JP2013140908A - 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対象物に第1及び第2のノズルヘッドが対向する。第1及び第2のノズルヘッドは、それぞれ第1の色及び第2の色の液状材料を吐出する。移動機構が、対象物を保持するステージを、第1及び第2のノズルヘッドに対して、対象物の面内方向に移動させる。制御装置が、第1のノズルヘッド及び移動機構を制御して、対象物に、第1の色の液状材料で第1の薄膜を形成し、第2のノズルヘッド及び移動機構を制御して、対象物に、第2の色の液状材料で第2の薄膜を形成する。
【選択図】 図4
Description
対象物を保持するステージと、
前記対象物に対向し、第1の色の液状材料を吐出する複数のノズル穴が形成された第1のノズルヘッドと、
前記対象物に対向し、第1の色とは異なる第2の色の液状材料を吐出する複数のノズル穴が形成された第2のノズルヘッドと、
前記第1のノズルヘッド及び前記第2のノズルヘッドに対して前記ステージを、または前記ステージに対して前記第1のノズルヘッド及び前記第2のノズルヘッドを、前記対象物の面内方向に移動させる移動機構と、
前記移動機構、前記第1のノズルヘッド、及び前記第2のノズルヘッドを制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記第1のノズルヘッド及び前記移動機構を制御して、前記対象物に、前記第1の色の液状材料で第1の薄膜を形成し、前記第2のノズルヘッド及び前記移動機構を制御して、前記対象物に、前記第2の色の液状材料で第2の薄膜を形成する薄膜形成装置が提供される。
形成すべき薄膜パターンのイメージデータに基づいて、複数の第1のノズル穴から対象物の表面に第1の色の液状材料を吐出して第1の色の第1の薄膜を形成する工程と、
形成すべき記号パターンのイメージデータに基づいて、複数の第2のノズル穴から前記
対象物の表面に前記第1の色とは異なる第2の色の液状材料を吐出して第2の色の第2の薄膜を形成する工程と
を有する薄膜形成方法が提供される。
図1に、実施例1による薄膜形成装置の概略側面図を示す。定盤20の上に、移動機構21によりステージ25が保持されている。ステージ25の上に、薄膜を形成する対象物30、例えばプリント基板が保持されている。移動機構21は、ステージ25を、その保持面に平行な2方向に移動させるとともに、保持面に垂直な軸を回転中心として回転させることができる。ステージ25は、例えば真空チャックにより対象物30を固定する。
ターン32(図2B)の縦方向の解像度の1/2になる。縦方向に関して、薄膜パターン32を形成する液状材料の2つの着弾点に対して、記号パターン33を形成する液状材料の1つの着弾点が対応する。既に説明したように、第2の色用のノズルヘッド42Wの1つが、第1の色用の基準となるノズルヘッド42Gに対して、縦方向にP/2だけずれて固定されている。このため、縦方向に関して、記号パターン33を形成する液状材料の着弾点が、薄膜パターン32を形成する液状材料の2つの着弾点の中間に位置することになる。
図7に、実施例2による方法で形成された薄膜の断面図を示す。実施例1では、第2の薄膜33が形成される領域には、第1の薄膜32が形成されなかった。実施例2では、第
2の薄膜33を形成すべき領域にも第1の薄膜32が形成される。第2の薄膜33は第1の薄膜32の上に形成される
実施例2においても、第2の薄膜33をソルダーレジストで形成するため、インクの剥落により文字等の消失を防止することができる。また、実施例1の方法に比べて、立体的な識別標識を形成することができる。
21 移動機構
22 支柱
23 梁
25 ステージ
30 対象物(プリント基板)
31 アライメントマーク
32 第1の薄膜
33 第2の薄膜
40 ノズルユニット
41 支持部材
42 ノズルヘッド
42G 第1の色用のノズルヘッド
42W 第2の色用のノズルヘッド
43 紫外光源
45 ノズル穴
50 撮像装置
60 制御装置
61 記憶装置
70 第1の薄膜の着弾点
71 第2の薄膜の着弾点
80 薄膜で覆う領域を定義するイメージデータ
81 第2の薄膜のイメージデータ
82 第1の薄膜のイメージデータ
Claims (8)
- 対象物を保持するステージと、
前記対象物に対向し、第1の色の液状材料を吐出する複数のノズル穴が形成された第1のノズルヘッドと、
前記対象物に対向し、第1の色とは異なる第2の色の液状材料を吐出する複数のノズル穴が形成された第2のノズルヘッドと、
前記第1のノズルヘッド及び前記第2のノズルヘッドに対して前記ステージを、または前記ステージに対して前記第1のノズルヘッド及び前記第2のノズルヘッドを、前記対象物の面内方向に移動させる移動機構と、
前記移動機構、前記第1のノズルヘッド、及び前記第2のノズルヘッドを制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記第1のノズルヘッド及び前記移動機構を制御して、前記対象物に、前記第1の色の液状材料で第1の薄膜を形成し、前記第2のノズルヘッド及び前記移動機構を制御して、前記対象物に、前記第2の色の液状材料で第2の薄膜を形成する薄膜形成装置。 - 前記第1の液状材料及び前記第2の液状材料はソルダーレジストである請求項1に記載の薄膜形成装置。
- 前記第2の薄膜は、肉眼で識別可能な標識として機能する平面形状を有する請求項1または2に記載の薄膜形成装置。
- 前記制御装置は、前記第2の薄膜を形成すべき領域には、前記第1の色の液状材料を吐出しないように前記第1のノズルヘッドを制御する請求項1乃至3のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 前記第2の薄膜の解像度が、前記第1の薄膜の解像度より低い請求項1乃至4のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 前記制御装置は、前記第2のノズルヘッドのノズル穴から吐出される前記第2の色の液状材料の液滴の体積が、前記第1のノズルヘッドのノズル穴から吐出される前記第1の色の液状材料の液滴の体積より大きくなるように、前記第1のノズルヘッド及び前記第2のノズルヘッドを制御する請求項5に記載の薄膜形成装置。
- 形成すべき薄膜パターンのイメージデータに基づいて、複数の第1のノズル穴から対象物の表面に第1の色の液状材料を吐出して第1の色の第1の薄膜を形成する工程と、
形成すべき記号パターンのイメージデータに基づいて、複数の第2のノズル穴から前記対象物の表面に前記第1の色とは異なる第2の色の液状材料を吐出して第2の色の第2の薄膜を形成する工程と
を有する薄膜形成方法。 - 前記第1の色の液状材料及び前記第2の色の液状材料は、ソルダーレジストである請求項7に記載の薄膜形成方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012001029A JP6057406B2 (ja) | 2012-01-06 | 2012-01-06 | 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 |
TW101147461A TWI593468B (zh) | 2012-01-06 | 2012-12-14 | Thin film forming apparatus and thin film forming method |
CN201210594007.1A CN103192602B (zh) | 2012-01-06 | 2012-12-31 | 薄膜形成装置及薄膜形成方法 |
KR1020130000541A KR101463869B1 (ko) | 2012-01-06 | 2013-01-03 | 박막형성장치 및 박막형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012001029A JP6057406B2 (ja) | 2012-01-06 | 2012-01-06 | 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013140908A true JP2013140908A (ja) | 2013-07-18 |
JP6057406B2 JP6057406B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=48715497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012001029A Expired - Fee Related JP6057406B2 (ja) | 2012-01-06 | 2012-01-06 | 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6057406B2 (ja) |
KR (1) | KR101463869B1 (ja) |
CN (1) | CN103192602B (ja) |
TW (1) | TWI593468B (ja) |
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2012
- 2012-01-06 JP JP2012001029A patent/JP6057406B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-12-14 TW TW101147461A patent/TWI593468B/zh active
- 2012-12-31 CN CN201210594007.1A patent/CN103192602B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-01-03 KR KR1020130000541A patent/KR101463869B1/ko active IP Right Grant
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Publication number | Publication date |
---|---|
TW201334876A (zh) | 2013-09-01 |
JP6057406B2 (ja) | 2017-01-11 |
KR20130081241A (ko) | 2013-07-16 |
CN103192602A (zh) | 2013-07-10 |
KR101463869B1 (ko) | 2014-11-20 |
CN103192602B (zh) | 2016-05-04 |
TWI593468B (zh) | 2017-08-01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |