JP2015014604A - クロマティックレンジセンサを構成する光学ペン用の交換可能光学エレメント、および、その分離状態の検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 CRSシステム100を構成する光学ペン220用の交換可能光学エレメント280が、光源光を受光する位置に設けられた分離信号エレメント299を有する。分離信号エレメント299は、システムの測定範囲に応じた測定波長域の光の大半を透過し、分離信号波長域の光の少なくとも一部を反射するように構成されている。例えば、分離信号エレメント299は高感度エッジフィルタのような薄膜コーティングを備える。分離状態の検出には、他の外部センサの追加やプローブ叉は三次元座標測定機への追加配線を必要としないで、既存のプローブ電装部160を用いて実行できる。分離状態の感知は、衝突の影響を最小限にするために、プローブ動作の緊急停止用に用いられる。
【選択図】 図1
Description
・目標表面を光軸OAに沿って位置決めし、結果として生成されるプロファイルデータ910を取り込む。
・ピークのピクセル座標ppc(すなわち、最大信号を有するピクセル)を決定する。
・ピーク位置のインデックス座標ppicを決定する。このインデックス座標ppicは、特定の校正データ(例えば、インデックス特性の閾値校正データ)を記憶し、及びその校正データを検索するためのインデックスである。いくつかの実施形態では、これはピークのピクセル座標ppcと同じにしてもよい。
・測定バイアスの信号レベルMVbiasを決定する。
・データ閾値MVthresholdを決定する。(例えば、ピーク高さの存在する割合として決定する。又は、現在のピーク位置のインデックス座標ppicに対応するインデックス特性の閾値校正データに基づいて決定する。)
・測定ピーク領域において、データ閾値MVthresholdよりも大きな値のデータである距離指示サブセットに基づいて、サブピクセル分解能での距離指示座標(DIC)を決定する。
・距離校正の測定の場合、(例えば、干渉計によって)所望の精度で、目標表面までの対応する距離を独立して決定する。そして、距離校正のテーブル内または曲線上での距離校正データの位置を決定する。
・ワーク距離の通常測定の場合、記憶された距離校正データ内での対応する距離に、測定DICを相関付けることによって、測定距離を決定する。
この実施形態において、トリガー電圧レベル1020bは、補正された信号1010bの分離トリガー閾値を示す。言い換えると、もし、分離感知ピクセル範囲DSPRにおいて補正された信号1010bが電圧レベル1020bよりも負になった場合に、分離状態が検出される。逆に、もし、分離感知ピクセル範囲DSPRにおいて補正された信号1010bが電圧レベル1020bよりも負にならない(このレベルよりも正側になった)場合に、補正された信号1010bは、例えば、信号1010のレベルでのゼロ付近信号又はヌル信号になり、取付状態を示すことになる。上述の通り、このような実施形態で、交換可能光学エレメントが適切に取り付けられていて、測定範囲内に測定表面がない場合には、波長検出器からの補正出力信号は信号1010のようになる。
112,212 光ファイバー
162,262 波長検出器
210 三次元座標測定機(CMM)
220 光学ペン
250 色分散光学系
251 転送レンズアッセンブリ
280 交換可能光学エレメント
282 ベース部材
285 交換マウント(マウント部)
295 共焦点アパーチャー
299 分離信号エレメント
DSPR 分離感知ピクセル範囲
DSS 分離感知信号
DWF 検出波長光の焦点位置
Claims (20)
- 三次元座標測定機にてワーク測定情報を提供するためのクロマティックレンジセンサシステムを構成する光学ペン用の交換可能光学エレメントであって、
前記光学ペンは、前記測定機の可動部分に固定されるベース部材を備え、
前記ベース部材は、光源光を出力する光ファイバーを含み、
前記光ファイバーは、共焦点アパーチャーを通過するように前記光源光を出射すると共に、ワークで反射されて再び前記共焦点アパーチャーを通過して戻ってくる反射測定信号光が入射されるものであり、
該交換可能光学エレメントは、
前記ベース部材に対して前記光学エレメントを一定の関係で保持するために前記ベース部材に装着されるマウント部と、
前記共焦点アパーチャーから出射された光源光が入射され、当該光源光に測定範囲に沿った軸上色収差を与えて焦点を結ばせると共に、前記測定範囲に位置するワーク表面で反射された前記反射測定信号光を前記共焦点アパーチャーに戻すように構成された色分散光学部と、
前記光源光を受光する位置に設けられる分離信号エレメント部と、を備え、
前記分離信号エレメント部は、
前記センサシステムの前記測定範囲に対応する測定波長域の光の大半を透過し、
分離信号波長域の光の少なくとも一部を反射して前記光ファイバーへ戻すように構成されることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項1記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記分離信号エレメント部は、前記分離信号波長域の光が前記測定波長域の光に含まれないように構成されていることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項1または2記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記測定波長域の光は、前記分離信号波長域の光の検出にも利用される波長検出器によって検出されることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項1から3のいずれかに記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記分離信号波長域の光は、分離信号波長域の光用の感知ピクセルのセットによって検出され、該感知ピクセルのセットは、前記測定波長域の光を感知するピクセルのセットに含まれていないことを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項1から4のいずれかに記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記分離信号エレメント部は、前記分離信号波長域の方が前記測定波長域よりも波長が短くなるように構成されていることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項1から5のいずれかに記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記分離信号エレメント部は、前記分離信号波長域の光の大半を反射するように構成されていることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項1から6のいずれかに記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記分離信号エレメント部は、ローパス反射フィルタ、ハイパス反射性エッジフィルタ、及び、バンドパス反射性フィルタのうちの少なくとも1つを備えることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項1から7のいずれかに記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記センサシステムの検出部において、前記測定波長域の光とは異なる光路を辿るように前記分離信号波長域の光を偏向させる偏向手段を備えていることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項8記載の交換可能光学エレメントにおいて、
分離信号専用のセンサを備え、前記偏向手段は、前記分離信号波長域の光を該分離信号専用のセンサに向けることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項8記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記センサシステムの波長検出器に、前記分離信号波長域の光を感知するための分離信号ピクセルのセットを設けて、
前記偏向手段は、前記分離信号波長域の光を前記分離信号ピクセルのセットに向けることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項1から10のいずれかに記載の交換可能光学エレメントにおいて、
該交換可能光学エレメントが前記ベース部材にマウントされている場合、前記分離信号波長域の光が、前記光ファイバーを通って戻されて、該交換可能光学エレメントの取付状態を示すことを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項1から11のいずれかに記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記共焦点アパーチャーに隣接する位置、
該交換可能光学エレメントの中で前記光源光の大半の焦点が合う位置の隣接位置、及び
該交換可能光学エレメントの中で前記光源光の大半が平行光になる位置の隣接位置、のうちの少なくとも1つに前記分離信号エレメント部が配置されることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項1から12のいずれかに記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記分離信号エレメント部は、薄膜反射性フィルタを有することを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項13記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記薄膜反射性フィルタは、該交換可能光学エレメントの中に含まれている1つの光学素子に付けられており、
前記光学素子は、いずれも1mm未満の厚さの、レンズ、ビームスプリッタ、封止窓、及び、透過性基板のうちの少なくとも1つを備えていることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 請求項13または14記載の交換可能光学エレメントにおいて、
前記薄膜反射性フィルタは、前記センサシステムの通常の前記測定範囲に対応した波長域外の波長域の光を、反射するように構成されていることを特徴とする交換可能光学エレメント。 - 三次元座標測定機にてワーク測定情報を提供するためのクロマティックレンジセンサシステム用の分離状態の検出方法であって、
前記センサシステム用の光学ペンを供給する工程と、
ここで、前記光学ペンは、色分散光学系および分離信号エレメント部からなる交換可能光学エレメントを含み、前記分離信号エレメント部は、前記センサシステムの前記測定範囲に対応した測定波長域の光の大半を透過するように設定され、かつ、分離信号波長域の光の少なくとも一部を反射するように設定され、
前記分離信号波長域の光の前記少なくとも一部が前記分離信号エレメント部によって反射されない状態が続いた場合に、前記交換可能光学エレメントが前記光学ペンから分離した状態になったことを示す分離状態を検出する工程と、
前記分離状態が検出された場合に分離表示信号を供給する工程と、
を備えることを特徴とする前記センサシステム用の分離状態の検出方法。 - 請求項16記載のクロマティックレンジセンサシステム用の分離状態の検出方法であって、前記交換可能光学エレメントが前記光学ペンに取り付けられている時に、前記センサシステムの出力信号が前記分離信号波長域でピークを示さないよう、前記分離信号エレメントからの反射光による信号成分を補正する工程を備えることを特徴とする前記センサシステム用の分離状態の検出方法。
- 請求項17記載のクロマティックレンジセンサシステム用の分離状態の検出方法であって、前記交換可能光学エレメントが取り外された時に、前記センサシステムからの補正された出力信号は、前記分離信号波長域で負のピークを示すことを特徴とする前記センサシステム用の分離状態の検出方法。
- 請求項16記載のクロマティックレンジセンサシステム用の分離状態の検出方法であって、前記交換可能光学エレメントが取り付けられている時に、前記センサシステムの出力信号において、前記分離信号エレメントからの反射光による信号成分が、前記分離信号波長域でピークを示すことを特徴とする前記センサシステム用の分離状態の検出方法。
- 請求項19記載のクロマティックレンジセンサシステム用の分離状態の検出方法であって、前記交換可能光学エレメントが取り外された時に、前記センサシステムの出力信号は、前記分離信号波長域でピークを示さないことを特徴とする前記センサシステム用の分離状態の検出方法。
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