JP2012508877A - 静電容量型湿度センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明の静電容量型湿度センサは、電極パッドを含むROIC基板;前記ROIC基板の上部に形成され、前記電極パッドの一部が露出されるようにパターニングした金属層;前記金属層の上部に形成され、前記電極パッドの一部が露出されるようにパターニングした絶縁層;前記絶縁層の上部に形成された下部電極層;前記下部電極層の上部に表面積を広くするためにエッチングして形成した感湿層;前記感湿層の上部に形成された上部電極層;および露出された前記電極パッドの上部に形成され、前記下部電極層と上部電極層の各々を前記電極パッドと接触させるための連結層;を含むことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
Claims (11)
- 電極パッドを含むROIC基板;
前記ROIC基板の上部に形成され、前記電極パッドの一部が露出されるようにパターニングした金属層;
前記金属層の上部に形成され、前記電極パッドの一部が露出されるようにパターニングした絶縁層;
前記絶縁層の上部に形成された下部電極層;
前記下部電極層の上部に表面積を広くするためにエッチングして形成した感湿層;
前記感湿層の上部に形成された上部電極層;および
露出された前記電極パッドの上部に形成され、前記下部電極層と上部電極層の各々を前記電極パッドと接触させるための連結層;
を含む静電容量型湿度センサ。 - 前記上部電極層は、前記感湿層中のエッチングされない領域の上部に形成される、請求項1に記載の静電容量型湿度センサ。
- 前記感湿層と前記上部電極層は、クシまたは枝の形態でパターニングされる、請求項2に記載の静電容量型湿度センサ。
- 前記感湿層は、その厚さの30%〜70%がエッチングされる、請求項1に記載の静電容量型湿度センサ。
- 前記感湿層は、ポリイミド系高分子からなる、請求項1に記載の静電容量型湿度センサ。
- 前記下部電極層は、パターニングされない前記絶縁層の上部に形成される、請求項1に記載の静電容量型湿度センサ。
- 電極パッドを含むROIC基板の上部に金属層を形成するステップと;
前記金属層の上部に絶縁層を形成するステップ;
前記電極パッドの一部が露出されるように前記絶縁層および金属層をパターニングするステップ;
前記絶縁層の上部に下部電極層を形成するステップ;
前記下部電極層の上部に感湿層を形成するステップ;
前記感湿層の上部に上部電極層を形成しパターニングするステップ;および
パターニングした前記上部電極層をマスクとして利用して前記感湿層をエッチングするステップ;
を含む静電容量型湿度センサの製造方法。 - 前記感湿層は、ポリイミド系高分子からなる、請求項7に記載の静電容量型湿度センサの製造方法。
- 前記上部電極層は、クシまたは枝の形態でパターニングして形成する、請求項7に記載の静電容量型湿度センサの製造方法。
- エッチングされた前記感湿層は、その厚さの30%〜70%をエッチングして形成する、請求項7に記載の静電容量型湿度センサの製造方法。
- 前記下部電極層は、パターニングされない前記絶縁層の上部に形成する、請求項7に記載の静電容量型湿度センサの製造方法。
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