JP2013089766A - 太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 n型シリコン結晶基板1の光入射面側に、i型シリコン膜2を介してp型非晶質シリコン膜3を有するセルを用い、p型非晶質系シリコン膜3上に製膜された透明導電層と、透明導電層上に製膜された反射防止層10と、透明導電層に電気的に接続された集電極S1とを備え、透明導電層は非晶質シリコン膜上に製膜された酸化インジウムを主成分とする導電膜6と、その上に製膜された酸化亜鉛を主成分とする導電膜8で構成される。
【選択図】 図3
Description
図1は本発明の太陽電池セルCを光の入射面(受光面)側から見た平面図であり、ほぼ等間隔で平行に配列された集電極Sと、集電極Sに接続されたバス電極Bを有している。集電極Sの配列ピッチは例えば、1mm〜3mmである。セルのサイズは使用する単結晶シリコン基板で決まり、例えば一辺の長さが125mm、156mmなどの角型(正方形ないし正方形に近い形状)のものが使用される。
図2は、実施の形態1の太陽電池100の構造を模式的に示す断面図であり、直列接続された複数の太陽電池セルCが、ガラス基板Gと保護フィルムFの間に配置され、透光性樹脂R内に封止されて、動作可能なモジュールが構成されている。
なお、ITO膜の厚みを低減し、AZO膜の厚みをITO膜と同等程度かそれ以上に厚くすることにより、希少なInを含むITOの使用量を低減することもできる。
図6は、実施の形態1の太陽電池セルの集電極周辺の他の構造例を示す断面拡大図である。図6に示すように、集電極S1、S2の幅は、開口部Kより広く形成されている。開口部Kの全幅が集電極S1で被覆されていることから、集電極S1と開口部Kのアライメントに多少のずれが生じても、集電極S1が導電膜に接触する面積が低減しにくい構造である。そのため、セル内および個体間の電気抵抗のばらつきが少ない太陽電池セルを得ることが出来る。
なお、集電極S1、S2は、スクリーン印刷法の他、インクジェット法、導線接着法、スプレー法等の公知技術によっても作製できる。
図7は実施の形態2の太陽電池セルの集電極周辺の構造を示す断面拡大図である。図7の太陽電池セルCは、反射防止層10の開口部の底部に導電膜8の一部が残留しているもので、例えばドライエッチング工程でエッチング時間を調整することで作製することができる。その他の構造は、実施の形態1と同様であり、基本的な構成と機能に違いはないことから、説明は省略する。導電膜8は通電を行うのに十分な導電性を有しているため、集電極S1とコンタクトすることにより、ほぼ問題なく集電極S1への導通を確保できる。また、集電極S1が開口部幅より狭い場合でも、残留する導電膜8によって、直下の導電膜6が保護されることから、高い信頼性を確保することができる。
図8は、実施の形態3の太陽電池セルの反射防止層12形成後の構造を示す断面図である。単結晶シリコン基板1、i型非晶質シリコン系薄膜層2、p型非晶質シリコン系薄膜層3、透明な第1の導電膜6、透明な第2の導電膜8は実施の形態1と同様である。太陽電池セルの外観は図1と同様であり、モジュール化された太陽電池の構造は図2と同様である。実施の形態3では、導電膜8上に下地電極Tが形成されており、下地電極T形成後に反射防止層12が製膜される。反射防止層12は、実施の形態1の反射防止層10と同様の材料から成るが、製膜直後は下地電極T上にも存在する。
上記の実施の形態の構成を用いた太陽電池セルとして、集電極S1周辺が図5の構造をもつセルを作製した。集電極S1の幅が開口部Kより細く形成され、開口部Kの幅は150±5μm、集電極S1の幅は100±10μmであった。導電膜6のITOの膜厚みは50nm、導電膜8のAZO膜は30nm、合計の膜厚みは80nmとし、いずれもスパッタリング法で形成した。反射防止層10は膜厚み40nmの窒化珪素膜をプラズマCVD法で形成した。集電極S1のピッチは2mmとした。裏面の集電極S2周辺構造も同様とした。
評価用モジュールは、ガラス板上でEVA樹脂を充填し、裏面にPETフィルムをラミネーターでラミネートして封止した。
さらに、図6に示された、集電極S1、S2の幅が開口部Kより広くなる構造のセルを作製した。具体的には、開口部Kの幅は実施例1と同じで、集電極S1、S2の幅を200±10μmとした。それ以外は実施例1と同様にして太陽電池モジュールを作製した。集電極S1、S2の幅が広いため、開口部Kの全幅が集電極S1、S2で被覆された構造となった。
セルに反射防止層と酸化亜鉛層を形成せず、導電膜6と集電極S1および導電膜7と集電極S2のコンタクト部分となる複数の開口部Kを作製しない以外は実施例1と同様にして、太陽電池モジュールを作製した。
2,4 i型非晶質シリコン膜
3 p型非晶質シリコン膜
5 n型非晶質シリコン膜
6,7 第1透明導電膜
8,9 第2透明導電膜
10,11 反射防止層
S、S1、S2 集電極
B バス電極
C 太陽電池セル
T 下地電極
Claims (7)
- 第1の導電型をもつシリコン結晶基板の光入射面側に、真性なシリコン薄膜を介して第2の導電型をもつ非晶質シリコン膜を有するセルを用い、前記セルとガラス板との間に透光性樹脂を充填した太陽電池であって、
前記セルは、
前記非晶質系シリコン膜上に製膜された透明導電層と、
前記透明導電層上に製膜された反射防止層と、
前記透明導電層に電気的に接続された集電極とを備え、
前記透明導電層は前記非晶質シリコン膜上に製膜された酸化インジウムを主成分とする第1導電膜と、前記第1導電膜上に製膜された酸化亜鉛を主成分とする第2導電膜とを含んで構成される太陽電池。 - 反射防止層の屈折率は第2導電膜の屈折率より小さく、透光性樹脂の屈折率より大きい、請求項1に記載の太陽電池。
- 反射防止層は窒化珪素膜または窒化酸化珪素膜である、請求項1または2に記載の太陽電池。
- 集電極は反射防止層に形成された開口溝に配置されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の太陽電池。
- 開口溝の底部には第2導電膜の少なくとも一部が残留して集電極と接している、請求項4に記載の太陽電池。
- 集電極は下地電極を介して第2導電膜に接続されている、請求項5に記載の太陽電池。
- 反射防止層がプラズマCVD法で製膜されていることを特徴とする、請求項3から請求項6のいずれか1項に記載の太陽電池。
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