Patents

半導体集積回路の電源ノイズ解析装置及び電源ノイズ解析方法 Download PDF

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Abstract

【課題】電源ノイズ解析の精度を維持しながら、解析に必要な時間を短縮する。
【解決手段】電源モデル生成装置101は、集積回路の電源配線のモデルを示す電源モデルを生成する。消費電流解析装置111は、回路ブロックのそれぞれについて、予め決められた電源電圧を印加したときの消費電流を計算する。消費電流合成装置121は、各回路ブロックの消費電流を合成して集積回路の全体消費電流を計算する。電源電圧解析装置131はり、電源モデルに対して全体消費電流を印加したときの集積回路の電源電圧を計算する。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体集積回路の電源ノイズ解析装置及び電源ノイズ解析方法に関する。
LSIなどの半導体集積回路の製造では、従来より、量産を開始する前段階の工程として、設計された集積回路が設計者の要求する仕様(又は、所定の規格、所望の機能、など)を満たすかを試作により検証する実機検証工程が必須である。この実機検証工程において試作した実デバイスの特性が要求仕様を満たさなかった場合、設計変更には多大な費用と時間がかかってしまう。そこで、要求仕様を実現するために、集積回路の設計段階において、チップのみでなくパッケージやプリント回路基板を加味した検証工程を実施することが求められている。特に、近年の集積回路の高速化に伴う消費電流増加により集積回路内部の電源ノイズが無視できなくなっているので、検証工程においてより高精度に電源ノイズを解析する技術が求められている。
電源ノイズを解析する技術として、例えば、特許文献1〜5に記載の発明が知られている。特許文献1では、電源ノイズを解析するステップと、ジッタを解析するステップを分けて解析時間を短縮する。特許文献2では、電源ノイズを解析するステップと、ジッタを解析するステップを分けて解析時間を短縮する。特許文献3では、複数のノイズ源モデルを作成し、それぞれのノイズで電源電圧を解析し、それらを重ね合わせて最終的な電源ノイズを作成する。特許文献4では、電源変動に応じた消費電流の変動を予めライブラリ化して、電源ノイズ解析の精度を高める。特許文献5では、パッケージのモデルを抽出し、ダイとパッケージを合わせて解析を実行することで電源ノイズを考慮する。
従来の、チップとパッケージとプリント回路基板を加味した電源ノイズ解析を含む回路動作検証では、集積回路を複数のブロックに分割し、市販のLPE(Layout Parasitic Extraction)ツールを用いてそれぞれのブロック毎に電源モデルを生成し、SPICE(Simulation Program with Integrated Circuit Emphasis)を用いてチップ内部のトランジスタを含めた回路シミュレーションを実行していた。この方法は全てのモデルを含めた解析となるので、集積回路の消費電流がチップ内部の電源電圧に与える影響と、電源電圧の変動が集積回路の消費電流に与える影響とを相互に再現することができ、最も精度が高い方法といえる。しかし、集積回路全体のシミュレーションを行おうとすると、回路規模が膨大になり、一般的には実用時間で解析を完了することができない。
例えば特許文献1には、電源ノイズを解析するステップと、電源ノイズを考慮して回路動作の確認をするステップとに分けることで、集積回路全体の検証にかかる時間を短縮する方法が記載されている。しかし、電源ノイズの解析を行うだけでも、一般的には実用時間で解析を完了することができなかった。
本発明の目的は、以上の問題点を解決し、電源ノイズ解析の精度を維持しながら、解析に必要な時間を短縮することができる、半導体集積回路の電源ノイズ解析装置及び電源ノイズ解析方法を提供することにある。
本発明の態様に係る半導体集積回路の電源ノイズ解析装置によれば、複数の回路ブロックを含む半導体集積回路の電源ノイズ解析装置において
上記半導体集積回路の電源配線のモデルを示す電源モデルを生成する手段と、
上記回路ブロックのそれぞれについて、予め決められた電源電圧を印加したときの第1消費電流を計算する手段と、
上記各回路ブロックの第1消費電流を合成して上記半導体集積回路の第1全体消費電流を計算する手段と、
上記電源モデルに対して上記第1全体消費電流を印加したときの上記半導体集積回路の第1電源電圧を計算する手段とを含むことを特徴とする。
本発明の電源ノイズ解析装置及び電源ノイズ解析方法によれば、消費電流を回路ブロック毎の解析で求めているので、電源ノイズ解析に要する時間を短縮することができる。特に、複数の同一の回路ブロックが存在する場合は、消費電流を求める際に同一の回路ブロックのうちの1つのみを解析するので、時間短縮の効果が大きい。さらに、得られた電源ノイズを用いて回路シミュレーションをする際には、ノイズ源となる回路を解析対象外にできるので、シミュレーション時間を短縮することができる。
本発明の第1の実施形態に係る電源ノイズ解析装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第2の実施形態に係る電源ノイズ解析装置の消費電流解析装置201及び消費電流合成装置211の構成を示すブロック図である。 本発明の第3の実施形態に係る電源ノイズ解析装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第4の実施形態に係る電源ノイズ解析方法を実施するコンピュータ400の構成を示すブロック図である。 本発明の第2の実施形態に係る電源ノイズ解析装置において、複数の回路ブロックの動作タイミングが異なる場合の各回路ブロックの消費電流データの例を示すグラフである。 図5の消費電流データから得られる全体消費電流データを示すグラフである。
第1の実施形態.
図1は、本発明の第1の実施形態に係る電源ノイズ解析装置の構成を示すブロック図である。本実施形態の電源ノイズ解析装置は、複数の回路ブロックを含む半導体集積回路(以下、単に「集積回路」という)の電源ノイズを解析する。本実施形態の電源ノイズ解析装置は、概して、電源モデル生成装置101、消費電流解析装置111、消費電流合成装置121、及び電源電圧解析装置131を含む。
まず、電源モデル生成装置101について述べる。電源モデル生成装置101は、PCB電源モデル抽出器103、PKG電源モデル抽出器106、DIE電源モデル抽出器109、及び記憶装置102,104,105,107,108,110を含む。
記憶装置102は、集積回路を実装するプリント回路基板における電源配線のレイアウトを示すPCB電源レイアウトデータを格納する。PCB電源モデル抽出器103は、記憶装置102に格納されたPCB電源レイアウトデータから、プリント回路基板の電源配線のモデルを示すPCB電源モデルデータを生成し、PCB電源モデルデータを記憶装置104に格納する。PCB電源モデル抽出器103としては市販のLPEツールなどがある。PCB電源モデルデータとしては、インダクタ、キャパシタ、及び抵抗で構成される等価回路モデルや、回路網の各端子間の電力の関係を散乱行列で表したモデルなどがある。
記憶装置105は、集積回路のパッケージの電源配線のレイアウトを示すPKG電源レイアウトデータを格納する。PKG電源モデル抽出器106は、記憶装置105に格納されたPKG電源レイアウトデータから、集積回路のパッケージの電源配線のモデルを示すPKG電源モデルデータを生成し、PKG電源モデルデータを記憶装置107に格納する。PKG電源モデル抽出器106としては市販のLPEツールなどがある。PKG電源モデルデータとしては、インダクタ、キャパシタ、及び抵抗で構成される等価回路モデルや、回路網の各端子間の電力の関係を散乱行列で表したモデルなどがある。
記憶装置108は、集積回路のダイの電源配線のレイアウトを示すDIE電源レイアウトデータを格納する。DIE電源モデル抽出器109は、記憶装置108に格納されたDIE電源レイアウトデータから、集積回路のダイの電源配線のモデルを示すDIE電源モデルデータを生成し、DIE電源モデルデータを記憶装置110に格納する。DIE電源モデル抽出器109としては市販のLPEツールなどがある。DIE電源モデルデータとしては、インダクタ、キャパシタ、及び抵抗で構成される等価回路モデルや、回路網の各端子間の電力の関係を散乱行列で表したモデルなどがある。
電源モデル生成装置101は、以上の構成を備えたことにより、集積回路の電源配線のモデルを示す電源モデルを生成する。
次に、消費電流解析装置111について述べる。消費電流解析装置111は、部分回路選択器113、回路モデル抽出器115、電流解析器117、及び記憶装置112,114,116,118を含む。
記憶装置112は、LSIなどの大規模な集積回路全体のレイアウトを示す全体回路レイアウトデータを格納する。部分回路選択器113は、記憶装置112に格納された全体回路レイアウトデータから、当該集積回路に含まれる小規模な回路ブロックのレイアウトを示す部分回路レイアウトデータを生成して、部分回路レイアウトデータを記憶装置114に格納する。言い換えると、部分回路選択器113は、集積回路に含まれる複数の回路ブロックのうちのいずれか1つを選択し、選択された回路ブロックに対応する部分回路レイアウトデータを生成する。本実施形態では、電源ノイズを解析するために、回路ブロックのそれぞれについて、予め決められた電源電圧を印加したときの消費電流を計算する。
なお、同一の回路ブロックが複数個存在する場合、そのうちの1つのみを選択すればよい。具体的には、IOセルや、SIMDプロセッサのPE(ProcessorElement)など、集積回路全体の中に同一の回路ブロックが複数個存在する場合、1つの回路ブロック(1つのIOセル又は1つのPE)の部分回路レイアウトデータのみを生成すればよい。
回路モデル抽出器115は、記憶装置114に格納された部分回路レイアウトデータから、トランジスタに基づく回路モデルを示すトランジスタモデルデータを抽出し、トランジスタモデルデータを記憶装置116に格納する。回路モデル抽出器115としては市販のLPEツールなどがある。
電流解析器117は、記憶装置116に格納されたトランジスタモデルデータに基づいてSPICEなどのツールを用いてシミュレーションを実行する。このシミュレーションにおいて、電流解析器117は、選択された回路ブロックに予め決められた電源電圧を印加したときの当該回路ブロックの消費電流を示す消費電流データを生成し、消費電流データを記憶装置118に格納する。このシミュレーションで回路ブロックに印加することを想定する電源電圧には、電源ノイズを含まない理想電源を使用する。消費電流データは、望ましくは、シミュレーションを行った時間内の各瞬間における消費電流値を羅列した形式を有する。電流解析器117は、部分回路選択器113で選択した回路ブロック毎にその消費電流を解析するので、集積回路全体を解析するよりも要する時間を短縮できる。特に、同一の回路ブロックが複数個存在する場合は、そのうちの1つのみを解析することになるので、解析にかかる時間を短縮する効果が大きい。
消費電流解析装置111は、以上の構成を備えたことにより、回路ブロックのそれぞれについて、予め決められた電源電圧を印加したときの消費電流を計算する。
次に、消費電流合成装置121について述べる。消費電流合成装置121は、消費電流合成器122及び記憶装置123を含む。
消費電流合成器122は、記憶装置118に格納された各回路ブロックの消費電流データを加算して集積回路の全体消費電流を示す全体消費電流データを生成し、全体消費電流データを記憶装置123に格納する。同一の回路ブロックが複数個存在する場合は、1つ分の消費電流を必要な回路ブロック数で乗じればよい。
消費電流合成装置121は、以上の構成を備えたことにより、各回路ブロックの消費電流を合成して集積回路の全体消費電流を計算する。
最後に、電源電圧解析装置131について述べる。電源電圧解析装置131は、電圧解析器132及び記憶装置133を含む。
電圧解析器132は、記憶装置104に格納されたPCB電源モデルデータと、記憶装置107に格納されたPKG電源モデルデータと、記憶装置110に格納されたDIE電源モデルデータとを接続し、この接続された電源モデルデータと、記憶装置123に格納された全体消費電流データとに基づいて、SPICEなどのツールを用いてシミュレーションを実行する。このシミュレーションにおいて、電圧解析器132は、DIE電源モデルデータ内の適切なノードに全体消費電流データで表される電流を印加したときの、電源モデルデータにおける所望のノードの電圧を示す電源電圧データを生成し、電源電圧データを記憶装置133に格納する。電源電圧データは、望ましくは、シミュレーションを行った時間内の各瞬間における電圧値を羅列した形式を有する。
電源電圧解析装置131は、以上の構成を備えたことにより、電源モデルに対して全体消費電流を印加したときの集積回路の電源電圧を計算する。
これにより、集積回路の電源ノイズを含む電源電圧データを得ることができる。
集積回路の回路シミュレーションを行う際、シミュレーションにおける電源電圧として、本実施形態の電源ノイズ解析装置で得られた電源電圧データを使用することで、集積回路の電源ノイズを反映したシミュレーションを簡単に実現することができる。本実施形態の電源ノイズ解析装置が行うシミュレーションによれば、電源ノイズを反映したシミュレーションでありながら、電源ノイズを発生する回路をシミュレーションの対象に含まないので、シミュレーションに要する時間の短縮が期待できる。回路シミュレーションの具体例としては、IOセルの出力波形シミュレーションがある。このとき、本実施形態の電源ノイズ解析装置で得られた電源ノイズを含む電源電圧データをIOセルの電源電圧として使用すれば、同時スイッチングノイズを考慮したシミュレーションが可能となる。
第2の実施形態.
図2は、本発明の第2の実施形態に係る電源ノイズ解析装置の消費電流解析装置201及び消費電流合成装置211の構成を示すブロック図である。図2の消費電流解析装置201及び消費電流合成装置211は、図1の消費電流解析装置111及び消費電流合成装置121の代わりに設けられ、電源モデル生成装置101及び電源電圧解析装置131は図1の場合と同様である。
第1の実施形態では、消費電流合成器122は、各回路ブロックの消費電流データをそのまま加算し、また、同一の回路ブロックが複数個存在する場合は、1つ分の消費電流を必要な回路ブロック数で乗じていた。従って、各回路ブロックが同時に動作したときの全体消費電流を求めたことになる。しかしながら、実際の回路動作においては各回路ブロックの動作タイミングは異なる。図5は、本発明の第2の実施形態に係る電源ノイズ解析装置において、複数の回路ブロックの動作タイミングが異なる場合の各回路ブロックの消費電流データの例を示すグラフである。図5は、10個の同じ回路ブロックの消費電流データを示す。各回路ブロックは同じ動作をするので同じ波形を有するが、それらの動作タイミングは異なる。図6は、図5の消費電流データから得られる全体消費電流データを示すグラフである。図6の実線は、第1の実施形態において全体消費電流データを生成する場合と同様に、図5の実線を10倍した結果を示す。一方、図6の点線は、図5の10個の消費電流データを加算した結果を示す。図6からわかるように、第1の実施形態の消費電流合成器122で得られる全体消費電流データでは、実際の全体消費電流データよりも変動が大きくなることがある。言い換えると、実際の全体消費電流データは、第1の実施形態の消費電流合成器122で得られる全体消費電流データよりも平坦になるはずである。第1の実施形態では、実際よりも大きな全体消費電流を想定していることにより、悲観的な電源ノイズ解析になっているといえる。従って、より正確に全体消費電流を計算できる電源ノイズ解析装置を提供することが望ましい。
消費電流解析装置201は、図1の消費電流解析装置111の部分回路選択器113に代えて部分回路選択器202を備え、その他の構成要素は図1の消費電流解析装置111と同様に構成される。部分回路選択器202は、図1の部分回路選択器113と同様に全体回路レイアウトデータから部分回路レイアウトデータを生成する、すなわち、集積回路に含まれる複数の回路ブロックのうちのいずれか1つを選択し、選択された回路ブロックに対応する部分回路レイアウトデータを生成し、部分回路選択器202は、さらに、選択された回路ブロックを消費電流合成装置211に通知する。
消費電流合成装置211は、動作タイミング解析器212、消費電流合成器214、及び記憶装置213,123を含む。
動作タイミング解析器212は、選択された回路ブロックについて、STA(static timing analysis)などのツールを用いて当該回路ブロックが電流を実質的に消費する期間及び実質的に消費しない期間を示す動作タイミングを示す動作タイミングデータを生成し、動作タイミングデータを記憶装置213に格納する。動作タイミング解析器212は、複数の回路ブロックのそれぞれについて動作タイミングデータを生成する。
消費電流合成器214は、記憶装置213に格納された動作タイミングデータに基づいて、回路ブロックのそれぞれが電流を実質的に消費する期間のみにおいて、記憶装置118に格納された当該回路ブロックの消費電流データを加算して全体消費電流データを生成し、全体消費電流データを記憶装置123に格納する。記憶装置123に格納された全体消費電流データは電源電圧解析装置131へ送られ、以後の処理は第1の実施形態と同様である。
本実施形態の電源ノイズ解析装置により得られた全体消費電流データを使用すると、電源ノイズを含む電源電圧データをより正確に取得することができる。
第3の実施形態.
図3は、本発明の第3の実施形態に係る電源ノイズ解析装置の構成を示すブロック図である。本実施形態の電源ノイズ解析装置は、図1の消費電流解析装置111及び電源電圧解析装置131に代えて消費電流解析装置301及び電源電圧解析装置311を備え、電源モデル生成装置101及び消費電流合成装置121は図1の場合と同様である。
第1及び第2の実施形態の電源ノイズ解析装置では、消費電流解析装置111で消費電流データを生成する際に電源ノイズを考慮していない。集積回路内のあるノードで電流を消費するとき、電流はプリント回路基板上の電源回路から供給され、プリント回路基板及びパッケージ及びダイにおける各電源配線を通過して該ノードに到達する。このとき、該ノードの電源電圧は、各電源配線の抵抗成分や容量成分や誘導成分により変動する。電源電圧が変動すれば消費電流も変動するはずだが、第1及び第2の実施形態の電源ノイズ解析装置では理想電源を用いているので、この変動を再現できていない。従って、第3の実施形態の電源ノイズ解析装置においては、電源電圧の変動が消費電流に与える影響を考慮して、より精度の高い電源ノイズ解析を可能にする。
消費電流解析装置301は、図1の消費電流解析装置111の構成に加えて、追加の電流解析器302、記憶装置303、及びスイッチ304を含む。電源電圧解析装置311は、電圧解析器312及び記憶装置313,314を含む。
消費電流解析装置301のスイッチ304は、最初に、記憶装置118に接続されている。消費電流解析装置301の消費電流解析器117は、まず、第1の実施形態と同様に電源ノイズを含まない理想電源を想定して消費電流データを生成し、その後、電源電圧解析装置311の電圧解析器312は、第1の実施形態と同様に電源電圧データを生成し、電源電圧データを記憶装置313に格納する。
次いで、電圧解析器312は、スイッチ304を記憶装置303に接続する。消費電流解析装置301の電流解析器302は、記憶装置116に格納されたトランジスタモデルデータ及び記憶装置313に格納された電源電圧データ(電源ノイズを含む電源電圧データ)に基づいて、電源ノイズを含む電源電圧を各回路ブロックに印加したときの当該回路ブロックの消費電流を示す第2消費電流データを生成し、第2消費電流データを記憶装置303に格納する。第2消費電流データは、電源ノイズによる変動を含む電源電圧を各回路ブロックに印加することを想定して得られた消費電流を示すので、第1の実施形態の場合よりも正確な消費電流データである。その後、消費電流合成器122は、記憶装置303に格納された各回路ブロックの第2消費電流データを合成して全体消費電流データを生成し、電圧解析器312は、DIE電源モデルデータ内の適切なノードに全体消費電流データ(第2消費電流データから合成された全体消費電流データ)で表される電流を印加したときの、電源モデルデータにおける所望のノードの電圧を示す第2電源電圧データを生成し、第2電源電圧データを記憶装置314に格納する。
さらに、第2電源電圧データを使用して、再度同じ処理を繰り返してもよい。この繰り返しを必要な回数行って、より精度の高い電源電圧データを得ることができる。
また、第2及び第3の実施形態を組み合わせてもよい。
第4の実施形態.
図4は、本発明の第4の実施形態に係る電源ノイズ解析方法を実施するコンピュータ400の構成を示すブロック図である。コンピュータ400は、バス407で互いに接続された、CPU402、RAM403、HDD404、入力装置405、及び出力装置406を備える。第1〜第3の実施形態の電源ノイズ解析装置における電源モデル生成装置101、消費電流解析装置111、消費電流合成装置121、及び電源電圧解析装置131などの構成要素は、CPU402によって実行されるプログラムとして実施されてもよく、このとき、図1〜図3に示す各記憶装置は、RAM403上又はHDD404上に構成されてもよい。入力装置405は、電源ノイズを解析する対象である集積回路に関するパラメータ等を入力するために使用される。出力装置406は、解析結果を表示するディスプレイ、又は解析結果を読み出すためのリムーバブル記憶装置などであってもよい。
第1の実施形態によれば、消費電流を回路ブロック毎の解析で求めているので、電源ノイズ解析に要する時間を短縮することができる。特に、複数の同一の回路ブロックが存在する場合は、消費電流を求める際に同一の回路ブロックのうちの1つのみを解析するので、時間短縮の効果が大きい。さらに、得られた電源ノイズを用いて回路シミュレーションをする際には、ノイズ源となる回路を解析対象外にできるので、シミュレーション時間を短縮することができる。
第2の実施形態によれば、複数の回路ブロックがそれぞれ動作するときの動作タイミングを全体消費電流データに反映するので、電源ノイズ解析の精度を向上することができる。
第3の実施形態によれば、電源ノイズを考慮して消費電流データを求めるので、電源ノイズ解析の精度を向上することができる。
本発明の電源ノイズ解析装置及び電源ノイズ解析方法は、例えば、同時スイッチングノイズの解析に適用可能である。
101…電源モデル生成装置、
111,201,301…消費電流解析装置、
121,211…消費電流合成装置、
131,311…電源電圧解析装置、
102,104,105,107,108,110,112,114,116,118,123,133,213,123,303,313,314…記憶装置、
103…PCB電源モデル抽出器、
106…PKG電源モデル抽出器、
109…DIE電源モデル抽出器、
113,202…部分回路選択器、
115…回路モデル抽出器、
117,302…電流解析器、
122,214…消費電流合成器、
132,312…電圧解析器、
212…動作タイミング解析器、
304…スイッチ、
401…コンピュータ、
402…CPU、
403…RAM、
404…HDD、
405…入力装置、
406…出力装置、
407…バス。
特許第4539376号公報 特開2006−031510号公報 特開2009−140216号公報 特開2010−113437号公報 特開2011−22694号公報

Claims (6)

  1. 複数の回路ブロックを含む半導体集積回路の電源ノイズ解析装置において
    上記半導体集積回路の電源配線のモデルを示す電源モデルを生成する手段と、
    上記回路ブロックのそれぞれについて、予め決められた電源電圧を印加したときの第1消費電流を計算する手段と、
    上記各回路ブロックの第1消費電流を合成して上記半導体集積回路の第1全体消費電流を計算する手段と、
    上記電源モデルに対して上記第1全体消費電流を印加したときの上記半導体集積回路の第1電源電圧を計算する手段とを含むことを特徴とする、半導体集積回路の電源ノイズ解析装置。
  2. 上記各回路ブロックの第1消費電流を合成して上記半導体集積回路の第1全体消費電流を計算する手段は、
    上記複数の回路ブロックのそれぞれについて、当該回路ブロックが電流を実質的に消費する期間及び実質的に消費しない期間を示す動作タイミングを取得する手段と、
    上記回路ブロックのそれぞれが電流を実質的に消費する期間のみにおいて当該回路ブロックの第1消費電流を加算して、上記半導体集積回路の第1全体消費電流を計算する手段とを含むことを特徴とする、請求項1記載の半導体集積回路の電源ノイズ解析装置。
  3. 上記回路ブロックのそれぞれについて、上記第1電源電圧を印加したときの第2消費電流を計算する手段と、
    上記各回路ブロックの第2消費電流を合成して上記半導体集積回路の第2全体消費電流を計算する手段と、
    上記電源モデルに対して上記第2全体消費電流を印加したときの上記半導体集積回路の第2電源電圧を計算する手段とをさらに含むことを特徴とする、請求項1又は2記載の半導体集積回路の電源ノイズ解析装置。
  4. 複数の回路ブロックを含む半導体集積回路の電源ノイズ解析方法において
    上記半導体集積回路の電源配線のモデルを示す電源モデルを生成するステップと、
    上記回路ブロックのそれぞれについて、予め決められた電源電圧を印加したときの第1消費電流を計算するステップと、
    上記各回路ブロックの第1消費電流を合成して上記半導体集積回路の第1全体消費電流を計算するステップと、
    上記電源モデルに対して上記第1全体消費電流を印加したときの上記半導体集積回路の第1電源電圧を計算するステップとを含むことを特徴とする、半導体集積回路の電源ノイズ解析方法。
  5. 上記各回路ブロックの第1消費電流を合成して上記半導体集積回路の第1全体消費電流を計算するステップは、
    上記複数の回路ブロックのそれぞれについて、当該回路ブロックが電流を実質的に消費する期間及び実質的に消費しない期間を示す動作タイミングを取得するステップと、
    上記回路ブロックのそれぞれが電流を実質的に消費する期間のみにおいて当該回路ブロックの第1消費電流を加算して、上記半導体集積回路の第1全体消費電流を計算するステップとを含むことを特徴とする、請求項4記載の半導体集積回路の電源ノイズ解析方法。
  6. 上記回路ブロックのそれぞれについて、上記第1電源電圧を印加したときの第2消費電流を計算するステップと、
    上記各回路ブロックの第2消費電流を合成して上記半導体集積回路の第2全体消費電流を計算するステップと、
    上記電源モデルに対して上記第2全体消費電流を印加したときの上記半導体集積回路の第2電源電圧を計算するステップとをさらに含むことを特徴とする、請求項4又は5記載の半導体集積回路の電源ノイズ解析方法。
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