JP2012238912A - 調整方法、基板処理方法、基板処理装置、露光装置、測定検査装置、測定検査システム、処理装置、コンピュータ・システム、プログラム及び情報記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ホストが解析内容を具体的に指示した解析命令を解析装置に発する(ステップ401)と、解析装置は、測定検査器から、2種類の測定検査結果を収集し(ステップ403〜ステップ409)、ステップ411において、それらの測定検査結果を解析し、ウエハWに関する一連のプロセスの処理条件を最適化する。ステップ411では、必要に応じて処理装置から、その処理状態に関するデータを取得する。ステップ413では、測定検査結果と最適化結果とがデータベースに蓄積され、最適化結果は、各種処理装置(測定検査器含む)に送信される。その後解析装置は、ホストに処理終了通知を行う(ステップ417)。
【選択図】図27
Description
図1には、本発明の一実施形態に係るデバイス製造処理システム1000の概略構成が示されている。このデバイス製造処理システム1000は、例えば、半導体工場内に構築されたシステムであり、基板としてのウエハを処理して半導体素子を製造するシステムである。図1に示されるように、デバイス製造処理システム1000は、工場内生産管理メインホストシステム600と、露光セル700と、搬送ライン800と、デバイス製造処理装置群900と、露光工程管理コントローラ160と、解析装置170とを備えている。
工場内生産管理メインホストシステム(以下、「ホスト」と呼ぶ)600は、デバイス製造処理システム1000全体(構成各部)の状態を把握し、露光セル700、搬送ライン800、デバイス製造処理装置群900、露光工程管理コントローラ160、及び解析装置170を統括制御するメインホストコンピュータである。ホスト600と、露光セル700と、搬送ライン800(より具体的にはそのコントローラ)と、デバイス製造処理装置群900と、露光工程管理コントローラ160と、解析装置170との間は、有線又は無線の通信ネットワーク又は専用の通信回線を通じて接続されており、相互にデータ通信を行うことができる。このデータ通信により、ホスト600は、システム全体の統括制御を実現している。
まず、露光装置100の構成について説明する。図2には、露光装置100の概略的な構成の一例が示されている。露光装置100は、コヒーレントな照明光ELを射出する照明系10、照明光ELにより照明されるデバイスパターン等が形成されたレチクルRを保持するレチクルステージRST、照明光ELにより照明されたデバイスパターン等を投影する両側テレセントリックな投影光学系PL、露光対象となるウエハWを保持するウエハステージWST及びこれらを統括制御する主制御装置20等を備えている。
露光装置100では、上記露光量制御系、ステージ制御系、レンズ制御系の動作を規定するファクタが幾つかパラメータ化されている。それらを制御系パラメータという。この制御系パラメータの値は、適切な範囲内で自由に設定することが可能である。制御系パラメータは、その設定値を変更する際に、プロセスを一旦停止して装置調整が必要となる調整系パラメータと、装置調整を必要としない非調整系パラメータとに大別される。
図3(A)には、露光装置100において露光対象となるウエハWの一例が示されている。図3(A)に示されるように、ウエハW上では、デバイスパターンが複数の領域SApに形成されている。この領域SApは、ショット領域とも呼ばれている。図3(B)に示されるように、各ショット領域SApには、ウエハマーク(MXp、MYp)が付設されている。ウエハマーク(MXp、MYp)は、その形状等からその位置情報を検出することが可能なマークである。例えば、図3(B)では、ウエハマーク(MXp、MYp)は、ライン・アンド・スペース・マークとして示されている。ウエハマークの形状としては、他にも、ボックスマーク、十字マークなどを採用することができるし、ウエハの下地の凹凸によって形成された段差マークであっても良いし、反射率の違いによって形成された明暗マークでも良い。
露光装置100では、上記アライメント系ALGを用いたEGA方式のウエハアライメントに関連する動作を規定するファクタを幾つかパラメータ化し、アライメント関連パラメータとしてその設定値を調整することができる。アライメント関連パラメータは、その値を調整するのに、アライメント系による再度の計測を必要としない波形処理パラメータと、再度の計測が必要となる要実測パラメータとに大別される。
次に、露光装置101の構成について説明する。前述のとおり、露光装置101は、露光波長を実質的に短くして解像度を向上するとともに、焦点深度を実質的に広くするために液体を介してウエハWを露光する(いわゆる液浸露光技術を用いて露光を行う)露光装置である。
液浸システム19は、投影光学系PLとウエハWとの間に液体LQで満たされた領域(以下、「液浸領域」ともいう)を形成するものである。ここでは、この液浸システム19は、一例として図5に示されるように、ノズル部材40、供給管13、照明用光源15(図5では図示省略、図6参照)、回収管23、液体供給装置11及び液体回収装置21などを備えている。
液浸関連パラメータが適切に設定されているか否かを判断するためには、液浸領域に異物が含まれているか否か、光学素子FL等が汚染されているか否かをモニタする液浸モニタ装置260が必要となる。ここでは、この液浸モニタ装置260は、一例として図8(A)及び図8(B)に示されるように、ウエハWとほぼ同じ外形の基材261と、該基材261上に埋設された複数のCCDセンサモジュール262と、各CCDセンサモジュール262の出力信号を解析し、解析結果を無線で送信する液浸解析装置263などを有している。この液浸解析装置263は、該液浸解析装置263で用いられる各種プログラムが格納されているフラッシュメモリ及び作業用のメモリなどを有している。ここでは、基材261の中央部に1個のCCDセンサモジュール262が埋設され、基材261の周縁領域にほぼ等間隔で4個のCCDセンサモジュール262が埋設されている。なお、液浸解析装置263での解析結果は、液浸解析装置263から主制御装置20、露光工程管理コントローラ160及び解析装置170などに通知される。
図4に示される除去装置Tは、ウエハWに付着している液体LQ及び異物など(以下、便宜上「液体・異物」とも記述する)を除去するものである。ここでは、この除去装置Tは、一例として図13に示されるように、ステージ装置30、真空吸着によってウエハWを保持するホルダ31、該ホルダ31を回転駆動する回転装置32、ウエハWに付着している液体・異物を動かすためのたわみ進行波を生成する生成装置60、チャンバ35、液体吸引装置39、及びウエハWの表面を観察する観察装置(図示省略)などを有している。ステージ装置30、ホルダ31、回転装置32及び生成装置60は、チャンバ35内に収容されている。なお、観察装置による観察結果は、主制御装置20、測定検査器120及び解析装置170などに通知される。
図1に戻り、トラック200A,200Bは、露光装置100,101を囲むチャンバ(不図示)に接するように配置されている。トラック200A,200Bは、内部に備える搬送ラインにより、主として露光装置100,101に対するウエハWの搬入・搬出を行っている。
トラック200A,200B内には、レジスト塗布処理を行うコータ、現像処理を行うデベロッパ、PEB処理を行うPEB装置などを備えるコータ・デベロッパ(C/D)110が設けられている。C/D110は、レジスト塗布、現像、PEB処理の処理状態を観測し、その観測データをログデータとして記録することができる。観測可能な処理状態としては、例えば、スピンコータの回転速度、現像中の温度、現像モジュール処理、PEBの温度均一性(ホットプレート温度均一性)、ウエハ加熱履歴管理(PEB処理後のオーバベークを回避、クーリングプレート)の各状態がある。C/D110も、その装置パラメータの設定により、その処理状態をある程度調整することができる。このような装置パラメータには、例えば、ウエハW上のレジストの厚みを補正することができるパラメータ(レジストの滴下量及び滴下間隔)、装置内の設定温度、スピンコータの回転速度などがある。
測定検査器120は、ウエハWを対象とする種々の測定検査を行うことが可能な複合的な測定検査器である。測定検査器120は、露光装置100におけるウエハステージWSTと同様に、ウエハWを保持するステージを備えている。このステージのXY位置は、ウエハステージWSTと同様に、不図示の干渉計により計測されている。測定検査器120のコントローラは、この干渉計の計測位置に基づき、ステージのXY位置を制御する。ウエハWの測定検査には、まず、ウエハWの位置合わせが必要となる。この測定検査器120は、露光装置100、101と同様に、ウエハWの位置合わせが可能であり、露光装置100のアライメント系ALGと同様のアライメント系を備えている。測定検査器120におけるウエハWのアライメントは、露光装置100、101と同様のアライメント関連パラメータの下で、同じように行うことができる。
(1)ウエハW上の反射防止膜、フォトレジスト膜、トップコート膜の測定検査(膜厚、膜のはがれなど)
各膜の膜厚を測定可能な干渉計
(2)ウエハW上のウエハマーク(MXP,MYP)の測定
露光装置100、101のアライメント系ALGと同様の上述したアライメント系(画像処理方式)
(3)ウエハWの面形状(いわゆるショットフラットネス(デバイストポグラフィ、フォーカス段差))の測定
露光装置100、101における多点AFセンサとマッチングのとれた多点AFセンサ
(4)ウエハW上の異物及び/又はしみの検査
アライメント系(画像処理方式のセンサ)又はレーザスキャン方式のセンサ
(5)ウエハW上に形成されたパターンの線幅、重ね合わせ誤差の測定
デバイスパターンを撮像可能な高倍率の撮像装置
(6)ウエハW上のパターン欠陥
撮像装置又はレーザスキャン方式のセンサ
デバイス製造処理装置群900としては、成膜装置910、酸化・イオン注入装置920、エッチング装置930、及び化学的機械的研磨を行いウエハWを平坦化する処理を行うCMP(Chemical Mechanical Polishing)装置940等が設けられている。成膜装置910は、CVD(Chemical Vapor Deposition)等を用いて、ウエハW上に、反射防止膜、トップコート膜などの薄膜を生成する装置である。酸化・イオン注入装置920は、ウエハWの表面に酸化膜を形成し、又はウエハW上の所定位置に不純物を注入するための装置である。エッチング装置930は、現像されたウエハWに対しエッチングを行う装置である。CMP装置940は、化学機械研磨によってウエハの表面を平坦化する研磨装置である。各装置とも、その処理パラメータの調整により、その処理状態を調整可能であるとともに、その処理状態を観測し、処理状態に関するデータをログデータとしてロギング可能である。また、各装置とも、通信ネットワークを介してデータ入出力が可能である。
搬送ライン800は、デバイス製造処理装置群900の各種装置と、露光セル700との間で、ウエハWの搬送を行う。この搬送ライン800と、露光セル700内の搬送ライン140との協調動作により、ウエハWに対する処理が終了した装置から、次にウエハWに対する処理を行う装置まで、ウエハWが搬送されるようになる。
管理コントローラ160は、露光装置100、101により実施される露光工程を集中的に管理するとともに、トラック200A,200B内のC/D110の管理及びそれらの連携動作の制御を行う。このようなコントローラとしては、例えば、パーソナルコンピュータ(PC)を採用することができる。管理コントローラ160は、デバイス製造処理システム1000内の通信ネットワークを通じて、処理、動作の進捗状況を示す情報、及び処理結果、測定・検査結果を示す情報などを各装置から受信し、デバイス製造処理システム1000の製造ライン全体の状況を把握し、露光工程等が適切に行われるように、各装置の管理及び制御を行う。
解析装置170は、デバイス製造処理システム1000内の通信ネットワークと接続されており、外部とデータ送受信が可能である。解析装置170は、通信ネットワークを介して各種装置から各種データ(測定検査器120の各種測定検査結果のデータ及び他の装置の処理状態に関するデータ)を収集し、ウエハWに対するプロセスに関するデータの解析及び各装置の処理条件の最適化を行う。このような解析装置170を実現するハードウエアとしては、例えばパーソナルコンピュータを採用することができる。この場合、解析処理は、解析装置170のCPU(不図示)で実行される解析プログラムの実行により実現される。この解析プログラムは、CD−ROMなどのメディア(情報記録媒体)により供給され、PCにインストールされた状態で実行される。
前述したように、ホスト600は、デバイス製造処理システム1000の統括制御を行っているが、デバイス製造処理システム1000における各装置は、ホスト600からの指示により動作している。以下では、個々の装置の動作について説明する。
図22には、露光装置100、101の動作の流れが示されている。図22に示されるように、まず、ホスト600は、管理コントローラ160に、あるウエハWに対する露光指示を出力する(ステップ201)。この露光指示には、そのウエハWの露光レシピの指定も含まれている。管理コントローラ160は、露光レシピを参照して、今回の露光対象となっている層が、高い転写精度が要求される層(例えば、コンタクトホールが形成される層)であるか否かを判断し、高い転写精度が要求される層である場合には、液浸露光装置101に対し、処理開始指令を送信し、そうでない場合には、ドライ露光装置100に対し処理開始指令を送信する(ステップ203)。
(1)液浸固有のパターン欠陥検査
(2)ウォーターマーク、レジスト成分染み出しによる汚れ、レジスト剥離などの検査
(3)ウエハW上に残留した残液に付着したパーティクル・異物の検査
(4)液浸状態が良好でないと予想される箇所の重点的な検査
次に、デバイス製造処理システム1000における一連のプロセスの流れについて説明する。このデバイス製造処理システム1000の一連のプロセスは、ホスト600によってスケジューリングされ管理されている。図28の表には、この一連のプロセスにおいて実行可能な処理項目が示されている。この表の大項目には、順番に実行される可能性がある概略的な処理手順が、その処理順に記載されている。この表に示されるように、この一連のプロセスでは、まず、成膜・レジスト塗布処理及びウエハ測定検査処理(A)、ウエハ測定検査処理(B)、露光処理、ウエハ測定検査処理(C)、PEB処理、ウエハ測定検査処理(D)、現像処理、ウエハ測定検査処理(E)、エッチング処理、ウエハ測定検査処理(F)、不純物拡散処理及び配線処理が繰り返し行われ、各層のデバイスパターンが、全て形成された後、プロービング処理、リペア処理、ダイシング処理、パッケージング処理、ボンディング処理が行われ、最終的にデバイスが完成する。なお、測定検査処理において検出された異常は、上記各種処理、すなわち、成膜・レジスト塗布処理、露光処理、PEB処理、現像処理、エッチング処理、不純物拡散処理及び配線処理、プロービング処理、リペア処理などの処理内容の調整などに用いられる。
まず、ウエハアライメントに関連する処理条件の最適化を行う場合について説明する。この最適化を行う場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(A)における小項目(選択):各膜の膜厚測定処理と、大項目:ウエハ測定検査処理(B)における小項目(選択):アライメント事前測定とを選択して処理手順を作成する。ここで、アライメント事前測定とは、露光装置100、101にウエハWを搬入する前に、測定検査器120においてウエハマーク(MXP,MYP)の事前測定を行う処理である。
次に、露光の際のフォーカス制御関連のパラメータの最適化を行う場合について説明する。この場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(A)における小項目(選択):各膜の膜厚測定と、大項目:ウエハ測定検査処理(B)における小項目(選択):フォーカス事前測定とを選択して、処理手順を作成する。フォーカス事前測定とは、露光装置100、101にウエハWを搬入する前に、測定検査器120においてウエハWの面形状の事前測定を行う処理である。
次に、露光前のウエハ外観検査、すなわちウエハ測定検査処理(B)におけるウエハ外観検査の処理条件の最適化を行う場合について説明する。この場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(B)における小項目(選択):外観検査(異物検査)と、大項目:ウエハ測定検査処理(C)における小項目(選択):外観検査(異物検査)とを選択して、処理手順を作成する。図33(A)には、ウエハ測定検査処理(B)におけるウエハWの外観検査の検査結果のデータ(異物検査データ(B))の一例が示されている。なお、このデータは、実際にはXYの2次元データであるが、説明をわかりやすくするため、1次元のデータとして示している。この異物検査においては、データのレベルが異常検出レベル(点線)を超えた部分に異物が存在すると判定する。図33(A)に示されるデータでは、異常検出レベルを超えている部分が存在しないので、異物無しと判定されることになる。
次に、液浸露光関連の処理条件の最適化(その1)を行う場合について説明する。ここでは、露光前のウエハW上の各膜の外観検査結果と、露光後のウエハWの外観検査結果とに基づいて液浸露光における処理条件の最適化を行う。この場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(A)における小項目(選択):各膜の膜検査(外観検査(A))と、大項目:ウエハ測定検査処理(C)における小項目(選択):外観検査(外観検査(C))とを選択して、処理手順を作成する。図35の枠内(吹きだし内)には、この最適化処理を行うためにホスト600によって作成される処理手順のフローが示されている。すなわち、ここでは、反射防止膜成膜、その検査、レジスト膜塗布、その検査、トップコート膜成膜、その検査、液浸露光、外観検査(C)がこの順で行われる。このプロセスを実行すると、露光処理を行う前に、ウエハW上の各膜の外観検査(A)の検査データが得られ、露光処理の後に、ウエハW上の外観検査(C)の検査データが得られる。
次に、液浸露光関連の処理条件の最適化(その2)を行う場合について説明する。ここでは、図38の枠内に示されるように、PEB処理前のウエハ測定検査処理(C)の外観検査(外観検査(C))と、PEB処理後のウエハ測定検査処理(D)の外観検査(外観検査(D))とに基づいて、液浸露光における処理条件の最適化を行う。ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(C)における小項目(選択):ウエハ外観検査(異物検査)と、大項目:ウエハ測定検査処理(D)における小項目(選択):ウエハ外観検査(残液によるしみなどの検査)とを選択して、処理手順を作成する。
次に、液浸露光の処理条件の最適化(その3)を行う場合について説明する。ここでは、図39に示されるように、PEB処理前のウエハWの外観検査(C)の結果と、現像処理後のウエハWのパターン欠陥検査(E)の結果とに基づいて、処理条件の最適化を行う。すなわち、PEB処理及び現像処理の前後の検査結果の違いに応じて、処理条件の最適化を行う。この場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(C)における小項目(選択):ウエハ外観検査(異物及び/又は残液検査)(外観検査(C))と、大項目:ウエハ測定検査処理(E)における小項目(選択):パターン欠陥検査(欠陥検査(E))とを選択して、処理手順を作成する。
次に、液浸露光の処理条件の最適化(その4)を行う場合について説明する。ここでは、図40に示されるように、現像処理前後の外観検査結果の違いに基づいて、処理条件を最適化する。この場合には、ホスト600は、現像処理前の大項目:ウエハ測定検査処理(D)における小項目(選択):外観検査(外観検査(D))と、現像処理後の大項目:ウエハ測定検査処理(E)における小項目(選択):パターン欠陥検査(欠陥検査(E))とを選択して、処理手順を作成する。
次に、液浸露光の処理条件の最適化(その5)を行う場合について説明する。ここでは、図41に示されるように、露光処理前の測定検査結果と、現像処理後の測定検査結果との違いに基づいて、処理条件を最適化する。この場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(B)における小項目(選択):フォーカス事前測定を選択し、大項目:ウエハ測定検査処理(E)における小項目(選択):パターン線幅測定とを選択して、処理手順を作成する。
次に、液浸露光の処理条件の最適化(その6)を行う場合について説明する。この場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(B)における小項目(選択):フォーカス事前測定を選択し、大項目:ウエハ測定検査処理(F)における小項目(選択):パターン線幅測定を選択して、処理手順を作成する。
次に、液浸露光の処理条件の最適化(その7)を行う場合について説明する。この場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(E)における小項目(選択):パターン欠陥検査(欠陥検査(E))を選択し、大項目:ウエハ測定検査処理(F)における小項目(選択):パターン欠陥検査(欠陥検査(F))を選択して、処理手順を作成する。図43に示されるように、まず、ステップ1051において、検査(E)の結果が正常で、かつ、検査(F)の結果が異常であるか否かを判断する。この判断が否定されれば処理を終了する。
次に、パターン線幅関連の処理条件の最適化を行う場合について説明する。この場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(A)における小項目(選択):ウエハ膜検査を選択し、大項目:ウエハ測定検査処理(E)又はウエハ測定検査処理(F)における小項目(選択):パターン線幅測定を選択して、処理手順を作成する。
次に、パターンの重ね合わせ精度関連の処理条件の最適化(その1)を行う場合について説明する。この場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(B)における小項目(選択):事前アライメント測定と、大項目:ウエハ測定検査処理(E)又はウエハ測定検査処理(F)における小項目(選択):重ね合わせ誤差測定とを選択して、処理手順を作成する。
次に、パターンの重ね合わせ精度関連の処理条件の最適化(その2)を行う場合について説明する。この場合には、ホスト600は、大項目:ウエハ測定検査処理(B)における小項目(選択):アライメント事前測定を選択し、大項目:ウエハ測定検査処理(E)又はウエハ測定検査処理(F)における小項目(選択):重ね合わせ誤差測定を選択して、処理手順を作成する。
以上詳細に説明したように、本実施形態によると、一連のプロセスに含まれる測定検査処理の2種類の測定検査結果データ(例えば、膜厚データとマーク波形データ、液浸露光処理前後の外観検査データ)を収集し、収集された2種類の測定検査結果データを複合的に組み合わせて解析し、その解析結果に基づいて最適化することによりウエハWに対する処理結果が良好となる処理条件を特定し、その処理条件(例えば、露光装置100、101の液浸関連パラメータ、制御系パラメータ、アライメント関連パラメータ)を最適化するので、1種類の測定検査結果データのみを用いてその処理条件を最適化するよりも、効率的な処理条件の最適化が可能となる。
Claims (73)
- 測定検査処理を含む一連の複数の基板処理の処理条件を調整する調整方法であって、
少なくとも基板上への膜の生成を行う膜生成処理と前記基板に投影光学系を介してパターンを転写する露光処理とを含む複数の基板処理により処理される少なくとも1枚の基板に関して、前記膜生成処理により前記基板上に生成された膜の厚みの測定結果に関する第1情報と、前記露光処理における前記基板の露光面の面形状の測定結果に関する第2情報とを含む少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報を収集する収集工程と、
収集された少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報に基づいて、前記第1情報と前記第2情報との相関がある場合に前記基板上への膜の成膜条件を最適化し、前記第1情報と前記第2情報とに基づいて前記露光処理における前記投影光学系に対する前記基板のフォーカスに関する処理条件を最適化する最適化工程と、
最適化された処理条件に関する情報を、その処理を行う装置に送信する送信工程と、を含む調整方法。 - 請求項1に記載の調整方法において、
前記少なくとも2種類の測定検査結果は、前記複数の基板処理のうちの少なくとも1つの特定処理の前後に行われる測定検査処理における測定検査結果であり、
前記最適化工程では、
前記少なくとも2種類の測定検査結果の相関、良否及び変化の少なくとも1つに関する情報に基づいて、前記処理条件を最適化する調整方法。 - 請求項2に記載の調整方法において、
前記最適化工程では、
前記特定処理の前の事前測定検査処理で異常が検出されず、前記特定処理の後の事後測定検査処理で異常が検出された場合に、
前記事後測定検査処理よりも前の基板処理の処理条件を最適化する調整方法。 - 請求項3に記載の調整方法において、
前記最適化工程では、
前記特定処理の前の事前測定検査処理で異常が検出されず、前記特定処理の後の事後測定検査処理で異常が検出され、かつ、前記事前測定検査処理の測定検査結果に関する情報と前記事後測定検査処理の測定検査結果に関する情報との間に相関がある場合に、前記事前測定検査処理の処理条件を最適化する調整方法。 - 請求項3に記載の調整方法において、
前記最適化工程では、
前記特定処理の前の事前測定検査処理で異常が検出されず、前記特定処理の後の事後測定検査処理で異常が検出された場合に、
前記事後測定検査処理より前の基板処理の処理状態に関する情報を取得し、
取得された情報に基づいて、前記処理条件を最適化する調整方法。 - 請求項5に記載の調整方法において、
前記特定処理の処理状態に関する情報を優先的に解析し、その処理条件を最適化する調整方法。 - 請求項3に記載の調整方法において、
前記最適化工程では、
前記事後測定検査処理よりも後の基板処理の処理条件もさらに最適化する調整方法。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理を複数枚の基板に対して行う間に、
前記少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報と、前記処理条件の最適化結果に関する情報との因果関係を記憶する記憶工程と、
その記憶結果に基づいて、測定検査結果と相関性の高い処理条件を抽出する抽出工程と、をさらに含み、
前記最適化工程では、
抽出された処理条件を優先して最適化する調整方法。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理を複数枚の基板に対して行う間に、
前記測定検査結果に関する情報の規則性を抽出する抽出工程をさらに含み、
前記最適化工程では、
抽出された規則性に応じて、前記処理条件を最適化する調整方法。 - 請求項1に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理は、前記基板上への膜の生成を行う膜生成処理と、前記基板を露光してパターンを前記基板上に形成する露光処理とを含み、
前記少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報は、前記露光処理前の前記基板上の異物検査結果に関する第3情報と、前記露光処理後の前記基板上の異物検査結果に関する第4情報とを含み、
前記最適化工程では、
前記第3情報において異物が検出されず、前記第4情報において異物が検出され、かつ、前記第3情報と前記第4情報との間に相関が有る場合に、前記露光処理前の前記基板上の異物の検査条件を最適化する調整方法。 - 請求項1に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理は、
前記基板上への膜の生成を行う膜生成処理と、液浸露光によりパターンを前記基板上に形成する露光処理と、前記基板上の液体の除去処理とを含み、
前記少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報は、前記膜生成処理により前記基板上に生成された膜の前記露光処理前の検査結果に関する第5情報と、前記露光処理後の前記基板上の異物の検査結果に関する第6情報とを含み、
前記最適化工程では、前記第5情報が正常で、前記第6情報が異常である場合に、前記露光処理の処理状態に関する情報を取得し、取得された情報に基づいて前記露光処理及び前記除去処理の少なくとも一方の処理条件を最適化する調整方法。 - 請求項1に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理は、前記基板上への膜の生成を行う膜生成処理と、液浸露光によりパターンを前記基板上に形成する露光処理と、前記基板上の液体の除去処理と、前記基板に対するポストベーク処理とを含み、
前記少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報は、前記ポストベーク処理の前の前記基板の異物検査結果に関する第7情報と、前記ポストベーク処理の後の前記基板の異物検査結果に関する第8情報とを含み、
前記第7情報が正常で、前記第8情報が異常である場合に、前記ポストベーク処理の処理状態に関する情報を取得し、
前記最適化工程では、
取得された情報に基づいて、前記ポストベーク処理が、前記第8情報の異常の要因でないと判断した場合に、前記ポストベーク処理の前の前記基板の異物検査処理の処理条件と、前記露光処理の処理条件と、前記液体除去処理の処理条件との少なくとも1つを最適化する調整方法。 - 請求項1に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理は、前記基板上への膜の生成を行う膜生成処理と、液浸露光によりパターンを前記基板上に形成する露光処理と、前記基板上の液体の除去処理と、前記基板に対するポストベーク処理と、前記基板に対する現像処理とを含み、
前記少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報は、前記ポストベーク処理の前の前記基板の異物検査結果に関する第9情報と、前記現像処理の後の前記基板のパターン検査結果に関する第10情報とを含み、
前記第9情報が正常で、前記第10情報が異常である場合に、前記現像処理及びポストベーク処理の処理状態に関する情報を取得し、
前記最適化工程では、
取得された情報に基づいて、前記現像処理及びポストベーク処理が、前記第2情報の異常の要因でないと判断した場合に、前記ポストベーク処理の前後の前記基板の検査条件と、前記露光処理の処理条件と、前記液体除去処理の処理条件との少なくとも1つを最適化する調整方法。 - 請求項1に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理は、
前記基板上への膜の生成を行う膜生成処理と、液浸露光によりパターンを前記基板上に形成する露光処理と、前記基板上の液体の除去処理と、前記基板に対するポストベーク処理と、前記基板に対する現像処理とを含み、
前記少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報は、前記現像処理の前の前記基板の異物検査結果に関する第11情報と、前記現像処理の後の前記基板のパターン検査結果に関する第12情報とを含み、
前記第11情報が正常で、前記第12情報が異常である場合には、前記現像処理の処理状態に関する情報を取得し、
前記最適化工程では、
取得された情報に基づいて、前記現像処理が、前記第12情報の異常の要因でないと判断した場合に、前記現像処理の前の測定検査の測定検査条件と、前記露光処理の処理条件と、前記液体除去処理の処理条件との少なくとも1つを最適化する調整方法。 - 請求項1に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理は、前記基板上への膜の生成を行う膜生成処理と、液浸露光によりパターンを前記基板上に形成する露光処理と、前記基板上の液体の除去処理と、前記基板に対するポストベーク処理と、前記基板に対する現像処理と、前記基板に対するエッチング処理とを含み、
前記少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報は、前記露光処理前の前記基板の露光面の面形状の測定結果に関する第13情報と、前記現像処理又は前記エッチング処理後の前記基板のパターンのサイズの測定結果に関する第14情報とを含み、
前記第13情報が正常で、前記第14情報が異常である場合に、前記現像処理、前記ポストベーク処理、前記露光処理の少なくとも1つの処理状態に関する情報を取得して解析し、
前記現像処理、前記ポストベーク処理及び前記エッチング処理が、前記第14情報の異常の要因でないと判断した場合に、前記露光処理の処理条件と、前記液体除去処理の処理条件との少なくとも1つを最適化する請求項1に記載の調整方法。 - 請求項1に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理は、前記基板上への膜の生成を行う膜生成処理と、液浸露光によりパターンを前記基板上に形成する露光処理と、前記基板に対する現像処理と、前記基板に対するエッチング処理とを含み、
前記少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報は、前記現像処理後の前記基板上のパターンのサイズの測定結果に関する第15情報と、前記エッチング処理後の前記基板上のパターンのサイズの測定結果に関する第16情報とを含み、
前記第15情報が正常で、前記第16情報が異常である場合には、前記エッチング処理の処理状態に関する情報を取得して解析し、
前記エッチング処理が、前記第16情報の異常の要因でないと判断した場合に、前記露光処理の処理条件と、前記液体除去処理の処理条件との少なくとも一方を最適化する調整方法。 - 請求項1に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理は、前記基板上への膜の生成を行う膜生成処理と、液浸露光によりパターンを前記基板上に形成する露光処理と、前記基板に対するポストベーク処理と、前記基板に対する現像処理と、前記基板に対するエッチング処理とを含み、
前記少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報は、前記膜生成処理により前記基板上に生成された膜の前記露光処理前の測定検査結果に関する第17情報と、前記現像処理後又はエッチング処理後の前記基板のパターンのサイズのばらつきの測定結果に関する第18情報とを含み、
前記第17情報と前記第18情報との相関性及び変化に基づいて、前記成膜、塗布条件及び前記露光処理の処理条件の少なくとも一方を最適化する調整方法。 - 請求項1に記載の調整方法において、
前記複数の基板処理は、前記基板上への膜の生成又は塗布を行う膜生成処理と、液浸露光によりパターンを前記基板上に形成する露光処理とを含み、
前記少なくとも2種類の測定検査結果に関する情報は、
前記露光処理前における前記基板の位置合わせに用いられる処理パラメータの測定結果に関する第19情報と、前記現像処理又は前記エッチング処理の後の前記基板上のパターンの重ね合わせの測定結果に関する第20情報とを含み、
前記第19情報が正常で前記第20情報が異常である場合に、前記第19情報と前記第20情報との相関性に基づいて、前記基板の位置合わせ処理の処理条件を最適化する調整方法。 - 請求項1、10〜18のいずれか一項に記載の調整方法を用いて、基板処理の処理条件を調整する調整工程を含む基板処理方法。
- パターンを基板上に形成する露光処理とその後に基板を検査する検査処理とを含む複数の基板処理を行う基板処理方法であって、
前記露光処理が液浸露光で行われたかドライ露光で行われたかに関する情報を取得する取得工程と、
取得された情報に基づいて、前記露光処理が液浸露光で行われたと判断した場合に、請求項11〜15のいずれか一項に記載の調整方法を用いて基板処理の処理条件を調整する調整工程と、を含む基板処理方法。 - 基板を露光してパターンを前記基板上に形成する露光処理と、その後に前記基板を検査する検査処理とを含む複数の基板処理を行う基板処理方法であって、
前記露光処理が液浸露光で行うかドライ露光で行うかに関する情報を取得する取得工程と、
取得された情報に応じて、前記複数の基板処理の少なくとも一部の処理内容を調整する調整工程と、
調整結果を、その処理を行う装置に送信する送信工程と、を含む基板処理方法。 - 請求項21に記載の基板処理方法において、
前記調整工程では、
液浸露光とドライ露光とで、前記検査処理の検査項目と、検査感度と、検査条件との少なくとも1つを切り替える基板処理方法。 - 請求項22に記載の基板処理方法において、
前記液浸露光で露光処理が行われていた場合には、
前記検査処理の検査項目として、前記液浸露光に固有のパターン欠陥に対する欠陥検査と、液浸露光に用いられる液体による前記基板の異常検査と、液浸露光後に前記基板上に付着した残液検査の少なくとも一方を追加する基板処理方法。 - 請求項23に記載の基板処理方法において、
前記液浸露光に固有のパターン欠陥には、前記液体と接触する投影光学系の光学素子に付着した汚れ又は液体中の気泡又は異物によるパターン欠陥が含まれ、
前記液体による前記基板の異常検査には、ウォーターマーク、前記基板上に生成された膜の材質の液体への染み出しによる汚れ及び前記基板上の膜の剥離に関する検査が含まれ、
前記残液検査には、
前記基板上の残液中の異物検査が含まれる基板処理方法。 - 請求項22に記載の基板処理方法において、
液浸露光で露光処理が行われた場合には、
前記検査処理の検査感度を前記ドライ露光のそれに比して高めに設定する基板処理方法。 - 請求項22に記載の基板処理方法において、
前記検査処理の検査条件は、検査中に前記基板を照明する照明光の波長、検出方式、検出光学系、及び検出アルゴリズムの少なくとも1つを含む基板処理方法。 - 請求項26に記載の基板処理方法において、
液浸露光で露光処理が行われた場合には、
前記検査処理の検査条件は、
前記照明光の短波長化と、明暗視野のうちの明視野の選択と、光学検出方式及び電子ビーム検出方式のうちの電子ビーム方式の選択と、コンフォーカル系の選択と、検出アルゴリズムとしての画像比較アルゴリズム、設計データ比較アルゴリズム、特徴抽出アルゴリズムのうちの画像比較アルゴリズムの選択との少なくとも1つを含む基板処理方法。 - 請求項21〜27のいずれか一項に記載の基板処理方法において、
前記調整工程は、
前記液浸露光中の液浸部分のモニタ結果に関する情報と、前記検査処理の検査結果に関する情報との相関性を算出する算出工程と、
算出された相関性に基づいて、前記露光処理における露光条件と、前記検査処理における検査条件との少なくとも一方を最適化する最適化工程と、を含む基板処理方法。 - 請求項28に記載の基板処理方法において、
前記最適化工程では、
前記相関性の高い基板上の部分の検査頻度と、検査感度との少なくとも一方を高くする基板処理方法。 - 請求項28に記載の基板処理方法において、
前記算出工程では、
前記基板上の各地点が液体に浸る時間に関する情報と、前記検査処理の検査結果に関する情報との相関性をさらに算出し、
前記最適化工程では、
前記相関性に基づいて、前記基板上の露光経路と、前記基板に対する成膜条件と、液浸露光後の前記基板上の液体除去条件との少なくとも一方を調整する基板処理方法。 - 請求項21に記載の基板処理方法において、
前記調整工程では、
設定する露光量とフォーカスとを補正する補正量の許容範囲に関する情報を切り替える基板処理方法。 - 請求項21に記載の基板処理方法において、
前記調整工程では、
前記液浸露光で露光処理を行う場合に、前記基板上に塗布されたレジスト膜を液体から保護するトップコート膜の検査処理を検査内容に追加する基板処理方法。 - 請求項21に記載の基板処理方法において、
前記検査処理の検査結果に関する情報を記憶する記憶工程と、
前記記憶された情報に基づいて、前記基板内の各地点における異常の発生頻度に関する情報を算出する算出工程と、をさらに含み、
前記調整工程では、
算出された発生頻度に関する情報に基づいて、前記基板内の各地点における検査頻度を増減する基板処理方法。 - 請求項1〜18のいずれか一項に記載の調整方法、又は、請求項21〜33のいずれか一項に記載の基板処理方法を用いて、送信された情報に従って基板処理を行う基板処理装置。
- 請求項21〜33のいずれか一項に記載の基板処理方法を用いて、送信された情報に従って基板に対する露光を行う露光装置。
- 請求項21〜33のいずれか一項に記載の基板処理方法を用いて、送信された情報に従って基板の測定検査を行う測定検査装置。
- 基板を露光してパターンを前記基板上に形成する露光処理と、その後に前記基板を検査する検査処理とを含む複数の基板処理をコンピュータに実行させるプログラムであって、
前記露光処理が液浸露光で行うかドライ露光で行うかに関する情報を取得する取得手順と、
取得された情報に応じて、前記複数の基板処理の少なくとも一部の処理内容を調整する調整手順と、
調整結果を、その処理を行う装置に送信する送信手順と、をコンピュータに実行させるプログラム。 - 請求項37に記載のプログラムにおいて、
前記調整手順では、
液浸露光とドライ露光とで、前記検査処理の検査項目と、検査感度と、検査条件との少なくとも1つを切り替えるプログラム。 - 請求項37に記載のプログラムにおいて、
前記液浸露光で露光処理が行われていた場合には、
前記検査処理の検査項目として、前記液浸露光に固有のパターン欠陥に対する欠陥検査と、液浸露光に用いられる液体による前記基板の異常検査と、液浸露光後に前記基板上に付着した残液検査の少なくとも一方を追加するプログラム。 - 請求項39に記載のプログラムにおいて、
前記液浸露光に固有のパターン欠陥には、
前記液体と接触する投影光学系の光学素子に付着した汚れ又は液体中の気泡又は異物によるパターン欠陥が含まれ、
前記液体による前記基板の異常検査には、
ウォーターマーク、前記基板上に生成された膜の材質の液体への染み出しによる汚れ及び前記基板上の膜の剥離に関する検査が含まれ、
前記残液検査には、
前記基板上の残液中の異物検査が含まれるプログラム。 - 請求項38に記載のプログラムにおいて、
液浸露光で露光処理が行われた場合には、
前記検査処理の検査感度を前記ドライ露光のそれに比して高めに設定するプログラム。 - 請求項38に記載のプログラムにおいて、
前記検査処理の検査条件は、検査中に前記基板を照明する照明光の波長、検出方式、検出光学系、及び検出アルゴリズムの少なくとも1つを含むプログラム。 - 請求項42に記載のプログラムにおいて、
液浸露光で露光処理が行われた場合には、
前記照明光の短波長化と、明暗視野のうちの明視野の選択と、光学検出方式及び電子ビーム検出方式のうちの電子ビーム方式の選択と、コンフォーカル系の選択と、検出アルゴリズムとしての画像比較アルゴリズム、設計データ比較アルゴリズム、特徴抽出アルゴリズムのうちの画像比較アルゴリズムの選択との少なくとも1つを含むプログラム。 - 請求項37〜43のいずれか一項に記載のプログラムにおいて、
前記調整手順は、
前記液浸露光中の液浸部分のモニタ結果に関する情報と、前記検査処理の検査結果に関する情報との相関性を算出する算出手順と、
算出された相関性に基づいて、前記露光処理における露光条件と、前記検査処理における検査条件との少なくとも一方を最適化する最適化手順と、を含むプログラム。 - 請求項44に記載のプログラムにおいて、
前記最適化手順では、
前記相関性の高い基板上の部分の検査頻度と、検査感度との少なくとも一方を高くするプログラム。 - 請求項44に記載のプログラムにおいて、
前記算出手順では、
前記基板上の各地点が液体に浸る時間に関する情報と、前記検査処理の検査結果に関する情報との相関性をさらに算出し、
前記最適化手順では、
前記相関性に基づいて、前記基板上の露光経路と、前記基板に対する成膜条件と、液浸露光後の前記基板上の液体除去条件との少なくとも一方を調整するプログラム。 - 請求項37に記載のプログラムにおいて、
前記調整手順では、
設定する露光量とフォーカスとを補正する補正量の許容範囲に関する情報を切り替えるプログラム。 - 請求項37に記載のプログラムにおいて、
前記調整手順では、
前記液浸露光で露光処理を行う場合には、
前記基板上に塗布されたレジスト膜を液体から保護するトップコート膜の検査処理を検査内容に追加するプログラム。 - 請求項37に記載のプログラムにおいて、
前記検査処理の検査結果に関する情報を記憶する記憶手順と、
前記記憶された情報に基づいて、前記基板内の各地点における異常の発生頻度に関する情報を算出する算出手順と、をさらにコンピュータに実行させ、
前記調整手順では、
算出された発生頻度に関する情報に基づいて、前記基板内の各地点における検査頻度を増減するプログラム。 - 請求項37〜49のいずれか一項に記載のプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な情報記録媒体。
- 液体を介することなく基板上に露光光を照射するドライ露光処理の対象である基板に対しては不要な特定処理を、液体を介した露光光で基板を露光する液浸露光処理の対象である基板に対して実行する、前記特定処理の処理工程をコンピュータ・システムに実行させるプログラムであって、
前記液浸露光処理と前記ドライ露光処理の何れの対象の基板かを示す情報に応じて、前記処理工程での前記特定処理を基板に対して実行するか否かを変更する手順を、前記コンピュータ・システムに実行させるプログラム。 - 請求項51に記載のプログラムにおいて、
前記特定処理は、前記液浸露光処理の対象の基板の検査処理又は前記液浸露光処理の対象の基板に関する測定処理であるプログラム。 - 請求項52に記載のプログラムにおいて、
前記検査処理は、前記基板上に形成された撥水膜の検査を含むプログラム。 - 請求項52に記載のプログラムにおいて、
前記検査処理は、前記基板上の液体を除去する処理の後に、前記基板上に残留する液体を検出する検査を含むプログラム。 - 請求項51に記載のプログラムにおいて、
前記特定処理は、前記液浸露光処理の対象の基板上に撥水膜を形成する成膜処理を含むプログラム。 - 液体を介することなく基板上に露光光を照射するドライ露光処理の対象である基板に対しては不要な特定処理を、液体を介した露光光で基板を露光する液浸露光処理の対象である基板に対して実行する、前記特定処理の処理工程をコンピュータ・システムに実行させるプログラムが記録されたコンピュータによる読み取りが可能な情報記録媒体であって、
前記プログラムが、前記液浸露光処理と前記ドライ露光処理の何れの対象の基板かを示す情報に応じて、前記処理工程での前記特定処理を基板に対して実行するか否かを変更する手順を、前記コンピュータ・システムに実行させるプログラムである情報記録媒体。 - 請求項56に記載の情報記録媒体において、
前記特定処理は、前記液浸露光処理の対象の基板の検査処理又は前記液浸露光処理の対象の基板に関する測定処理である情報記録媒体。 - 請求項57に記載の情報記録媒体において、
前記検査処理は、前記基板上に形成された撥水膜の検査を含む情報記録媒体。 - 請求項57に記載の情報記録媒体において、
前記検査処理は、前記基板上の液体を除去する処理の後に、前記基板上に残留する液体を検出する検査を含む情報記録媒体。 - 請求項56に記載の情報記録媒体において、
前記特定処理は、前記液浸露光処理の対象の基板上に撥水膜を形成する成膜処理を含む情報記録媒体。 - 液体を介して露光光で基板を露光する液浸露光処理、又は、液体を介することなく露光光を基板上に照射するドライ露光処理のいずれかの対象である基板に対し、測定処理と検査処理との少なくとも一方を実施する測定検査システムであって、
前記ドライ露光処理の対象である基板に対しては不要な特定の測定検査処理を、前記液浸露光処理の対象である基板に対して実行する特定測定検査部を含み、
前記液浸露光処理と前記ドライ露光処理とのいずれの対象の基板かを示す情報に応じて、前記特定測定検査部が前記特定の測定検査処理を実行するか否かを変更する測定検査システム。 - 請求項61に記載の測定検査システムにおいて、
前記測定検査処理は、前記基板上に形成された撥水膜の検査を含む測定検査システム。 - 請求項61に記載の測定検査システムにおいて、
前記測定検査処理は、前記基板上の液体を除去する処理の後に、前記基板上に残留する液体を検出する検査を含む測定検査システム。 - 液体を介することなく基板上に露光光を照射するドライ露光処理の対象である基板に対しては不要な特定処理を、液体を介した露光光で基板を露光する液浸露光処理の対象である基板に対して実行する処理装置であって、
前記液浸露光処理と前記ドライ露光処理のいずれの対象の基板かを示す情報に応じて、前記基板に前記特定処理を実行するか否かを変更する処理装置。 - 請求項64に記載の処理装置において、
前記特定処理は、前記液浸露光処理の対象の基板の検査処理、又は前記液浸露光処理の対象の基板に関する測定処理である処理装置。 - 請求項65に記載の処理装置において、
前記検査処理は、前記基板上に形成された撥水膜の検査を含む処理装置。 - 請求項65に記載の処理装置において、
前記検査処理は、前記基板上の液体を除去する処理の後に、前記基板上に残留する液体を検出する検査を含む処理装置。 - 請求項64に記載の処理装置において、
前記特定処理は、前記液浸露光処理の対象の基板上に撥水膜を形成する成膜処理を含む処理装置。 - 液体を介することなく基板上に露光光を照射するドライ露光処理の対象である基板に対しては不要な特定処理を、液体を介した露光光で基板を露光する液浸露光処理の対象である基板に対して実行する、前記特定処理の処理工程を制御するコンピュータ・システムであって、
前記液浸露光処理と前記ドライ露光処理の何れの対象の基板かを示す情報に応じて、前記処理工程での前記特定処理を基板に対して実行するか否かを変更するコンピュータ・システム。 - 請求項69に記載のコンピュータ・システムにおいて、
前記特定処理は、前記液浸露光処理の対象の基板の検査処理又は前記液浸露光処理の対象の基板に関する測定処理であるコンピュータ・システム。 - 請求項70に記載のコンピュータ・システムにおいて、
前記検査処理は、前記基板上に形成された撥水膜の検査を含むコンピュータ・システム。 - 請求項70に記載のコンピュータ・システムにおいて、
前記検査処理は、前記基板上の液体を除去する処理の後に、前記基板上に残留する液体を検出する検査を含むコンピュータ・システム。 - 請求項69に記載のコンピュータ・システムにおいて、
前記特定処理は、前記液浸露光処理の対象の基板上に撥水膜を形成する成膜処理を含むコンピュータ・システム。
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