JP2013051157A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013051157A5
JP2013051157A5 JP2011189112A JP2011189112A JP2013051157A5 JP 2013051157 A5 JP2013051157 A5 JP 2013051157A5 JP 2011189112 A JP2011189112 A JP 2011189112A JP 2011189112 A JP2011189112 A JP 2011189112A JP 2013051157 A5 JP2013051157 A5 JP 2013051157A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
target
transmission
sub
support substrate
transmission target
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011189112A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5871529B2 (ja
JP2013051157A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2011189112A priority Critical patent/JP5871529B2/ja
Priority claimed from JP2011189112A external-priority patent/JP5871529B2/ja
Priority to PCT/JP2012/072522 priority patent/WO2013032019A1/en
Priority to US14/241,426 priority patent/US9595415B2/en
Publication of JP2013051157A publication Critical patent/JP2013051157A/ja
Publication of JP2013051157A5 publication Critical patent/JP2013051157A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5871529B2 publication Critical patent/JP5871529B2/ja
Priority to US15/411,867 priority patent/US20170133192A1/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2011189112A 2011-08-31 2011-08-31 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置 Expired - Fee Related JP5871529B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011189112A JP5871529B2 (ja) 2011-08-31 2011-08-31 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置
PCT/JP2012/072522 WO2013032019A1 (en) 2011-08-31 2012-08-29 X-ray generator and x-ray imaging apparatus
US14/241,426 US9595415B2 (en) 2011-08-31 2012-08-29 X-ray generator and X-ray imaging apparatus
US15/411,867 US20170133192A1 (en) 2011-08-31 2017-01-20 X-ray generator and x-ray imaging apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011189112A JP5871529B2 (ja) 2011-08-31 2011-08-31 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013051157A JP2013051157A (ja) 2013-03-14
JP2013051157A5 true JP2013051157A5 (enExample) 2014-10-09
JP5871529B2 JP5871529B2 (ja) 2016-03-01

Family

ID=46940564

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011189112A Expired - Fee Related JP5871529B2 (ja) 2011-08-31 2011-08-31 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置

Country Status (3)

Country Link
US (2) US9595415B2 (enExample)
JP (1) JP5871529B2 (enExample)
WO (1) WO2013032019A1 (enExample)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102484934A (zh) 2009-04-16 2012-05-30 埃里克·H·西尔弗 单色x-射线方法和装置
JP5871528B2 (ja) * 2011-08-31 2016-03-01 キヤノン株式会社 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置
JP5901180B2 (ja) * 2011-08-31 2016-04-06 キヤノン株式会社 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置
JP5871529B2 (ja) * 2011-08-31 2016-03-01 キヤノン株式会社 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置
JP5750763B2 (ja) * 2011-09-09 2015-07-22 国立研究開発法人産業技術総合研究所 Ｘ線顕微鏡用試料収容セルおよびｘ線顕微鏡像の観察方法
US20150117599A1 (en) * 2013-10-31 2015-04-30 Sigray, Inc. X-ray interferometric imaging system
JP2015028879A (ja) * 2013-07-30 2015-02-12 東京エレクトロン株式会社 Ｘ線発生用ターゲット及びｘ線発生装置
KR101754277B1 (ko) 2013-09-03 2017-07-06 한국전자통신연구원 아노드 전극을 구비하는 엑스선 튜브
US10295485B2 (en) 2013-12-05 2019-05-21 Sigray, Inc. X-ray transmission spectrometer system
JP6281229B2 (ja) * 2013-10-07 2018-02-21 株式会社ニコン Ｘ線源、ｘ線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム
USRE48612E1 (en) 2013-10-31 2021-06-29 Sigray, Inc. X-ray interferometric imaging system
KR20150051820A (ko) * 2013-11-05 2015-05-13 삼성전자주식회사 투과형 평판 엑스레이 발생 장치 및 엑스레이 영상 시스템
US20150369758A1 (en) 2014-06-24 2015-12-24 Eric H. Silver Methods and apparatus for determining information regarding chemical composition using x-ray radiation
KR102231275B1 (ko) * 2016-01-26 2021-03-23 한국전자통신연구원 엑스선 튜브
CN118845062A (zh) 2017-05-19 2024-10-29 想像科学有限公司 单色x射线装置
FR3069099B1 (fr) * 2017-07-11 2023-07-21 Thales Sa Source generatrice de rayons ionisants compacte, ensemble comprenant plusieurs sources et procede de realisation de la source
KR101966794B1 (ko) * 2017-07-12 2019-08-27 (주)선재하이테크 전자 집속 개선용 엑스선관
US10818467B2 (en) * 2018-02-09 2020-10-27 Imagine Scientific, Inc. Monochromatic x-ray imaging systems and methods
CA3129632A1 (en) 2018-02-09 2019-08-15 Imagine Scientific, Inc. Monochromatic x-ray imaging systems and methods
JP7195341B2 (ja) 2018-06-04 2022-12-23 シグレイ、インコーポレイテッド 波長分散型ｘ線分光計
EP3599619B1 (de) * 2018-07-25 2025-11-19 Siemens Healthineers AG Röntgenemitter und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung
CN112470245B (zh) 2018-07-26 2025-03-18 斯格瑞公司 高亮度x射线反射源
DE112019004433B4 (de) 2018-09-04 2024-09-12 Sigray, Inc. System und verfahren für röntgenstrahlfluoreszenz mit filterung
WO2020051221A2 (en) 2018-09-07 2020-03-12 Sigray, Inc. System and method for depth-selectable x-ray analysis
WO2020056281A1 (en) 2018-09-14 2020-03-19 Imagine Scientific, Inc. Monochromatic x-ray component systems and methods
US11315751B2 (en) * 2019-04-25 2022-04-26 The Boeing Company Electromagnetic X-ray control
US11152183B2 (en) 2019-07-15 2021-10-19 Sigray, Inc. X-ray source with rotating anode at atmospheric pressure
US20220230833A1 (en) * 2021-01-20 2022-07-21 Moxtek, Inc. Target Features to Increase X-Ray Flux
DE112023000574T5 (de) 2022-01-13 2024-10-24 Sigray, Inc. Mikrofokus-röntgenquelle zur erzeugung von röntgenstrahlen mit hohem fluss und niedriger energie
US12360067B2 (en) 2022-03-02 2025-07-15 Sigray, Inc. X-ray fluorescence system and x-ray source with electrically insulative target material
US12181423B1 (en) * 2023-09-07 2024-12-31 Sigray, Inc. Secondary image removal using high resolution x-ray transmission sources

Family Cites Families (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3840748A (en) * 1973-06-04 1974-10-08 Bendix Corp Electron and x-ray generator
FR2355428A1 (fr) * 1976-06-14 1978-01-13 Elf Aquitaine Dispositif d'irradiation a haut rendement comportant un tube generateur de rayons x avec anode fenetre
JPH0750594B2 (ja) 1989-02-20 1995-05-31 浜松ホトニクス株式会社 Ｘ線発生管用ターゲットおよびｘ線発生管
DE69316040T2 (de) * 1992-01-27 1998-07-23 Koninkl Philips Electronics Nv Röntgenröhre mit verbessertem Wärmehaushalt
DE19544203A1 (de) 1995-11-28 1997-06-05 Philips Patentverwaltung Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröntgenröhre
JPH11144653A (ja) * 1997-11-06 1999-05-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Ｘ線発生装置
US6151384A (en) 1998-07-14 2000-11-21 Sandia Corporation X-ray tube with magnetic electron steering
CN1129164C (zh) 1998-10-22 2003-11-26 沈阳师范学院 透射式阳极x线机
JP2002343290A (ja) * 2001-05-21 2002-11-29 Medeiekkusutekku Kk Ｘ線管ターゲット、ｘ線発生器、ｘ線検査装置およびｘ線管ターゲットの製造方法
JP2002352754A (ja) * 2001-05-29 2002-12-06 Shimadzu Corp 透過型ｘ線ターゲット
US6661876B2 (en) 2001-07-30 2003-12-09 Moxtek, Inc. Mobile miniature X-ray source
US7186022B2 (en) * 2002-01-31 2007-03-06 The Johns Hopkins University X-ray source and method for more efficiently producing selectable x-ray frequencies
JP4174626B2 (ja) * 2002-07-19 2008-11-05 株式会社島津製作所 Ｘ線発生装置
CN100394529C (zh) * 2002-09-13 2008-06-11 莫克斯泰克公司 辐射窗及其制造方法
US7130379B2 (en) * 2003-05-28 2006-10-31 International Business Machines Corporation Device and method for generating an x-ray point source by geometric confinement
JP5128752B2 (ja) * 2004-04-07 2013-01-23 日立協和エンジニアリング株式会社 透過型ｘ線管及びその製造方法
US7274772B2 (en) * 2004-05-27 2007-09-25 Cabot Microelectronics Corporation X-ray source with nonparallel geometry
JP2006236656A (ja) 2005-02-23 2006-09-07 Hitachi Zosen Corp 冷却手段を備えたｘ線ターゲット部材の製造方法およびこれにより製造されたｘ線ターゲット部材を備えた重金属類検出用の高出力ｘ線発生装置
US7382862B2 (en) * 2005-09-30 2008-06-03 Moxtek, Inc. X-ray tube cathode with reduced unintended electrical field emission
DE102005053386A1 (de) 2005-11-07 2007-05-16 Comet Gmbh Nanofocus-Röntgenröhre
JP4878311B2 (ja) * 2006-03-03 2012-02-15 キヤノン株式会社 マルチｘ線発生装置
JP2008050667A (ja) * 2006-08-25 2008-03-06 Mitsubishi Electric Corp 薄膜形成装置
EP2006880A1 (en) * 2007-06-19 2008-12-24 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Miniature X-ray source with guiding means for electrons and / or ions
JP4956701B2 (ja) 2007-07-28 2012-06-20 エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 Ｘ線管及びｘ線分析装置
JP5135602B2 (ja) 2007-07-28 2013-02-06 エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 Ｘ線管及びｘ線分析装置
JP4886713B2 (ja) 2008-02-13 2012-02-29 キヤノン株式会社 Ｘ線撮影装置及びその制御方法
JP5294653B2 (ja) 2008-02-28 2013-09-18 キヤノン株式会社 マルチｘ線発生装置及びｘ線撮影装置
US7869572B2 (en) 2008-05-07 2011-01-11 General Electric Company Apparatus for reducing kV-dependent artifacts in an imaging system and method of making same
JP2010027302A (ja) 2008-07-16 2010-02-04 Bruker Axs Kk Ｘ線発生装置
JP2010075245A (ja) * 2008-09-24 2010-04-08 Fujifilm Corp 放射線画像撮影装置
JP5590820B2 (ja) * 2009-05-18 2014-09-17 キヤノン株式会社 制御装置、制御方法およびプログラム
JP5687001B2 (ja) 2009-08-31 2015-03-18 浜松ホトニクス株式会社 Ｘ線発生装置
JP5670111B2 (ja) * 2009-09-04 2015-02-18 東京エレクトロン株式会社 Ｘ線発生用ターゲット、ｘ線発生装置、及びｘ線発生用ターゲットの製造方法
JP2011189112A (ja) 2010-02-22 2011-09-29 Kunihiko Teraoka 傘カバー並びにそれを用いた傘およびそれに用いられる袋片
JP5641916B2 (ja) 2010-02-23 2014-12-17 キヤノン株式会社 放射線発生装置および放射線撮像システム
US8406378B2 (en) * 2010-08-25 2013-03-26 Gamc Biotech Development Co., Ltd. Thick targets for transmission x-ray tubes
JP5854707B2 (ja) * 2011-08-31 2016-02-09 キヤノン株式会社 透過型ｘ線発生管及び透過型ｘ線発生装置
JP5896649B2 (ja) * 2011-08-31 2016-03-30 キヤノン株式会社 ターゲット構造体及びｘ線発生装置
JP2013051165A (ja) * 2011-08-31 2013-03-14 Canon Inc 透過型ｘ線発生装置
JP5871529B2 (ja) * 2011-08-31 2016-03-01 キヤノン株式会社 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置
JP5901180B2 (ja) * 2011-08-31 2016-04-06 キヤノン株式会社 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置
JP2013218933A (ja) * 2012-04-10 2013-10-24 Canon Inc 微小焦点ｘ線発生装置及びｘ線撮影装置
EP2849202A4 (en) * 2012-05-11 2015-12-30 Hamamatsu Photonics Kk X-RAY GENERATION DEVICE AND PRODUCTION METHOD

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013051157A5 (enExample)
JP2013051164A5 (enExample)
JP2013051154A5 (enExample)
JP2013051165A5 (enExample)
WO2013032017A3 (en) X-ray generation apparatus and x-ray radiographic apparatus
JP2013020791A5 (enExample)
JP2009535788A5 (enExample)
WO2013032020A3 (en) X-ray generator and x-ray imaging apparatus
JP2015058180A5 (enExample)
JP2014520363A5 (enExample)
GB201120237D0 (en) A graphite backscattered electron shield for use in an x-ray tube
JP2013171925A5 (enExample)
JP2013020792A5 (enExample)
WO2012125492A3 (en) A triboelectric x-ray source
JP2016103451A5 (enExample)
JP2015019987A5 (enExample)
JP2016053608A5 (enExample)
JP2014154499A5 (enExample)
JP2015518628A5 (ja) イオン注入装置、およびイオン注入装置の動作方法
JP2016511924A5 (enExample)
JP2013120126A5 (enExample)
JP2012256443A5 (enExample)
PL2283508T3 (pl) Źródło promieniowania i sposób wytwarzania promieniowania rentgenowskiego
JP2012256441A5 (enExample)
WO2012005338A3 (ja) X線発生装置