JP2012208102A - 共焦点計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置である。共焦点計測装置100は、白色LED21と、白色LED21から出射する光に、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズ1と、回折レンズ1より計測対象物200側に配置され、回折レンズ1で色収差を生じさせた光を計測対象物200に集光する対物レンズ2と、対物レンズ2で集光した光のうち、計測対象物200において合焦する光を通過させるピンホールと、ピンホールを通過した光の波長を測定する波長測定部とを備えている。回折レンズ1の焦点距離は、回折レンズ1から対物レンズ2までの距離と、対物レンズ2の焦点距離との差より大きい。
【選択図】図1
Description
また、本発明の共焦点計測装置では、好ましくは、回折レンズから測定部までの光路に光ファイバを備え、光ファイバをピンホールとして用いる。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係る共焦点計測装置の構成を示す模式図である。図1に示す共焦点計測装置100は、共焦点光学系を利用して計測対象物200の変位を計測する計測装置である。共焦点計測装置100で計測する計測対象物200には、たとえば液晶表示パネルのセルギャップなどがある。
図1に示した共焦点計測装置100を構成するヘッド部10、分光器23、白色LED21と光ファイバ22bとの結合部について、別の構成のヘッド部、分光器、白色LEDと光ファイバとの結合部について説明する。
Claims (5)
- 共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置であって、
複数の波長の光を出射する光源と、
前記光源から出射する光に、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズと、
前記回折レンズより前記計測対象物側に配置され、前記回折レンズで色収差を生じさせた光を前記計測対象物に集光する対物レンズと、
前記対物レンズで集光した光のうち、前記計測対象物において合焦する光を通過させるピンホールと、
前記ピンホールを通過した光の強度を波長ごとに測定する測定部と
を備え、
前記回折レンズの焦点距離は、前記回折レンズから前記対物レンズまでの距離と、前記対物レンズの焦点距離との差より大きい、共焦点計測装置。 - 前記回折レンズから前記対物レンズまでの距離は、前記対物レンズの焦点距離に略等しい、請求項1に記載の共焦点計測装置。
- 前記対物レンズが交換可能である、請求項1または2に記載の共焦点計測装置。
- 前記回折レンズから前記測定部までの光路に光ファイバを備え、
前記光ファイバを前記ピンホールとして用いる、請求項1〜3のいずれか一項に記載の共焦点計測装置。 - 前記回折レンズは、ガラス基板と、前記ガラス基板の少なくとも一面に形成され、光軸方向に沿って色収差を生じさせるパターンの樹脂層とを有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の共焦点計測装置。
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