JP2013175720A - 薄膜形成方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 成膜対象を0℃より高く、150℃以下に保持し、前記成膜対象の成膜面上に、有機金属ガスを導入して、成膜面上に有機金属ガス分子を吸着させる第1の工程と、有機金属ガス分子が吸着した成膜面上にプラズマ化した水蒸気を導入して、吸着した有機金属ガス分子を酸化、分解して金属酸化物とすると共にその表面にハイドロキシル基を形成する第2の工程と、その後、前記第1の工程及び第2の工程を繰り返すことにより、金属酸化物薄膜を形成する。
【選択図】なし
Description
3…流量制御器、4…不活性ガス容器、
5…活性化装置、6…被処理基板、
7…温度調整台、8…反応容器、
9…排気ポンプ、10…排気管、
11…ガラス管、
12…プラズマの発生した領域、
13…誘導コイル、
14…加湿器
Claims (9)
- 成膜対象を0℃より高く、150℃以下に保持し、前記成膜対象の成膜面上に、有機金属ガスを導入して、成膜面上に有機金属ガス分子を吸着させる第1の工程と、有機金属ガス分子が吸着した成膜面上にプラズマ化した水蒸気を導入して、吸着した有機金属ガス分子を酸化、分解して金属酸化物とすると共にその表面にハイドロキシル基を形成する第2の工程と、その後、前記第1の工程及び第2の工程を繰り返すことにより、金属酸化物薄膜を形成することを特徴とする薄膜形成方法。
- 最初の第1の工程の前に、前記成膜対象の成膜面上に、プラズマ化した水蒸気を導入して、成膜面にハイドロキシル基を形成する予備工程を実施することを特徴とする請求項1記載の薄膜形成方法。
- 前記予備工程において、プラズマ化した水蒸気を導入する前に、オゾンを導入し、その後、オゾンを排気するか不活性ガスを導入し、その後、プラズマ化した水蒸気を導入することを特徴とする請求項2記載の薄膜形成方法。
- 前記第2の工程において、プラズマ化した水蒸気を導入する前に、オゾンを導入し、その後、オゾンを排気するか不活性ガスを導入し、その後、プラズマ化した水蒸気を導入することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の薄膜形成方法。
- 各工程の間には、導入したガスを排気するか不活性ガスを導入する工程を実施することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の薄膜形成方法。
- 前記成膜対象を載置した反応容器内で実施することを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の薄膜形成方法。
- プラズマ化した水蒸気の導入は、水蒸気を含有させた不活性ガスをガラス管に導入し、その周りから高周波磁界を印加して、ガラス管内部にプラズマを発生させ、そこでプラズマ化された水蒸気を生成して行うことを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の薄膜形成方法。
- 成膜対象を保持する機構を備えた反応容器と、その成膜対象の温度を、0℃より高く、150℃以下に保持する機構と、前記反応容器内に有機金属ガスを供給する供給手段と、前記反応容器に連通するガラス管及びにその周りから高周波磁界を印加して前記ガラス管内部にプラズマを発生させる機構を備え前記ガラス管から水蒸気を含有させた不活性ガスを導入するプラズマガス供給手段とを具備することを特徴とする薄膜形成装置。
- 前記反応容器にオゾンを供給するオゾン供給手段を具備することを特徴とする請求項8記載の薄膜形成装置。
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