JP2012531619A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Abstract

【課題】映像表示素子の遮光膜の形成に適した感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、膜形成の際に適正な光学密度及び疎水性を示すことにより、これを用いて形成された隔壁(遮光膜)によって定義される領域内へのインクジェットプリントによるジェッティング方法を介してのカラーインク注入の際に混入又はカラーインクの位置ずれを防止するのに有用である。
【選択図】なし

Description

本発明は、例えば液晶表示装置(以下、LCDという)などの映像表示素子の遮光膜形成に適した感光性樹脂組成物に関する。
LCDは、液晶分子の光学的異方性と複屈折特性を用いて画像を表現するものであって、電界が印加されると、液晶の配列が変わり、変わった液晶の配列方向に応じて光の透過特性も変わる。
一般に、LCDは、電界生成電極がそれぞれ形成されている2つの基板を、2つの電極が向かい合うように配置し、両基板の間に液晶物質を注入した後、2つの電極の間に電圧を印加して生成される電場によって液晶分子を動かすことにより、変化する光の透過率によって画像を表現する装置である。
例えば、広く使われている薄膜トランジスタ(TFT)−LCDは、TFTと画素電極が配列されている下部基板(いわゆるアレイ基板)と;プラスチック又はガラスからなる基板の上部に、ブラックマトリクスと赤、緑、青の3色の着色層が繰り返し形成され、その上にカラーフィルターの保護と表面平滑性の維持のためにポリイミド、ポリアクリレート、ポリウレタンなどの材料からなる厚さ1〜3μmのオーバーコート層が形成され、該オーバーコート層の上部には液晶駆動のための電圧が印加されるITO(Indium Tin Oxide)透明伝導膜層が形成されてなる上部基板(いわゆるカラーフィルター基板)と;上部基板と下部基板との間に充填されている液晶と;から構成されており、2つの基板の両面には可視光線(自然光)を線偏光させる偏光板がそれぞれ取り付けられている構造を持つ。外部の周辺回路によって画素を成しているTFTのゲートに電圧を印加してTFTをターンオン状態にして、液晶に映像電圧が入力できる状態となるようにした後、映像電圧を印加して液晶に映像情報を格納し、しかる後に、TFTをターンオフして液晶充填器及び補助充填器に蓄えられた電荷が保存されるようにして、一定の時間映像イメージを表示するようにする。液晶に電圧を印加すると、液晶の配列が変化するが、この状態の液晶を光が透過すると、回折が起こる。この光を偏光板に透過させて所望の映像を得る。
最近では、LCDのカラーフィルターを上部基板、すなわちカラーフィルター基板ではなく、下部基板、すなわちアレイ基板上に形成して開口率を高め、製造工程を減少させながら製造コストを低減させるための努力が進行中である。
このような構造的変化を考慮しても、カラーフィルターを製造する方法は、共通に、染色方式、分散方式、電着方式、印刷方式、ジェッティング方式などを使用しており、インクジェットプリントによるジェッティング方式でカラーフィルターを製造する技術は、カラーフィルターの製造工程を単純化させ且つ製造コストを低減させることができるという利点がある。ところが、インクジェットプリントによるジェッティング方式で製造されたカラーフィルターは、ガラス基板内、表示セル内の均一性の確保に最も大きい難しさを抱えている。このようなカラーフィルターの均一性不良の原因としては、主に、インクジェットプリントヘッドの各ノズルが吐き出すインク量の差異によって発生する。インクジェットプリントヘッドの各ノズルが吐き出すインク量の差異は、各画素領域に充填されるカラーインクの量が変わることにより斑として視認されるという問題点がある。また、遮光パターン、すなわちブラックマトリクスが定義する画素領域に対応する内部空間にカラーインクが充填される場合、遮光パターンと前記カラーインク間の反発力及びカラーインクの表面張力によってカラーインクの表面が膨出するドーム状になれる。このように内部空間にドーム状に充填されたカラーインクにより、画素領域の中央に形成されたカラーフィルターの厚さが画素領域のエッジに形成されたカラーフィルターの厚さとは異なり、色差が発生しうる。これらの要因によるカラーフィルターの均一性の不良は究極的に表示品質を低下させる。
そこで、本発明は、硬化膜形成の際に、適切な光学密度及び適正な疎水性を示す感光性樹脂組成物を提供しようとする。
特に、本発明は、インクジェットプリントによるジェッティング方式で着色層を形成する際に隔壁材として有用な感光性樹脂組成物を提供しようとする。
本発明の一態様は、アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂及びカルド系バインダー樹脂を含み、樹脂硬化膜形成の際に、以下の第1条件〜第3条件を全て満足する、感光性樹脂組成物を提供する。第1条件は単位厚さ2.00μm当たりの光学密度(OD)が2.0以上であること、第2条件は水に対する接触角が85°以上であること、第3条件は2−エトキシエタノールに対する接触角が35°以上であること。
本発明の一態様において、前記樹脂硬化膜形成の際に、水に対する接触角が85〜110°であってもよい。
本発明の一態様において、前記樹脂硬化膜形成の際に、2−エトキシエタノールに対する接触角が35〜50°であってもよい。
本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物は、混合すると実質的に黒色を発現することが可能な少なくとも2種の顔料成分からなる顔料混合物を含有する着色剤を含んでもよい。この際、前記顔料混合物は、レッド顔料及びブルー顔料を基本的に含み、イエロー顔料、グリーン顔料及びバイオレット顔料の中から選ばれた2種をさらに含んでもよく、好ましくは、前記顔料混合物は、前記着色剤の全体重量に対し、固形分含有量を基準として前記レッド顔料10〜50重量%、前記ブルー顔料10〜50重量%、前記イエロー顔料1〜20重量%、及び前記グリーン顔料1〜20重量%を含んでもよい。また、前記顔料混合物は、前記着色剤の全体重量に対し、固形分含有量を基準として前記バイオレット顔料1〜20重量%を含んでもよい。
本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物において、前記顔料混合物はブラック顔料を含んでもよい。この際、前記ブラック顔料は、前記着色剤の全体重量に対し、固形分含有量を基準として10重量%以下で使用されてもよい。
本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物において、前記着色剤は前記感光性樹脂組成物の全体重量に対して20〜80重量%で使用されてもよい。
本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和二重結合を有する多官能性モノマー、光重合開始剤、及び溶媒を含んでもよい。
本発明の一態様において、前記アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂はエポキシ基を含んでもよい。
本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物において、前記アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂がフッ素基を含んでもよく、特に前記アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂のフッ素含有量が5〜50重量%であってもよい。
本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物において、前記顔料混合物はそれぞれの顔料が溶媒中に分散した顔料分散液の形で提供されてもよく、前記顔料分散液はアクリレート系顔料分散剤の中から選択される少なくとも1種の顔料分散剤を含有してもよく、前記顔料分散液は前記顔料分散液の全体重量に対して3〜20重量%の前記顔料分散剤を含有してもよい。
本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物において、前記顔料分散液はフッ素基を含有するアクリル系バインダー樹脂を含んでもよい。
本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物において、前記カルド系バインダー樹脂はフッ素基を含有してもよい。
本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物は、フッ素基含有エポキシモノマーを含んでもよい。
また、本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物は、フッ素基含有シロキサン系モノマーを含んでもよい。
本発明の一態様において、前記硬化膜形成の際に、硬化膜重量1g当たりのフッ素含有量が5〜50重量%であってもよい。
本発明の他の態様は、上述した感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法によって形成されたブラックマトリクスを含む、カラーフィルター基板を提供する。
本発明の別の態様は、上述した感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法によって形成されたブラックマトリクスを含む、薄膜トランジスタ基板を提供する。
本発明のさらに別の態様は、上述したカラーフィルター基板を上部基板として含む、映像表示素子を提供する。
本発明のさらに別の態様は、上述したカラーフィルター基板を下部基板として含む、映像表示素子を提供する。
本発明に係る感光性樹脂組成物は、硬化膜形成の際に適切な光学密度及び適正な疎水性を示す。よって、このような組成物を用いて遮光性パターンを形成する場合、遮光パターンによって定義される領域内にインクジェットプリントによるジェッティング方式でカラーインクを注入することにより、カラーインクが遮光パターンを越えて混色し或いは位置ずれするなどの問題を解決することができる。これにより、インクジェットプリントによるジェッティング方式で着色層を形成することが容易であり、究極的には表示不良を減らすことができる。
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
カラーフィルターの製造において、インクジェットプリントによるジェッティング方法は、遮光性を有する感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法によって遮光パターンを形成した後、遮光パターンによって定義される各画素に対応する領域内にそれぞれのカラーインク(赤、緑、青)をジェッティングして着色層を形成する方法である。
このような方法によって着色層を形成する場合、フォトリソグラフィー法によって赤、緑、青の着色層を形成する方法に比べて、工程を単純化させ且つコストも節減することができる。さらに、カラーインクの注入量に応じて色再現率が増加しうるため、色再現性に優れるうえ、パターンの厚さ及び組成を一定に保つことができる。その上、微細回路パターンの実現がより容易であり、フレキシブルディスプレイ用などへの応用も容易である。しかも、フォトレジスト、溶媒及びエネルギーなどの浪費が少なくて環境にやさしい方法である。
ところが、インクジェットプリントによるジェッティング方法は、インクジェットプリントの正確性と能力を要求するとともに、インクジェットプリントのための関連素材を必要とする。
そのため、本発明は、その一環として案出されたもので、このようなインクジェットプリントによるジェッティング方法で着色層を形成する際に有用な遮光パターンを形成することが可能な感光性樹脂組成物に関するものである。
このような見地で、本発明の一実施態様に係る感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂及びカルド系バインダー樹脂を含み、樹脂硬化膜形成の際に、以下の第1条件〜第3条件を全て満足する、感光性樹脂組成物を提供する。
第1条件は単位厚さ2.00μm当たりの光学密度(OD)が2.0以上であること。
第2条件は水に対する接触角が85°以上であること。
第3条件は2−エトキシエタノールに対する接触角が35°以上であること。
もし単位厚さ2μm当たりの光学密度(OD)が2.0未満であれば、多少厚さが厚くなっても、適正な遮光効果を発現することが難しいおそれがあり、遮光膜として機能する場合には遮光性が十分に発現できないため、透明画素電極以外に透過されて制御されない光を遮断することができなくなることがある。
また、樹脂硬化膜形成の際に、水に対する接触角が85°より小さい場合、インクジェッティングの際に、画素領域におけるインク液毀れなどの問題又は充填されるカラーインクの量が変わる問題がありうる。
また、2−エトキシエタノールに対する接触角が40°より小さい場合、インクジェッティングの際に、画素領域におけるインク液毀れなどの問題又は充填されるカラーインクの量が変わる問題がありうる。
通常ガラス面上に形成された遮光パターン内にカラーインクが注入されるので、カラーインク注入後の混色又は位置ずれを防止するために、表面張力はガラス面の表面張力がカラーインクの表面張力と比較してより大きい或いは少なくとも同じでなければならない。遮光パターンの場合は、カラーインクに比べて表面張力が小さくなければならない。
このような見地で、好ましくは、本発明の一実施態様に係る感光性樹脂組成物は、樹脂硬化膜形成の際に、水に対する接触角が85〜110°であり、及び/又は2−エトキシエタノールに対する接触角が35〜50°でありうる。
感光性樹脂組成物を用いて遮光性及び一定水準の疎水性を満足するための方法の一例としては、多様な方法を想到することができ、これに限定されるものではないが、例えば、バインダー樹脂内に疎水性を発現することが可能な官能基を導入する方法や、別途のモノマーで疎水性を発現することが可能な官能基を有するモノマーを添加する方法、顔料内にフッ素基含有樹脂を共に分散させる方法などを挙げることができる。
本発明の一実施態様に係る感光性樹脂組成物は、遮光性を発現する着色剤中に、混合すると実質的に黒色を発現することが可能な少なくとも2種の顔料成分からなる顔料混合物を含有することができる。
通常、遮光性を発現するための感光性樹脂組成物にはブラック顔料を含むが、ブラック顔料の一例としてはカーボンブラック又はチタンブラックを使用することができる。ところが、このようにブラック顔料を用いて遮光性を発現する場合にはカーボンブラックやチタンブラックなどのブラック顔料がイオン性不純物として作用する可能性があり、これから得られる硬化膜は圧縮特性に劣っている。
そのため、本発明の一実施態様に係る感光性樹脂組成物は、顔料混合物を用いて実質的に黒色を発現するようにしたものである。ここで、「実質的に黒色」という表現は、UV−スペクトルを基準とするとき、可視領域(380nm〜780nm)の全波長で吸光が発生するに足りるほどの黒色を示すものと理解できる。
好ましくは、顔料混合物は顔料成分が溶媒に分散した顔料分散液を混合することにより得られる。
顔料の混合において、光透過率及び誘電率を考慮して有機顔料を使用することがよいが、好ましくはレッド顔料及びブルー顔料を基本的に混合し、ここにイエロー顔料又はグリーン顔料をさらに混合することができる。この他に、バイオレット顔料をさらに混合することができる。
顔料の非制限的な例としては、下記の顔料がある。このような顔料として、カラーインデックス(C.I)ナンバーで、レッド顔料はC.I.3、23、97、108、122、139、149、166、168、175、177、180、185、190、202、214、215、220、224、230、235、242、254、255、260、262、264及び272、イエロー顔料はC.I.13、35、53、83、93、110、120、138、139、150、154、175、180、181、185、194及び213、ブルー顔料はC.I.15、15:1、15:3、15:6、36、71及び75、グリーン顔料はC.I.7及び36、バイオレット顔料はC.I.15、19、23、29、32及び37などがある。
また、必要に応じて、高抵抗のブラック顔料をさらに添加してもよい。ブラック顔料の一例としては、カーボンブラック又はチタンブラックなどを挙げることができるが、これに限定されない。
このような顔料混合物は、着色剤の全体重量に対し、固形分含有量を基準としてレッド顔料10〜50重量%、ブルー顔料10〜50重量%、イエロー顔料1〜20重量%、及びグリーン顔料1〜20重量%を含んでもよい。さらに、バイオレット顔料は着色剤の全体重量に対し、固形分含有量を基準として1〜20重量%で含んでもよい。また、ブラック顔料は、着色剤の全体重量に対し、固形分含有量を基準として10重量%以下で使用されることが好ましい。ブラック顔料の場合、電気伝導性を有することが多いため、誘電率が増加する問題が発生するおそれがあり、硬化膜の電気的特性を阻害するおそれがある。よって、ブラック顔料を含む場合には、高抵抗を有する顔料を選択することが好ましく、その使用量は着色剤の全体重量に対し、固形分含有量を基準として15重量%以下であることがより好ましい。
顔料の分散程度に応じて、感光性樹脂組成物から形成される遮光膜の光学密度、電気的抵抗が変わりうる。このような点からみて、着色剤は顔料分散剤を含んでもよい。顔料分散剤の一例としては、変性ポリウレタン、変性ポリアクリレート、変性ポリエステル、変性ポリアミドなどの高分子分散剤、リン酸エステル、ポリエステル、アルキルアミンなどの界面活性剤などを使用することができる。これらの中でも、特にアクリレート系分散剤、具体的な一例としては、BYK Chemie社のDisperbyk−2000、Disperbyk−2001、LP−N−21116、LP−N−21208、Ciba社のEFKA−4300、EFKA−4330、EFKA−4340、EFKA−4400、EFKA−4401、EFKA−4402、EFKA−4046、又はEFKA−4060などの顔料分散剤が分散安定性、光学密度及び電気的特性の安定的な実現の面でさらに有利でありうる。
ところが、顔料分散剤が過多含有される場合、これは分散安定性を悪くし、或いは特定作用基の退化によってパターン安定性を低下させる要因になれる。よって、このような点からみて、顔料分散剤の含有量は分散液形態の着色剤、すなわち顔料分散液の全体重量に対し3〜20重量%であることが好ましい。
このような着色剤の総量は、感光性樹脂組成物の全体重量に対して20〜80重量%であり、好ましくは30〜66重量%である。顔料混合物の含有量が20重量%未満の場合には、形成された遮光膜の光学密度が低いため、十分な遮光性を有しない。これに対し、顔料混合物の含有量が80重量%超過の場合には、感光性樹脂成分の量が減少し、硬化不良を起こして現像性に問題があるうえ、残渣が発生する。
一方、本発明の一実施態様に係る感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性バインダー樹脂、エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、光重合開始剤及び溶媒を含むことができるが、具体的に、本発明の一実施態様に係る感光性樹脂組成物は、上述した着色剤と共に、アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂;カルド系バインダー樹脂;エチレン性不飽和二重結合を有する多官能性モノマー;光重合開始剤;及び溶媒を含んでもよい。
前記アルカリ可溶性アクリル系樹脂バインダーとしては、酸官能基(acid functional group)を含有するモノマーと、このモノマーと共重合することが可能なモノマーとの共重合によって形成された共重合体を使用することができる。前述したような共重合体樹脂を使用する場合、単独重合体樹脂を使用する場合に比べてフィルムの強度を高めることができる。或いは前記共重合体と、エポキシ基を含有したエチレン性不飽和化合物との重合によって製造される高分子化合物を使用してもよい。
すなわち、前記アルカリ可溶性樹脂バインダーとしては、酸官能基を含有するモノマーと、このモノマーと共重合することが可能なモノマーとの共重合によって形成された共重合体を使用することができる。また、前記共重合体に加えて、前記共重合体の構造にエポキシ基を含有したエチレン性不飽和化合物が結合されて形成された高分子化合物を共に使用することもできる。
前記酸官能基を含有するモノマーの非制限的な例としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、モノメチルマレイン酸、イソプレンスルホン酸、スチレンスルホン酸、5−ノルボルネン−2−カルボン酸などがある。これらは単独で或いは2種以上を組み合わせて使用してもよい。
特に硬化膜の耐アルカリ性に強い特性を考慮するとき、エポキシ基を含有するバインダー樹脂を使用することが好ましいが、このような点からみて、アルカリ可溶性樹脂製造の際に、酸官能基を含有するモノマー以外に、エポキシ基含有モノマーを併用することが好ましい。
エポキシ基含有モノマーの一例としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−3,4−エポキシブチル、アクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルなどを挙げることができるが、これらに限定されない。
また、本発明の感光性樹脂組成物による硬化膜形成の際に疎水性を発現するために、好ましくは、アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂はフッ素基を含有する。このような点を考慮し、アクリル系バインダー樹脂製造用モノマーのうち、フッ素基含有モノマーを併用することができる。
この際、使用可能なフッ素基含有モノマーは、他のモノマーと共重合可能で、炭素二重結合を1つ持っているものであれば、特に限定されないが、その一例としてはCH=CHC(O)OCHCH(CF)xCF(ここで、xは1〜12の整数である)を挙げることができる。
このようなフッ素基含有モノマーの含有量は、モノマーが有するフッ素基の含有量に応じて調節可能であり、上述の水に対する接触角及び2−エトキシエタノールに対する接触角を満足しながら、現像性、コーティング性及び分散安定性を阻害しない側面で、アルカリ可溶性アクリル系バインダー中のフッ素含有量が5〜50重量%となるように調節することが好ましい。
前述したようなアルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂は、感光性樹脂組成物の全固形分重量に対して1〜40重量%であることがよく、好ましくは20〜30重量%程度である。ところが、アルカリ可溶性アクリル系バインダーがフッ素基を含む場合であれば、その含有量の増加に伴い、疎水性は増加するが、工程性は阻害されるおそれがある。よって、感光性樹脂組成物の全固形分重量に対して5〜50重量%でフッ素基含有アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂を含むことが好ましい。
こうして得られるアルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂は、バインダー樹脂として使用できるうえ、上述した着色剤製造工程中に少量添加して疎水性を発現することもできる。
もし着色剤にフッ素基含有アクリル系バインダー樹脂を添加する場合であれば、その含有量は固形分含有量を基準として1〜30重量%であることが、顔料分散又は疎水性発現の面で好ましい。
一方、アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂のみを用いて感光性樹脂組成物を製造すると、厚さ2.2μm以上の遮光膜を形成する際に多量の多官能性モノマーを使用しなければならず、これにより光硬化による表面硬化が速く進んで熱硬化の際に皺が発生することがある。このような点からみて、本発明の一実施態様に係る感光性樹脂組成物は、バインダー樹脂としてカルド系化合物を含むが、これは主鎖の中にフルオレン基を含有するアクリレート系バインダー樹脂を呼ぶものであって、格別に構造的に限定があるのではない。
その一例として、下記化学式1で表される化合物を挙げることができる。
Figure 2012531619
式中、Xは
Figure 2012531619
で表される。
また、Yは、マレイン酸無水物(Maleic anhydride)、コハク酸無水物(Succinic anhydride)、シス−1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物(cis−1,2,3,6,−Tetrahydrophthalic Anhydride)、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物(3,4,5,6−Tetrahydrophthalic Anhydride)、フタル酸無水物(Phthalic Anhydride) 、イタコン酸無水物(Itaconic anhydride)、1,2,4−ベンゼントリカルボン酸無水物(1,2,4−Benzentricarboxylic Anhydride)、メチル−テトラヒドロフタル酸無水物(Methyl−Tetrahydrophthalic Anhydride)、シトラコン酸無水物(Citraconic Anhydride) 、2,3−ジメチルマレイン酸無水物(2,3−Dimethylmaleic Anhydride)、1−シクロペンテン−1,2−ジカルボン酸無水物(1−Cyclopentene−1,2−Dicarboxylic anhydride)、シス−(5−ノルボルネン−エンド−2,3−ジカルボン酸無水物(cis−5−Norbornene−endo−2,3−Dicarboxylic Anhydride)、及び1,8−ナフタル酸無水物(1,8−Naphthalic Anhydride)の中から選択された酸無水物の残基でありうる。
また、Zは、1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物(1,2,4,5−Benzentetracarboxylic Dianhydride)、4,4’−ビフタル酸二無水物(4,4’−Biphthalic Dianhydride)、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(3,3’,4,4’−Benzophenonetetracarboxylic Dianhydride)、ピロメリット酸二無水物(Pyromelitic Dianhydride)、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物(1,4,5,8−Naphthalenetetracarboxylic Dianhydride)、1,2,4,5−テトラカルボン酸無水物(1,2,4,5−tetracarboxylic Anhydride)、メチルノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(Methylnorbornene−2,3−Dicarboxylic Anhydride)、4,4’−[2,2,2−トリフルオロ−1−(トリフルオロメチル)エチリデン]ジフタル酸無水物(4,4’−[2,2,2−Trifluoro−(Trifluoromethyl)Ethylidene]Diphthalic Anhydride)、4,4’−オキシジフタル酸無水物(4,4’−Oxydiphthalic Anhydride)、及びエチレングリコールビス(アンヒドリドトリメリテート)(Ethylene Glycol Bis(Anhydrotrimelitate))の中から選ばれた酸二無水物の残基でありうる。
本発明の例示的な一実施態様では、このようなカルド系化合物構造内に、疎水性を発現しうる官能基を導入することができるが、特に上述したようにフッ素基を導入することができる。
カルド系化合物の製造過程中にフッ素基を導入する方法、及び導入に使用可能な化合物の例は、限定されない。その具体的な一例としては下記反応式1から得られる化合物を挙げることができる。
Figure 2012531619
前記反応式1は、カルド系化合物の一例にフッ素基を導入する例を挙げるためのものに過ぎず、本発明で使用可能なフッ素基含有カルド系化合物を限定しようとするものではない。
上述したようなカルド系化合物は、感光性樹脂組成物の全固形分重量に対して1〜40重量%であることがよく、好ましくは20〜30重量%である。もしカルド系化合物としてフッ素基含有のものを使用する場合であれば、疎水性の実現、現像性、コーティング性及び分散安定性を考慮するとき、好ましくは感光性樹脂組成物の全固形分重量に対して5〜10重量%で使用することができる。
ところが、カルド系化合物のみを用いて感光性樹脂組成物を製造すると、厚さ2.2μm以上の硬化膜を形成する際に、光硬化によって、エチレン性不飽和二重結合を有する多官能性モノマーとともに反応して表面硬化のみ速く進み、熱硬化の際に内部収縮によって皺が発生する場合がある。
本発明の一実施態様に係る感光性樹脂組成物の中には、エチレン性不飽和二重結合を有する多官能性モノマーを含むことができるが、これは光によってフォトレジスト像を形成する役割を果たす。その一例としては、プロピレングリコールメタクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリトリトールアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールアクリレート、テトラエチレングリコールメタクリレート、ビスフェノキシエチルアルコールジアクリレート、トリスヒドロキシエチルイソシアヌレートトリメタクリレート、トリメチルプロパントリメタクリレート、ペンタエリトリトールトリメタクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタクリレート、及びジペンタエリトリトールヘキサメタクリレートよりなる群から選ばれる1種以上が挙げられる。
このモノマーの含有量は前記化学式1で表される化合物100重量部に対して0.1〜99重量部であることが、UVによる光開始剤のラジカル反応による架橋結合でパターンを形成し、顔料と粒子成分との結合力を向上させて光学密度を増加させる点において好ましい。
本発明の一実施態様では、モノマーのうち、疎水性を与えるモノマーをさらに添加することができるが、モノマーとしては、感光性樹脂組成物のコーティング性、密着力及びレベリング性を阻害することなく疎水性を実現することができるようにモノマーを選定することが要求される。
その一例としては、CH(O)CHCH(CF)xCF(ここで、xは1〜12の整数である)で表されるフッ素系エポキシ化合物と、フッ素基を含有するシロキサン系化合物、例えばCF(CF)ySi(OMe)(ここで、yは1〜12の整数)を挙げることができる。
このようなモノマーを添加剤として加える場合、その含有量はコーティング性、密着力、レベリング性及び疎水性を考慮して変わりうる。好ましくは全固形分含有量を基準として1〜12重量%でありうる。
本発明の一実施態様に係る感光性樹脂組成物の中には光重合開始剤を含むことができるが、光重合開始剤の一例としては、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)(1−[9−ethyl−6−(2−methylbenzoyl)−9H−carbazol−3−yl]−1−(O−acetyloxime))、1,2−オクタンジオン−1[(4−フェニルチオ)フェニル]−2−ベンゾイル−オキシム(1,2−octanedione−1[(4−phenylthio)phenyl]−2−benzoyl−oxime)などのオキシムエステル系の化合物;チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、チオキサントン−4−スルホン酸、ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、アセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、ジメトキシアセトキシベンゾフェノン、2,2’−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、p−メトキシアセトフェノン、2−メチル[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジエチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、及び1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどのケトン類;アントラキノン、1,4−ナフトキノンなどのキノン類;1,3,5−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(2−クロロフェニル)−s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロフェニル)−s−トリアジン、塩化フェナシル、トリブロモメチルフェニルスルホン、及びトリス(トリクロロメチル)−s−トリアジンなどのハロゲン化合物;ジ−t−ブチルペルオキシドなどの過酸化物;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシドなどのアシルホスフィンオキシド類の中から選択されたものでありうる。
このような光重合開始剤は、通常、全体樹脂組成物に対して1〜30重量%で含まれることが好ましい。
本発明の一実施態様に係る感光性樹脂組成物の中には溶媒を含むことができるが、溶媒の一例としては、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチルグリコールメチルアセテート、エチルエトキシプロピオネート、メチルエトキシプロピオネート、ブチルアセテート、エチルアセテート、シクロヘキサノン、アセトン、メチルイソブチルケトン、ジメチルホルムアミド、N,N’−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリジノン、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トルエン、メチルセロソルブ、及びエチルセロソルブの中から選択して使用することができる。
その含有量は、全体感光性樹脂組成物に対して20〜60重量%程度でありうる。
その他、必要に応じて通常の添加剤をさらに含んでもよい。
このような感光性樹脂組成物は、(a)顔料混合物、(b)アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂、(c)カルド系化合物、(d)エチレン性不飽和二重結合を有する多官能性モノマー、(e)光重合開始剤及び必要に応じて有機添加剤、並びに(f)溶媒を攪拌器で混合し、5μmのメンブレインフィルターで濾過して調製することができる。
このような感光性樹脂組成物を、清浄な表面を有するガラス基板又は透明電極層を含むガラス基板(一例として、ITO又はIZO蒸着されたガラス基板)上にスピンコーター(回転式塗布装置)或いはスリットコーター(非回転式塗布装置)などの非接触型塗布装置を用いて塗布する。
前記調製及び塗布において、基板と感光性樹脂組成物との密着性を向上させるために、シランカップリング剤を配合し或いは前記基板に塗布することができる。
前記塗布の後、ホットプレートで80℃〜120℃、好ましくは80℃〜100℃の温度で60秒〜150秒間乾燥させ、或いは室温で数時間〜数日放置し、或いは温風ヒーター、赤外線ヒーターの中に数十分〜数時間入れて溶剤を除去し(いわゆるプリベーク)、塗布膜の厚さを1.5〜5μmの範囲に調整し、次いでマスクを介して紫外線などの活性線エネルギー線を照射エネルギー線量30〜1000mJ/cmの範囲で露光する。前記照射エネルギー線量は使用する遮光膜感光性組成物の種類によって変わりうる。露光して得た膜を、現像液を用いて、浸漬法やスプレー法などで現像して硬化膜パターンを形成する。現像に使用する現像液としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどの有機系、又は水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩などの水溶液を挙げることができる。
現像の後、ポストベーク(post−bake)を行うことができ、より具体的には150〜250℃で20分〜40分間ポストベークを行うことが好ましい。
本発明の一実施態様によって得られる遮光性膜は、好ましくは硬化膜重量1g当たりのフッ素含有量が5〜50重量%程度であれば、適切な遮光性を有するとともに適正な疎水性を満足させることができる。
こうして得られる硬化膜は、適切な遮光性を有し、適正な疎水性を満足し、特にインクジェットプリントによるジェッティング方法で着色層を形成するに際して遮光パターン形成用として有用でありうる。
本発明の感光性樹脂組成物で着色層を形成して用いることが可能な表示装置として、上述では主にLCDを列挙したが、これに限定されない。着色層を必要とする多様な表示装置の一例として、プラズマディスプレイ表示装置、EL表示装置、CRT表示装置などの表示装置を挙げることができる。
また、本発明を適用することが可能なLCDに特別な制限はなく、様々な方式のLCDに適用することができる。本発明の表示装置は、ECB(Electrically Controlled Birefringence)、TN(Twisted Nematic)、IPS(In−PlaneSwitching)、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)、OCB(Optically Compensatory Bend)、STN(Supper Twisted Nematic)、VA(Vertically Aligned)、HAN(Hybrid Aligned Nematic)、GH(Guest Host)などの各種の表示モードを採用することができる。このように本発明の感光性樹脂組成物によって着色層が形成された表示装置をノートブック用ディスプレイやテレビジョンモニターなどの大型画面の表示装置などにも適用することができるのは勿論である。
以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
製造例1〜5:アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂の合成
1000mLの4口フラスコ内に下記表1に示したような組成成分を仕込み、ここに窒素を吹き込みながら30分間攪拌した。続いて、温度を徐々に昇温して70℃で6時間反応させた後、80℃に昇温させて2時間さらに反応させることにより、アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂を合成した。下記表1において、単位はgである。
Figure 2012531619
製造例6:カルド系化合物の合成
500mLの4口フラスコにビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂58g(エポキシ当量232)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート313g、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド2.5g、ヒドロキノン0.03g、及びアクリル酸18gを投入し、ここに25mL/分の速度で窒素を注入しながら80〜90℃で加熱溶解した。溶液が白濁した状態で徐々に昇温してから80℃で完全溶解させた。酸価を測定して1.0mgKOH/g未満になるまで、加熱攪拌を行い続けた。酸価が目標に達するまで12時間を必要とした。そして、室温まで冷却して無色透明のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
こうして得られたビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート300gに1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸14g、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物0.3g及びテトラエチルアンモニウムブロマイド0.76gを混合し、徐々に昇温して130℃〜140℃で15時間反応させることにより、カルド系化合物を得た。
〈実施例〉
前記製造例6から得られるカルド系化合物100重量部及び前記製造例1〜5から得られるそれぞれのアルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂に、顔料混合物として顔料分散液(KLBK−90、Mikuni社、固形分含有量20重量%、顔料分散剤(BYK社、disperbyk−2001)を顔料分散液の全体重量に対して5重量%で含む)130重量部を仕込み、ここに多官能性モノマー(ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート)2重量部、光重合開始剤5.2重量部を入れた後、溶媒(プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)90重量部及びその他の添加剤(フッ素系界面活性剤及びカップリング剤)1重量部を入れて3時間攪拌することにより、感光性樹脂組成物を製造した。
ここで、重量部はカルド系化合物の固形分含有量100重量部に対する含量で表記したものである。
但し、下記表2に示すように、バインダー樹脂におけるアクリル系バインダー樹脂とカルド系化合物の含有量比を異にした。
Figure 2012531619
こうして得られた感光性樹脂組成物を用いて、次の方法で硬化膜パターンを形成した。清浄な表面を有するガラス基板上に、スピンコーターを用いて320rpmでコートして樹脂塗布層を形成した。塗布の後、ホットプレートを用いて80℃の温度で150秒間乾燥させて塗布膜の厚さが2.2μmとなるようにした。次いで、マスク(ギャップ200μm)を介して紫外線などの活性線エネルギー線を照射エネルギー線量60mJ/cmの範囲で露光した。露光して得た膜を現像液(0.04%KOH、23℃)を用いて現像(現像時間100秒)することにより、硬化膜パターンを形成した。
現像の後、220℃で30分間ポストベークを行った。
(感光性樹脂組成物を用いた、硬化膜の光学密度の測定)
前述したように得た硬化膜の光学密度を(株)大塚電子のPMT装備によって光学密度2.4のreferenceを用いて測定し、その結果を表3に記載した。
(感光性樹脂組成物を用いた、硬化膜の接触角の測定)
上述したように得た硬化膜上にシリンジを用いて水(脱イオン水)5μLを滴下し、水(脱イオン水)に対する接触角を測定した。
また、水の代わりに2−エトキシエタノール(99%、Aldrich製)を用いて2−エトキシエタノールに対する接触角も測定した。
接触角測定器は、Kruss社製(モデル名:E−EM03−T13−01)を使用した。
(パターンプロファイルの測定)
得られた硬化膜パターンに対して、SEMを用いてTaper angleを測定した。
(残渣)
SEMを用いて現像した後、残渣有無を確認した。
(誘電率)
クロム(Cr)ガラス上に硬化液をコートさせて全面露光した後、ポストベークして硬化膜を得、しかる後に、周波数(100〜1MHz)別に誘電率を測定した。
誘電率は、Thermal Evaporator(モデル名:E306、Edward)を用いて測定した。
(解像度)
Maskのサイズ別にパターンを現像した後、OM Imageを介してパターンのサイズ(width)を測定した。
(感光性樹脂組成物を用いた、硬化膜の電圧保持率の測定)
電圧印加のためのITO電極層が形成されるガラス基板(1cm×1cm)の電極層と、ITO共通電極層が形成されるガラス基板(1cm×1cm)の電極層とをセルギャップが5μmとなるように対向させて製作した測定用セル(EHC社製)を準備した。
一方、上述したように得られた硬化膜を掻き出して硬化膜試料0.02gと液晶(MLC−7022−100、Merck社製)1gを試験管内で混合し、これを65℃で5時間時効処理して汚染源を準備した。準備された汚染源を前記測定用セルに注入し、下記の条件で電圧を印加して電圧保持率(VHR)を測定した。
−印加電圧パルス振幅5V
−印加電圧パルス周波数60Hz
−印加電圧パルス幅16.6msec
電圧保持率(VHR)の測定に使用される機器は、TOYO corporation Model6245Cであり、測定温度は25℃である。
前述したような測定方法によって得られる結果を下記表3に示した。
Figure 2012531619
前記表3の結果より分かるように、実施例5〜実施例20から得られる硬化膜は、水に対する接触角が95°以上であり、2−エトキシエタノールに対する接触角が35°以上であるが、これに対し、実施例1〜4から得られる硬化膜は、水に対する接触角が82.7°であり、2−エトキシエタノールに対する接触角が27.3°であった。
このような結果より、遮光膜を形成した後、インクジェットプリントを用いたジェッティング方法によってカラーインクを注入する場合、実施例5〜20の硬化膜は、カラーインクが隔壁を越えて混色されるか、隔壁で定義された領域内でカラーインクが位置ずれするなどの問題を生じさせないだろうと推定することができる。
上記の結果からみて、他の評価値の低下を防止又は最小化するのに最も適した実施例は6、7、10、11、13、14、17、18などであるといえる。

Claims (26)

  1. アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂及びカルド系バインダー樹脂を含み、樹脂硬化膜形成の際に以下の第1条件〜第3条件を全て満足する、感光性樹脂組成物:
    第1条件は単位厚さ2.0当たりの光学密度(OD)単位が2.0以上であること、
    第2条件は水に対する接触角が85°以上であること、及び
    第3条件は2−エトキシエタノールに対する接触角が35°以上であること。
  2. 前記樹脂硬化膜形成の際に、水に対する接触角が85〜110°である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  3. 前記樹脂硬化膜形成の際に、2−エトキシエタノールに対する接触角が35〜50°である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  4. 混合すると実質的に黒色を発現することが可能な少なくとも2種の顔料成分からなる顔料混合物を含有する着色剤を含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  5. 前記顔料混合物が、レッド顔料及びブルー顔料を基本的に含み、イエロー顔料、グリーン顔料及びバイオレット顔料の中から選ばれた1種以上をさらに含む、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。
  6. 前記顔料混合物が、着色剤の全体重量に対し、固形分含有量を基準として前記レッド顔料10〜50重量%、前記ブルー顔料10〜50重量%、前記イエロー顔料1〜20重量%、及び前記グリーン顔料1〜20重量%を含む、請求項5に記載の感光性樹脂組成物。
  7. 前記顔料混合物が、着色剤の全体重量に対し、固形分含有量を基準として前記バイオレット顔料1〜20重量%を含む、請求項6に記載の感光性樹脂組成物。
  8. 前記顔料混合物がブラック顔料を含む、請求項6に記載の感光性樹脂組成物。
  9. 前記ブラック顔料が、前記着色剤の全体重量に対し、固形分含有量を基準として10重量%以下で使用される、請求項8に記載の感光性樹脂組成物。
  10. 前記着色剤が前記感光性樹脂組成物の全体重量に対して20〜80重量%で使用される、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。
  11. エチレン性不飽和二重結合を有する多官能性モノマー、光重合開始剤、及び溶媒を含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  12. 前記アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂がエポキシ基を含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  13. 前記アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂がフッ素基を含む、請求項11又は12に記載の感光性樹脂組成物。
  14. 前記アルカリ可溶性アクリル系バインダー樹脂のフッ素含有量が5〜50重量%である、請求項13に記載の感光性樹脂組成物。
  15. 前記顔料混合物が、それぞれの顔料が溶媒中に分散した顔料分散液の形で提供される、請求項4又は5に記載の感光性樹脂組成物。
  16. 前記顔料分散液が、アクリレート系顔料分散剤の中から選択される少なくとも1種の顔料分散剤を含有する、請求項15に記載の感光性樹脂組成物。
  17. 前記顔料分散液が、顔料分散液の全体重量に対して3〜20重量%の顔料分散剤を含有する、請求項15に記載の感光性樹脂組成物。
  18. 前記顔料分散液が、フッ素基を含有するアクリル系バインダー樹脂を含む、請求項15に記載の感光性樹脂組成物。
  19. 前記カルド系バインダー樹脂がフッ素基を含有する、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  20. フッ素基含有エポキシモノマーを含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  21. フッ素基含有シロキサン系モノマーを含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  22. 前記硬化膜形成の際に、硬化膜重量1g当たりのフッ素含有量が5〜50重量%である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  23. 請求項1の感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法によって形成されたブラックマトリクスを含む、カラーフィルター基板。
  24. 請求項1の感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法によって形成されたブラックマトリクスを含む、薄膜トランジスタ基板。
  25. 請求項23によるカラーフィルター基板を上部基板として含む、映像表示素子。
  26. 請求項24による薄膜トランジスタ基板を下部基板として含む、映像表示素子。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015069164A (ja) * 2013-09-30 2015-04-13 Jsr株式会社 感放射線性樹脂組成物、表示素子の絶縁膜、その形成方法及び表示素子
JP2015194583A (ja) * 2014-03-31 2015-11-05 Jsr株式会社 硬化膜形成用樹脂組成物、硬化膜及びその形成方法、並びに表示素子
KR20180064678A (ko) * 2016-12-06 2018-06-15 (주)옵토레인 광각 이미션 필터, 이를 갖는 광학센서 어셈블리, 이를 포함하는 피씨알 시스템, 및 그 제조방법
WO2018110097A1 (ja) * 2016-12-14 2018-06-21 昭和電工株式会社 カラーフィルター用樹脂組成物、その製造方法及びカラーフィルター
US10876046B2 (en) 2018-07-02 2020-12-29 Samsung Sdi Co., Ltd. Curable composition including quantum dot, resin layer using the same and display device
US10921709B2 (en) 2018-02-06 2021-02-16 Samsung Sdi Co., Ltd. Photosensitive resin composition, photosensitive resin layer using the same, and color filter

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1881948B1 (en) * 2005-02-22 2016-04-13 EVL Inc. Method for producing enhanced fertilizer
JP5771944B2 (ja) * 2010-10-18 2015-09-02 Jsr株式会社 カラーフィルタの製造方法
TWI472877B (zh) * 2012-11-20 2015-02-11 Chi Mei Corp 感光性樹脂組成物、彩色濾光片及其液晶顯示元件
KR102036684B1 (ko) * 2017-04-20 2019-10-25 삼성에스디아이 주식회사 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 감광성 수지막 및 컬러필터
KR20220091736A (ko) * 2020-12-24 2022-07-01 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 플루오르화 아크릴레이트계 공중합체 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물
CN113637442B (zh) * 2021-08-12 2023-09-22 太仓申威新材料科技有限公司 一种微棱镜反光膜用紫外光固化转印胶组合物及其制备方法和应用

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008298859A (ja) * 2007-05-29 2008-12-11 Asahi Glass Co Ltd 感光性組成物、それを用いた隔壁、隔壁の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機el表示素子の製造方法および有機tftアレイの製造方法
JP2009037234A (ja) * 2007-07-10 2009-02-19 Nippon Steel Chem Co Ltd カラーフィルター隔壁形成用感光性樹脂組成物及びこれを用いて形成した遮光性カラーフィルター隔壁並びにカラーフィルター
JP2009048200A (ja) * 2002-11-06 2009-03-05 Asahi Glass Co Ltd 撥インク剤

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100574321B1 (ko) * 1999-02-04 2006-04-26 제일모직주식회사 감광성 수지 조성물 및 블랙매트릭스
KR100488344B1 (ko) * 2001-12-28 2005-05-10 제일모직주식회사 컬러필터용 감광성 수지 조성물
KR100673296B1 (ko) * 2003-12-18 2007-01-24 주식회사 코오롱 액정 표시 소자의 칼럼 스페이서용 감광성 수지 조성물
JP2006133338A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 遮光膜形成用感光性組成物、該遮光膜形成用感光性組成物で形成されたブラックマトリクス
KR100662178B1 (ko) * 2005-03-04 2006-12-27 제일모직주식회사 고-색재현 컬러필터 제조용 감광성 수지 조성물
JP4745093B2 (ja) * 2006-03-17 2011-08-10 東京応化工業株式会社 黒色感光性組成物
JP4745110B2 (ja) * 2006-04-19 2011-08-10 東京応化工業株式会社 感光性組成物及びこの感光性組成物により形成されたカラーフィルタ
KR100920603B1 (ko) * 2006-12-28 2009-10-08 제일모직주식회사 감광성 수지 조성물 및 그로부터 제조되는 컬러필터

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009048200A (ja) * 2002-11-06 2009-03-05 Asahi Glass Co Ltd 撥インク剤
JP2008298859A (ja) * 2007-05-29 2008-12-11 Asahi Glass Co Ltd 感光性組成物、それを用いた隔壁、隔壁の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機el表示素子の製造方法および有機tftアレイの製造方法
JP2009037234A (ja) * 2007-07-10 2009-02-19 Nippon Steel Chem Co Ltd カラーフィルター隔壁形成用感光性樹脂組成物及びこれを用いて形成した遮光性カラーフィルター隔壁並びにカラーフィルター

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015069164A (ja) * 2013-09-30 2015-04-13 Jsr株式会社 感放射線性樹脂組成物、表示素子の絶縁膜、その形成方法及び表示素子
JP2015194583A (ja) * 2014-03-31 2015-11-05 Jsr株式会社 硬化膜形成用樹脂組成物、硬化膜及びその形成方法、並びに表示素子
KR20180064678A (ko) * 2016-12-06 2018-06-15 (주)옵토레인 광각 이미션 필터, 이를 갖는 광학센서 어셈블리, 이를 포함하는 피씨알 시스템, 및 그 제조방법
KR101872995B1 (ko) 2016-12-06 2018-07-02 (주)옵토레인 광각 이미션 필터, 이를 갖는 광학센서 어셈블리, 이를 포함하는 피씨알 시스템, 및 그 제조방법
WO2018110097A1 (ja) * 2016-12-14 2018-06-21 昭和電工株式会社 カラーフィルター用樹脂組成物、その製造方法及びカラーフィルター
JPWO2018110097A1 (ja) * 2016-12-14 2019-10-24 昭和電工株式会社 カラーフィルター用樹脂組成物、その製造方法及びカラーフィルター
US10921709B2 (en) 2018-02-06 2021-02-16 Samsung Sdi Co., Ltd. Photosensitive resin composition, photosensitive resin layer using the same, and color filter
US10876046B2 (en) 2018-07-02 2020-12-29 Samsung Sdi Co., Ltd. Curable composition including quantum dot, resin layer using the same and display device

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