JP7268766B2 - 光学計測装置 - Google Patents
光学計測装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7268766B2 JP7268766B2 JP2022010088A JP2022010088A JP7268766B2 JP 7268766 B2 JP7268766 B2 JP 7268766B2 JP 2022010088 A JP2022010088 A JP 2022010088A JP 2022010088 A JP2022010088 A JP 2022010088A JP 7268766 B2 JP7268766 B2 JP 7268766B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- amount
- received
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
上記の構成によれば、たとえば計測対象物が、2枚の透明体(ガラス等)の間にスペーサ等によって空間が設けられた構成を有し、選択された5つの波長のうちの4つが計測波長と一致した場合であっても、残りの1つの波長における受光量に基づいて異常波形を検出することができる。
上記の構成によれば、波長ごとに閾値を設定することによって、異常波形をより正確に検出することができる。
まず、本実施の形態に従う光学計測装置により解決される課題およびそれを実現するための構成について概要を説明する。
での距離とは、センサヘッド30から計測対象物2における計測対象位置までの距離であり、センサヘッド30から計測対象物2までの最短距離に限定されない。計測対象位置とは、光源10からの照射光が照射される計測対象物2上の位置である。計測対象位置は1つに限定されない。たとえばセンサヘッド30の光軸方向に沿って、異なる2つの計測対象位置が選択されてもよい。センサヘッド30から各計測対象位置までの距離を算出し、2つの距離の差を算出することによって、たとえば計測対象物2の厚みを算出することができる。
図3は、本実施の形態に従う光学計測装置1の装置構成の一例を示す模式図である。図3を参照して、本実施の形態に従う光学計測装置1は、光源10と、導光部20と、センサヘッド30と、受光部40と、処理部50とを含む。
れた波長別の反射光のスポット径を調整する縮小光学系43を設けてもよい。
原理的には、光軸AX上において、計測対象物2の表面の位置で焦点を結ぶ波長成分のみが反射されて受光部40に入射する。しかしながら、導光部20(すなわち光源10からセンサヘッドへの照射光の光路)の途中において、照射光の一部が反射して、その反射光が受光部40に入射することが起こり得る。
図7は、第1の実施の形態による、光学計測装置1の異常の判定を説明するための模式的な波形図である。図3および図7を参照して、波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5のそれぞれにおける受光量I1,I2,I3,I4,I5が受光部40によって測定される。処理部50は、各波長における受光量を、その波長に対応した基準値(正常時の受光量)と比較する。たとえば基準値は、工場出荷時に初期設定される。現場でセンサヘッドの挿抜等が行われた場合に、たとえばユーザが光学計測装置1の操作ボタン(図示せず)を操作することにより、基準値を再設定することができる。
る場合(ステップS2においてNO)、処理部50は、ステップS5において、受光波形に基づいて変位計測処理を実行する。変位計測処理の終了後に、処理はステップS1に戻される。
<E.第2の実施の形態>
第2の実施の形態では、光学計測装置1は、単一の波長における受光量の変化量に基づいて、異常波形を検出する。光学計測装置1の構成は実施の形態1に係る構成と同じであるので、以後の説明は繰り返さない。
上述したように、本実施の形態に係る光学計測装置1では、受光波形の異常を検出することができる。さらに、受光波形の異常をユーザに気づかせることができる。戻り光が増加したために計測の精度が悪化した場合には、受光波形の異常が検出される。ユーザは、光学計測装置1からの通知によって、低下した精度を高めるための適切な対策(たとえばコネクタのクリーニング、ファイバを延長したことによる戻り光の増加の場合は再度、戻り光成分の値を光学計測装置1の内部に記憶させること)を取ることができる。したがって、光学計測装置における変位測定の精度が低下した場合にも、高い計測精度を再び達成することができる。
Claims (3)
- 複数の波長成分を有する照射光を発生する光源と、
前記光源からの照射光に対して軸上色収差を生じさせるとともに、光軸の延長線上に少なくともその一部が配置される計測対象物からの反射光を受光するセンサヘッドと、
前記センサヘッドで受光される反射光を各波長成分に分離して、前記各波長成分の光を受光する受光部と、
前記受光部における前記各波長成分の受光量に基づいて、前記計測対象物までの距離を算出する処理部と、
前記光源、前記センサヘッドおよび前記受光部の間で光を導く導光部と、を備え、
前記処理部は、前記受光部に入射した光の前記受光量に基づいて、前記導光部の途中において前記光源からの前記照射光の一部が反射することによって起こり得る異常を検出する、光学計測装置。 - 前記異常の検出は、前記受光部に入射した光の前記受光量を基準値と比較した比較結果に基づくものである、請求項1に記載の光学計測装置。
- 複数の波長成分を有する照射光を発生する光源と、
前記光源からの照射光に対して軸上色収差を生じさせるとともに、光軸の延長線上に少なくともその一部が配置される計測対象物からの反射光を受光するセンサヘッドと、
前記センサヘッドで受光される反射光を各波長成分に分離して、前記各波長成分の光を受光する受光部と、
前記受光部における前記各波長成分の受光量に基づいて、前記計測対象物までの距離を算出する処理部と、
前記光源、前記センサヘッドおよび前記受光部の間で光を導き、かつ接続部を有する導光部と、を備え、
前記処理部は、前記受光部に入射した光の前記受光量に基づいて、前記接続部において前記光源からの前記照射光の一部が反射することによって起こり得る戻り光量の異常を検出する、光学計測装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022010088A JP7268766B2 (ja) | 2020-07-13 | 2022-01-26 | 光学計測装置 |
JP2023033698A JP7567955B2 (ja) | 2020-07-13 | 2023-03-06 | 光学計測装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020120071A JP7070614B2 (ja) | 2020-07-13 | 2020-07-13 | 光学計測装置 |
JP2022010088A JP7268766B2 (ja) | 2020-07-13 | 2022-01-26 | 光学計測装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020120071A Division JP7070614B2 (ja) | 2020-07-13 | 2020-07-13 | 光学計測装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023033698A Division JP7567955B2 (ja) | 2020-07-13 | 2023-03-06 | 光学計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022044740A JP2022044740A (ja) | 2022-03-17 |
JP7268766B2 true JP7268766B2 (ja) | 2023-05-08 |
Family
ID=87798741
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022010088A Active JP7268766B2 (ja) | 2020-07-13 | 2022-01-26 | 光学計測装置 |
JP2023033698A Active JP7567955B2 (ja) | 2020-07-13 | 2023-03-06 | 光学計測装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023033698A Active JP7567955B2 (ja) | 2020-07-13 | 2023-03-06 | 光学計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP7268766B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7235153B2 (ja) * | 2017-12-29 | 2023-03-08 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP7235154B2 (ja) * | 2018-02-15 | 2023-03-08 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP7231076B2 (ja) * | 2018-03-08 | 2023-03-01 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP2020130466A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP7234740B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2023-03-08 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP7234741B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2023-03-08 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP7234760B2 (ja) * | 2019-04-11 | 2023-03-08 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP7234761B2 (ja) * | 2019-04-11 | 2023-03-08 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP2023063369A (ja) * | 2022-01-07 | 2023-05-09 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP2023053387A (ja) * | 2022-02-04 | 2023-04-12 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP2023060269A (ja) * | 2022-04-01 | 2023-04-27 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP2023060270A (ja) * | 2022-04-01 | 2023-04-27 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013174593A (ja) | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Mitsutoyo Corp | 測定の信頼性評価機能を有するクロマティック・レンジ・センサ |
JP2015014604A (ja) | 2013-07-03 | 2015-01-22 | 株式会社ミツトヨ | クロマティックレンジセンサを構成する光学ペン用の交換可能光学エレメント、および、その分離状態の検出方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09243314A (ja) * | 1996-03-08 | 1997-09-19 | Sony Corp | 光ファイバーの断線箇所検出装置 |
US7990522B2 (en) | 2007-11-14 | 2011-08-02 | Mitutoyo Corporation | Dynamic compensation of chromatic point sensor intensity profile data selection |
JP5140396B2 (ja) | 2007-11-28 | 2013-02-06 | 富士フイルム株式会社 | 光コネクタおよびこれを用いる光断層画像化装置 |
US7876456B2 (en) | 2009-05-11 | 2011-01-25 | Mitutoyo Corporation | Intensity compensation for interchangeable chromatic point sensor components |
-
2022
- 2022-01-26 JP JP2022010088A patent/JP7268766B2/ja active Active
-
2023
- 2023-03-06 JP JP2023033698A patent/JP7567955B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013174593A (ja) | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Mitsutoyo Corp | 測定の信頼性評価機能を有するクロマティック・レンジ・センサ |
JP2015014604A (ja) | 2013-07-03 | 2015-01-22 | 株式会社ミツトヨ | クロマティックレンジセンサを構成する光学ペン用の交換可能光学エレメント、および、その分離状態の検出方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022044740A (ja) | 2022-03-17 |
JP2023065632A (ja) | 2023-05-12 |
JP7567955B2 (ja) | 2024-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7268766B2 (ja) | 光学計測装置 | |
US11674794B2 (en) | Optical measurement device | |
CN107063127B (zh) | 光学测量装置 | |
US9435956B1 (en) | Spectroscopic imaging probes, devices, and methods | |
JP2019002720A (ja) | 共焦点変位計 | |
KR20180099673A (ko) | 공초점 변위계 | |
KR102109948B1 (ko) | 변위 계측 장치 | |
TWI673474B (zh) | 光學測量裝置 | |
JP6766911B2 (ja) | 光学計測装置 | |
WO2012170275A1 (en) | Coupled multi-wavelength confocal systems for distance measurements | |
JP7070614B2 (ja) | 光学計測装置 | |
TWI755690B (zh) | 光學測量裝置、光學測量方法以及光學測量程式 | |
CN109579705B (zh) | 光学传感器以及光学传感器的异常检测方法 | |
KR102580807B1 (ko) | Wdm 채널 광파워 측정 장치 | |
JP5239885B2 (ja) | 光導波路の検査方法、光コネクタ、及び、光学装置 | |
US10859438B2 (en) | Ultraminiature endoscopy | |
JP2024535040A (ja) | 光学的厚さ測定装置 | |
JP2020020815A (ja) | 共焦点変位計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220225 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230306 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230404 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7268766 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |