JP2013175786A - スルーチップ接続を有するフロントエンドプロセス済ウェハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】方法には、デバイス搭載半導体ウェハにバイアを形成する工程と、デバイス搭載半導体ウェハのバイアのうち少なくともいくつかを導電性にする工程と、導電性バイアとメタライズ層との間に電気接続を作成するために、デバイス搭載半導体ウェハにバックエンドプロセスを実行する工程が含まれる。代替方法には、デバイス搭載半導体ウェハにバイアを形成する工程と、デバイス搭載半導体ウェハのバイアのうち少なくともいくつかを導電性にする工程と、導電性バイアと導電性半導体層との間に電気接続を作成するために、デバイス搭載半導体ウェハを処理する工程が含まれる。
【選択図】図9D
Description
[関連出願の相互参照]
Claims (26)
- デバイス搭載半導体ウェハに複数のバイアを形成する工程と;
前記デバイス搭載半導体ウェハの前記バイアのうちの少なくとも幾つかを導電性にする工程と;
導電性バイアとメタライズ層との間に電気接続を作成するために前記デバイス搭載半導体ウェハにバックエンドプロセスを実行する工程とを備える:
方法。 - 前記バイアを形成する工程は、複数の環状バイアを形成する工程を備える:
請求項1の方法。 - 前記環状バイアを形成する工程は、少なくとも1つの中央ポストを除去する工程を備える:
請求項2の方法。 - ブランク半導体ウェハの前記バイアのうちの少なくとも幾つかを導電性にする工程は、前記バイアに金属、金属合金、ポリシリコンのうちの1つを充填する工程を備える:
請求項1の方法。 - 前記バイアを充填する工程は、メタライズ層の形成と同時に前記バイアを充填する工程を備える:
請求項1の方法。 - 前記メタライズ層は、第1金属層である、
請求項5の方法。 - 前記メタライズ層は、第N金属層である、
請求項5の方法。 - 前記メタライズ層は、第1金属層と第N金属層間の金属層である、
請求項5の方法。 - 前記メタライズ層の形成と同時に前記バイアを充填する工程は、
固体フォトレジストを塗布する工程と;
前記固体フォトレジストにパターン形成する工程と;
前記パターン形成によって露出した領域にシード層を塗布する工程と;
前記シード層をメッキする工程とを備える:
請求項5の方法。 - 前記バイアを充填する工程は、少なくとも1つのメタライズ層の形成の後で前記バイアを充填する工程を備える:
請求項1の方法。 - 前記デバイス搭載半導体ウェハに前記バックエンドプロセスを実行する工程は、前記デバイス搭載半導体ウェハ内の少なくとも幾つかの前記バイアを導電性にする工程の後で行われる、
請求項1の方法。 - 前記デバイス搭載半導体ウェハに前記バックエンドプロセスを実行する工程は、メッキプロセスを経て、Xを1からNとする金属−X層を作成する工程を備える:
請求項1の方法。 - Xが1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11または12のうちのひとつに等しい、
請求項12の方法。 - Xが10よりも大きい、
請求項12の方法。 - 前記バックエンドプロセスの実行の開始後であって、完了の前に前記半導体ウェハのデバイスの機能検査を実行する工程を更に備える:
請求項1の方法。 - 固体フォトレジストのパターン形成、メッキプロセスの実行、および前記固体フォトレジストの除去の後で、少なくとも1つの前記バイアがメッキ金属で充填されないように、少なくとも1つのバイア上に前記固体フォトレジストを塗布する工程を更に備える:
請求項1の方法。 - デバイス搭載半導体ウェハに複数のバイアを形成する工程と;
前記デバイス搭載半導体ウェハの前記バイアのうちの少なくとも幾つかを導電性にする工程と;
導電性バイアと導電性半導体層との間に電気接続を作成するために、前記デバイス搭載半導体ウェハを処理する工程とを備える:
方法。 - ブランク半導体ウェハに複数のバイアを形成する工程と;
前記ブランク半導体ウェハの前記バイアのうちの少なくとも幾つかを導電性にする工程と;
前記ウェハ上に前記導電性バイアに接続されるデバイスを作成するために前記ブランク半導体ウェハにフロントエンドプロセスを実行する工程とを備える:
方法。 - 前記バイアを形成する工程は、複数の環状バイアを形成する工程を備える:
請求項18の方法。 - 前記環状バイアを形成する工程は、少なくとも1つの中央ポストを除去する工程を備える:
請求項19の方法。 - 前記環状バイアを形成する工程は、少なくとも1つの中央ポストを、前記ブランク半導体ウェハのフロントエンドプロセスの間、導電性にすることができるように手付かずのまま保つ工程を備える:
請求項19の方法。 - 前記ブランク半導体ウェハの前記バイアのうちの少なくとも幾つかを導電性にする工程は、前記バイアを金属または金属合金のうちの1つで充填する工程を備える:
請求項18の方法。 - 前記バイアを形成する工程は、前記ウェハを貫く深さよりも浅い深さまで前記バイアを形成する工程を備える:
請求項18の方法。 - 前記フロントエンドプロセスを実行する工程は、少なくとも1つのバイアの底近傍に位置する領域にデバイスを形成する工程を備える:
請求項23の方法。 - 前記フロントエンドプロセスを実行する工程は、少なくとも1つのバイアの外端近傍に位置する領域にデバイスを形成する工程を備える:
請求項18の方法。 - 少なくとも1つのバイアの底に最も近接した前記ウェハの面を薄くする工程を更に備える:
請求項18の方法。
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