JP2012204698A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を減圧雰囲気下で処理する複数の処理室が周囲に設けられており、該処理室との間で基板を搬入出する搬送機構を内部に有する複数の真空搬送室と、各真空搬送室に夫々設けられたロードロック室と、外部から供給された基板を一の前記ロードロック室へ搬送する第1大気搬送機構と、該第1大気搬送機構から基板を受け取り、受け取った該基板を他の前記ロードロック室へ搬送する第2大気搬送機構とを備え、前記第2大気搬送機構を前記一のロードロックが設けられている真空搬送室の上側又は下側に配し、前記複数の真空搬送室を、前記第2大気搬送機構による基板の搬送方向に沿って直列的に配する。
【選択図】図1
Description
また、特許文献1に係る基板処理装置においては、ロードロック室が設けられている前段の真空搬送室が故障した場合、後段のクラスタが正常に動作可能であるにも拘わらず、基板処理を継続できなくなるという問題があった。
また、特許文献2に係る基板処理装置においては、大気搬送機構は、ロードロック室を介して、各クラスタと直接的にウェハの受け渡しを行っているため、各ロードロック室で同時にウェハの受け渡しが求められた場合、個別にウェハの受け渡しを行うことができず、スループットが低下するおそれがあった。
従って、真空搬送室間での基板の受け渡しによって、基板処理のスループットが低下することは無い。
また、第1大気搬送機構は、他のロードロック室との基板の受け渡しを、第2大気搬送機構を介して行っているため、第2大気搬送機構がいわばバッファの役目を果たす。例えば、複数のロードロック室で基板の受け渡しが必要な状態になっても、第2大気搬送機構が第1大気搬送機構から事前に基板を受け取っていれば、第1大気搬送機構は一のロードロック室との間で基板の搬入出を行い、他方で、第2大気搬送機構は他のロードロック室との間で基板の搬入出を行うことができ、装置全体としてスループットの低下が抑えられる。
更に、各真空搬送室は直列的に連結していないため独立性が高く、一の真空搬送室の故障が他の真空搬送室の動作を阻害することは無い。
更にまた、第2大気搬送機構は、処理室の下側又は上側に配されているため、基板処理装置の占有スペースが削減される。
更にまた、複数の真空搬送室は前記第2大気搬送機構による基板の搬送方向に沿って直列的に配されているため、第1大気搬送機構の搬送方向に沿って真空搬送室を並設する場合に比べて、基板処理装置の占有スペースが削減される。
図1は、基板処理装置の一構成例を模式的に示した平断面図、図2は、基板処理装置の一構成例を模式的に示した側断面図、図3は、第2大気搬送機構40及び第2ロードロック装置5の動作を模式的に示した説明図である。本発明の実施の形態に係る基板処理装置は、第1大気搬送装置1と、第1ロードロック装置2と、第1クラスタ3と、第2大気搬送装置4と、第2ロードロック装置5と、第2クラスタ6とを備える。
なお、第1大気搬送室12の適宜箇所には、該第1大気搬送室12へ清浄気体を送風する第1送風部14が設けられている。
第1大気搬送室12から第1クラスタ3へウェハWを搬送する場合、第1ロードロック室21を大気雰囲気にしてゲートG1を開放し、第1搬送ロボット22は、ゲートG1を介して第1大気搬送室12からウェハWを第1ロードロック室21に搬入させ、ゲートG1を閉鎖する。そして、第1ロードロック室21を真空引きして減圧雰囲気とし、ゲートG2を開放する。第1搬送ロボット22は、ゲートG2を介してウェハWを第1クラスタ3の後述する第1真空搬送室31へ搬送する。第1クラスタ3からウェハWを第1大気搬送室12へ搬送する場合は、逆の手順で搬送が行われる。
なお、ここでは、第1搬送ロボット22を用いてウェハWを受け渡しする例を説明したが、第1搬送ロボット22に代えて、上下方向に昇降するステージを備えるように構成しても良い。第1大気搬送機構13及び第1真空搬送機構31aは、該ステージにウェハWを載置することにより、ウェハWを受け渡し、搬送することができる。
ウェハWを、第2ロードロック装置5から第1大気搬送装置1へ移動させる場合、逆の手順でウェハWを搬送させれば良い。
第2大気搬送室41から第2クラスタ6へウェハWを搬送する場合、図3Cに示すように、第2ロードロック室51を大気雰囲気にしてゲートG3を開放し、第2搬送ロボット52は、ゲートG3を介して第2大気搬送室41からウェハWを第2ロードロック室51に搬入させ、ゲートG3を閉鎖する。そして、第2ロードロック室51を真空引きして減圧雰囲気とする。次いで、第2搬送ロボット52は、図3Dに示すように、ウェハWを上昇させ、ゲートG4を開放する。第2搬送ロボット52は、図3Eに示すように、ゲートG4を介してウェハWを第2クラスタ6の後述する第2真空搬送室61へ搬送する。第2クラスタ6からウェハWを第2大気搬送室41へ搬送する場合は、逆の手順で搬送が行われる。
なお、ここでは、第2搬送ロボット52を用いてウェハWを受け渡しする例を説明したが、第2搬送ロボット52に代えて、上下方向に昇降するステージを備えるように構成しても良い。第2大気搬送機構40及び第2真空搬送機構61aは、該ステージにウェハWを載置することにより、ウェハWを受け渡し、搬送することができる。
第2大気搬送装置4はバッファ的機能を有している。例えば、ウェハWの搬送処理が空いている間に、ウェハWを第1大気搬送装置1から第2大気搬送装置4に引き渡し、ウェハWを第2ロードロック装置5前へ搬送させておくことができる。第1大気搬送装置1は、第1クラスタ3との間でウェハWの搬入出が必要になった場合、該搬入出の処理に専念することができ、第2クラスタ6側におけるウェハWの搬入出を第2大気搬送機構40に任せることができる。第2大気搬送装置4は、第2クラスタ6との間で未処理のウェハWと、処理済みのウェハWとを交換し、処理済みのウェハWを適当なタイミングで第1大気搬送装置1へ引き渡すことができる。
また、第1大気搬送室12及び第2大気搬送室41は、連通する略直方体形状の部材であるとして説明したが、少なくとも第1大気搬送機構13及び第2大気搬送機構40をそれぞれ収納する空間を形成することができる構成部材であれば十分であり、各搬送機構を取り囲む壁部材は必須の構成では無い。
変形例1に係る基板処理装置は、第2大気搬送装置104を第1真空搬送室31の上側に設けている点が実施の形態とは異なる。以下では主に上記相異点について説明する。
図4は、変形例1に係る基板処理装置の一構成例を模式的に示した側断面図である。変形例1に係る基板処理装置は、実施の形態と同様、第1大気搬送装置1と、第1ロードロック装置2と、第1クラスタ3と、第2大気搬送装置104と、第2ロードロック装置105と、第2クラスタ6とを備える。
変形例2に係る基板処理装置は、複数の大気搬送装置、即ち第2大気搬送装置4及び第3大気搬送装置204を備えている点が実施の形態とは異なる。以下では主に上記相異点について説明する。
図5は、変形例2に係る基板処理装置の一構成例を模式的に示した側断面図である。変形例2に係る基板処理装置は、第1大気搬送装置1と、第1ロードロック装置2と、第1クラスタ3と、第2大気搬送装置4と、第2ロードロック装置5と、第2クラスタ6に加えて、第3大気搬送装置204と、第3ロードロック装置205と、第3クラスタ207とを備える。
また、第2大気搬送機構40及び第3大気搬送機構240は平面視で重なり合うように配されているため、各大気搬送機構を水平方向に並置する場合に比べて、基板処理装置の占有スペースを削減することができる。
図6は、変形例3に係る基板処理装置の一構成例を模式的に示した側断面図である。変形例3に係る基板処理装置は、第1真空搬送室331及び第2ロードロック装置5の構成が実施の形態とは異なる。以下では主に上記相異点について説明する。変形例3に係る基板処理装置は、第1真空搬送室331と、第2ロードロック室51とが連通しており、第1真空搬送室331と、第2ロードロック室51との間にゲートバルブG7が設けられている。第1真空搬送機構31a及び第2搬送ロボット52は、第1真空搬送室331及び第2ロードロック室51とを連通させる開口を通じて、ウェハWを搬送することができるように構成されている。
2 第1ロードロック装置
3 第1クラスタ
4 第2大気搬送装置
5 第2ロードロック装置
6 第2クラスタ
11 ロードポート
12 第1大気搬送室
13 第1大気搬送機構
13a 案内レール
13b 大気ロボット
14 第1送風部
21 第1ロードロック室
22 第1搬送ロボット
31 第1真空搬送室
31a 第1真空搬送機構
41 第2大気搬送室
42 案内レール
43 ウェハ保持部材
44 第2送風部
51 第2ロードロック室
52 第2搬送ロボット
61 第2真空搬送室
61a 第2真空搬送機構
W ウェハ
Claims (5)
- 基板を減圧雰囲気下で処理する複数の処理室が周囲に設けられており、該処理室との間で基板を搬入出する搬送機構を内部に有する複数の真空搬送室と、
各真空搬送室に夫々設けられており、室内の雰囲気を大気雰囲気及び減圧雰囲気の間で切り替えることによって、該真空搬送室に対する基板の受け渡しを行うロードロック室と、
外部から供給された基板を一の前記ロードロック室へ搬送する第1大気搬送機構と、
該第1大気搬送機構から基板を受け取り、受け取った該基板を他の前記ロードロック室へ搬送する第2大気搬送機構と
を備え、
前記第2大気搬送機構は、
前記一のロードロックが設けられている真空搬送室の上側又は下側に配されており、
前記複数の真空搬送室は、
前記第2大気搬送機構による基板の搬送方向に沿って直列的に配されている
ことを特徴とする基板処理装置。 - 前記他のロードロック室は、
前記第2大気搬送機構との間で基板を搬入出するための第1開口部と、
前記真空搬送室との間で基板を搬入出するための第2開口部と
を有し、
更に、基板を昇降させる昇降機構を有し、前記第1開口部又は第2開口部を介して基板を搬入出する搬送ロボットを備える
ことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記複数の真空搬送室は、鉛直方向略同一の高さに設けられている
ことを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記第2大気搬送機構を収容した大気搬送室と、
該大気搬送室へ清浄気体を送風する送風部と
を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記第2大気搬送機構は、平面視で重なり合うように複数設けられている
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の基板処理装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015053413A (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-19 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Efem |
KR101932777B1 (ko) | 2012-12-11 | 2018-12-26 | 가부시키가이샤 스크린 세미컨덕터 솔루션즈 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
WO2019246122A1 (en) * | 2018-06-18 | 2019-12-26 | Lam Research Corporation | Reduced footprint wafer handling platform |
WO2021049368A1 (ja) * | 2019-09-13 | 2021-03-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理装置制御方法 |
JP2021086987A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板処理システム |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5006122B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2012-08-22 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5128918B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2013-01-23 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5160204B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2013-03-13 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5001828B2 (ja) | 2007-12-28 | 2012-08-15 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5179170B2 (ja) | 2007-12-28 | 2013-04-10 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
US9558974B2 (en) | 2012-09-27 | 2017-01-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor processing station and method for processing semiconductor wafer |
JP2014093489A (ja) * | 2012-11-06 | 2014-05-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
US9245783B2 (en) * | 2013-05-24 | 2016-01-26 | Novellus Systems, Inc. | Vacuum robot with linear translation carriage |
JP6456768B2 (ja) * | 2015-05-18 | 2019-01-23 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
US9502275B1 (en) * | 2015-10-20 | 2016-11-22 | Lam Research Corporation | Service tunnel for use on capital equipment in semiconductor manufacturing and research fabs |
JP6846943B2 (ja) * | 2017-02-10 | 2021-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置、および塗布方法 |
JP2018174186A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP7246147B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2023-03-27 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
WO2019219371A1 (en) * | 2018-05-15 | 2019-11-21 | Evatec Ag | Substrate vacuum treatment apparatus and method therefore |
JP7210960B2 (ja) * | 2018-09-21 | 2023-01-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置及び基板搬送方法 |
JP7133451B2 (ja) * | 2018-11-30 | 2022-09-08 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
WO2020126175A1 (en) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | Evatec Ag | Vacuum system and method to deposit a compound layer |
KR102227066B1 (ko) * | 2019-01-28 | 2021-03-15 | 코스텍시스템(주) | 웨이퍼 이송 장치 |
US11721564B2 (en) * | 2019-04-08 | 2023-08-08 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing system and substrate transfer apparatus and method |
JP7442349B2 (ja) * | 2020-03-09 | 2024-03-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送システムおよびロードロックモジュール |
JP2022083862A (ja) * | 2020-11-25 | 2022-06-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2022104056A (ja) * | 2020-12-28 | 2022-07-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置 |
KR102307687B1 (ko) * | 2021-06-25 | 2021-10-05 | (주) 티로보틱스 | 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004349503A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の処理システム及び処理方法 |
WO2008129617A1 (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-30 | Hirata Corporation | 基板処理システム |
JP2009260087A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4764076A (en) * | 1986-04-17 | 1988-08-16 | Varian Associates, Inc. | Valve incorporating wafer handling arm |
US6168667B1 (en) * | 1997-05-30 | 2001-01-02 | Tokyo Electron Limited | Resist-processing apparatus |
JP2000195925A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Anelva Corp | 基板処理装置 |
US7988398B2 (en) | 2002-07-22 | 2011-08-02 | Brooks Automation, Inc. | Linear substrate transport apparatus |
US20070264106A1 (en) | 2003-11-10 | 2007-11-15 | Van Der Meulen Peter | Robotic components for semiconductor manufacturing |
JP4860167B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2012-01-25 | 東京エレクトロン株式会社 | ロードロック装置,処理システム及び処理方法 |
JP4925650B2 (ja) | 2005-11-28 | 2012-05-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP5006122B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2012-08-22 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5318403B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2013-10-16 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5139253B2 (ja) * | 2008-12-18 | 2013-02-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置及び真空搬送装置 |
JP5358366B2 (ja) * | 2009-09-14 | 2013-12-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び方法 |
JP5562189B2 (ja) * | 2010-09-22 | 2014-07-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
WO2012098871A1 (ja) * | 2011-01-20 | 2012-07-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
US9177842B2 (en) * | 2011-08-10 | 2015-11-03 | Applied Materials, Inc. | Degassing apparatus adapted to process substrates in multiple tiers with second actuator |
WO2014088918A1 (en) * | 2012-12-03 | 2014-06-12 | Applied Materials, Inc | Semiconductor device processing tools and methods for patterning substrates |
JP6058999B2 (ja) * | 2012-12-11 | 2017-01-11 | 株式会社Screenセミコンダクターソリューションズ | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2011
- 2011-03-26 JP JP2011069016A patent/JP5883232B2/ja active Active
-
2012
- 2012-03-23 KR KR1020137024382A patent/KR101814856B1/ko active IP Right Grant
- 2012-03-23 WO PCT/JP2012/057578 patent/WO2012133218A1/ja active Application Filing
- 2012-03-23 US US14/004,953 patent/US9147591B2/en active Active
- 2012-03-26 TW TW101110399A patent/TWI552247B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004349503A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の処理システム及び処理方法 |
WO2008129617A1 (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-30 | Hirata Corporation | 基板処理システム |
JP2009260087A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101932777B1 (ko) | 2012-12-11 | 2018-12-26 | 가부시키가이샤 스크린 세미컨덕터 솔루션즈 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
JP2015053413A (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-19 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Efem |
WO2019246122A1 (en) * | 2018-06-18 | 2019-12-26 | Lam Research Corporation | Reduced footprint wafer handling platform |
TWI828710B (zh) * | 2018-06-18 | 2024-01-11 | 美商蘭姆研究公司 | 基板處理系統及基板處理方法 |
WO2021049368A1 (ja) * | 2019-09-13 | 2021-03-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理装置制御方法 |
JP2021086987A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板処理システム |
WO2021106799A1 (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板処理システム |
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Also Published As
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---|---|
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