JP2013023440A - アルコールの精製方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルコール含有液から精製アルコールを得るアルコール精製装置において、アルコール含有液に対してイオン交換処理を行う第1のイオン交換手段23と、第1のイオン交換手段23で処理された液を浸透気化あるいは蒸気透過によって脱水する脱水膜24と、脱水膜24により脱水された液を蒸留する蒸留手段25と、脱水膜24の出口から得られた液または脱水膜の後段を流れる液を測定対象としてアルコール濃度または水分濃度を測定する測定手段28と、測定対象の液を第1のイオン交換手段21よりも前に戻す循環ライン29と、を設ける。アルコール濃度または水分濃度が設定された条件を満たさない場合に、循環ライン29を介し、測定対象の液を第1のイオン交換手段23の入口側に戻す。
【選択図】図1
Description
図1に示した構成のうち、アルコール精製装置20の部分を組み立てた。第1のイオン交換手段23として、オルガノ株式会社製のゲル形イオン交換樹脂(強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂との混床のイオン交換樹脂)ESG−2を充填したものを用いた。イオン交換樹脂は水分を含有している状態で使用した。
図2に示した構成のうち、アルコール精製装置30の部分を組み立てた。第1のイオン交換手段23として、オルガノ株式会社製のゲル形イオン交換樹脂(強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂との混床のイオン交換樹脂)ESG−2を充填したものを用いた。イオン交換樹脂は水分を含有している状態で使用した。脱水膜24としては、A型ゼオライトを素材とする膜を使用し、蒸気透過法による脱水処理を行った。第2のイオン交換手段26としては、旭化成株式会社製のイオン吸着膜を用い、精密濾過膜27としては、0.02μmの孔径を有するものを用いた。
実施例2において回収タンク21に供給されるアルコール含有液の水分濃度が12%であることを除いては、実施例2と同様の条件で通液を行い、回収タンク21、第1のイオン交換手段23、脱水膜24、蒸留手段25、第2のイオン交換手段26及び精密濾過膜27の各々の出口における水分濃度を測定した。結果を図4に示す。
次に、アルコール中における水分濃度が低い場合に、不純物としての鉄やアルミニウムを極微量にまで低減するためには、イオン吸着膜での処理の後段に精密濾過膜による処理を行うべきであることを示す。
水分量が4000ppmであることを除いて実施例4と同様の実験を行った。結果を表2に示す。これより、IPA中の水分量が0.1%以下でないと、精密濾過膜でFe,Alが除去できないことが分かる。
孔径30nmの精密濾過膜(日本インテグリス株式会社製)を使用したことを除いて、実施例4と同様の実験を行った。結果を表3に示す。これより、精密濾過膜の孔径が20nm以下でないと、精密濾過膜でFe,Alを低濃度に除去することができないことが分かる。
12 半導体デバイス製造装置
20,30 アルコール精製装置
21 回収タンク
22 ポンプ
23 第1のイオン交換手段
24 脱水膜
25 蒸留手段
26 第2のイオン交換手段
27 精密濾過膜
28 測定手段
29 循環ライン
Claims (15)
- アルコール含有液に対してイオン交換処理を行う第1のイオン交換工程と、
前記第1のイオン交換工程で処理された液に対し脱水膜を用いて脱水処理を行う脱水工程と、
前記脱水処理された液に対して蒸留を行う蒸留工程と、
を有するアルコール精製方法であって、
前記脱水工程または該脱水工程に引き続く工程で得られた液に関し、当該液におけるアルコール濃度または水分濃度を測定する測定工程をさらに有し、
前記アルコール濃度または前記水分濃度が設定された条件を満たさない場合に、前記測定工程の対象とされた液を前記第1のイオン交換工程に戻す、アルコール精製方法。 - 前記測定工程の後段に、前記蒸留工程で得られた液に対しイオン交換処理を行う第2のイオン交換工程をさらに有する、請求項1に記載のアルコール精製方法。
- 前記第2のイオン交換工程で得られた液に対し精密濾過膜を用いて濾過処理を行う濾過工程をさらに有し、
前記設定された条件は、前記アルコール濃度が99.9%以上である、及び前記水分濃度が1000ppm以下である、の少なくとも一方を満たすことである、請求項2に記載のアルコール精製方法。 - 前記第2のイオン交換工程は、イオン吸着膜に通液する工程である、請求項2または3に記載のアルコール精製方法。
- ゼオライトを材質とする前記脱水膜を使用する、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のアルコール精製方法。
- 前記第1のイオン交換工程は、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを混床としたイオン交換樹脂層に通液する工程である、請求項1乃至5のいずれか1項に記載のアルコール精製方法。
- 前記アルコール含有液はイソプロピルアルコールを含む液であって、イソプロピルアルコールの精製を行う、請求項1乃至6のいずれか1項に記載のアルコール精製方法。
- アルコール含有液に対してイオン交換処理を行う第1のイオン交換手段と、
前記第1のイオン交換手段で処理された液を浸透気化あるいは蒸気透過によって脱水する脱水膜と、
前記脱水膜により脱水された液を蒸留する蒸留手段と、
を有するアルコール精製装置であって、
前記脱水膜の出口から得られた液または前記脱水膜の後段を流れる液を測定対象として、該測定対象の液におけるアルコール濃度または水分濃度を測定する測定手段と、
前記測定対象の液を前記第1のイオン交換手段よりも前に戻す循環ラインと、
をさらに有し、
前記アルコール濃度または前記水分濃度が設定された条件を満たさない場合に、前記測定対象とされた液が、前記循環ラインを介して前記第1のイオン交換手段よりも前に戻される、アルコール精製装置。 - 前記測定手段の後段に、前記蒸留手段で得られた液に対しイオン交換処理を行う第2のイオン交換手段をさらに有する、請求項8に記載のアルコール精製装置。
- 精密濾過膜を備え、前記第2のイオン交換手段で得られた液に対し濾過処理を行う濾過手段をさらに有し、
前記設定された条件は、前記アルコール濃度が99.9%以上である、及び前記水分濃度が1000ppm以下である、の少なくとも一方を満たすことである、請求項9に記載のアルコール精製装置。 - 前記第2のイオン交換手段は、イオン吸着膜である、請求項9または10に記載のアルコール精製装置。
- 前記測定手段は超音波測定方式のアルコール濃度計である、請求項8乃至11のいずれか1項に記載のアルコール精製装置。
- 前記脱水膜はゼオライトを材質とする、請求項8乃至12のいずれか1項に記載のアルコール精製装置。
- 前記第1のイオン交換手段は、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを混床としたイオン交換樹脂である、請求項8乃至13のいずれか1項に記載のアルコール精製装置。
- 前記アルコール含有液はイソプロピルアルコールを含む液であって、イソプロピルアルコールの精製を行う、請求項8乃至14のいずれか1項に記載のアルコール精製装置。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160102884A (ko) | 2015-02-23 | 2016-08-31 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 증기 공급 장치, 증기 건조 장치, 증기 공급 방법 및 증기 건조 방법 |
JP2020121261A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | オルガノ株式会社 | イオン交換樹脂の前処理装置およびイオン交換樹脂の前処理方法 |
JP2020195947A (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-10 | オルガノ株式会社 | イオン交換樹脂の前処理装置およびイオン交換樹脂の前処理方法 |
JP2020195946A (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-10 | オルガノ株式会社 | イオン交換樹脂の前処理装置およびイオン交換樹脂の前処理方法 |
WO2021195459A1 (en) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Systems and methods for purifying solvents |
WO2021195457A1 (en) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Systems and methods for purifying solvents |
WO2022030380A1 (ja) * | 2020-08-04 | 2022-02-10 | オルガノ株式会社 | 極性有機溶媒の精製方法、極性有機溶媒の精製装置、分析方法及び精製極性有機溶媒の製造方法 |
CN114307368A (zh) * | 2022-02-15 | 2022-04-12 | 北京袭明科技有限公司 | 一种高纯电子级乙醇生产方法及装置 |
CN116354795A (zh) * | 2023-06-01 | 2023-06-30 | 天津市康科德科技有限公司 | 一种色谱纯异丙醇的纯化方法 |
JP7496709B2 (ja) | 2020-04-27 | 2024-06-07 | オルガノ株式会社 | 精製イオン交換樹脂の製造方法および精製イオン交換樹脂の製造装置 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58211000A (ja) * | 1982-06-03 | 1983-12-08 | 株式会社トクヤマ | 有機溶剤の精製方法 |
JPS61239628A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-24 | Tokuyama Soda Co Ltd | 半導体基材の洗浄方法 |
JPS63116705A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-05-21 | ゲ−エフテ− ゲゼルシヤフト フユア トレンテヒニク ミツト ベシユレンクテル ハフツング | パ−ベ−パレ−ション法及びそれに用いる膜 |
JPH0531333A (ja) * | 1990-12-27 | 1993-02-09 | Mitsubishi Kasei Eng Co | 混合液体分離方法 |
JPH05255154A (ja) * | 1993-02-08 | 1993-10-05 | Tokuyama Soda Co Ltd | イソプロピルアルコール |
JPH0680594A (ja) * | 1992-09-03 | 1994-03-22 | Daiso Co Ltd | 重金属除去方法 |
JPH0957069A (ja) * | 1995-08-30 | 1997-03-04 | Mitsubishi Chem Eng Corp | 浸透気化法による有機液体の精製方法及びそれに用いる装置並びにこれらを利用した蒸気乾燥 |
JPH1135504A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-09 | Mitsubishi Chem Corp | イソプロピルアルコールの回収方法 |
JPH1157304A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-02 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体素子製造用化学薬品の精製方法及びその再生システム |
JPH11276801A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-12 | Mitsubishi Chemical Engineering Corp | 混合液体精製方法及び混合液体精製装置 |
JP2003535836A (ja) * | 2000-06-02 | 2003-12-02 | エクソンモービル・ケミカル・パテンツ・インク | 超高純度イソプロパノールの製造方法 |
JP2004181352A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Japan Organo Co Ltd | 非水液状物の精製方法 |
JP2009057286A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-19 | Japan Organo Co Ltd | 陽イオン性不純物を含むアルコールの精製方法 |
JP2013023439A (ja) * | 2011-07-15 | 2013-02-04 | Japan Organo Co Ltd | アルコールの精製方法及び装置 |
-
2011
- 2011-07-15 JP JP2011156323A patent/JP5762861B2/ja active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58211000A (ja) * | 1982-06-03 | 1983-12-08 | 株式会社トクヤマ | 有機溶剤の精製方法 |
JPS61239628A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-24 | Tokuyama Soda Co Ltd | 半導体基材の洗浄方法 |
JPS63116705A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-05-21 | ゲ−エフテ− ゲゼルシヤフト フユア トレンテヒニク ミツト ベシユレンクテル ハフツング | パ−ベ−パレ−ション法及びそれに用いる膜 |
JPH0531333A (ja) * | 1990-12-27 | 1993-02-09 | Mitsubishi Kasei Eng Co | 混合液体分離方法 |
JPH0680594A (ja) * | 1992-09-03 | 1994-03-22 | Daiso Co Ltd | 重金属除去方法 |
JPH05255154A (ja) * | 1993-02-08 | 1993-10-05 | Tokuyama Soda Co Ltd | イソプロピルアルコール |
JPH0957069A (ja) * | 1995-08-30 | 1997-03-04 | Mitsubishi Chem Eng Corp | 浸透気化法による有機液体の精製方法及びそれに用いる装置並びにこれらを利用した蒸気乾燥 |
JPH1135504A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-09 | Mitsubishi Chem Corp | イソプロピルアルコールの回収方法 |
JPH1157304A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-02 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体素子製造用化学薬品の精製方法及びその再生システム |
JPH11276801A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-12 | Mitsubishi Chemical Engineering Corp | 混合液体精製方法及び混合液体精製装置 |
JP2003535836A (ja) * | 2000-06-02 | 2003-12-02 | エクソンモービル・ケミカル・パテンツ・インク | 超高純度イソプロパノールの製造方法 |
JP2004181352A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Japan Organo Co Ltd | 非水液状物の精製方法 |
JP2009057286A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-19 | Japan Organo Co Ltd | 陽イオン性不純物を含むアルコールの精製方法 |
JP2013023439A (ja) * | 2011-07-15 | 2013-02-04 | Japan Organo Co Ltd | アルコールの精製方法及び装置 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9976804B2 (en) | 2015-02-23 | 2018-05-22 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Vapor supplying apparatus, vapor drying apparatus, vapor supplying method, and vapor drying method |
US10612844B2 (en) | 2015-02-23 | 2020-04-07 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Vapor supplying apparatus, vapor drying apparatus, vapor supplying method, and vapor drying method |
KR20160102884A (ko) | 2015-02-23 | 2016-08-31 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 증기 공급 장치, 증기 건조 장치, 증기 공급 방법 및 증기 건조 방법 |
JP7153580B2 (ja) | 2019-01-30 | 2022-10-14 | オルガノ株式会社 | イオン交換樹脂の前処理装置およびイオン交換樹脂の前処理方法 |
JP2020121261A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | オルガノ株式会社 | イオン交換樹脂の前処理装置およびイオン交換樹脂の前処理方法 |
KR102497501B1 (ko) * | 2019-01-30 | 2023-02-08 | 오르가노 코포레이션 | 이온교환수지의 전처리장치 및 이온교환수지의 전처리방법 |
KR20210062080A (ko) * | 2019-01-30 | 2021-05-28 | 오르가노 코포레이션 | 이온교환수지의 전처리장치 및 이온교환수지의 전처리방법 |
JP2020195947A (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-10 | オルガノ株式会社 | イオン交換樹脂の前処理装置およびイオン交換樹脂の前処理方法 |
JP2020195946A (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-10 | オルガノ株式会社 | イオン交換樹脂の前処理装置およびイオン交換樹脂の前処理方法 |
WO2021195457A1 (en) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Systems and methods for purifying solvents |
WO2021195459A1 (en) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Systems and methods for purifying solvents |
EP4126288A4 (en) * | 2020-03-27 | 2023-08-23 | FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc. | SOLVENT PURIFICATION SYSTEMS AND METHODS |
JP7496709B2 (ja) | 2020-04-27 | 2024-06-07 | オルガノ株式会社 | 精製イオン交換樹脂の製造方法および精製イオン交換樹脂の製造装置 |
WO2022030380A1 (ja) * | 2020-08-04 | 2022-02-10 | オルガノ株式会社 | 極性有機溶媒の精製方法、極性有機溶媒の精製装置、分析方法及び精製極性有機溶媒の製造方法 |
CN114307368A (zh) * | 2022-02-15 | 2022-04-12 | 北京袭明科技有限公司 | 一种高纯电子级乙醇生产方法及装置 |
CN116354795A (zh) * | 2023-06-01 | 2023-06-30 | 天津市康科德科技有限公司 | 一种色谱纯异丙醇的纯化方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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