JP2013138176A - 面発光レーザ素子、面発光レーザ素子の製造方法及び原子発振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板の上に形成された下部ブラッグ反射鏡と、前記下部ブラッグ反射鏡の上に形成された活性層を含む共振器と、前記共振器の上に形成された上部ブラッグ反射鏡と、を有し、前記上部ブラッグ反射鏡または前記下部ブラッグ反射鏡内には、波長調整層が形成されており、前記波長調整層の厚さを変えることにより、異なる波長を各々出射する複数の面発光レーザを有するものであって、前記波長調整層は、2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層を積層することにより形成されており、前記波長調整層の厚さは、前記波長調整層における前記調整層の層数を変えることにより、変えたものであることを特徴とする面発光レーザ素子を提供することにより上記課題を解決する。
【選択図】図2
Description
(面発光レーザ素子の構造)
第1の実施の形態における面発光レーザ素子について説明する。本実施の形態における面発光レーザ素子10は、図1及び図2に示すように、複数の面発光レーザを有しており、具体的には、第1の面発光レーザ11、第2の面発光レーザ12、第3の面発光レーザ13、第4の面発光レーザ14を有している。尚、図1は本実施の形態の説明のため簡略化されており、便宜上コンタク層等の記載は省略されている。また、図2は、図1における一点鎖線1A−1Bにおいて切断した断面図である。
本実施の形態においては、基板101は、n−GaAs基板を用いている。また、下部ブラッグ反射鏡102は、n−Al0.1Ga0.9As高屈折率層とn−Al0.9Ga0.1As低屈折率層とを各々の層の光学的な膜厚がλ/4となるように35.5ペア積層することにより形成されている。
λ/4≦P<λ/2
であることが好ましく、このことを一般化するならば、
(2N−1)λ/4≦P<Nλ/2
であることが好ましい。尚、Nは正の整数であるが、光吸収の影響を受け、閾値電流の増加などの弊害を考慮した場合には、Nは小さい方が好ましい。
次に、第2の実施の形態における面発光レーザ素子について説明する。尚、本実施の形態における面発光レーザ素子は、波長が894.6nmの面発光レーザであって、波長調整領域が下部ブラッグ反射鏡に設けられている構造のものである。本実施の形態における面発光レーザ素子150は、図10及び図11に示すように、複数の面発光レーザを有しており、具体的には、第1の面発光レーザ151、第2の面発光レーザ152、第3の面発光レーザ153、第4の面発光レーザ154を有している。尚、図10は本実施の形態の説明のため簡略化されており、便宜上コンタク層等の記載は省略されている。また、図11は、図10における一点鎖線10A−10Bにおいて切断した断面図である。
次に、第3の実施の形態について説明する。本実施の形態における面発光レーザは、波長780nmの12chの面発光レーザ素子であり、図14及び図15に基づき説明する。尚、図14は、本実施の形態における面発光レーザ素子の上面図であり、図15(a)は、図14における一点鎖線14A−14Bにおいて切断した断面図、図15(b)は、図14における一点鎖線14C−14Dにおいて切断した断面図である。
λ/4≦P1<λ/2
であることが好ましく、このことを一般化するならば、
(2N−1)λ/4≦P1<2Nλ/4
であることが好ましい。尚、Nは正の整数である。
次に、第4の実施の形態について説明する。図20に基づき、本実施の形態における面発光レーザ素子について説明する。本実施の形態における面発光レーザ素子300は、基板301上に8個の面発光レーザを有するものであり、第1から第3の実施の形態により異なる波長を出射する面発光レーザが形成されているものであって、更に、同じ波長を発光する面発光レーザが2個ずつ形成されているものである。
次に、第5の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1から第4の実施の形態における面発光レーザ素子を用いた原子発振器である。図21に基づき本実施の形態における原子発振器について説明する。本実施の形態における原子発振器は、CPT方式の小型原子発振器であり、光源410、コリメートレンズ420、λ/4波長板430、アルカリ金属セル440、光検出器450、変調器460を有している。
11 第1の面発光レーザ
12 第2の面発光レーザ
13 第3の面発光レーザ
14 第4の面発光レーザ
21 電極パッド
22 電極パッド
23 電極パッド
24 電極パッド
101 基板
102 下部ブラッグ反射鏡
103 下部スペーサ層
104 活性層
105 上部スペーサ層
106 第1の上部ブラッグ反射鏡
107 第2の上部ブラッグ反射鏡
108 電流狭窄層
108a 選択酸化領域
108b 電流狭窄領域
110 コンタクト層
111 上部電極
112 下部電極
120 波長調整領域
121 第1の調整層
122 第2の調整層
123 第3の調整層
124 第4の調整層
130 波長調整層
131 位相調整領域
140 保護膜
141 樹脂層
Claims (16)
- 半導体基板の上に形成された下部ブラッグ反射鏡と、
前記下部ブラッグ反射鏡の上に形成された活性層を含む共振器と、
前記共振器の上に形成された上部ブラッグ反射鏡と、
を有し、
前記上部ブラッグ反射鏡または前記下部ブラッグ反射鏡内には、波長調整層が形成されており、
前記波長調整層の厚さを変えることにより、異なる波長を各々出射する複数の面発光レーザを有するものであって、
前記波長調整層は、2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層を積層することにより形成されており、
前記波長調整層の厚さは、前記波長調整層における前記調整層の層数を変えることにより、変えたものであることを特徴とする面発光レーザ素子。 - 前記波長調整層における光学的な厚さPは、λを前記面発光レーザの波長、Nを正の整数とした場合に、
(2N−1)λ/4≦P<Nλ/2
であることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ素子。 - 前記波長調整層には前記調整層はM層形成されており(Mは正の整数)、
前記波長調整層における光学的な膜厚が、前記活性層が設けられている側よりλ/4となる位置は、Mが奇数の場合には、上から(M+1)/2番目の調整層であり、Mが偶数の場合には、上からM/2番目または、(M/2)+1番目の調整層であることを特徴とする請求項1または2に記載の面発光レーザ素子。 - 前記波長調整層は、波長調整領域と、位相調整領域により形成されており、
前記波長調整領域は、前記2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層により形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の面発光レーザ素子。 - 前記波長調整層は、前記波長調整領域よりも前記共振器に近い側に形成されたコンタクト層を含むものであって、
前記コンタクト層は、一方の電極と接続されていることを特徴とする請求項4に記載の面発光レーザ素子。 - 前記波長調整層が、1組形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の面発光レーザ素子。
- 前記波長調整層は、上部ブラッグ反射鏡中に1組形成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の面発光レーザ素子。
- 前記波長調整層において、前記調整層ごとに除去することにより、前記波長調整層の膜厚を変えたものであって、
前記波長調整層における2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層のうち、一方の調整層は、第1のエッチング液により除去されるものであり、他方の調整層は、第2のエッチング液により除去されるものであり、
前記第1のエッチング液と前記第2のエッチング液とは異なるものであることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の面発光レーザ素子。 - 前記波長調整層における2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層のうち、一方の調整層はGaInPにより形成されており、他方の調整層はGaAsPまたはGaAsにより形成されているものであることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の面発光レーザ素子。
- 前記上部ブラッグ反射鏡には、前記活性層が形成されている側より順に、第1の上部ブラッグ反射鏡、波長調整層、第2の上部ブラッグ反射鏡が形成されているものを含むものであって、
前記第2の上部ブラッグ反射鏡は、屈折率の異なる誘電体を交互に積層形成することにより形成されたものであることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の面発光レーザ素子。 - 前記複数の波長のうちいずれか1つは、893.6nm〜895.6nm、851.3nm〜853.3nm、794.0nm〜796.0nm、779.2nm〜781.2nmの範囲に含まれるものであることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の面発光レーザ素子。
- 半導体基板の上に形成された下部ブラッグ反射鏡と、
前記下部ブラッグ反射鏡の上に形成された活性層を含む共振器と、
前記共振器の上に形成された上部ブラッグ反射鏡と、
を有する面発光レーザ素子の製造方法において、
前記上部ブラッグ反射鏡または前記下部ブラッグ反射鏡内には、波長調整層が形成されており、
前記波長調整層の厚さを変えることにより、異なる波長を各々出射する複数の面発光レーザを有するものであって、
前記波長調整層は、2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層を積層することにより形成されており、
前記波長調整層の厚さは、前記波長調整層における前記調整層を前記調整層ごとに除去し層数を変えることにより、変えたものであって、
前記波長調整層における2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層のうち、一方の調整層を第1のエッチング液により除去する工程と、
前記波長調整層における2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層のうち、他方の調整層を第2のエッチング液により除去する工程と、
を有し、前記第1のエッチング液と前記第2のエッチング液とが異なるものであることを特徴とする面発光レーザ素子の製造方法。 - 前記波長調整層における2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層のうち、一方の調整層はGaInPにより形成されており、他方の調整層はGaAsPまたはGaAsにより形成されているものであることを特徴とする請求項12に記載の面発光レーザ素子の製造方法。
- 前記上部ブラッグ反射鏡には、前記活性層が形成されている側より順に、第1の上部ブラッグ反射鏡、波長調整層、第2の上部ブラッグ反射鏡が形成されているものを含むものであって、
前記第2の上部ブラッグ反射鏡は、屈折率の異なる誘電体を交互に積層形成することにより形成されたものであることを特徴とする請求項12または13のいずれかに記載の面発光レーザ素子の製造方法。 - 請求項1から11のいずれかに記載の面発光レーザ素子と、
アルカリ金属を封入したアルカリ金属セルと、
前記面発光レーザ素子における面発光レーザより前記アルカリ金属セルに照射した光のうち、前記アルカリ金属セルを透過した光を検出する光検出器と、
を有し、前記面発光レーザより出射したサイドバンドを含む光のうち、2つの異なる波長の光を前記アルカリ金属セルに入射させることにより、2種類の共鳴光による量子干渉効果による光吸収特性により発振周波数を制御することを特徴とする原子発振器。 - 前記アルカリ金属は、ルビジウム、または、セシウムであることを特徴とする請求項15に記載の原子発振器。
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