JP2012181020A - 光学式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
変位を検出するための第1の初段増幅器と、変位を検出するために使用されない受光素子の出力を入力とする第2の初段増幅手段、との和信号出力により光源光量の変動を制御する。
【選択図】図1
Description
1トラック内に細周期パターンと粗周期パターンを備えたスケール(例えば図3に示されるスケール2)を用い、共通のセンサであるフォトダイオードアレイにて細周期パターン検出と粗周期パターン検出とを検出分解能を切り替えて行う。受光素子アレイであるフォトダイオードアレイ209の受光面配置の一例を図6、図7に示し、エンコーダの出力信号に関して説明する。図6及び図7中、フォトダイオードアレイ209にはフォトダイオードがX軸方向に50μmピッチで28個並んでいる。
S(A)=S(A+)−S(A−)
S(B)=S(B+)−S(B−)
(比較例におけるAPC)
ここで、上記分解能切り替え構成を備える比較例において、光源光量を制御するAPC(オートパワーコントロール)を一般的に考えると、図8に示すセンサの信号処理回路部を備えることとなる。即ち、4相正弦波出力形成のための4つの初段増幅器(24、25、26、27)をAPC制御信号用にも兼用させる構成となる。
本実施形態における光学式エンコーダの構成を図2に示す。このエンコーダは、測位方向が紙面垂直方向であって、可動部に取り付けられるスケール2、固定部に取り付けられるセンサユニット7を備える。センサユニット7は、LEDからなる光源1、受光素子アレイであるフォトダイオードアレイ9を有する受光素子3、信号処理回路部を内蔵したフォトICチップからなる半導体素子を備える。更に、及びそれらを実装したプリント基板4等が同一パッケージ内に実装された受発光一体型のセンサユニットである。
1つのトラック内に細周期パターンと粗周期パターンを備えるスケール2のスケールトラック8の一部の拡大図を図3に示す。スケールトラック8は、単位ブロックパターン10を測位方向である移動方向(X軸方向)と移動方向に垂直な方向(Y軸方向)にそれぞれ周期的に並べたパターンとなっている。スケールトラック8の単位ブロックパターン10は、X方向幅X0が700μm、Y方向幅Y0が50μmである。
続いて、図1および図4乃至図5を用いて、本実施形態における検出分解能の切り替えと、信号処理回路について説明する。図1は本実施形態におけるセンサの信号処理回路部について説明する図である。図4は細周期パターンを検出する高分解能検出モード時のフォトダイオードアレイ9の受光面配置、図5は粗細周期パターンを検出する低分解能検出モード時のフォトダイオードアレイ9の受光面配置である。
スイッチ回路への入力がハイレベルの場合は、高分解能検出モードとして図4に示すように、スケールパターン100μm(第1の周期である反射像周期200μm)の検出ピッチとなる。一方、スイッチ回路への入力がローレベルの場合は、低分解能検出モードとして図5に示すようにスケールパターン700μm(第2の周期である反射像周期1400μm)の検出ピッチとなる。
低分解能検出モード時の700μmの検出ピッチにおいては、各々4つの隣接するフォトダイオードが電気的に接続される。これにより、図5のA+、B+、A−、B−夫々がスケールパターン100μm周期の変調成分の反射像周期と一致する200μmの幅で加算されることになり、100μm周期の変調成分が出力に与える影響を低減することができる。
高分解能検出モード時の100μmの検出ピッチにおいては、信号に関わるフォトダイオードの全幅が1400μmとなり、スケールパターン700μm周期の変調成分の反射像周期と一致する。このため、700μm周期の変調成分によって出力振幅が変動する影響を低減することができる。即ち、図4において離散して配置されるA+、B+、A−、B−夫々がスケールパターン700μm周期の変調成分の反射像周期と一致する1400μmの範囲で加算されることになり、700μm周期の変調成分が出力に与える影響を低減することができる。
図1に示すように、4相正弦波出力S(A+)、S(B+)、S(A−)、S(B−)の位置検出信号生成に用いられる初段増幅器(第1の初段増幅器)として、4つのIV変換アンプ(34、35、36、37)が構成されている。4相正弦波の相対位相はそれぞれの検出ピッチに対し、S(A+)を基準とすると、S(B+)は約+90度、S(A−)は約+180度、S(B−)は約+270度の関係にある。これらの出力は、図2中の信号処理回路401において、以下の演算を行う。
S(A)=S(A+)−S(A−)
S(B)=S(B+)−S(B−)
上記の演算を行って、直流分が除去された2相正弦波状信号S(A)、S(B)を生成し、さらにこれらの逆正接演算を行うことで位相信号を得る。
ここで、各周波数成分の発生メカニズムと不要成分の除去について説明する。スケールパターンからの回折角度分布は、反射率分布のフーリエ変換によって得られる。本実施形態のスケールトラック8では反射率の測位方向(X方向)分布が、一定振幅の100μm周期の反射率変調と、一定振幅の700μm周期の反射率変調との和になっている。これにより、主要な回折成分は、0次光に加え、粗周期(700μm周期)による±1次回折光と、細周期(100μm周期)による±1次回折光の5成分となる。
な空間周波数成分2f、6f、8f、14fが発生する。即ち、空間周波数成分2fは、粗周期による±1次回折光同士の干渉によって発生し、空間周波数成分6fは、細周期による+1次(−1次)回折光と粗周期による+1次(−1次)回折光の干渉によって発生する。また空間周波数成分8fは、細周期による+1次(−1次)回折光と粗周期による−1次(+1次)回折光の干渉によって発生し、空間周波数成分14fは、細周期による±1次回折光同士の干渉によって発生する。
スケール2のスケールトラック8を照射する光源1の光量変動は、フォトダイオードアレイ9の各出力の和を基に常時一定となるようにAPC(オートパワーコントロール)制御回路により制御される。ここでAPC制御回路は、位置検出用のIV変換アンプ(34、35、36、37)を第1の初段増幅手段とし、その出力信号を用いる。即ち、IV変換アンプ(34、35、36、37)は位置検出用および光源光量制御用に兼用される増幅手段となり、APC制御回路では、位置検出に用いられるフォトダイオードアレイ9の各素子からの出力を全て初段増幅回路に入力して光源光量を制御する。
以上、スケールからの反射光をフォトダイオードアレイで検出するものとしたが、反射光の替わりにスケールからの透過光を検出するようにしても良い。また、本発明の技術思想の下で上述した各実施形態に記載した技術事項を適宜組み合わせて用いることも勿論可能である。
Claims (4)
- 光源と、
前記光源により照射され測位方向の細周期パターンおよび粗周期パターンを1つのトラック内に備えるスケールと、
前記細周期パターンと前記粗周期パターンに共通であって前記光源から出た前記スケールからの透過光または反射光を検出する受光素子アレイと、
前記受光素子アレイからの位置検出信号を生成するための第1の初段増幅手段を含む信号処理手段と、を有し、
前記細周期パターンを検出するために前記受光素子アレイを測位方向に第1の周期で構成する高分解能検出モードと、
前記粗周期パターンを検出するために前記受光素子アレイを測位方向に第2の周期で構成する低分解能検出モードと、
を備える光学式エンコーダにおいて、
前記光源の光量変動を制御するために前記第1の初段増幅手段からの出力信号を用いる制御手段を有し、
前記制御手段は、前記高分解能検出モードおよび前記低分解能検出モードの少なくとも一方において位置検出に未使用の受光素子がある場合に前記未使用の受光素子の出力を入力する第2の初段増幅手段を備え、
前記未使用の受光素子がある場合に前記第1の初段増幅手段と前記第2の初段増幅手段からの出力信号の和信号を基に前記光源の光量変動を制御することを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記第1の初段増幅手段は、前記受光素子アレイからの4相出力に対応して4個の初段増幅手段より構成されることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 前記高分解能検出モードまたは前記低分解能検出モードにおいて前記未使用の受光素子が存在し、前記未使用の受光素子の各出力が前記第2の初段増幅手段に入力することを特徴とする請求項1または2に記載の光学式エンコーダ。
- 前記高分解能検出モードおよび前記低分解能検出モードにおいて前記未使用の受光素子が存在し、前記未使用の受光素子の各出力が前記第2の初段増幅手段に入力することを特徴とする請求項1または2に記載の光学式エンコーダ。
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