JP2012523677A - 金属化カーボンナノチューブおよびナノファイバを含む複合材料 - Google Patents
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Abstract
リチウムイオン電池などのエネルギー貯蔵デバイスの一部の形成に使用できる金属化カーボンナノチューブおよび/またはナノファイバを含む複合材料を費用効率高く形成するための方法および装置が提供される。一実施形態では、カーボンナノチューブは触媒化学気相成長プロセスを使用してホスト基板上に形成される。開始−接着層がカーボンナノチューブの上に形成され、次に、金属性層が開始−接着層上に堆積され、各層は湿式堆積プロセスを使用して形成される。一実施形態では、ホスト基板の一部は電気化学貯蔵デバイスを形成するために使用され、電気化学貯蔵デバイスは、相互接続された電池アレイを創出するために他の形成された電気化学貯蔵デバイスと一体化することができる。電池アレイが、ホスト基板材料のタイプに応じて、織られたシート、パネル、または他の可撓性構造体として形成され得る。ある場合には、ホスト基板材料は、リチウムイオン電池などのファイバ電池を形成するために上に多数の層が形成された可撓性ファイバ状材料とすることができる。
Description
本発明の実施形態は、一般に、カーボンナノチューブおよびナノファイバを含む複合材料の形成に関し、より具体的には、基板上に形成された金属化カーボンナノチューブおよびナノファイバを含む複合材料の形成に関する。本発明の実施形態は、さらに、薄膜堆積プロセスを使用して複合材料上にリチウムイオン電池を形成する装置および方法に関する。
カーボンナノチューブおよびナノファイバは多くの興味深い独特な性質を有し、そのために、カーボンナノチューブおよびナノファイバは、ほんの二,三挙げると冷陰極電界放出、電気化学エネルギー貯蔵、大容量水素貯蔵媒体、および複合材料補強材などの多くの潜在的な用途で使用するのに魅力的である。カーボンナノチューブの独特で興味深い性質のいくつかには、大強度、高い電気および熱伝導率、大きい表面積対体積比、および熱的および化学的安定性が含まれる。カーボンナノチューブおよびナノファイバの構造がそれらの性質の多くを生じさせる。
充電が速く、容量が大きいエネルギー貯蔵デバイス、例えば、スーパーキャパシタおよびリチウム(Li)イオン電池などは、携帯用エレクトロニクス、医用、輸送、グリッド接続された大エネルギー貯蔵、再生可能エネルギー貯蔵、および無停電電源(UPS)を含めて、ますます多くの用途で使用される。最新の再充電可能エネルギー貯蔵デバイスでは、集電体は導電体で製作される。正極集電体(カソード)の材料の例には、アルミニウム、ステンレス鋼、およびニッケルが含まれる。負極集電体(アノード)の材料の例には、銅(Cu)、ステンレス鋼、およびニッケル(Ni)が含まれる。そのような集電体は、一般に約6から50μmにわたる厚さを有する箔、薄膜、または薄板の形態とすることができる。
リチウムイオン電池の正電極中の活性電極材料は、典型的には、LiMn2O4、LiCoO2、および/またはLiNiO2などのリチウム遷移金属酸化物から選択され、炭素またはグラファイトなどの導電性粒子とバインダ材料とを含む。そのような正電極材料はリチウムインターカレーション化合物であると考えられ、導電性材料の量は重量で0.1%から15%の範囲にある。
カーボンナノチューブおよびナノファイバは、約0.4ナノメートルから約500ナノメートルにわたる直径と、典型的には数マイクロメートルから数ミリメートルにわたる長さとを有するグラファイトナノフィラメントである。グラファイトナノフィラメントは、少なくとも4つの別個の構造タイプ、すなわち、管状、ヘリンボン、小板、およびリボンに従って分類することができる。「ナノチューブ」という用語は管状構造体を説明するため使用されることがあり、一方、「ナノファイバ」は非管状形態を説明することがある。
カーボンナノチューブは、一般に、単層カーボンナノチューブおよび多層カーボンナノチューブとして分類される。図1Aは単層カーボンナノチューブ(SWCNT)の概略図である。SWCNT100は円筒状炭素分子を含むグラファイトナノフィラメントであり、円筒状炭素分子は、直径「d」およびフィラメント長さ「L」の継ぎ目のないグラフェンチューブ104に巻かれたグラフェンと呼ばれるグラファイトの1原子厚さのシートとして概念化することができる。グラフェンチューブ104は、フィラメント軸方向と平行である円筒状壁を形成する。ナノチューブ端部102の1つまたは複数は追加の炭素原子によって蓋をすることができる(図2Aを参照)。直径「d」は約0.4ナノメートルから数ナノメートルにわたることがあり、フィラメント長さ「L」は数マイクロメートルから数ミリメートルにわたることがあり、SWCNT100の大きい長さ対直径アスペクト比がナノチューブに大きい表面積対体積比を与える。
SWCNT100の巻かれたグラフェン層またはシートは共有結合のsp2結合で結合された炭素原子の6員六角環を含み、管状グラフェン構造体と組み合わされたこれらの結合は桁外れの強度(引張り強度)および剛性(弾性係数)をカーボンナノチューブに与える。SWCNT100は、例えば、約1GPaの引張り強度および約0.2TPaの弾性係数を有し得るステンレス鋼と比較して、約30GPaの平均引張り強度および約1TPaの弾性係数を有することができる。カーボンナノチューブは、さらに、固体としてはかなり低い密度(SWCNT100では約1.3g/cm3)を有し、強度対重量比は既知の材料の中で最も高い。SWCNT100の電気伝導率は、グラフェンチューブ104を形成するのにグラフェンシートがどのように巻かれたかに応じて半導体または金属とすることができ、金属タイプのカーボンナノチューブは、最良の導電性金属によって搬送されるよりも数桁大きい電流密度を搬送することができる。
図1Bは多層カーボンナノチューブ(MWCNT)の概略図である。MWCNT110は、直径「d」のSWCNT100のまわりに同軸で配列されたフィラメント長さ「L」の1つまたは複数のグラフェンチューブ104として概念化することができる。グラフェンチューブ104はフィラメント軸方向「A」と平行である円筒状壁を形成し、その壁は、グラファイト中のグラフェン層間の距離に近似する約0.34ナノメートルの層間間隔116だけ互いに隔てられる。MWCNT110の内のチューブ(3つが示されている)または円筒状壁の数は2から50、またはそれよりも多くにわたることができる。外側のナノチューブ112は、MWCNT110内の壁の数に応じて数ナノメートルから数百ナノメートル以上にわたることができるフィラメント直径を「do」を有する。
「カーボンナノチューブ」という用語は、一般に、フィラメント軸と平行であり、管状構造を形成する1つまたは複数のグラフェン層またはシートを含むナノフィラメントを表すのに使用される。一方、「カーボンナノファイバ」という用語は、一般に、フィラメント軸と平行であることもないこともあり、かつ管状構造を形成しないグラフェン層を含むナノフィラメントを表現するが、この構造は、ナノファイバが断面において実質的に円形または多角形となるように形成され得る。ナノファイバ構造の例には、ヘリンボン、小板、リボン、積層円錐、および当技術分野で知られている他のカーボンナノファイバ構造が含まれる。あるナノファイバは各ナノファイバのフィラメント軸に沿って空洞コアまたは中央孔を有することがあり、一方、他のナノファイバは中実コアを有することがある。「グラファイトナノフィラメント」という用語は、本明細書では、カーボンナノチューブおよび/またはカーボンナノファイバを指すように使用される。グラファイトナノフィラメントは、限定はしないが、直線、分岐、ねじれ、渦巻き、および螺旋を含む全体的形状を有することができる。
図1Cはヘリンボンカーボンナノファイバ120の概略図である。ヘリンボンカーボンナノファイバ120は、フィラメント軸方向「A」に対して角度βをなすグラフェンシート121を含む。グラフェンシート121は層間間隔116だけ互いに隔てられる。関連するナノファイバは、積層円錐ナノファイバ(図示せず)を形成するためにファイバの長さに沿って積重ねられた円錐として形成されたグラフェン層またはシートからなる。グラフェン円錐は層間間隔116だけ互いに隔てられる。
図1Dは小板カーボンナノファイバ130の概略図である。小板カーボンナノファイバ130は、フィラメント軸方向「A」に垂直である積層小板の形態の小さいグラフェンシート121を含む。小板は層間間隔116だけ隔てられ、小板は形状において多角形または円形とすることができる。典型的な小板ナノファイバサイズは幅が約100ナノメートルである。
図1Eはリボンカーボンナノファイバ140の概略図である。リボンカーボンナノファイバ140は、フィラメント軸方向「A」と実質的に平行であり、層間間隔116だけ隔てられる平坦なグラフェンシート121を含む。リボン構造およびナノチューブ構造はフィラメント軸方向「A」と平行なグラフェン層を有するが、リボン構造のグラフェン層の平坦さによりこのグラフェン層はナノチューブ構造の管状層から区別される。
カーボンナノチューブの管状構造は、カーボンナノファイバによって共有されないいくつかの独特の性質をナノチューブに与える。カーボンナノファイバは、各グラフェン層内の層内結合力よりも非常に弱い層間ファンデルワールス力によって結合されたグラフェン層からなるグラファイトに一層密接に関連する。カーボンナノファイバの性質はグラフェン構造の強力な層内結合とより弱い層間結合との組合せによって決定され、一方、カーボンナノチューブの性質は、さらに、管状グラフェン構造の強力な層内結合によって決定される。結果として、カーボンナノファイバの性質のいくつかは、カーボンナノチューブの性質とグラファイトの性質との中間であるとして特徴づけることができる。
カーボンナノチューブおよびナノファイバの性質により、様々な用途での潜在的使用が望ましいものになる。カーボンナノチューブの低い密度、高い機械的強度、電気伝導率、および熱伝導率により、カーボンナノチューブは複合材料用途における潜在的使用にとって魅力的なものになる。カーボンナノファイバは、一般に、カーボンナノチューブよりも強度がかなり小さいが、カーボンナノファイバはかなり低い密度も有し、複合材料の機械的強度および電気伝導率を改善するのに使用することができる。
カーボンナノチューブおよびナノファイバは、さらに、リチウムイオン電池、スーパーキャパシタ、または燃料電池用の電極などのエネルギー貯蔵用途での潜在的使用にとって魅力的である。カーボンナノチューブおよびナノファイバの大きい長さ対直径アスペクト比はナノフィラメント当たり大きい表面積を与え、多くのナノフィラメントは大きい表面積を形成することができ、それにより、電極の電荷貯蔵能力を改善することができる。カーボンナノファイバは、特に、多くの層間間隔116を有し(図1C〜1Eを参照)、それを通って小さいイオンが入り、グラフェン層間にインターカレーションすることができ、この性質がカーボンナノファイバを電極用途にとって魅力的にしている。
カーボンナノチューブおよびナノファイバの多くの潜在的用途は、それらの機能化を望ましいものにする。機能化には、様々なタイプの基板上にカーボンナノチューブおよびナノファイバを形成して、各基板の性質をカーボンナノチューブおよび/またはナノファイバの性質と組み合わせた複合材料を創出することを含むことができる。例えば金属などの追加の材料をカーボンナノチューブまたはナノファイバ上に堆積させて、複合材料の様々な性質(例えば、電気伝導率、強度、剛性、熱膨張、密度など)を増強または変更することが望ましいこともある。
カーボンナノチューブは、一般に、レーザアブレーション、アーク放電、または化学気相成長(CVD)を使用して形成される。レーザアブレーションおよびアーク放電の技法は、一般に、CVDよりも高い処理温度を使用し、より高い温度がナノチューブの形成を容易にする。しかし、レーザアブレーションおよびアーク放電は、ナノチューブを別個に(すなわち、基板上に直接ではなく)形成し、それらを基板に適用することができる前にナノチューブのポストプロダクション処理(例えば、回収、分類、精製)を必要とする。対照的に、CVD法は、カーボンナノチューブおよびナノファイバを基板上に直接形成するのを可能にする。さらに、CVD法は低温でナノチューブおよびナノファイバを生成すると同時に、生成されたカーボンナノチューブおよびナノファイバのタイプおよびサイズに対して制御を行うことができる。したがって、CVDは、基板上にカーボンナノチューブまたはナノファイバを形成するための費用効率の高い手段を提供することができる。
複合材料に様々なタイプの基板を使用すると、複合材料の用途の範囲を増加させることができる。基板は、例えば、ウェハ、パネル、シート、織物、およびファイバを含むことができる。したがって、様々なタイプの基板上にカーボンナノチューブおよびナノファイバを形成するための費用効率の高い手段を提供することが望ましい。さらに、複合材料で使用される様々なタイプの基板上に形成されたカーボンナノチューブおよびナノファイバの金属化のための費用効率の高い手段を提供することが望ましい。
したがって、様々なタイプの基板上に形成された金属化カーボンナノチューブおよび/またはナノファイバを含む複合材料を形成するための費用効率の高い方法および装置が求められている。したがって、当技術分野には、より小さく、より軽く、その上より高い費用効率で製造できる、充電の速いより高い容量のエネルギー貯蔵デバイスが求められている。
本発明の実施形態は、様々なタイプの基板上に形成された金属化カーボンナノチューブおよび/またはナノファイバを含む複合材料を形成するための費用効率の高い方法および装置を提供する。
一実施形態では、電極は、ホスト基板と、ホスト基板の表面に形成されたグラファイトナノフィラメントを含むナノフィラメント層と、ナノフィラメント層の上の開始−接着層と、開始−接着層上の金属性層とを含む。
一実施形態では、電極を形成する方法が開示される。この方法は、グラファイトナノフィラメントを含むナノフィラメント層をホスト基板の表面に形成するステップであり、前記層が化学気相成長を使用して形成される、ステップと、ナノフィラメント層の上に開始−接着層を形成するステップと、開始−接着層上に金属性層を堆積させるステップとを含む。
一実施形態では、電極を形成するための装置が開示される。この装置は、ホスト基板上にグラファイトナノフィラメントを成長させるナノフィラメント成長装置と、グラファイトナノフィラメントを金属化する1つまたは複数の処理ステーションと、ホスト基板を支持、案内、および移動するための手段とを含む。
本発明の上記に記載の特徴が詳細に理解され得るように、上で簡単にまとめた本発明のより詳細な説明を、実施形態を参照して行うことができ、実施形態のいくつかは添付図面に示される。しかし、添付図面は本発明の典型的な実施形態のみを示しており、したがって、本発明の範囲を限定するものと考えられるべきではなく、本発明は他の同様に有効な実施形態を認め得ることに留意するべきである。
理解を容易にするために、図に共通する同一の要素を指定するのに、可能である場合、同一の参照番号が使用されている。一実施形態の特徴が、さらなる説明なしに他の実施形態に組み込まれ得ることが企図されている。
本発明は、全般的に、様々なタイプの基板上にグラファイトナノフィラメント(すなわち、カーボンナノチューブおよび/またはナノファイバ)を形成し、次に、金属でグラファイトナノフィラメントを被覆して、金属化グラファイトナノフィラメントを含む複合材料を形成するための費用効率の高い方法および装置を提供する。基板は、例えば、ファイバ、織られたファイバのシート、またはパネルなどの様々な材料および構造形態を含むことができる。
金属化グラファイトナノフィラメントを含む複合材料は、例えば、電気化学貯蔵デバイス中の大きい表面積の電極または集電体などの様々な用途で使用することができる。電気化学貯蔵デバイス(例えば、電池、スーパーキャパシタ)は、複合材料の金属化グラファイトナノフィラメント上に追加の材料層を堆積させることによって形成することができる。一実施形態では、得られる電気化学貯蔵デバイスの一部は、複合材料を形成するのに使用される基板のタイプに応じて、織られたシート、パネル、または他の可撓性構造体に一体化することができる。一実施形態では、複合材料は、リチウムイオン電池などの電池の少なくとも1つの電極を形成するのに使用される可撓性ファイバ状材料である。一構成では、複合材料を含む複数の形成された可撓性ファイバは、より大きい電気化学デバイス中の複数の別個の電極を形成するために織られるかまたは一緒に接合される。
グラファイトナノフィラメントのCVD成長プロセス
一実施形態では、金属化グラファイトナノフィラメントを含む複合材料は異なる堆積技法および処理技法を使用して形成することができる。金属化グラファイトナノフィラメントを形成するのに使用することができる1つの望ましい処理技法は化学気相成長プロセス(CVD)である。グラファイトナノフィラメントを形成するのに使用される化学気相成長(CVD)技法は、一般に、2つのタイプ、すなわち、触媒および非触媒に分類することができる。グラファイトナノフィラメントの成長の制御を容易化および支援するために触媒材料を使用する方法は触媒CVD法と呼ばれる。グラファイトナノフィラメント成長に触媒材料を使用しない方法は、触媒作用ではなく加熱のみが、一般に、ナノフィラメント成長を推進するので非触媒または熱分解CVD法と呼ばれる。触媒CVD法は、多くの場合、非触媒法よりもグラファイトナノフィラメント成長に対して優れた制御を行う。グラファイトナノフィラメント成長の様々な方法が、K.Teo等によって「Catalytic Synthesis of Carbon Nanotubes and Nanofibers」、Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology、10巻、1〜22頁、American Scientific Publishers、2003年に説明されている。
一実施形態では、金属化グラファイトナノフィラメントを含む複合材料は異なる堆積技法および処理技法を使用して形成することができる。金属化グラファイトナノフィラメントを形成するのに使用することができる1つの望ましい処理技法は化学気相成長プロセス(CVD)である。グラファイトナノフィラメントを形成するのに使用される化学気相成長(CVD)技法は、一般に、2つのタイプ、すなわち、触媒および非触媒に分類することができる。グラファイトナノフィラメントの成長の制御を容易化および支援するために触媒材料を使用する方法は触媒CVD法と呼ばれる。グラファイトナノフィラメント成長に触媒材料を使用しない方法は、触媒作用ではなく加熱のみが、一般に、ナノフィラメント成長を推進するので非触媒または熱分解CVD法と呼ばれる。触媒CVD法は、多くの場合、非触媒法よりもグラファイトナノフィラメント成長に対して優れた制御を行う。グラファイトナノフィラメント成長の様々な方法が、K.Teo等によって「Catalytic Synthesis of Carbon Nanotubes and Nanofibers」、Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology、10巻、1〜22頁、American Scientific Publishers、2003年に説明されている。
グラファイトナノフィラメントの触媒CVD成長のために基板を使用すると、触媒材料のために基板または支持表面を必要としない「浮遊」触媒法と比べていくつかの利点がもたらされる。第1に、用途によっては、機能構造体の一部を形成する表面にグラファイトナノフィラメントを直接形成することが望ましいことがある。例えば、電界放出電子源を形成するために基板上の小さい開口の底部にグラファイトナノフィラメントを堆積させることが望ましいことがあり、空間制限のため、開口の表面へのグラファイトナノフィラメントの直接成長が、堆積を達成するための唯一の実用的手段となり得る。第2に、基板を使用すると、触媒ナノ粒子のサイズを制御するために触媒ナノ粒子を表面に固定することが可能になる。典型的なCVDナノフィラメント成長温度(例えば、500℃から900℃)では、触媒ナノ粒子(一般に金属)は十分な移動性および凝集力を有し、より大きい粒子に凝集する。触媒ナノ粒子を固定することは、そのような凝集を妨げ、グラファイトナノフィラメントの直径を制御する助けとなり得る。第3に、基板を使用すると、グラファイトナノフィラメントの配向を容易にすることができる。
図2Aは、触媒支持体205を使用する2つの触媒CVD成長によって形成されたグラファイトナノフィラメントの概略図である。カーボンナノチューブのCVD成長は、触媒粒子202を高温に加熱することと、炭化水素「CnHm」、一酸化炭素、または炭素含有ガスなどの炭素原料ガスをある期間の間触媒粒子202の上に流すこととを含む。触媒粒子202は触媒支持体205の支持体表面206に滞在する。触媒粒子202は、一般に、サイズがナノメートル程度であり、グラファイトナノフィラメントの直径または幅は、多くの場合、触媒粒子202のサイズに密接に関連する。
触媒粒子202はグラファイトナノフィラメント成長のための任意の好適な触媒材料を含み、好ましい材料は遷移金属および遷移金属酸化物である。触媒材料は、限定はしないが、鉄、コバルト、ニッケル、銅、銀、マグネシウム、ルテニウム、ロジウム、イリジウム、白金、パラジウム、モリブデン、タングステン、クロム、ならびにそれらの酸化物、合金、および組合せを含むことができる。使用することができる触媒材料の組合せまたは混合物は、限定はしないが、鉄−ニッケル、鉄−モリブデン、鉄−コバルト、コバルト−ニッケル、およびコバルト−モリブデンを含む。好ましい触媒は、鉄、コバルト、ニッケル、およびそれらの合金を含む。
グラファイトナノフィラメントの触媒CVD成長は、一般に、触媒として働く遷移金属粒子の表面での炭化水素原料ガスの炭素と水素とへの触媒解離を含む。理論に束縛されるものではないが、高温において、炭素は遷移金属粒子への溶解性を有し、炭素は金属内に溶解し、金属を通って拡散して炭素飽和金属−炭素溶液を形成することが考えられる。炭素は金属粒子の1つまたは複数の表面で飽和溶液から析出して、金属粒子の直径と実質的に等しい直径を有するグラファイトナノフィラメントを成長させる。
図2Aを参照すると、グラファイトナノフィラメントの触媒成長は先端成長プロセスまたは根元成長プロセスによって進行することができる。触媒粒子202と触媒支持体205との間の相互作用が強い場合、炭素原子の析出は、ナノチューブの基部で触媒支持体205に取り付けられたままである触媒粒子202のまわりで成長する管状ナノフィラメント壁203を有する根元成長ナノチューブ200Aを生成することができる。根元成長ナノチューブ200Aは、一般に、ナノチューブの基部の反対側に炭素原子の半球キャップ204を形成する。代りに、触媒粒子202と触媒支持体205との間の相互作用が弱い場合、ナノチューブは触媒粒子202を触媒支持体205から離れたところに持ち上げるように成長し、ナノチューブの先端に位置する触媒粒子202を有する先端成長ナノチューブ200Bを形成することができる。図2Aに示されたナノチューブは単層であるが、多層構造を同様の成長プロセスで形成することができる。炭素は、先端成長プロセスおよび根元成長プロセスの両方について触媒粒子202の1つまたは複数の表面から析出するので、グラファイトナノフィラメントはフィラメント軸方向「A」に成長する。
カーボンナノファイバは、さらに、触媒粒子202と触媒支持体205との間の相互作用の強度に応じて、先端成長プロセスまたは根元成長プロセスによって成長することができる。触媒粒子202が1つまたは複数の切子表面または平坦表面211を有する場合、カーボンナノファイバを形成することができるが、一方、触媒粒子202はカーボンナノチューブの形成のために形状をより球形にすることができる。触媒粒子202が互いにある角度をなす2つの平坦表面211を有する場合、ヘリンボンタイプの先端成長ナノファイバ200C(図1Cを参照)を形成することができる。炭素は平坦表面211に析出して、平坦表面211に平行でフィラメント軸方向とある角度をなすグラフェンシート121を形成する。グラフェンシート121の縁部は先端成長ナノファイバ200Cのナノフィラメント壁203を形成する。
一実施形態では、触媒支持体205は、緩衝層213で覆われた支持材212を含む。支持材212は、グラファイトナノフィラメント成長で使用される温度範囲で安定である酸化アルミニウム、酸化ケイ素、ケイ素、ガラス、金属、または他の材料を含むことができる。緩衝層213は、触媒粒子202がナノフィラメント成長温度で支持材212と反応または合金化しないようにする緩衝材(例えば、窒化チタン、二酸化ケイ素)を含む。触媒粒子202の支持材212とのそのような反応または合金化は、触媒粒子202を事実上減少または消費し、それによって、グラファイトナノフィラメントの成長収率を低下させることがあるので、望ましくないことがある。緩衝層213は、さらに、触媒粒子202が支持材212に拡散しないようにする拡散障壁として働くことができる。一実施形態では、触媒支持体205は、支持材212のある区域を覆い、支持材212の他の区域を覆わないようにパターン化された緩衝層213を含む。一実施形態では、緩衝層213は、触媒粒子202と支持材212との間の限定的な反応を許容するように適切に構成される。別の実施形態では、触媒支持体205は緩衝層213なしの支持材212を含む。
触媒準備
様々な方法を使用して、グラファイトナノフィラメント成長に使用される触媒と触媒支持表面とを準備することができる。触媒粒子202は湿式または乾式堆積技法を使用して触媒支持体205上に堆積させることができる。乾式堆積技法は、限定はしないが、スパッタリング、熱蒸着、およびCVDを含み、湿式堆積技法は、限定はしないが、湿式触媒、コロイド触媒溶液、ゾルゲル、電気化学めっき、および無電解めっきの技法を含む。
様々な方法を使用して、グラファイトナノフィラメント成長に使用される触媒と触媒支持表面とを準備することができる。触媒粒子202は湿式または乾式堆積技法を使用して触媒支持体205上に堆積させることができる。乾式堆積技法は、限定はしないが、スパッタリング、熱蒸着、およびCVDを含み、湿式堆積技法は、限定はしないが、湿式触媒、コロイド触媒溶液、ゾルゲル、電気化学めっき、および無電解めっきの技法を含む。
湿式触媒法は、溶媒中に1つまたは複数の触媒材料(例えば、遷移金属)の可溶塩を含むことができる触媒溶液を使用する。触媒溶液は、触媒支持体205上に触媒溶液を堆積させるために所望の制御を行うスプレー被覆、スピン被覆、インクジェット印刷、または他の塗布技法を使用して触媒支持体205に塗布される。次に、触媒溶液は乾燥されて、触媒粒子202が触媒支持体205に残される。触媒溶液の濃度を調整して、触媒支持体205上に成長されるグラファイトナノフィラメントの密度を制御することができる。
一実施形態では、触媒溶液はか焼(すなわち、空気中での加熱)によって乾燥させることができ、その結果、触媒支持体205上に堆積された金属酸化物ナノ粒子を残すことによって触媒金属の酸化物が形成される。次に、金属酸化物ナノ粒子は、触媒粒子202を形成する金属ナノ粒子に還元することができる。還元はグラファイトナノフィラメント成長の前またはその間に行うことができる。水素ガスまたは他のガスを使用して、金属酸化物ナノ粒子を金属ナノ粒子に還元することができる。別の実施形態では、金属酸化物ナノ粒子は還元されず、触媒粒子202として直接使用される。
湿式触媒法は触媒溶液をコロイド触媒溶液に置き替えることによって変更することができ、コロイド触媒溶液は1つまたは複数の金属または金属酸化物を含むことができる触媒材料のコロイド粒子を含む。コロイド触媒溶液は、湿式触媒法で使用される同様の技法を使用して触媒支持体205に塗布することができる。コロイド触媒溶液を使用することの1つの利点は、触媒粒子202の直径(または幅)を数ナノメートルの直径までのかなり狭い範囲内に制御することができ、触媒粒子202のサイズに対するそのような制御により、グラファイトナノフィラメントの直径に対する良好な制御が可能になることである。一実施形態では、コロイド触媒溶液および触媒支持体205は、さらに、電気泳動堆積プロセス(すなわち、帯電した触媒粒子202を帯電した触媒支持体205で誘引)を使用して触媒支持体205上に触媒粒子202を堆積させるように構成することができる。
触媒粒子202はゾルゲル法を使用して触媒支持体205に塗布することもでき、ゾルゲル法は、触媒含浸の薄膜、エーロゲル、ファイバ、セラミック、および触媒支持体205を形成するのに使用できる他の材料を生成するのに使用できる。ゾルゲル法は、非常に高い表面積、高い多孔率、および非常に低い密度を有する構造を生成することができ、これらの特性はグラファイトナノフィラメントの高い収率成長を生成することができる。
別の方法では、触媒粒子202は、触媒金属塩を含む電解液を使用する電気化学めっきを使用して触媒支持体205上に堆積させることもできる。触媒支持体205は、導電性支持体表面206を有するように適切に構成することができる。電流密度および堆積時間を電気化学堆積の間制御して、支持体表面206に堆積される触媒粒子202の密度を制御し、それによって触媒支持体205上に形成されるグラファイトナノフィラメントの密度を制御することができる。
触媒支持体205上に触媒粒子202を形成する代替方法は、触媒支持体205上に触媒材料の薄層または薄膜を堆積させることによって始まる。図2Bは触媒支持体205上の触媒薄膜210の概略図である。触媒薄膜210は、スパッタリング、熱蒸着、CVD、または他の乾式堆積技法で堆積させることができ、薄膜は、触媒粒子202に関して本明細書で説明される触媒材料のいずれも含むことができる。別の実施形態では、触媒薄膜210は電気化学または無電解堆積を使用して堆積させることができる。触媒薄膜210は、例えば、鉄の層の上のモリブデンの層などの異なる触媒材料の1つまたは複数の層を含むことができるが、任意の数の層および材料を使用することができる。代りに、触媒薄膜210は、非触媒材料の層の上にある触媒材料の層を含むことができる。非触媒層を使用して、触媒層の表面の性質およびグラファイトナノフィラメントの成長収率を制御することができる。触媒薄膜210は、数ナノメートルから数十ナノメートル以上にわたることができる薄膜厚さ「tf」を有する。
図2Cは、図2Bに示された触媒薄膜210から形成された触媒粒子202の概略図である。触媒薄膜210は、金属の触媒薄膜210が分解し、触媒粒子202に凝集するように十分に加熱することができる。加熱された触媒薄膜210は、金属原子の表面移動性および強力な凝集力により粒子を形成することができる。次に、触媒粒子202は、根元成長(根元成長ナノチューブ200Aが示されている)または先端成長グラファイトナノフィラメントの成長を触媒することができる。触媒粒子202を形成するための触媒薄膜210の加熱またはアニーリングはナノフィラメント成長プロセスの前またはその間に行うことができる。
触媒粒子202のサイズは、触媒薄膜210の薄膜厚さ「tf」、温度、およびアニーリング時間のパラメータを制御することによって制御することができるが、凝集プロセスがランダムであるので、粒子サイズは分布に従うことがある。前述のパラメータは、一般に、触媒粒子202がサイズにおいてナノメートル程度となるように制御される。より大きい触媒粒子202は、触媒薄膜210の薄膜厚さ「tf」、温度、およびアニーリング時間を増加させることによって、金属触媒原子の表面移動性、マイグレーション、および可用性の増加に起因して生じることがある。様々なマスキング、リソグラフィ、エッチング、または他の技法を使用して、触媒薄膜210を触媒支持体205の表面にパターン化して(図3Aおよび3Bを参照)、触媒薄膜210用の線、点、長方形、または他のパターンを形成することができ、そのようなパターン化は触媒粒子202の形成の制御を容易にすることができる。
図2Cに示された触媒粒子202は、厚い触媒薄膜210の表面を粗化することによって形成することもできる。表面粗化は、触媒粒子202を発生させるために機械的手段(例えば、摩耗、プラズマエッチング、イオン衝撃)および/または電気化学手段(例えば、湿式エッチング)により遂行することができる。代りに、触媒薄膜210を使用しなくてもよく、触媒粒子202は、触媒材料を含む触媒支持体205の支持表面206を粗化することによって形成することもできる。別の方法では、触媒薄膜210または触媒支持体205の金属表面を加熱または他の手段によって酸化して、多孔性金属酸化物表面を形成し、次に、還元ガス(例えば、水素)を使用して金属酸化物を還元して、金属触媒粒子202を形成する。金属酸化物の還元は、ナノフィラメント成長プロセスの前またはその間に行うことができる。
グラファイトナノフィラメントは、触媒含有材料がグラファイトナノフィラメント成長チャンバ内に直接注入される「浮遊触媒」法を使用して形成することもできる。触媒含有材料は、炭素原料ガスの注入の前、その間、またはその後に注入することができる。触媒含有材料は、触媒粒子202、または触媒粒子202が形成される触媒前駆体を含むことができる。
触媒前駆体は、液体触媒混合物、有機金属触媒化合物、または触媒を含む他の材料を含むことができる。液体触媒混合物は、触媒材料の溶液、懸濁液、またはコロイドを含むことができる。有機金属触媒化合物は、限定はしないが、鉄ペンタカルボニル、鉄(II)フタロシアニン、フェロセン、ニッケロセン、コバルトセン、および他のメタロセンを含むことができる。触媒前駆体は、アトマイザ、シリンジポンプ、シャワーヘッド、または他の注入手段を使用して気相、液相、または固相のいずれかで注入することができる。注入の後、触媒前駆体は、例えば、加熱、還元、分解、蒸発、凝縮、および昇華などの様々な手段によって触媒粒子202に変換することができる。
浮遊触媒法では、粒子が成長チャンバの上部から下部まで降りるとき、または触媒粒子202がチャンバ内の表面に静止した後、グラファイトナノフィラメントは触媒粒子202から成長することができる。基板が成長チャンバ内に含まれる場合、多くの触媒粒子202が基板の表面に静止することができ、グラファイトナノフィラメントを基板表面に形成することができる。浮遊触媒法は、ある条件下で、基板の表面に多くの高密度充填および配向したグラファイトナノフィラメントを形成するのに使用することができる。
グラファイトナノフィラメントのCVD成長パラメータ
グラファイトナノフィラメントのタイプ(ナノチューブまたはナノファイバ)、構造(単層、多層、ヘリンボンなど)、直径、長さ、および配向は、CVD成長パラメータを制御することによって制御することができる。成長パラメータは、限定はしないが、炭素原料ガス、キャリアガス、成長温度、成長圧力、および成長時間を含む。触媒CVD成長では、追加の成長パラメータは、触媒サイズ、形状、組成、および触媒前駆体などの触媒パラメータを含むことができる。触媒パラメータを除いて、触媒CVD成長のためのパラメータ範囲およびオプションは、一般に、グラファイトナノフィラメントの非触媒CVD成長に適用可能とすることができるが、より高い温度を非触媒CVD法では使用することがある。
グラファイトナノフィラメントのタイプ(ナノチューブまたはナノファイバ)、構造(単層、多層、ヘリンボンなど)、直径、長さ、および配向は、CVD成長パラメータを制御することによって制御することができる。成長パラメータは、限定はしないが、炭素原料ガス、キャリアガス、成長温度、成長圧力、および成長時間を含む。触媒CVD成長では、追加の成長パラメータは、触媒サイズ、形状、組成、および触媒前駆体などの触媒パラメータを含むことができる。触媒パラメータを除いて、触媒CVD成長のためのパラメータ範囲およびオプションは、一般に、グラファイトナノフィラメントの非触媒CVD成長に適用可能とすることができるが、より高い温度を非触媒CVD法では使用することがある。
一般に、グラファイトナノフィラメントの触媒CVD成長のための温度は、摂氏約300度(℃)から摂氏約3000度(℃)に、好ましくは約600℃から約1200℃にわたることができるが、特にCVD成長がプラズマ増強される場合、600℃よりも低い温度を使用することができる。成長圧力は、約0.1Torrから約1気圧に、より好ましくは約0.1Torrから約100Torrにわたることができるが、より低いまたはより高い圧力を使用することもできる。別の実施形態では、成長圧力は大気圧よりも上であり、約1気圧から約10気圧にわたることができる。成長時間または「滞留時間」は、所望のグラファイトナノフィラメント長さに部分的に依存し、成長時間が長いと長さが長くなる。成長時間は、約10秒から何時間かに、より典型的には約10分から数時間にわたることができる。一実施形態では、成長時間は約1分と約5分との間の範囲にある。
グラファイトナノフィラメント成長に使用される炭素原料ガスは、限定はしないが、エチレン、プロピレン、アセチレン、ベンゼン、トルエン、エタン、メタン、ブタン、プロパン、ヘキサン、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロピルアルコール、一酸化炭素、アセトン、酸素化炭化水素、低分子量炭化水素、高分子量炭化水素、またはそれらの組合せを含むことができる。一般に、炭素原料ガスは任意の1つまたは複数の炭素含有ガスを含むことができ、炭素原料ガスは1つまたは複数の炭素含有ガスの液体または固体前駆体から得ることができる。補助ガスを炭素原料ガスと共に使用して、成長プロセスを促進することができる。補助ガスは、例えば、キャリアガス、不活性ガス、還元ガス(例えば、水素、アンモニア)、希釈ガス、またはそれらの組合せなどの1つまたは複数のガスを含むことができる。「キャリアガス」という用語は時には当技術分野で不活性ガス、還元ガス、およびそれらの組合せを表すのに使用される。キャリアガスのいくつかの例は水素、窒素、アルゴン、およびアンモニアである。
ナノフィラメント配向
グラファイトナノフィラメント成長のCVD成長パラメータは、基板上のグラファイトナノフィラメントの配向を容易にするパラメータをさらに含むことができる。配向パラメータは、限定はしないが、電界の方向および強度、触媒粒子密度、ならびに基板細孔方位を含むことができる。
グラファイトナノフィラメント成長のCVD成長パラメータは、基板上のグラファイトナノフィラメントの配向を容易にするパラメータをさらに含むことができる。配向パラメータは、限定はしないが、電界の方向および強度、触媒粒子密度、ならびに基板細孔方位を含むことができる。
図2Dは、電界の存在下での配向グラファイトナノフィラメントの概略図である。界方向208を有する電界「E1」は、ナノフィラメントの配向を容易にするためにグラファイトナノフィラメント成長の間印加することができる。電界「E1」は、界方向208によって示されるように支持表面206に実質的に垂直である。各グラファイトナノフィラメント(根元成長ナノチューブ200Aが示されている)は、ナノフィラメントの方位または配向方向を示すナノフィラメント軸216(2つのみが示されている)を有する。グラファイトナノフィラメントは、各ナノフィラメント軸216が界方向208に実質的に平行であるように電界「E1」に平行にそれら自体を配向することができる。電界「E1」は、プラズマ促進化学気相成長(PECVD)の成長プロセスで使用されるプラズマ発生器で供給することができる。一構成では、電界E1は、触媒支持体205の支持表面206が配置される接地または電気的バイアスされた基板支持体の上方に、かつそれと平行関係で配置される容量性結合ガス放出シャワーヘッドの間に創出される。ナノフィラメントの配向に電界を使用する1つの利点は、ナノフィラメントがいかなる支持表面トポグラフィとも無関係に配向され得ることである。電界を使用する別の利点は、界強度を調整すると配向を促進するのに役立つことができ、電界を強くするとナノフィラメントの配向を一層均一にすることができることである。図2Dに示されるように、ナノフィラメントが支持表面206に実質的に垂直である場合、ナノフィラメントは時には「垂直配向されている」と言われる。
図2Eは、電界の存在下での配向グラファイトナノフィラメントの別の概略図である。界方向208を有する電界「E2」は、支持表面206に対して方向角「α」を有し、ナノフィラメント成長の間、方向角「α」を調整して、支持表面206に対するグラファイトナノフィラメントの配向を制御することができる。各グラファイトナノフィラメントのナノフィラメント軸216は方向角「α」の界方向208に実質的に平行に配向される。90度または270度(左回りに測定して)の方向角「α」では、ナノフィラメント配向は支持表面206に実質的に垂直となることができる。0度または180度の方向角「α」では、ナノフィラメント配向は支持表面206に実質的に平行となることができる。
グラファイトナノフィラメントは、印加電界がない状態で整列させることもできる。ナノフィラメント成長の間、隣接するナノフィラメントのナノフィラメント壁203はファンデルワールス力によって互いに相互作用することができ、それにより、ナノフィラメントは互いに平行におよび支持表面206に垂直に(図2Dを参照)配向したままになることができ、その結果、配向グラファイトナノフィラメントの形成がもたらされる。電界がない状態でのグラファイトナノフィラメントの配向は、支持表面206の平方ミリメートル当たりのナノフィラメントが104個を超えるナノフィラメント密度を必要とすることがある。密充填によるグラファイトナノフィラメントの配向は時には「自己指向」または「自己組織化」成長と呼ばれる。
図2Fは、多孔質表面を有する触媒支持体205上の配向グラファイトナノフィラメントの概略図である。触媒支持体205がグラファイトナノフィラメントの成長テンプレートとして機能するように、支持表面206は複数のナノ細孔215を含む。グラファイトナノフィラメント(根元成長ナノチューブ200Aが示されている)の密度、直径、および配向がさらに制御されるように、ナノ細孔215の密度、直径、および配向が制御される。ナノ細孔密度は支持表面206の単位面積当りのナノ細孔215の数であり、ナノ細孔215は、所望に応じて支持表面206に対して配向することができる(垂直配向が示されている)。ナノ細孔215は円柱孔を含むことができ、各孔は、数ナノメートルから数百ナノメートルにわたる直径「dh」と、数マイクロメートルから数百マイクロメートルにわたる深さ「D」とを有する。
ナノ細孔215は、ナノ細孔215の所望の密度、直径、および配向を与えることができる任意の好適な手段を使用して創出することができる。例えば、触媒支持体205またはその一部は、配向が実質的に垂直であるナノ細孔215を有する多孔質酸化アルミニウム支持表面206を生成するために電気化学的に処理される(例えば、陽極処理される)アルミニウムを含むことができる。処理の間、電気化学処理パラメータを変更して、ナノ細孔215の直径「dh」、深さ「D」、および密度を制御することができる。
グラファイトナノフィラメントはナノ細孔215内に成長し、ナノフィラメントの密度、直径、および配向は、ナノ細孔215の密度、直径、および配向を厳密に複製することができる。触媒粒子202をナノ細孔215内に堆積させて、触媒ナノフィラメント成長(根元成長または先端成長のいずれか)を可能にすることができる。代りに、ナノ細孔215内のグラファイトナノフィラメントの成長は非触媒反応(すなわち、熱分解)とすることができる。触媒支持体表面へのナノ細孔215の制御された形成を使用する本明細書で説明される方法は時にはグラファイトナノフィラメント成長の「テンプレート法」と呼ばれる。
図2D〜2Fに示され、本明細書で説明された配向方法は、例示の目的で示された根元成長ナノチューブ200Aだけでなく、グラファイトナノフィラメントに一般に適用可能であることが理解されるべきである。さらに、ナノフィラメント配向はいくつかの用途では必要とされないことがあり、ナノフィラメントは、触媒支持体205上で「非配向」となるように形成することができる。本明細書で定義される「非配向」ナノフィラメントは、互いに対して、および触媒支持体205の支持表面206に対して不規則に向けられるナノフィラメント軸216を有する。
ホスト基板
グラファイトナノフィラメントは、様々なタイプの基板上にグラファイトナノフィラメントを形成して異なるタイプの複合材料を創出するようにCVD成長法を使用することによって機能的なものにすることができる。基板タイプは複合材料の所望の用途に基づいて選択することができる。
グラファイトナノフィラメントは、様々なタイプの基板上にグラファイトナノフィラメントを形成して異なるタイプの複合材料を創出するようにCVD成長法を使用することによって機能的なものにすることができる。基板タイプは複合材料の所望の用途に基づいて選択することができる。
図3Aは、本明細書で説明される一実施形態によるホスト基板300の概略上面図である。ホスト基板300は、例えば、ファイバ、テープ、シート、または織物などの伸ばされた長さを有する可撓性材料の連続基板である。シートまたは織物は、織ったファイバの織物、ファイバ複合物、連続的な材料(例えば、重合体または金属のシート)の1つまたは複数の層、またはそれらの組合せを含むことができる。ホスト基板300は、繰出しリールと巻取りリールとの間、ローラ間、または他の好適な支持体間に取り付けられる。図3Aに示されるように、ホスト基板300の厚さは図面のページの中の方である。ホスト材料300は、ポリイミド、カプトン、ガラス含有材料、あるいは銅(Cu)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、および/またはステンレス鋼箔を含む複合材料などの材料から形成することができる。一実施形態では、ホスト材料300は、限定はしないが、炭素、炭素含有化合物、炭化物、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバ、シリカ、酸化アルミニウム、チタンジルコン酸鉛、ガラス、セラミックス、重合体、アラミド、芳香族ポリアミド、ポリエチレン、ポリアミド、ナイロン、アクリル、レーヨン、セルロース、金属、合金、半導体、超伝導体、光ファイバ、素線、またはそれらの組合せを含む材料を含むことができる。一実施形態では、ホスト材料は約3μmと約100μmとの間の厚さを有する。一実施形態では、ホスト材料300はリチウムイオン電池用途で使用され、約3ミクロン(μm)と約50μmとの間の厚さを有する。
ホスト基板300は、グラファイトナノフィラメントを形成することができる1つまたは複数の表面を備える。一実施形態では、ホスト基板300は触媒支持体205を含む。別の実施形態では、ホスト基板300は、非触媒CVD成長法を使用してグラファイトナノフィラメントを形成することができる1つまたは複数の表面を含む。
ホスト基板300は、グラファイトナノフィラメントが成長または形成されるべき区域を含む1つまたは複数の形成区域302を有する。形成区域302は、触媒粒子202のための本明細書で説明される触媒材料、細孔(例えば、ナノ細孔215)、処理区域、またはグラファイトナノフィラメント成長の制御を容易化および支援する他の材料およびフィーチャを含むことができる。一実施形態では、形成区域302の外側にある基板区域は、グラファイトナノフィラメント成長を禁止または防止するように処理される。一実施形態では、形成区域302は緩衝層213および/または触媒薄膜210を含む。
形成区域302はホスト基板300の1つまたは複数の表面に配置される。1つまたは複数の表面は、ホスト基板300の例えば上部、下部、前部、後部、および側部の表面を含むことができる。1つまたは複数の表面は円筒形状のホスト基板300のように湾曲させることもできる。一実施形態では、形成区域302はホスト基板300の上部表面304に配置される。形成区域302は任意のサイズおよび形状を有することができ(長方形が示されている)、そのような形状は、限定はしないが、線、点、長方形、多角形、および円形を含むことができる。形成区域302は、例えば、アレイ(図3Bを参照)などの任意のパターンで配置することもできる。一実施形態では、形成区域302はホスト基板300の1つまたは複数の表面を完全に覆う。
マスキング、リソグラフィ、およびエッチングなどの様々なパターン化技法を使用して形成区域302をホスト基板300上にパターン化することができるが、陽極処理などの他の技法を企図することができる。パターン化技法は、選択的表面処置および/または触媒などの材料の選択的堆積を可能にするように構成することもできる。例えば、選択ウェッティング技法では、ホスト基板300をパターン化して疎水性領域および親水性領域を形成することができ、触媒材料(溶液中に存在することができる)は、疎水性領域または親水性領域に選択的に堆積させるように好適に構成することができる。一例では、形成区域302および触媒材料は親水性となるように処理され、一方、残りの上部表面304は疎水性となるように処理され、このようにして、形成区域302内の触媒材料の選択的堆積が可能になる。処置は、マスキング、インクジェット印刷、スクリーン印刷、または他の同様の技法によって上部表面304の様々な領域に処理材料を堆積させることを含むことができ、次に、処理材料は処理済み表面と反応し、改変され得る。ホスト基板300表面を改変するのに使用できる処理材料は基板材料によって変化することになる。場合によっては、フッ酸、フッ素化溶媒、溶媒、または他の同様の材料を使用することができる。
図3Bは、本明細書で説明される別の実施形態によるホスト基板の概略上面図である。ホスト基板300は、例えばパネル、金属箔、重合体と金属の箔、またはウェハなどの有限サイズを有する個別の基板である。ホスト基板300は、1つまたは複数の好適な支持体に取り付けられる剛性、半剛性、または可撓性材料を含むことができる。ホスト基板300は、本明細書で説明されるように1つまたは複数の形成区域302を有する。形成区域302は、ホスト基板300の1つまたは複数の表面にアレイでパターン化することができる。例えば、形成区域302の3×3アレイ(図示の)を上部表面304に配置することができる。
一般に、図3Aおよび3Bに示され、本明細書で説明されるホスト基板300は任意のサイズ、形状、または構造形態とすることができ、その形態は、限定はしないが、プレート、ウェハ、パネル、シート、織物、編み物、ロッド、バー、管、ファイバ、素線、テープ、金属箔、重合体と金属の箔、およびリボンを含むことができる。ホスト基板300は、限定はしないが、金属、合金、半導体、ガラス、セラミックス、光ファイバ、重合体、織物、カーボンファイバ、シリカ、および酸化アルミニウムを含む材料をさらに含むことができる。
CVDナノフィラメント成長装置
グラファイトナノフィラメントは、限定はしないが、大気圧CVD(APCVD)、減圧CVD(LPCVD)、高圧CVD(HPCVD)、プラズマ促進CVD(PECVD)、レーザ促進CVD、熱CVD、有機金属CVD(MOCVD)、および熱フィラメントCVDを含むCVD技法を使用してホスト基板300上に形成することができる。グラファイトナノフィラメント成長で使用されるCVD技法は、当技術分野で知られており、かつ限定はしないが、管反応器(例えば、環状炉)、シャワーヘッド反応器、直線状注入反応器、熱フィラメント反応器、高圧反応器、プラズマ反応器、および高密度プラズマ反応器を含む様々なタイプのCVD堆積装置を使用して行うことができる。グラファイトナノフィラメント成長のために選ばれたCVD技法は所望の成長パラメータに部分的に依存することがある。例えば、PECVDを使用して、低温での炭化水素ガスの解離を可能にし、成長の間のグラファイトナノフィラメントの配向を容易にすることができる。
グラファイトナノフィラメントは、限定はしないが、大気圧CVD(APCVD)、減圧CVD(LPCVD)、高圧CVD(HPCVD)、プラズマ促進CVD(PECVD)、レーザ促進CVD、熱CVD、有機金属CVD(MOCVD)、および熱フィラメントCVDを含むCVD技法を使用してホスト基板300上に形成することができる。グラファイトナノフィラメント成長で使用されるCVD技法は、当技術分野で知られており、かつ限定はしないが、管反応器(例えば、環状炉)、シャワーヘッド反応器、直線状注入反応器、熱フィラメント反応器、高圧反応器、プラズマ反応器、および高密度プラズマ反応器を含む様々なタイプのCVD堆積装置を使用して行うことができる。グラファイトナノフィラメント成長のために選ばれたCVD技法は所望の成長パラメータに部分的に依存することがある。例えば、PECVDを使用して、低温での炭化水素ガスの解離を可能にし、成長の間のグラファイトナノフィラメントの配向を容易にすることができる。
図4Aは、本明細書で説明される一実施形態による、ホスト基板300上にグラファイトナノフィラメントを成長させるための装置を簡略化して示す概略図である。ナノフィラメント成長装置400は、反応器管401を有する環状炉と、反応器管401のまわりに配置された1つまたは複数の加熱要素402と、基板支持体406とを含む。加熱要素402は、反応器管401の長さに沿って異なる温度区間を形成するように構成することができる。反応器管401は耐熱材料(例えば、石英)を含み、加熱要素402は、反応器管401内の基板支持体406に配置されるホスト基板300を加熱するための抵抗加熱器、誘導コイル、ランプ、または他の手段を含むことができる。基板支持体406は、基板支持体406の誘導加熱を可能にする材料(例えば、グラファイト)を含むサセプタとすることができる。反応器管401および基板支持体406は、異なるサイズおよび形状を有するホスト基板300を処理するために適切に大きさを合わせることができる。
環状炉は、反応器管401の長さに沿った任意の場所に配置することができるプラズマ源403を含むように適切に構成することができる。プラズマ源403は、電極、誘導コイル、導波管(例えば、マイクロ波またはRF導波管)、電源、および反応器管401内にプラズマを生成するための他の手段を含むことができる。
処理ガス404は反応器管401の一方の端部に入り、管を通って、ホスト基板300の露出表面の上を流れる。環状炉は、反応器管401を通るガス流を維持し、管の反対側の端部から排気ガス405を排気する真空ポンプ(図示せず)に結合および流体連通される。真空ポンプは、反応器管401の内部の圧力が調整され得るように制御することができる。
処理ガス404は、炭素原料ガス、1つまたは複数の補助ガス(例えば、キャリアガス、不活性ガス、還元ガス、希釈ガス)、および例えば触媒前駆体などの1つまたは複数の触媒含有材料を含むことができる。一実施形態では、処理ガス404は炭素原料ガスおよび補助ガスを含む。処理ガス404を含むガスおよび触媒含有材料の各々を反応器管401に順次にまたは一斉に注入することができ、各ガスまたは触媒を反応器管401に沿った異なる場所で注入することができ、各注入場所を管に沿って異なる温度区間に配置することができるように、環状炉は構成することができる。環状炉は、アトマイザ、シリンジポンプ、または他の手段を使用して液体触媒前駆体を反応器管401に注入するように構成することもできる。
一実施形態では、空気を除去し、管内に不活性雰囲気を創出するために、不活性ガス(例えば、アルゴン)が最初に反応器管401に流される。次に、管内の不活性雰囲気はグラファイトナノフィラメント成長温度に加熱される。水素などの還元ガスが加熱の間不活性ガス流に追加されることもある。成長温度が達せられると、炭素原料ガスが反応器管401に流される。炭素原料ガス、補助ガス、触媒、成長温度、および他の成長パラメータは、所望のグラファイトナノフィラメント構造体を成長させるように選択することができる。
一実施形態では、図4Aに示されるように、炭素原料ガスは形成区域302で触媒材料と反応し(図3Aおよび3Bを参照)、ホスト基板300上にグラファイトナノフィラメントを形成する。ナノフィラメントの成長は、処理ガス404の解離を支援するプラズマ源403によって促進させることができる。プラズマ源403は、さらに、ホスト基板300の表面の近くに望ましい方位の電界を供給して、グラファイトナノフィラメントを配向させるのを支援するように位置づけおよび位置合わせすることができる。プラズマ源403は、容量性結合源(すなわち、アノード部材およびカソード部材)、またはRF電源と従来の整合回路とを有するRF電源アセンブリ403Aに結合された誘導性結合源(すなわち、コイル)とすることができる。一実施形態では、環状炉およびホスト基板300は、グラファイトナノフィラメントが非配向となるように適切に構成することができる。
反応器管401およびホスト基板支持体406は、処理ガス404の流れに対するホスト基板300の方位を調整できるように適切に構成することができる。一実施形態では、ホスト基板300の上部表面304は、処理ガス404の流れの方向(矢印によって示された)とほぼ平行である(図4Aに示されるように)。別の実施形態では、ホスト基板300の上部表面304は、処理ガス404の流れの方向にほぼ垂直である。
別の実施形態では、環状炉は浮遊触媒法を使用してグラファイトナノフィラメントを形成するように構成することができる。1つまたは複数の触媒前駆体を反応器管401に注入し、次に、熱または還元ガスによって分解および/または還元して触媒ナノ粒子を形成し、触媒ナノ粒子はカーボン原料ガスと反応してホスト基板300上にグラファイトナノフィラメントを形成することができる。ホスト基板300の1つまたは複数の表面は、浮遊触媒法を使用してグラファイトナノフィラメントが形成領域302内に選択的に形成されるようにパターン化し、適切に処理することができる。
図4Bは、図4Aに示された装置の別の実施形態を簡略化して示す概略図である。ナノフィラメント成長装置400は、例えば、ファイバ、テープ、シート、金属箔、重合体と金属の箔混合物、または織物などの連続基板を含むホスト基板300へのグラファイトナノフィラメント成長に適切に適用される環状炉を含むが、他のタイプの連続基板を企図することができる。ホスト基板300は少なくとも2つの主支持体410によって支持される。主支持体410はローラ、ホイール、繰出しリール、または巻取りリールを含むことができる。主支持体410は、回転方向414に回転し、その結果、ホスト基板300は反応器管401を通って移動することができ、グラファイトナノフィラメントはホスト基板300の長さに沿って成長することができる。主支持体410の1つまたは複数はホスト基板300に結合して、ホスト基板300を移動させ、ホスト基板300の一部を位置づけることができ、主支持体410の1つまたは複数は、主支持体410の回転を引き起こす好適な駆動機構、モータ、または他のアクチュエータ(図示せず)に結合することができる。グラファイトナノフィラメントは、ホスト基板300の1つまたは複数の表面または側面で成長することができる。成長時間(または滞留時間)は、ホスト基板300が反応器管401を通って移動するときホスト基板300の速度を調整することによって制御することができる。反応器管401を通るホスト基板300の移動は成長プロセスの間連続的または断続的とすることができる。
図4Cは、本明細書で説明される一実施形態による、ホスト基板300上にグラファイトナノフィラメントを成長させるための別の装置を簡略化して示す概略図である。ナノフィラメント成長装置400は、ナノフィラメント成長のためのCVDプロセスチャンバ430を含む。プロセスチャンバ430は、ホスト基板300にグラファイトナノフィラメントを成長させるための処理領域439を囲むチャンバ壁440を含む。ナノフィラメント成長装置400は、プロセスチャンバ430に結合された1つまたは複数のバッファチャンバ431をさらに含むことができ、バッファチャンバ431は、ホスト基板300を処理または移送するために他のタイプのチャンバ(図示せず)に結合することができる。
一実施形態では、プロセスチャンバ430およびバッファチャンバ431は真空チャンバを含み、バッファチャンバ431はプロセスチャンバ430の圧力よりも大きい圧力で動作することができる。真空ポンプシステム(図示せず)がプロセスチャンバ430および/またはバッファチャンバ431に結合および流体連通される。真空ポンプシステムは、プロセスチャンバ430から排気ガス405(図4B)を除去し、真空システムは、プロセスチャンバ430およびバッファチャンバ431の圧力を制御するように調整することができる。別の実施形態では、プロセスチャンバ430およびバッファチャンバ431は大気圧で処理するように構成される。
一実施形態では、ナノフィラメント成長装置400は、図4Cに示されるように、例えば、ファイバ、シート、金属箔、重合体と金属の箔混合物、または織物などの連続基板を含むホスト基板300を処理する。別の実施形態では、ナノフィラメント成長装置400は、例えば、パネルなどの個別の基板を含むホスト基板300を処理するように構成されるが、他のタイプの個別の基板を企図することができる。
ナノフィラメント成長装置400は1つまたは複数の主支持体410を含み、ホスト基板300を支持し移動させるための1つまたは複数の二次支持体433をさらに含むことができる。二次支持体433は、ホスト基板300がプロセスチャンバ430を通って移動するときホスト基板300を支持および案内するためのローラ、ホイール、または好適な手段を含む。主支持体410は、プロセスチャンバ430または1つまたは複数のバッファチャンバ431(図示のような)内に配置することができる。別の実施形態では、主支持体410および二次支持体433は、プロセスチャンバ430を通って移動し、静止または連続移動処理モードのいずれかでホスト基板300の位置づけおよび処理を行うことができる。
プロセスチャンバ430は、1つまたは複数のガス管路432と、処理領域439内のホスト基板300のまわりに配置された1つまたは複数の加熱要素438とを含む。ガス管路432は処理ガス404をプロセスチャンバ430に供給し、ガス管路432は、例えば、シート、金属箔、重合体と金属の箔混合物、織物、またはパネルの上部表面および下部表面などのホスト基板300の1つまたは複数の表面にグラファイトナノフィラメントを形成しやすくするようにプロセスチャンバ430内に配置することができる。
加熱要素438は、ランプ、抵抗加熱要素、誘導コイル、またはホスト基板300の加熱に好適な他の手段を含むことができる。さらに、ホスト基板300を加熱するための手段は導電性基板および触媒に適応させることができる。一実施形態では、加熱要素438は、導電性ホスト基板300および/または導電性ホスト基板300上に堆積された金属触媒材料の誘導加熱を可能にするのに使用される誘導コイルを含む。別の実施形態では、ナノフィラメント成長装置400は、導電性ホスト基板300(例えば、導電性の素線、ファイバ、箔、シート)に電流を通過させてホスト基板300を加熱し、ナノフィラメント成長を促進する。
プロセスチャンバ430は、グラファイトナノフィラメントのPECVD成長のためにホスト基板300のまわりに配置された1つまたは複数のプラズマ源437をさらに含むことができる。プラズマ源437は、第1の要素434、第2の要素435、および第3の要素436を含む。一実施形態では、第1の要素434は、ホスト基板300を含むことができる対向電極、チャンバ壁440、またはプロセスチャンバ430内の他の要素から電気的に絶縁される電極を含む。第2の要素435は、プラズマ発生のためのエネルギー源(例えば、高周波(RF)発生器)を含む第3の要素436に第1の要素434または電極を電気的に結合する。プラズマ源437は、処理ガス404からプラズマを形成することによってグラファイトナノフィラメントの成長を容易にする。プラズマ源437は、さらに、本明細書で説明されるように、ホスト基板300上でのナノフィラメントの配向を容易にするように構成することができる。
別の実施形態では、第1の要素434は、1つまたは複数の誘導コイルを駆動するためのエネルギー源(例えば、RF発生器)を含む第3の要素436に第2の要素435によって電気的に結合される1つまたは複数の誘導コイルを含む。1つまたは複数の誘導コイルは、コイルが処理ガス404からプラズマを形成することができるようにチャンバ壁440の内部(図示のように)にまたはチャンバ壁440の外側に配置することができる。
さらなる別の実施形態では、第1の要素434は放射(例えばマイクロ波、高周波)に対して透過性の窓を含み、第2の要素435は放射のための導波管を含み、第3の要素436は放射発生のためのエネルギー源(例えば、高周波またはマイクロ波発振器)を含む。放射はエネルギー源によって生成され、プロセスチャンバ430に導波管を通り、窓を通って送り出され、プロセスチャンバ430で放射は処理ガス404からプラズマを形成する。
図4Dは、図4Cに示された装置の別の実施形態を簡略化して示す概略図である。1つまたは複数のガス管路432が、容量性結合プラズマを発生させるための電極としても機能するシャワーヘッドを含む第1の要素434に結合および流体連通される。対向電極は、ホスト基板300、チャンバ壁440、またはプロセスチャンバ430内の他の要素を含むことができる。第2の要素435は、第1の要素434またはシャワーヘッドと、プラズマ発生のためのエネルギー源(例えば、RF発生器)を含む第3の要素436との間の電気的結合を含む。シャワーヘッドは処理ガス404をプロセスチャンバ430に注入し、その結果、ガスはホスト基板300の一部の上に分配され、プラズマが処理領域439において処理ガス404から形成される。一実施形態では、処理領域439はシャワーヘッドとホスト基板300との間に配置され、グラファイトナノフィラメントはホスト基板300の上部表面304にのみ形成される。
図4Cおよび4Dについて本明細書で説明された実施形態は、さらに、組合せ、置換え、交換を行うことができる。例えば、1つまたは複数のプラズマ源437は追加の加熱要素438と取り替えることができ、または1つまたは複数の加熱要素438はプラズマ源437の様々な実施形態と取り替えることができ、他の実施形態の組合せを異なる用途に企図することができる。
図4Eは、本明細書で説明される別の実施形態による、ホスト基板300上にグラファイトナノフィラメントを成長させるための装置を簡略化して示す概略図である。ナノフィラメント成長装置400はPECVDプロセスチャンバ450を含む。プロセスチャンバ450は、例えばウェハまたはパネルなどの個別の基板であるホスト基板300を処理する。
プロセスチャンバ450は、ホスト基板300を支持するための基板支持体406と、処理ガス404をプロセスチャンバ450に注入するためのガスシャワーヘッド453とを含む。ガスシャワーヘッド453に結合および流体連通されるガス管路432によって、処理ガス404はガスシャワーヘッド453に送り出される。1つまたは複数の加熱要素438が基板支持体406内に埋め込まれ、ナノフィラメント成長を容易にする。加熱要素438は、抵抗加熱要素、誘導コイル、または他の加熱手段を含むことができる。真空ポンプシステム(図示せず)がプロセスチャンバ450に結合および流体連通され、その結果、排気ガス405をチャンバから除去することができ、チャンバ圧力を調整することができる。
ガスシャワーヘッド453は電気コネクタ452によってプラズマエネルギー源451に電気的に結合される。プラズマエネルギー源451は高周波電源、DC電源、またはプラズマを発生させるための他の手段を含むことができる。ガスシャワーヘッド453は容量結合プラズマを発生させるための電極として機能する。ガスシャワーヘッド453は、基板支持体406、プロセスチャンバ450の壁、またはプロセスチャンバ450の他の要素を含むことができる対向電極から電気的に絶縁される。ガスシャワーヘッド453は処理ガス404をプロセスチャンバ450に注入し、プラズマエネルギー源451はエネルギーが与えられ、その結果、プラズマが処理ガス404から形成される。
図4A〜4Eで示され、本明細書で説明された実施形態は、ナノフィラメント成長装置400のための他の実施形態を形成するために組み合わせることができる。さらに、本明細書で説明されたナノフィラメント成長装置400は限定することを意味するものではなく、当技術分野で既知の様々なタイプのCVD装置はホスト基板300にグラファイトナノフィラメントを成長させるように構成することができる。
グラファイトナノフィラメントがナノフィラメント成長装置400を使用してホスト基板300上に形成された後、ナノフィラメントは所望の複合材料を形成するために金属化することができる。
ナノフィラメント複合材料
図5Aは、本明細書で説明される一実施形態による、ホスト基板300上に金属化グラファイトナノフィラメントを含むナノフィラメント複合材料500の簡単化した断面図である。ナノフィラメント複合材料500は、第1の表面501および第2の表面502を含むホスト基板300を含む。第1の表面501および第2の表面502は、ホスト基板300の2つの別個の表面(例えば、上部表面および下部表面)を含むことができる。別の実施形態では、第1の表面501および第2の表面502はホスト基板300の単一の外側表面(例えば、柱面)を含む。第1の表面501および第2の表面502の各々は、堆積材料を含むことができる1つまたは複数の形成領域302(図3A〜3Bを参照)、および/または本明細書で説明されるようなグラファイトナノフィラメント成長の制御を容易化および支援する処理済み表面を含む。
図5Aは、本明細書で説明される一実施形態による、ホスト基板300上に金属化グラファイトナノフィラメントを含むナノフィラメント複合材料500の簡単化した断面図である。ナノフィラメント複合材料500は、第1の表面501および第2の表面502を含むホスト基板300を含む。第1の表面501および第2の表面502は、ホスト基板300の2つの別個の表面(例えば、上部表面および下部表面)を含むことができる。別の実施形態では、第1の表面501および第2の表面502はホスト基板300の単一の外側表面(例えば、柱面)を含む。第1の表面501および第2の表面502の各々は、堆積材料を含むことができる1つまたは複数の形成領域302(図3A〜3Bを参照)、および/または本明細書で説明されるようなグラファイトナノフィラメント成長の制御を容易化および支援する処理済み表面を含む。
第1の表面501および第2の表面502の各々の上に、ナノフィラメント複合材料500は、ナノフィラメント層504、ナノフィラメント層504の上に形成された開始−接着層506、および開始−接着層506上に形成された金属性層508をさらに含む。別の実施形態では、第1の表面501のみが前述の層で覆われる。金属性層508の第1の金属表面510および第2の金属表面512はその上に追加の材料層を受け取り、特定用途にナノフィラメント複合材料500を適応させることができる。
ナノフィラメント層504は、ホスト基板300上に形成されるグラファイトナノフィラメント(すなわち、カーボンナノチューブおよび/またはナノファイバ)を含む。ナノフィラメント層504は、グラファイトナノフィラメントでインターカレーションされた材料(例えば、金属種)をさらに含むことができる。
開始−接着層506は、金属性層508の堆積および接着を容易にする材料の1つまたは複数の層を含む。開始−接着層506は、金属材料の堆積のためにナノフィラメント層504を準備する核形成、シード、および/または開始層を含むことができる。一実施形態では、開始−接着層506は、限定はしないが、銅、リチウム、スズ、アルミニウム、ビスマス、アンチモン、ニッケル、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、銀、金、亜鉛、ならびにそれらの合金および酸化物を含む材料を含むシードまたは核形成層を含む。別の実施形態では、開始−接着層506は、無電解めっきプロセスを開始することができる1つまたは複数の触媒材料を含む開始層を含む。触媒材料は増感溶液および活性化溶液を使用して堆積させることができる。一実施形態では、開始−接着層506は、限定はしないが、パラジウム、スズ、白金、金、ロジウム、ルテニウム、マグネシウム、オスミウム、イリジウム、鉄、銅、コバルト、鉛、水銀、ニッケル、アルミニウム、チタン、および炭素を含む触媒材料を含む。
金属性層508は金属または合金の1つまたは複数の層を含む。金属性層508は、限定はしないが、銅、リチウム、スズ、アルミニウム、ビスマス、アンチモン、ニッケル、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、銀、金、亜鉛、マグネシウム、モリブデン、白金、鉛、それらの合金、それらの酸化物、およびそれらの組合せを含む材料を含むことができる。一実施形態では、開始−接着層506および金属性層508を十分に薄くおよび/または多孔質にして、金属イオン(例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム)が各層を通過できるようにすることができる。
図5Aを参照すると、ホスト基板300は厚さ「t1」を有し、厚さ「t1」はナノフィラメント複合材料500に対して使用されるホスト基板300のタイプに応じて広範囲の値を有することができる。一実施形態では、厚さ「t1」は数百マイクロメートルから約10ミリメートルにわたる。一実施形態では、厚さ「t1」の範囲は約50μmと約100μmとの間にある。ナノフィラメント層504は、数十マイクロメートルまでまたはそれよりも厚くすることができる厚さ「t2」を有する。開始−接着層506は厚さ「t3」を有し、金属性層508は厚さ「t4」を有する。一実施形態では、厚さ「t3」および「t4」は各々約0.01マイクロメートルから約25マイクロメートルにわたる。別の実施形態では、厚さ「t3」および「t4」は各々数オングストロームから数マイクロメートルにわたる。一実施形態では、開始−接着層506はシード層を含み、約10オングストロームから約2500オングストロームにわたる厚さ「t3」を有する。
図5Bは、図5Aに示されたナノフィラメント複合材料の本明細書で説明される別の実施形態である。ナノフィラメント複合材料500は1つまたは複数の補足層503を含み、各層は1つまたは複数の処置層および/または堆積材料(例えば、触媒材料)の層を含む。補足層503は、ナノフィラメント複合材料500の任意の2つの層の間に、または金属性層508上に配置することができる。一実施形態では、補足層503は、数ナノメートルから数十マイクロメートルにわたる厚さ「t5」を有する。
補足層503は様々な補足材料を含むことができる。一実施形態では、補足材料は、触媒、またはグラファイトナノフィラメントの成長の制御を容易化および支援する他の材料を含む。一実施形態では、ホスト基板300は第1の表面501および第2の表面502に形成された補足層503を含み、補足層503は、上にナノフィラメント層504が形成された第1の表面507および第2の表面509を含む。第1の表面507および第2の表面509の各々は1つまたは複数の形成区域302を含む。一実施形態では、補足層503は、緩衝層213、触媒粒子202に関連する上述の触媒材料、ナノ細孔215、酸化物層、それらの組合せ、または形成区域302を形成するのに使用される他の材料およびフィーチャを含むことができる。一例では、酸化物層は、第1の表面501および第2の表面502を空気にさらすことによって、または前記表面の酸化処置によって形成することができる様々なタイプの酸化物を含むことができる。
別の実施形態では、補足層503はグラファイトナノフィラメントの成長を禁止または防止する補足材料および/またはフィーチャを含み、そのような材料またはフィーチャは形成区域302の間または形成区域の外に配置することができる。一実施形態では、補足層503は2つ以上の層を含み、ある層はグラファイトナノフィラメント成長を容易化および促進し、他の層はナノフィラメントの成長を禁止または防止し、各層は形成区域302を形成するようにパターン化することができる。
さらなる別の実施形態では、補足層503は、ナノフィラメント複合材料500の性質を増強または変更することができる補足材料を含み、そのような材料は、ダイヤモンド、ダイヤモンド様炭素(DLC)、およびフッ素化炭素などの炭素の形態、または例えばケイ酸塩、金属酸化物、金属フッ化物、セラミックス、および重合体などの他の材料を含むことができる。一実施形態では、補足層503はナノフィラメント層504と開始−接着層506との間に配置される。一実施形態では、開始−接着層506および/または金属性層508は、限定はしないが、ダイヤモンド、ダイヤモンド様炭素(DLC)、フッ素化炭素、ケイ酸塩、金属酸化物、金属フッ化物、セラミックス、および重合体を含む補足材料を含む。
リチウム電池における電気化学
ナノフィラメント複合材料500は様々な用途で使用することができる。一実施形態では、ナノフィラメント複合材料500は電気化学エネルギー貯蔵用のデバイスで使用される。図5Cは、本明細書で説明される一実施形態による、図5Aに示されたナノフィラメント複合材料500を含む電気化学貯蔵デバイス550の簡単化した断面図である。電気化学貯蔵デバイス550は、ナノフィラメント複合材料500の表面に追加の材料層を堆積させることによって形成される電池を含む。一構成では、電気化学貯蔵デバイス550中のナノフィラメント複合材料500は、形成されたナノフィラメント層504、開始−接着層506、および/または金属性層508を一般に含む多孔質材料領域500Aを含む(図5C)。ナノフィラメント複合材料500は電気化学貯蔵デバイス550に電極(または集電体)を形成する。第1の電極層520は多孔質材料領域500Aの第1の金属表面510に堆積され、電解質層521は第1の電極層520上に堆積され、第2の電極層522は電解質層521上に堆積され、金属性層523は第2の電極層522上に堆積される。電解質層521は、イオン導電体およびセパレータ材料として使用される固体電解質材料、または高分子電解質材料を含む。金属性層508などのホスト基板300上の多孔質材料領域500Aに形成された導電性材料はアノード集電体として機能することができる。金属性層523はカソード集電体として働く金属または合金を含む。第1の電極層520および多孔質材料領域500Aは各々アノード材料を含むことができ、アノードとして機能し、第1の電極層520は多孔質材料領域500Aに見いだされる下にある材料に入り込むように形成され、複合電極層500Bが形成される。一実施形態では、図5Dに示されるように、多孔質材料領域500Aは、開始−接着層506および金属性層508によって、次に第1の電極層520によって共形に覆われるナノフィラメント層504を含む。別の実施形態では、図5Eに示されるように、多孔質材料領域500Aは、開始−接着層506および金属性層508によって、次に第1の電極層520によって非共形に覆われるナノフィラメント層504を含む。図5Eに示された構成では、ナノフィラメント層504を囲む領域は、開始−接着層506および金属性層508の材料で充填され、次に、その上に配置された第1の電極層520を有することができる。電極構造中にナノフィラメント層504を使用すると、炭素ナノチューブの使用により電極構造に高い電気伝導率およびイオン伝導率を与えることになることが考えられる。第2の電極層522はカソード材料を含み、カソードとして機能する。一実施形態では、第1の電極層520は、グラファイト、スズ(Sn)、および/またはケイ素(Si)である。一実施形態では、第2の電極層522は、LiCoO、LiCoNiO、LiFePO、LiCoMnO、LiNiMnCo、および/またはLiCoAlOからなる群から選択された材料である。別の実施形態では、第1の電極層520はカソード材料を含み、第2の電極層522はアノード材料を含む。金属性基板300および金属性層523は、それぞれ複合電極層500Bおよび第2の電極層522用の集電体として機能することができる。保護剤およびシーラントとして機能するオプションの外側層(図示せず)を金属性層523の上に堆積させることができる。別の実施形態では、図5Aに示されたナノフィラメント複合材料500は、電気化学貯蔵デバイス550を形成するために、図5Bに示され、本明細書で説明されたナノフィラメント複合材料500によって置き換えられる。一実施形態では、アノードとカソードとの間に、例えば電解質層521の中間などに、オプションの多孔質ポリオレフィン材料を挿入することができる。
ナノフィラメント複合材料500は様々な用途で使用することができる。一実施形態では、ナノフィラメント複合材料500は電気化学エネルギー貯蔵用のデバイスで使用される。図5Cは、本明細書で説明される一実施形態による、図5Aに示されたナノフィラメント複合材料500を含む電気化学貯蔵デバイス550の簡単化した断面図である。電気化学貯蔵デバイス550は、ナノフィラメント複合材料500の表面に追加の材料層を堆積させることによって形成される電池を含む。一構成では、電気化学貯蔵デバイス550中のナノフィラメント複合材料500は、形成されたナノフィラメント層504、開始−接着層506、および/または金属性層508を一般に含む多孔質材料領域500Aを含む(図5C)。ナノフィラメント複合材料500は電気化学貯蔵デバイス550に電極(または集電体)を形成する。第1の電極層520は多孔質材料領域500Aの第1の金属表面510に堆積され、電解質層521は第1の電極層520上に堆積され、第2の電極層522は電解質層521上に堆積され、金属性層523は第2の電極層522上に堆積される。電解質層521は、イオン導電体およびセパレータ材料として使用される固体電解質材料、または高分子電解質材料を含む。金属性層508などのホスト基板300上の多孔質材料領域500Aに形成された導電性材料はアノード集電体として機能することができる。金属性層523はカソード集電体として働く金属または合金を含む。第1の電極層520および多孔質材料領域500Aは各々アノード材料を含むことができ、アノードとして機能し、第1の電極層520は多孔質材料領域500Aに見いだされる下にある材料に入り込むように形成され、複合電極層500Bが形成される。一実施形態では、図5Dに示されるように、多孔質材料領域500Aは、開始−接着層506および金属性層508によって、次に第1の電極層520によって共形に覆われるナノフィラメント層504を含む。別の実施形態では、図5Eに示されるように、多孔質材料領域500Aは、開始−接着層506および金属性層508によって、次に第1の電極層520によって非共形に覆われるナノフィラメント層504を含む。図5Eに示された構成では、ナノフィラメント層504を囲む領域は、開始−接着層506および金属性層508の材料で充填され、次に、その上に配置された第1の電極層520を有することができる。電極構造中にナノフィラメント層504を使用すると、炭素ナノチューブの使用により電極構造に高い電気伝導率およびイオン伝導率を与えることになることが考えられる。第2の電極層522はカソード材料を含み、カソードとして機能する。一実施形態では、第1の電極層520は、グラファイト、スズ(Sn)、および/またはケイ素(Si)である。一実施形態では、第2の電極層522は、LiCoO、LiCoNiO、LiFePO、LiCoMnO、LiNiMnCo、および/またはLiCoAlOからなる群から選択された材料である。別の実施形態では、第1の電極層520はカソード材料を含み、第2の電極層522はアノード材料を含む。金属性基板300および金属性層523は、それぞれ複合電極層500Bおよび第2の電極層522用の集電体として機能することができる。保護剤およびシーラントとして機能するオプションの外側層(図示せず)を金属性層523の上に堆積させることができる。別の実施形態では、図5Aに示されたナノフィラメント複合材料500は、電気化学貯蔵デバイス550を形成するために、図5Bに示され、本明細書で説明されたナノフィラメント複合材料500によって置き換えられる。一実施形態では、アノードとカソードとの間に、例えば電解質層521の中間などに、オプションの多孔質ポリオレフィン材料を挿入することができる。
ナノフィラメント複合材料500の別の実施形態では、液体電解質がナノフィラメント複合材料500の構造体内に配置され、充満する。したがって、液体電解質は発生した電流を形成された電気化学デバイス内で運ぶのに使用することができる。液体電解質材料は、ヘキサフルオロリン酸リチウム(LiPF6)、炭酸エチレン、および炭酸ジメチルを含むことができる。
ナノフィラメント複合材料の形成
図6Aは、本明細書で説明される一実施形態による、図5Aおよび5Bに示されたナノフィラメント複合材料500を形成するためのプロセスを示す。このプロセスは、ホスト基板300の1つまたは複数の表面に補足層503が形成されるオプションのステップ601から始まる一連の方法ステップ600を含む。補足層503は、限定はされないが、マスキング、スクリーン印刷、インクジェット印刷、リソグラフィ、およびエッチングを含む様々なパターン化技法を使用してパターン化することができる。パターン化された補足層503はパターン化形成領域302を形成することができる(図3A〜3Bを参照)。別の実施形態では、ナノフィラメント複合材料500は1つまたは複数の補足層503を含み、ステップ601は方法ステップ600の任意のものの後で繰り返すことができる。
図6Aは、本明細書で説明される一実施形態による、図5Aおよび5Bに示されたナノフィラメント複合材料500を形成するためのプロセスを示す。このプロセスは、ホスト基板300の1つまたは複数の表面に補足層503が形成されるオプションのステップ601から始まる一連の方法ステップ600を含む。補足層503は、限定はされないが、マスキング、スクリーン印刷、インクジェット印刷、リソグラフィ、およびエッチングを含む様々なパターン化技法を使用してパターン化することができる。パターン化された補足層503はパターン化形成領域302を形成することができる(図3A〜3Bを参照)。別の実施形態では、ナノフィラメント複合材料500は1つまたは複数の補足層503を含み、ステップ601は方法ステップ600の任意のものの後で繰り返すことができる。
補足層503は、ホスト基板300の1つまたは複数の表面を処理することによって、および/またはホスト基板300の1つまたは複数の表面の上に補足材料を堆積させることによって形成することができる。処置は、限定はしないが、加熱、エッチング、照射、陽極処理、酸化を含むことができる。補足材料は、限定はしないが、スパッタリング、化学気相成長、プラズマ促進化学気相成長、電気化学堆積、無電解堆積、選択ウェッティング、イオンビーム支援スパッタリング、電気泳動、ならびに炭素ターゲットのカソードアークおよびレーザアブレーションを含む湿式または乾式堆積技法を使用して堆積させることができる。補足層503は銅、アルミニウム、チタン、およびニッケルを含むことができる。
ステップ601は、多数の処置および堆積の層を含むことができる補足層503を形成するための多数のステップを含むことができる。例えば、ホスト基板300の1つまたは複数の表面を酸化して酸化物層を形成し、それに続いて、第1の触媒材料を堆積させて酸化物層上に第1の触媒層を形成し、次に、第2の触媒材料を堆積させて第1の触媒層上に第2の触媒層を形成することができる。代替の処置、補足材料、および堆積および処置のシーケンスを補足層503に企図することができる。
次に、ステップ602において、グラファイトナノフィラメントがホスト基板300の1つまたは複数の表面に形成され、ナノフィラメント層504が生成される。一実施形態では、グラファイトナノフィラメントを形成するのに使用される触媒材料はステップ602の前にホスト基板300上に堆積される。別の実施形態では、触媒材料は、例えば、グラファイトナノフィラメント形成の浮遊触媒法を使用する場合などではステップ602の間にホスト基板300上に堆積される。グラファイトナノフィラメントは本明細書で説明される様々なCVD技法を使用して形成することができる。
オプションのステップのステップ604において、グラファイトナノフィラメントは、例えば、アルカリ金属(例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウムなど)などの金属の化学種(例えば、イオン)でインターカレーションされ得る。「インターカレーション」という用語は、ホスト材料の大幅な破壊または変化なしに固体ホスト材料にゲスト化学種(例えば、イオン、原子、分子)を可逆的に挿入することとして定義することができる。インターカレーションされ得るホスト材料(例えば、グラファイトナノフィラメント)は、ホスト材料が相を変化させることなしに、ゲスト化学種(例えば、金属イオン)がホスト材料を容易に出入りできるようにする性質を有する。
ナノフィラメント複合材料500がエネルギー貯蔵デバイスの一部を形成する場合、グラファイトナノフィラメントのインターカレーションが望ましいことがある。グラファイトナノフィラメントの大きい表面積を使用して、優れたイオン貯蔵および可逆的容量を有する多孔質電極を創出することができ、そのような電極は、充電式電池(例えば、リチウムイオン電池)などの高性能エネルギー貯蔵デバイスで使用することができる。単層カーボンナノチューブに対するリチウム受け入れの可逆的比容量が、グラファイトでの約372ミリアンペア時間/グラム(mAh/g)の最大(理論的)可逆的容量と比べて約550mAh/g以上の値でZhou等によって報告されている(米国特許第6,422,450号)。
グラファイトナノフィラメントは、様々な電気化学的、化学的、または物理的方法を使用して金属イオンでインターカレーションされ得る。電気化学的方法では、グラファイトナノフィラメントは、電解液と、金属イオンの供給源として働く対向電極とを含むセル内で電極を形成する。次に、セルは充電され、金属イオンは対向電極を離れて、グラファイトナノフィラメントに挿入される。化学的方法は、好適な溶媒に金属塩(例えばアルカリ金属塩)を添加して金属イオンを含む溶液を形成することと、次に、その溶液にグラファイトナノフィラメントを浸漬して炭素ナノフィラメントに金属イオンをインターカレーションすることとを含む。代りに、加熱された金属蒸気にナノフィラメントをさらす物理的輸送方法(例えば、蒸気拡散)をいくつかのタイプの金属イオン(例えば、リチウム、カリウム、ナトリウム)に使用して、インターカレーションを行うことができる。しかし、グラファイトナノフィラメントのインターカレーションのために他の方法を企図することができる。
次のステップのステップ606において、開始−接着層506がナノフィラメント層504の上に形成される。ステップ606は、上に金属材料を堆積させるためにナノフィラメント層504を準備する1つまたは複数のステップを含む。ステップ606は、材料を堆積させること、材料を除去すること、および/または汚染を除去すること、もしくは洗浄作業を含むことができる。例えば、様々な処置をナノフィラメント層504に適用して、グラファイトナノフィラメントに残っている触媒粒子202を除去することができる。そのような処置は、酸(例えば、塩化水素、硫酸、硝酸など)を含む溶液をナノフィラメントに塗布すること、またはナノフィラメントをプラズマにさらすことを含むことができる。
開始−接着層506は、限定はしないが、スパッタリング、化学気相成長、原子層堆積、電気化学堆積、無電解堆積、および電気泳動堆積を含む堆積技法を使用して堆積させることができる。堆積させることができる様々な材料は、開始−接着層506について本明細書で説明される。
一実施形態では、開始−接着層506はシードまたは核形成層を含む。別の実施形態では、開始−接着層506は、金属性層508の無電解堆積のためにナノフィラメント層504を準備する開始層を含む。ステップ606は、ナノフィラメント層504上への金属の無電解堆積の前にナノフィラメント層504に対して行われる洗浄、すすぎ、増感化、および活性化などの多数のステップを含むことができる。
無電解堆積は、堆積プロセスを推進するのに電流を必要としないめっきプロセスであり、めっき金属の堆積は、一般に、1つまたは複数の触媒材料によって開始される。めっきされるべき表面は1つまたは複数の触媒材料を含むことができるか、または触媒材料は増感および活性化のステップの間に表面に堆積させることができる。めっきされるべき表面への触媒材料およびめっき金属の接着を促進するためにめっき表面を処理する増感ステップが、通常、活性化ステップに先行する。触媒材料は無電解堆積の間にめっき金属によって覆われるが、めっき金属は金属堆積を推進する触媒としても働く。したがって、無電解堆積は時には自己触媒堆積プロセスと呼ばれる。めっき金属が触媒として働くので、金属厚さは、無電解めっき溶液へのめっき表面の露出時間によって制御することができる。
無電解堆積プロセスは、1つまたは複数の無電解めっき溶液または浴へのめっきされるべき表面の浸漬を含む。無電解めっき溶液は、一般に、めっき金属を含む金属塩、1つまたは複数の還元剤、錯化剤、pH調整剤、溶液安定性、薄膜の性質、および金属堆積レートを制御するための他の添加物を含む水溶液である。一実施形態では、ステップ606は、開始−接着層506を形成する、限定はしないが、増感溶液、活性化溶液、めっき溶液、エッチング溶液、清浄溶液、すすぎ溶液、または他の表面処理溶液、およびそれらの組合せを含む1つまたは複数の溶液中へのナノフィラメント層504の浸漬を含む。
図6Bは、本明細書で説明される一実施形態による、図6Aに示されたステップ606のプロセスを示す。ステップ606は、一連の溶液中へのナノフィラメント層504の順次的な浸漬を含む多数のステップを含む。ステップ620から始めて、ナノフィラメント層504は、この層を清浄溶液に浸漬することによって洗浄する。別の実施形態では、ステップ620は乾式清浄処置(例えば、プラズマエッチング洗浄)を含む。ステップ620は、例えば、ナノフィラメントからの触媒ナノ粒子の除去などの他のタイプの処置をさらに含むこともできる。次に、ステップ625において、ナノフィラメント層504はすすぎ溶液(例えば、脱イオン水)中ですすがれ、それに続いて、ステップ630においてこの層は増感溶液に浸漬され、それに続いて、ステップ635においてすすがれる。ステップ640において、ナノフィラメント層504は活性化溶液に浸漬され、次に、ステップ645において、この層はすすぎ溶液中で再度すすがれる。
別の実施形態では、ステップ630、635、および640は、単一の増感−活性化溶液にナノフィラメント層504を浸漬することを含む単一ステップを含む。さらなる別の実施形態では、ステップ606は、ステップ645に続く2つの追加ステップ、すなわち、無電解金属めっきステップと、それに続く別のすすぎステップをさらに含む。
一実施形態では、ステップ606は、繰り返すことができるプロセスサイクル650を規定するステップのシーケンスを含む。例えば、ナノフィラメント層504は、第1の継続期間の間ステップ630において増感溶液に浸漬され、ステップ635においてすすがれ、次に、第2の継続期間の間ステップ640において活性化溶液に浸漬される。次に、ナノフィラメント層504はステップ645においてすすがれ、プロセスサイクル650は繰り返され、ステップ630から再度始まる。プロセスサイクル650はステップ630、635、640、および645を含み、このサイクルは任意の回数繰り返すことができる。一実施形態では、プロセスサイクル650は一回繰り返される。別の実施形態では、第1および第2の継続期間は後続のサイクルでは変更される。ステップの数、ステップのタイプ、ステップの継続期間、およびサイクル繰り返しの数の変動をプロセスサイクル650では企図することができ、引用された例は限定することを意味していない。
増感溶液は、酸(例えば、塩酸(HCl)、硫酸(H2SO4))を含む水溶液と、塩化スズ(SnCl2)、フッ化スズ(SnF2)、塩化白金(PtCl2)、または塩化チタン(TiCl2)などの増感剤とを含むことができるが、他の増感剤を使用することができる。活性化溶液は、酸(例えば、塩酸(HCl)、硫酸(H2SO4))を含む水溶液と、例えば塩化パラジウム(PdCl2)などの活性化剤とを含むことができるが、他の活性化剤を使用することができる。増感剤および活性化剤は、金属の無電解堆積を開始させることができる触媒材料(例えば、金属)を含む金属塩または他の化合物を含むことができる。触媒材料は、限定はしないが、パラジウム、スズ、白金、金、ロジウム、ルテニウム、マグネシウム、オスミウム、イリジウム、鉄、銅、コバルト、鉛、水銀、ニッケル、アルミニウム、チタン、および炭素を含むことができる。一実施形態では、ナノフィラメント層504は、約1分から約30分の継続期間の間増感または活性化溶液に浸漬される。別の実施形態では、ナノフィラメント層504は、約15秒と約60秒との間の継続期間の間増感または活性化溶液に浸漬される。
別の実施形態では、補足層503がナノフィラメント層504上に形成され、開始−接着層506が補足層503上に形成され、ステップ606について本明細書で説明された実施形態は、開始−接着層506を形成するためにナノフィラメント層504の代わりに補足層503に適用することができる。
図6Aを参照すると、ステップ608において、金属性層508は、限定はしないが、スパッタリング、化学気相成長、プラズマ促進化学気相成長、原子層堆積、有機金属化学気相成長、電気化学堆積、無電解堆積、および電気泳動を含む1つまたは複数の堆積技法を使用して開始−接着層506上に堆積される。ステップ608は、金属性層508を形成する多数の金属層を堆積させるための多数のステップを含むことができ、各金属層は異なる堆積技法を使用して堆積させることができる。
一実施形態では、金属性層508は無電解堆積を使用して堆積される。開始−接着層506はステップ606において形成され、無電解めっきプロセスを開始することができる好適な触媒材料を供給する。次に、開始−接着層506は、金属状態に還元されて金属性層508を形成する金属イオンを含む1つまたは複数の無電解めっき溶液に浸漬される。開始−接着層506を一連の無電解めっき溶液に順次に浸漬して、1つまたは複数の金属層を堆積させ、金属性層508を形成することができる。金属性層508の厚さ「t4」は、1つまたは複数のめっき溶液の各々に開始−接着層506を液浸する継続期間に部分的に依存し、各金属層の厚さは液浸時間が長いと増加する。無電解めっき溶液は、堆積速度を増加させるために加熱することもできる。一実施形態では、無電解めっき溶液は約18℃から約95℃にわたる温度に加熱される。一実施形態では、開始−接着層506は、約30秒から約60分にわたる期間の間無電解めっき溶液に浸漬される。別の実施形態では、開始−接着層506は、約60秒から約3分にわたる期間の間無電解めっき溶液に浸漬される。
別の実施形態では、金属性層508は電気化学堆積を使用して堆積され、開始−接着層506は導電性の核形成またはシード層を含み、その核形成またはシード層はその上への金属の電気化学めっきを可能にする。開始−接着層506は、めっきされるべき金属、または白金被覆チタンなどの金属を含む電極(例えば、アノード)が配置される電解質浴を含むめっき溶液に浸漬される。開始−接着層506は対向電極(例えば、カソード)として機能し、電極は、開始−接着層506上に金属を堆積させるためのめっき電流を供給する電源に適切に接続される。めっき電流は、電源によって送り出される直流(DC)またはパルスめっき波形とすることができる。開始−接着層506を一連の電解質溶液に浸漬して、多数の金属層を堆積させ、金属性層508を形成することができる。電解質溶液は、一般に、めっきされるべき金属を含む金属塩、酸(または塩基)、および添加物を含む水溶液浴を含む。添加物(例えば、レベラ、光沢剤、界面活性剤)は堆積された金属層の品質および順応性を改善するために添加することができる。
ステップ606および608の各々はナノフィラメント複合材料500の性質を増強または変更することができる本明細書で説明された1つまたは複数の補足材料の堆積をさらに含み、そのような材料はダイヤモンド、ダイヤモンド様炭素(DLC)、フッ素化炭素、ケイ酸塩、金属酸化物、金属フッ化物、セラミックス、もしくは重合体、または他の材料を含むことができる。増強または変更することができるナノフィラメント複合材料500の性質は、限定はしないが、曲げ剛性、熱および/または電気伝導率、熱膨脹係数、耐摩耗性、および他の性質を含む。例えば、ダイヤモンドまたはDLCを可撓性ホスト基板300(例えば、ファイバ、シート)上に堆積させて、ホスト基板300の曲げ剛性を改善することができる。
補足材料は、ステップ601において補足層503を形成するために本明細書で説明された堆積技法を使用して堆積させることができる。補足材料は、さらに、開始−接着層506および金属性層508を形成するのに使用される他の材料と共堆積させることができる。例えば、補足材料は、増感剤、活性化剤、シード層、核形成層、開始層、および/または金属めっき層と共堆積させることができる。補足材料は、さらに、ステップ606および608の各々の前または後に堆積させることができる。一実施形態では、補足材料は、例えば電気泳動とそれに続く電気化学めっきなどの1つよりも多い堆積技法を使用して堆積される。
電気化学堆積、無電解堆積、または電気泳動などの湿式堆積プロセスを使用して補足材料(例えば、ダイヤモンド、DLC、フッ素化炭素)を堆積させる方法は、米国特許第3,753,667号、第5,836,796号、および第6,156,390号に説明されている。補足材料の粒子を含む粉末を準備し、湿式堆積プロセスで使用される1つまたは複数の溶液に添加することができる。粉末を添加できる溶液は、限定はしないが、無電解めっき溶液、電気化学めっき溶液、前処置溶液、増感溶液、活性化溶液、および電気泳動溶液を含む。粉末の粒子のサイズは、補足材料の堆積を容易にする安定な懸濁またはコロイド溶液を溶液が形成するように制御することができる。一実施形態では、補足材料の粒子のサイズは数十ナノメートル未満の平均直径を有するように制御されるが、材料、堆積溶液、および使用される堆積技法に応じて他の粒子サイズ(例えば、サブマイクロメートル、マイクロメートル)を使用することができる。例えば、ダイヤモンドまたはDLC粒子のサイズは、約10ナノメートル未満の平均直径を有するように制御することができる。
補足材料の粒子は、例えば電気化学または無電解堆積などの湿式堆積プロセス中にめっき表面に金属と共に共堆積させることができる。無電解または電気化学溶液中の金属粒子は、金属および補足材料の両方がめっき表面に共堆積されるように堆積プロセスの間補足材料の粒子を同伴することができる。代りに、湿式堆積プロセス(例えば、電気泳動)は、他の材料を共堆積させることなしに表面に補足材料のみを堆積させることができる。一実施形態では、補足材料は、ステップ606において無電解または電気化学めっき溶液中の金属と共に共堆積される。別の実施形態では、補足材料は、ステップ608において無電解または電気化学めっき溶液中の金属と共に共堆積される。一実施形態では、補足材料はダイヤモンドまたはDLCを含む。
図6Aを参照すると、ステップ610でオプションのアニールステップを行い、ナノフィラメント複合材料500内の1つまたは複数の材料の性質を安定化または増強することができる。例えば、金属性層508をアニールして、金属内の内部応力を低減し、かつ金属の電気伝導率を増加させるために金属粒子サイズを増加させることができる。アニーリングは、さらに、金属性層508の性質のいくつかの不安定性を低減することができる。例えば、銅の電気化学堆積は、堆積の後の銅の自己アニーリング挙動をもたらすことがある。銅の自己アニーリングは室温で生じることがあり、銅薄膜のシート抵抗および硬度の漸落をもたらすことがある。アニーリングは、銅層のシート抵抗および硬度が安定値に達するのに必要とされる時間を短縮することができる。
様々なパラメータをステップ610におけるアニーリングプロセスで使用することができる。一実施形態では、アニール温度は約75℃から約450℃にわたることができる。一実施形態では、アニーリング時間は約1分から約120分にわたることができる。アニーリングは真空下でまたは大気圧以上で行うことができ、ナノフィラメント複合材料500の酸化を防止する不活性ガス(例えば、窒素、水素、アルゴン、ヘリウム)を含む環境で行うことができる。一実施形態では、アニールプロセスは、露出した表面に酸化物層を形成できるように酸素含有環境で行われる。形成された酸化物層は、形成されたリチウムイオン電池の活性材料層として働くことができるので有用となり得る。アニーリングプロセスは、さらに、プラズマを形成する1つまたは複数のガスを含む環境で行うことができる。
図6Aに示され、本明細書で説明された方法ステップ600は、ステップ601、602、604、606、608、および610の各々の前、各々の間、または各々の後に行うことができる追加の洗浄ステップおよびすすぎステップをさらに含むことができる。さらに、処理に使用されるいかなる溶液も加熱および/または撹拌して、堆積、洗浄、すすぎ、または他の処理を容易にすることができる。溶液は、機械的に、超音波で、または他の手段で撹拌することができる。
図6Aに示され、本明細書で説明された形成プロセスは、処理装置の様々なタイプおよび組合せを使用して実施することができる。使用される装置の選択は、ナノフィラメント複合材料500で使用されるホスト基板のタイプに部分的に依存することがある。
ナノフィラメント複合材料形成装置
図7Aは、本明細書で説明される一実施形態による、図5A〜5Bに示されたナノフィラメント複合材料を形成するための装置を簡略化して示す概略図である。処理装置700は、例えばファイバ、シート、または織物などの連続ホスト基板300を処理装置700を通して移動させるための主支持体410および二次支持体433を含む。ホスト基板300の移動の方向は移動方向702で示される。処理装置700は、ナノフィラメント成長装置400、処理ステーション701A〜C、およびアニーリングステーション711を含む。3つの処理ステーション701A〜Cのみが示されているが、処理装置700は処理のための任意の数のステーションを有することができる。一実施形態では、装置700は、直線または「インライン」タイプ様式でホスト基板を順次に処理するようにある方向に沿って配置された1つまたは複数の処理ステーションを含む。
図7Aは、本明細書で説明される一実施形態による、図5A〜5Bに示されたナノフィラメント複合材料を形成するための装置を簡略化して示す概略図である。処理装置700は、例えばファイバ、シート、または織物などの連続ホスト基板300を処理装置700を通して移動させるための主支持体410および二次支持体433を含む。ホスト基板300の移動の方向は移動方向702で示される。処理装置700は、ナノフィラメント成長装置400、処理ステーション701A〜C、およびアニーリングステーション711を含む。3つの処理ステーション701A〜Cのみが示されているが、処理装置700は処理のための任意の数のステーションを有することができる。一実施形態では、装置700は、直線または「インライン」タイプ様式でホスト基板を順次に処理するようにある方向に沿って配置された1つまたは複数の処理ステーションを含む。
処理ステーション701A〜Cは処理ガスまたは液体を含む。一実施形態では、処理ステーション701A〜Cはそれぞれ処理液体708A〜Cを含み、液体はプロセスタンク706内に含まれる。各プロセスタンク706は、処理に必要とされる所要の量およびタイプの液体を含む任意の好適な容器を含む。処理ステーション701A〜Cは、限定はしないが、金属の堆積、補足材料の堆積、活性化、増感化、すすぎ、洗浄、およびグラファイトナノフィラメントのインターカレーション化を含む様々なタイプの処理を行う。処理液体708A〜Cは、ホスト基板300を処理するための無電解めっき溶液、電気化学めっき溶液、増感溶液、活性化溶液、電気泳動溶液、インターカレーション溶液、補足材料溶液、前処置溶液、すすぎ溶液、洗浄溶液、または他のタイプの溶液、およびそれらの組合せを含むことができる。
一実施形態では、処理装置700は無電解堆積に適応される。連続ホスト基板300の順次的な処理が、処理のためにあるステーションから次のステーションに移動する連続基板の典型的な部分について本明細書で説明される。ホスト基板300は、最初に、ナノフィラメント成長装置400を通って移動して、ホスト基板300上にグラファイトナノフィラメントが形成される。一実施形態では、ナノフィラメント成長装置400は環状炉を含む。次に、ホスト基板300は処理ステーション701Aに移動し、増感溶液を含む処理液708Aを通過する。次に、ホスト基板300は処理ステーションに701Bに移動し、活性化溶液を含む処理液708Bを通過する。処理液708A〜Bはホスト基板300上に開始−接着層506を形成する。次に、ホスト基板300は、金属を開始−接着層506の上に堆積して金属性層508を形成する無電解めっき溶液を含む処理液708Cを含む処理ステーション701Cに移動する。別の実施形態では、処理ステーション701A〜Cの1つまたは複数を電気化学めっきに適用することができる(図7Dを参照)。
処理装置700は処理のための追加のステーションおよび溶液を含み、図6Bに示され、本明細書で説明されるシーケンスなどの様々な処理シーケンスを可能にすることができることが理解されるべきである。例えば、ホスト基板300は処理ステーション701Aに達する前に清浄溶液を通過することができ、次に、処理ステーション701A〜Cの各々の後にすすぎ溶液を通過することができる。
最後に、ホスト基板300は、ナノフィラメント複合材料500をアニールするための1つまたは複数の加熱要素709(例えば、抵抗加熱器、ランプ)を含むアニールステーション711に移動する。アニールステーション711は、制御された圧力(例えば、真空)下で、かつ制御されたガス環境(例えば、不活性ガス)内でアニーリングを行うことができるアニールチャンバ710をさらに含むことができる。
図7Aに示され、本明細書で説明される処理装置700は、連続基板を含むホスト基板300の湿式および乾式処理の両方に適切に適応することができる。湿式および乾式処理技法は、限定はしないが、本明細書で説明される堆積技法を含む。一実施形態では、処理ステーション701A〜Cの1つまたは複数は、連続基板の乾式処理に適応されたステーションと置き換えられる。
図7Bは、図7Aに示された装置の本明細書で説明される別の実施形態を簡略化して示す概略図である。ホスト基板300は、例えばウェハ、パネルまたは短いファイバなどの個別の基板を含む。処理装置700は、取り付けプラットフォーム715、ロボットを含む主支持体716、処理ステーション701A〜C、アニーリングステーション711、およびナノフィラメント成長装置400含むクラスタ器具を含む。ナノフィラメント成長装置400はチャンバを含むことができる(例えば、図4Eを参照)。
処理ステーション701A〜Cはそれぞれプロセスチャンバ717A〜Cを含み、プロセスチャンバ717A〜Cはそれぞれの処理ステーション701A〜Cで所望の処理を行う。処理ステーション701A〜Cは、ナノフィラメント複合材料500を形成するために本明細書で説明される様々なタイプの処理を行う。処理装置700は、ホスト基板300を処理するために任意の数のステーションおよびチャンバを有するように構成することができる。アニーリングステーション711はアニーリングチャンバ710を含む。
プロセスチャンバ717A〜C、アニーリングチャンバ710、およびナノフィラメント成長装置400は、主支持体716(すなわち、ロボット)がチャンバとナノフィラメント成長装置400との間でホスト基板300を移送することができ、ナノフィラメント複合材料500を形成するためにホスト基板300が所定のシーケンスでチャンバ間を移送され得るように取り付けプラットフォーム715に適切に取り付けられる。ロボットは、さらに、基板移送およびロード/アンロードシーケンスにおける様々なステップでホスト基板300を保持し、位置づけし、解放するように構成することができる。ロボットは、1つまたは複数の個別のホスト基板300(例えば、ウェハ、短いファイバなど)がチャンバ間で移送され、チャンバ内に配置され、チャンバ内に位置づけられ、チャンバから取り出されるようにするウェハブレードまたは他の取付具を含むことができる。
ホスト基板300の処理は真空下でまたは大気圧で行うことができる。一実施形態では、取り付けプラットフォーム715は、ロボットが真空下でホスト基板300をチャンバの各々に移送することができる真空チャンバ(例えば、移送またはバッファチャンバ)を含む。処理チャンバに加えて、処理装置700は、基板処理、移送、または取扱いを容易にするために他のタイプのチャンバを含むことができる。例えば、処理装置700は、未処理および/または処理済みホスト基板300を格納するロードロックチャンバ718を含むことができる。
図7Cは、本明細書で説明される一実施形態による、ホスト基板300に形成されたグラファイトナノフィラメント上に材料を堆積させるための装置を簡略化して示す概略図である。処理ステーション720はタンク721および主支持体410および二次支持体433を含む。主支持体410および二次支持体433は、連続(例えば、ファイバ、シート、織物)または個別(例えばパネル)のホスト基板300を支持し、移動方向702に移動させる。処理ステーション720は、それぞれ処理液708A〜Cを分配するための分配ノズル722A〜Cをさらに含む。3つの分配ノズル722A〜Cのみが示されているが、処理ステーション720は、基板処理のために任意の数の液体を分配するための任意の数のノズルを有することができる。
処理液708A〜Cは、ホスト基板300の処理のために本明細書で説明される処理溶液のいずれも含むことができる。一実施形態では、処理液708A〜Cはそれぞれ増感溶液、活性化溶液、および無電解めっき溶液を含む。洗浄、すすぎ、または他の処理の溶液を分配するための追加のノズルを、分配ノズル722A〜Cの各々の前または後に配置することができる。処理ステーション720は、ホスト基板300の表面に所望の堆積を行うためにホスト基板300の表面への処理液708A〜Cの流れおよび分配を制御するように適切に構成することができる。
図7Dは、本明細書で説明される別の実施形態による、ホスト基板300に形成されたグラファイトナノフィラメント上に材料を堆積させるための装置を簡略化して示す概略図である。電気化学めっきに適応させられる処理ステーション730は、電解質めっき溶液732で充満されたタンク731を含む。1つまたは複数のアノード733が電解質めっき溶液732に配置される。1つまたは複数のアノード733は所望のめっき金属を含み、各アノード733は、ホスト基板300の1つまたは複数の表面に金属を堆積させやすくするようにホスト基板300のまわりに適切に整形および配置される。
ホスト基板300は、例えば、ファイバ、シート、または織物などの連続基板を含む。処理ステーション730は、ホスト基板300が1つまたは複数のアノード733の近くで電解質めっき溶液732を通って移動するときホスト基板300の位置づけおよび案内を行う主支持体410および1つまたは複数の二次支持体433をさらに含む。二次支持体433は、電解質めっき溶液732にさらされる二次支持体433上へのめっきを防止するように好適な材料(例えば、非導電性の)を含むことができる。
ホスト基板300の1つまたは複数の表面は、導電性であるめっき表面を含む。各めっき表面は、電気化学めっきの前にホスト基板300上に堆積される金属シード層を含むことができる。処理ステーション730は、電源734(例えば、直流)と、ホスト基板300が移動方向702に移動するときホスト基板300の1つまたは複数のめっき表面に電気接触する接触ブラシ735または他の好適な手段とをさらに含む。電源734は、1つまたは複数のアノード733、およびホスト基板300の1つまたは複数の導電性めっき表面(すなわち、カソード)に図示の極性で接続される。電源734は、ホスト基板300が電解質めっき溶液732を通って移動するときホスト基板300のめっき表面に金属を堆積させるめっき電流を供給する。
別の実施形態では、処理ステーション730は金属または補足材料の電気泳動堆積に適応される。電解質めっき溶液732は、堆積されるべき所望の金属または補足材料を含む電気泳動溶液と置き換えられる。1つまたは複数のアノード733は、材料がホスト基板300のめっき表面を含む主電極に堆積され得るように対向電極と取り替えることができる。代りに、導電性タンク731が対向電極として機能することができる。図7Dに示されるような電源734の極性はカソード電気泳動で使用することができる。極性はアノード電気泳動用に反転させることができる。
図7Eは、本明細書で説明される一実施形態による、ホスト基板300に形成されたグラファイトナノフィラメント上に材料を堆積させるための装置を簡略化して示す概略図である。ホスト基板300上に様々な材料をスパッタ堆積させるための処理ステーション740はプロセスチャンバ743およびバッファチャンバ742を含む。バッファチャンバ742は、処理領域741を通して連続または個別のホスト基板300を支持し移動させるための主支持体410を含む。1つまたは複数のバッファチャンバ742は、処理装置700内でバッファチャンバ742から別のチャンバまたはステーションにホスト基板300を移送できるように適切に構成することができる。
排気ガス745を除去し、プロセスチャンバ743およびバッファチャンバ742の圧力を調整できるようにするために、プロセスチャンバ743およびバッファチャンバ742は真空ポンプシステム(図示せず)に結合および流体連通することができる。プロセスチャンバ743は真空または大気圧近傍で動作することができ、バッファチャンバ742はプロセスチャンバ743の圧力よりも高い圧力で動作することができる。
プロセスチャンバ743は、マグネトロンと、熱交換器または他の冷却手段とを含むことができる絶縁性発生源ブロック747に結合されたターゲット746をさらに含む。ターゲット746はプロセスチャンバ743から電気的に絶縁され、電源748に電気的に接続される。電源748の他の端子は、プロセスチャンバ743および接地749に図示の極性で接続することができる。電源748は、導電性材料をスパッタするのに使用することができるDC電源(図示のような)である。別の実施形態では、電源748は、電気的絶縁材料をスパッタするのに使用することができる交流電源(例えば、高周波発生器)である。別の実施形態では、電源748は、プロセスチャンバ743内のターゲット746および別の好適な対向電極に接続される。
ターゲット746は、例えば金属または合金などの所望の堆積材料を含む。処理ガス744がプロセスチャンバ743に導入され、プラズマが処理領域741に形成される。材料はターゲット746からスパッタされ、ホスト基板300上に堆積される。ホスト基板300は、材料がホスト基板300の長さに沿って堆積されるようにスパッタ堆積の間移動することができる。処理ステーション740は、材料がホスト基板300の1つまたは複数の側に堆積されるように適切に構成することができる。例えば、堆積の間ホスト基板300を回転することができ、または1つを超えるターゲット746をホスト基板300のまわりに配置することができ、または1つのターゲット746をホスト基板300のまわりに移動させることができる。処理ステーション740は、さらに、反応性スパッタリングに適応することができる。
図7Fは、本明細書で説明される別の実施形態による、ホスト基板300に形成されたグラファイトナノフィラメント上に材料を堆積させるための装置を簡略化して示す概略図である。処理ステーション750は、テープ、シート、織物、または他の可撓性平面を含む連続ホスト基板300の1つの側に堆積材料をスパッタする。処理ステーション750は、プロセスチャンバ751、ターゲット746、発生源ブロック747、電源748、および回転方向414に回転する回転冷却ドラム752を含む。回転冷却ドラム752は、ホスト基板300が移動方向702にターゲット746の上を移動するときホスト基板300のための支持表面および冷却表面として機能する。処理ステーション750は、堆積プロセスの間ホスト基板300を冷却ドラム752に押しつけたままにし、ホスト基板300の移動を可能にするために主支持体410および二次支持体433をさらに含む。
図7Gは、ホスト基板300の一部に材料を電気化学的に堆積させるのに使用される処理ステーション790を簡略化して示す概略図である。一実施形態では、処理ステーション790は、ホスト基板300に形成されたグラファイトナノフィラメント上に材料を電気化学的に堆積させるのに使用される。処理ステーション790は、テープ、シート、金属箔、重合体材料と金属の箔、織物、または他の可撓性平面を含む連続ホスト基板300上に金属材料を電気化学的に堆積させる。処理ステーション790は、エンクロージャ791、アノード792、電源793、電解液タンク797、電解液ポンプシステム795、および回転方向789に回転する回転ドラム794を含む。回転ドラム794は、ホスト基板300が、流れている電解質材料で充満されている電解液タンク797の処理領域796を通って移動するときホスト基板300のための支持表面として機能する。処理の間、電源793は、電解液中の金属イオンがホスト材料300の表面に堆積するようにアノード792に対してホスト基板300の表面をカソード的にバイアスする。一実施形態では、電源793のカソードリード線は、ブラシ799の使用によって、または回転ドラム794の一部に形成された導電性面をバイアスすることによってホスト基板300またはその上に形成された層の一部と密接に電気接触する。一実施形態では、電解質溶液は、めっきされるべき金属を含む金属塩、酸(または塩基)、および添加物を含む水溶液浴を含む。処理ステーション790は、堆積プロセスの間ホスト基板300をドラム794に押しつけたままにし、ホスト基板300の移動を可能にするために主支持体410および二次支持体433をさらに含むことができる。
一実施形態では、図7Hに示されるように、2つ以上の金属層が、2つ以上の連続的に連結された処理ステーションで、例えば、処理ステーション790Aおよび790Bで、ホスト基板300上に連続的に形成され得る。処理ステーション790A、790Bの各々において、異なる電解液を使用して、異なる材料を堆積させる、または異なる化学的性質または物理的性質を有する同じ材料の層を形成することができる。図7Hに示されるように、処理ステーション790Aおよび790Bの各々は、図7Gに関連して上述した処理チャンバ790と同様に構成される。
処理ステーション750は、処理領域741を囲む1つまたは複数のシールド753をさらに含む。1つまたは複数のシールド753は、処理領域741内にスパッタ材料を閉じ込め、処理ガス744が処理領域741に入るのを可能にする。プロセスチャンバ751は、排気ガス745を除去し、プロセスチャンバ751の圧力を調整できる真空システム(図示せず)に結合および流体連通することができる。電源748は、処理領域741内でのプラズマの形成を可能にし、ターゲット746および好適な対向電極(例えば、プロセスチャンバ751または冷却ドラム752)に接続される。
ナノフィラメント成長と、グラファイトナノフィラメント上への金属および他の材料の堆積とのための本明細書で説明された装置は限定することを意味しておらず、他のタイプの装置をナノフィラメント複合材料500の形成のために企図することができる。さらに、本明細書で説明された装置の様々な実施形態を組み合わせて、ナノフィラメント複合材料500を形成するのに使用することができる代替の装置を形成することができる。例えば、図7C〜7Fに示され、本明細書で説明された装置は、図7Aに示された処理装置700での使用に適応することができる。さらに、図4A〜4Eに示され、本明細書で説明されたCVD装置は、金属、補足材料の堆積、またはナノフィラメント複合材料500を形成するのに使用することができる他のCVD処理に適切に適応することができる。
本明細書で説明された装置をさらに使用して、図6Aに示され、本明細書で説明されたプロセスのために他の実施形態によりナノフィラメント複合材料500を形成することができる。
追加の形成方法
図8は、図6Aに示された形成プロセスに関して本明細書で説明される一実施形態を示す。このプロセスは、無電解および電気化学めっきプロセスを含む一連の方法ステップ800を含む。方法ステップ800は、ナノフィラメント層504(図5Aを参照)を形成するためのホスト基板300へのグラファイトナノフィラメントの形成を含むステップ602から始まる。次に、グラファイトナノフィラメントはオプションのステップ604において金属イオンでインターカレーションされる。グラファイトナノフィラメントをインターカレーションするのに使用することができる方法はステップ604について本明細書で説明される。次に、ステップ806において、ナノフィラメント層504は、スズ(Sn)を含む増感溶液に浸漬される。一実施形態では、増感溶液は塩酸(HCl)および塩化スズ(SnCl2)を含む水溶液である。ステップ808の活性化ステップにおいて、ナノフィラメント層504は、パラジウム(Pd)を含む活性化溶液に浸漬される。一実施形態では、活性化溶液は塩酸(HCl)および塩化パラジウム(PdCl2)を含む水溶液である。一実施形態では、ナノフィラメント層504は増感または活性化溶液に約1秒から約30分までの間にわたる期間の間さらされる。別の実施形態では、ナノフィラメント層504は増感または活性化溶液に約15秒と約60秒との間にわたる期間の間さらされる。
図8は、図6Aに示された形成プロセスに関して本明細書で説明される一実施形態を示す。このプロセスは、無電解および電気化学めっきプロセスを含む一連の方法ステップ800を含む。方法ステップ800は、ナノフィラメント層504(図5Aを参照)を形成するためのホスト基板300へのグラファイトナノフィラメントの形成を含むステップ602から始まる。次に、グラファイトナノフィラメントはオプションのステップ604において金属イオンでインターカレーションされる。グラファイトナノフィラメントをインターカレーションするのに使用することができる方法はステップ604について本明細書で説明される。次に、ステップ806において、ナノフィラメント層504は、スズ(Sn)を含む増感溶液に浸漬される。一実施形態では、増感溶液は塩酸(HCl)および塩化スズ(SnCl2)を含む水溶液である。ステップ808の活性化ステップにおいて、ナノフィラメント層504は、パラジウム(Pd)を含む活性化溶液に浸漬される。一実施形態では、活性化溶液は塩酸(HCl)および塩化パラジウム(PdCl2)を含む水溶液である。一実施形態では、ナノフィラメント層504は増感または活性化溶液に約1秒から約30分までの間にわたる期間の間さらされる。別の実施形態では、ナノフィラメント層504は増感または活性化溶液に約15秒と約60秒との間にわたる期間の間さらされる。
ステップ810において、ニッケル(Ni)が、ニッケルを含む無電解めっき溶液にナノフィラメント層504を浸漬することによってこの層の上に堆積される。ニッケル層は後続の金属堆積のためのシード層として機能することができる。一実施形態では、ダイヤモンドまたはDLCがステップ810においてニッケルと共に共堆積される。ダイヤモンドまたはDLC粒子は、本明細書で説明されるように、無電解Niめっき溶液に添加し、次に、ニッケルと共に共堆積させることができる。別の実施形態では、ダイヤモンドまたはDLCはステップ806、808、または812のいずれかにおいて金属材料と共に共堆積される。ステップ606は、開始−接着層506を形成するステップ806、808、および810を含む。別の実施形態では、例えば銅などのニッケル以外の金属がステップ810において堆積される。
無電解ニッケルめっき溶液は、ニッケルイオン源、還元剤、錯化剤、および他の添加物の水溶液を含む。ニッケル源は、限定はしないが、塩化ニッケル、硫酸ニッケル、酢酸ニッケル、リン酸ニッケル、フルオロホウ酸ニッケル、それらの誘導体、それらの水和物、またはそれらの組合せを含むことができる。無電解ニッケルめっき溶液は、限定はしないが、アルカリ性ニッケルリン、酸性ニッケルリン、アルカリ性ニッケル−ホウ砂、および酸性ニッケル−ホウ素を含む様々な溶液タイプを含むことができる。使用することができる化学還元剤は、限定はしないが、次亜リン酸ナトリウム、次リン酸ナトリウム、水素化ホウ素ナトリウム、N−ジメチルアミンボラン(DMAB)、N−ジエチルアミンボラン(DEAB)、ヒドラジン、およびそれらの組合せを含む。一実施形態では、無電解ニッケルめっき溶液は約20℃から約90℃にわたる温度に維持される。一実施形態では、ナノフィラメント層504は、約1分から約10分までの間の継続期間の間無電解ニッケルめっき溶液にさらされる。
ステップ812において、銅(Cu)の層が、ステップ810において形成されたニッケル層上に電気化学的に堆積される。銅は、銅を含む電解質溶液にニッケル層を浸漬し、次に、めっき電流を供給することによって堆積される。ステップ608は、金属性層508を形成するステップ812を含む。最後に、オプションのステップ610において、ナノフィラメント複合材料500はアニールされる。
電解質溶液は、銅のイオン源および1つまたは複数の酸を含む水溶液を含む。電解質溶液は、電気化学的に堆積された銅層の応力、粒子サイズ、および均一性の制御を支援するように、促進剤、サプレッサ、レベラ、界面活性剤、光沢剤、またはそれらの組合せなどの1つまたは複数の添加物をさらに含むことができる。有用な銅イオン源は、硫酸銅(CuSO4)、塩化銅(CuCl2)、酢酸銅(Cu(CO2CH3)2)、ピロリン酸銅(Cu2P2O7)、フルオロホウ酸銅(Cu(BF4)2))、それらの誘導体、それらの水和物、またはそれらの組合せを含む。電解質溶液は、さらに、アルカリ性銅めっき浴(例えば、シアン化物、グリセリン、アンモニアなど)に基づくことができる。一実施形態では、電解質溶液の温度を約18℃から約85℃内に制御してめっき速度を最大にすることができる。別の実施形態では、電解質溶液の温度は約30℃から約70℃内に制御される。別の実施形態では、電解質溶液の温度は約18℃から約24℃内に制御される。
図9は、図6Aに示された形成プロセスに関して本明細書で説明される別の実施形態を示す。一連の方法ステップ900は無電解めっきプロセスを含む。方法ステップ900はナノフィラメント層504を形成するステップ602から始まり、ナノフィラメント層504はオプションのステップ604において金属イオンでインターカレーションされ得る。次に、ステップ906において、ナノフィラメント層504は、スズ(Sn)を含む増感溶液にこの層を浸漬することによって増感される。増感の後、ナノフィラメント層504はステップ908においてパラジウム(Pd)を含む活性化溶液に浸漬される。ステップ606は、開始−接着層506を形成するステップ906および908を含む。
ステップ910において、銅は、無電解銅めっき溶液に開始−接着層506を浸漬することによってこの層の上に無電解的に堆積される。ステップ608は、金属性層508を形成するステップ910を含む。一実施形態では、ダイヤモンドまたはDLCがステップ910において銅と共に共堆積される。ステップ910の後、オプションのステップ610において、ナノフィラメント複合材料500はアニールされる。
無電解銅めっき溶液は、銅イオン源、還元剤、錯化剤、および他の添加物の水溶液を含む。使用することができる銅イオン源は、限定はしないが、塩化銅、硫酸銅、硝酸銅、ギ酸銅、酢酸銅、シアン化銅、それらの誘導体、それらの水和物、またはそれらの組合せを含む。使用することができる化学還元剤は、限定はしないが、次亜リン酸ナトリウム、次リン酸ナトリウム、水素化ホウ素ナトリウム、水素化ホウ素カリウム、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、グリオキシル酸、ヒドラジン、ホルマリン、多糖、それらの誘導体、またはそれらの組合せを含む。一実施形態では、無電解銅めっき溶液は約20℃から約90℃に、好ましくは約25℃から約60℃までの間にわたる温度に維持される。別の実施形態では、無電解銅めっき溶液は約70℃から約85℃にわたる温度に維持される。一実施形態では、ナノフィラメント層504は、約1分から約60分までの間の継続期間の間無電解銅めっき溶液に浸漬される。別の実施形態では、ナノフィラメント層504は、約1分と約5分との間の継続期間の間無電解銅めっき溶液に浸漬される。
図10は、図6Aに示された形成プロセスに関して本明細書で説明される一実施形態を示す。方法ステップ1000は、増感ステップを使用せず、ナノフィラメント層504へのめっき金属の接着を改善することができる変更した無電解堆積プロセスを含む。ステップ602および604において、ナノフィラメント層504がホスト基板300上に形成され、次に、所望であればグラファイトナノフィラメントはインターカレーションされ得る。次に、ステップ1006において、ナノフィラメント層504はシラン化試薬のアミノプロピルトリエトキシシラン(APTS)を含む溶液にさらされ、APTSの自己組織化単層(SAMs)の薄膜がナノフィラメント層504上に形成される。ステップ1008において、APTS薄膜は塩化パラジウム(PdCl2)を含む活性化溶液にさらされ、それによって、パラジウムがAPTS薄膜上に堆積される。別の実施形態では、APTS薄膜上に堆積され、金属の無電解堆積を開始することができる別の触媒材料と、活性化溶液中のパラジウムは置き換えられる。ステップ606は、開始−接着層506を形成するステップ1006および1008を含む。
次に、ステップ1010において、無電解銅めっき溶液に開始−接着層506を浸漬することによって、銅が開始−接着層506の上に堆積される。一実施形態では、ダイヤモンドまたはDLCがステップ1010において銅と共に共堆積される。ステップ608は、金属性層508を形成するステップ1010を含む。最後に、オプションのステップ610において、ナノフィラメント複合材料500はアニールされる。材料層は、ステップ1006、1008、および1010の各々の後で水(例えば、脱イオン水)中ですすがれる。APTS自己組織化単層を使用する無電解金属めっきの方法は、Xu等によって、「A New Activation Method for Electroless Metal Plating: Palladium Laden via Bonding with Self−Assembly Monolayers」、Chinese Chemical Letters、13巻、7号、687〜688頁、2002年に報告されている。
図11は、図6Aに示された形成プロセスに関して本明細書で説明される別の実施形態を示す。プロセスは、開始−接着層506の形成のための乾式堆積プロセスを含む方法ステップ1100を含む。オプションのインターカレーションステップ604の後、ステップ1106はナノフィラメント層504上に核生成またはシード層を形成する。シード層は、例えばスパッタリングまたは熱蒸着などの物理気相成長(PVD)技法を使用して堆積されるが、他のPVD技法を使用することもできる。一実施形態では、PVDシード層がスパッタ堆積を使用して堆積される。PVDシード層は、限定はしないが、銅、リチウム、スズ、アルミニウム、ビスマス、アンチモン、ニッケル、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、銀、金、亜鉛、およびそれらの合金を含む材料を含む。一実施形態では、PVDシード層は銅を含む。ステップ606は、開始−接着層506を形成するステップ1106を含む。次に、ステップ1108において、銅はPVDシード層上に電気化学的に堆積される。一実施形態では、ダイヤモンドまたはDLCがステップ1108において銅と共に共堆積される。ステップ608は金属性層508を形成するステップ1108を含み、金属性層508はステップ610においてアニールすることができる。
図12は、図6Aに示された形成プロセスに関して本明細書で説明される一実施形態を示す。方法ステップ1200は、ナノフィラメント層504を形成するためにステップ602で始まり、このステップの後にオプションのインターカレーションステップ604が続く。ステップ1206において、シード層が化学気相成長(CVD)を使用してナノフィラメント層504上に堆積される。一実施形態では、CVDシード層は銅を含む。CVDシード層に使用することができる材料は、限定はしないが、銅、リチウム、スズ、アルミニウム、ビスマス、アンチモン、ニッケル、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、銀、金、亜鉛、およびそれらの合金を含む。一実施形態では、ダイヤモンドまたはDLCがステップ1206においてシード材料と共に共堆積される。ダイヤモンドまたはDLCは、ダイヤモンドまたはDLCを堆積させるのに当技術分野で知られている任意の好適なCVD法を使用して堆積させることができる。別の実施形態では、ダイヤモンドまたはDLCはシード材料の前に堆積される。ステップ606は、開始−接着層506を形成するステップ1206を含む。次に、ステップ1208において、銅が、無電解堆積を使用してCVDシード層上に堆積される。ステップ608は金属性層508を形成するステップ1208を含み、金属性層508はステップ610においてアニールすることができる。一実施形態では、ダイヤモンドまたはDLCはステップ1208において銅と共に共堆積される。
図8〜12に示され、本明細書で説明されたプロセス方法は追加の実施形態を含むことができる。ホスト基板300およびその上の任意の材料層は、プロセスステップの各々の前および/または後に追加処置を受けることができる。処置には、限定はしないが、洗浄、すすぎ、乾燥、加熱、および冷却が含まれる。処置は、基板およびその上の任意の材料層を処理するための溶液、プラズマ、放射、または他の手段にホスト基板300をさらすことによって行うことができる。さらに、ダイヤモンドまたはDLCは2ステッププロセスで堆積させることができ、ダイヤモンドまたはDLCを金属と共堆積させ、それに続いて金属のみを堆積させて、2層シード層または2層金属性層508を形成する。
前記は本発明の実施形態に関するが、本発明の他の実施形態およびさらなる実施形態を、本発明の基本範囲から逸脱することなく考案することができ、本発明の範囲は以下の特許請求の範囲によって決定される。
Claims (15)
- 電気化学エネルギー貯蔵デバイスで使用される高表面積電極であって、
ホスト基板と、
前記ホスト基板の表面に形成されたグラファイトナノフィラメントを含むナノフィラメント層と、
前記ナノフィラメント層の上に配置された開始−接着層と、
前記開始−接着層上に配置された金属性層と
を含む電極。 - 金属イオンが各層を通過することができるように、前記開始−接着層および前記金属性層が多孔質である、請求項1に記載の電極。
- 前記ホスト基板が、ポリイミド、カプトン、ガラス、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、およびステンレス鋼からなる群から選択される材料を含むファイバまたは箔を含む、請求項1に記載の電極。
- 前記グラファイトナノフィラメントがカーボンナノチューブを含む、請求項1に記載の電極。
- 前記開始−接着層が、スズ(Sn)、パラジウム(Pd)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、およびアミノプロピルトリエトキシシラン(APTS)からなる群から選択される1つまたは複数の材料を含む、請求項1に記載の電極。
- 前記金属性層が銅、スズ、またはそれらの組合せを含む、請求項1に記載の電極。
- 前記ナノフィラメント層が1つまたは複数のアルカリ金属をさらに含む、請求項4に記載の電極。
- 前記金属性層の上に形成された追加の材料層をさらに含み、前記追加の材料層が電気化学貯蔵デバイスを形成する、請求項1に記載の電極。
- 前記ホスト基板の前記表面上に形成された1つまたは複数のナノフィラメント形成区域および1つまたは複数の補足層をさらに含み、前記1つまたは複数の補足層が前記形成区域間に配置され、前記形成区域の外でのグラファイトナノフィラメントの成長を禁止または防止する、請求項1に記載の電極。
- 電極を形成するための装置であって、
各々がホスト基板の一部に結合された第1の主支持体および第2の主支持体と、
前記第1の主支持体と前記第2の主支持体との間に配置された前記ホスト基板の一部にグラファイトナノフィラメントを成長させるナノフィラメント成長装置と、
前記ホスト基板上に形成された前記グラファイトナノフィラメントを金属化する1つまたは複数の処理ステーションと、
前記ナノフィラメント成長装置および前記1つまたは複数の処理ステーション中で前記ホスト基板の一部を位置づけるために前記第1の主支持体に結合されたアクチュエータと
を備える装置。 - 前記第1の主支持体と前記第2の主支持体との間に位置づけられた前記ホスト基板の一部を受け取るアニーリングステーションをさらに備える、請求項10に記載の装置。
- 前記第1の主支持体および前記第2の主支持体の各々が、ローラ、繰出しリール、および巻取りリールからなる群から選択された一つを含み、前記支持体の各々が、前記装置を通して前記ホスト基板を移動させる、請求項10に記載の装置。
- 少なくとも1つの処理ステーションが無電解堆積または電気化学堆積に適応される、請求項10に記載の装置。
- 前記ナノフィラメント成長装置が環状炉または化学気相成長(CVD)チャンバを備える、請求項10に記載の装置。
- 前記ナノフィラメント成長装置および前記1つまたは複数の処理ステーションが、前記ホスト基板を順次に処理するためにある方向に沿って配置される、請求項10に記載の装置。
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