JP2005017116A - 光学式エンコーダ用受光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基準分解能を有するスケールスリット対応の光学式エンコーダ用受光素子を2個隣接して配置したものを1セットとし、これを複数セット配置する。そして、各セット内において隣り合う2つの分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続し、各セット間における対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続する。こうして、隣り合う2つの分割フォトダイオードを恰も一つの分割フォトダイオードとして機能させて、適用されるスケールスリットの分解能を上記基準分解能の1/2にする。したがって、上記分割フォトダイオードの形状を変えることなく配線の変更のみによって、容易に且つ安価に、分解能が上記基準分解能の1/2であるスケールスリットに対応することができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、光学式エンコーダに使用される電気的に多分割化された光学式エンコーダ用受光素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
光学式エンコーダは、モータ等の回転速度,回転方向および回転位置等の制御用として、また、移動物体の移動速度,移動方向および移動位置等の制御用として、幅広い分野で使用されてきている(例えば、特許文献1および特許文献2参照)。
【0003】
上記回転制御においてはコードディスクと呼ばれる円盤を用いる一方、上記移動制御においてはスケールスリットと呼ばれる薄板を用いる。上記コードディスクには、その円周に沿って所定間隔に光学的に透明なスリットを配列しており、コードディスクの円周には光学的に透明なエリアと不透明なエリアとが交互に存在している。また、スケールスリットには、その一辺に沿って所定間隔に光学的に透明なスリットを配列しており、スケールスリットの上記一辺には光学的に透明なエリアと不透明なエリアとが交互に存在している。
【0004】
そして、上記回転制御においては、回転する上記コードディスクのスリット数を受光素子でカウントすることによって、回転量および回転速度を検出する。同様に、上記移動制御においては、移動する上記スケールスリットのスリット数を受光素子でカウントすることによって、移動量および移動速度を検出する。さらに、上記受光素子を構成する複数のフォトダイオードの位置によって位相差が90゜となる2種類の信号を形成し、この2種類の信号を用いて回転方向または移動方向をも検出することができる。
【0005】
上記コードディスクおよびスケールスリットは、透明樹脂やガラスの板上にインク等の不透明材料によって上記不透明なエリアを形成し、この不透明なエリアとその間の透明なスリットとで縞模様を形成している。その他に、金属板に穴を設けて上記透明なスリットを形成する場合もある。
【0006】
フォトダイオードの形状は、上記第1,第2特許文献に開示されている如く、図10および図11に示すように、一つの半導体チップ上に夫々が電気的に分離された状態で形成された4つの隣り合う分割フォトダイオードPd1〜Pd4を1セットとし、上記スケールスリットのスリットピッチを分割フォトダイオードの配列ピッチの4倍にしている。そして、上記分割フォトダイオードのセットを、図10に示すように1セット、場合によっては、位置による光源からの光量ばらつきを平均化するために図11に示すように複数セットが配置される。そして、図11においては、各セットにおける対応する分割フォトダイオードPdの出力を互いに接続している(上記第2特許文献のFIG 6B)。
【0007】
そして、図10(c)および図11(c)に示すように、上記スケールスリットが移動する際に各分割フォトダイオードPd1〜Pd4から出力される光電流のうち、180゜の位相差を有する光電流A+(Pd1)と光電流A−(Pd3)、および、光電流B+(Pd2)と光電流B−(Pd4)が、対となって比較器(図示せず)に入力されて各入力信号のレベルが比較される。その結果、図10(d)および図11(d)にチャネルAとチャネルBとで示すように、90゜の位相差を有する2つのデジタル矩形波が得られる。
【0008】
その場合、上記フォトダイオードの分解能の設計値は、上記分割フォトダイオードPd1〜Pd4の配列ピッチによって決定される。また、90゜の位相差を有する2つのデジタル矩形波を形成するため用いられスケールスリットのスリットピッチ(分解能)も、分割フォトダイオードPd1〜Pd4の配列ピッチに基づく理論値を中心とした狭い範囲に限定される。
【0009】
【特許文献1】
特開昭59‐40258号公報
【特許文献2】
特開昭61‐292016号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の光学式エンコーダにおいては、以下のような問題がある。すなわち、コードディスクおよびスケールスリットにおけるスリットピッチを分割フォトダイオードPd1〜Pd4の配列ピッチの4倍にしている。したがって、一つの半導体チップが電気的に4分割化されてなる分割フォトダイオードよって構成される上記従来の光学式エンコーダ用の受光素子を形成する場合には、上記分割フォトダイオードの配列ピッチの4倍の値が所望のコードディスクあるいはスケールスリットのスリットピッチ(分解能)に合致するような半導体チップを用意する必要がある。
【0011】
また、その場合、上記受光素子を構成する各分割フォトダイオードPd1〜Pd4は一列に配列されているため、理論的には、最終的に得られるコードディスクあるいはスケールスリットのスリットピッチ(分解能)は、分割フォトダイオード4ピッチ分になる。
【0012】
以上のことから、上記従来の光学式エンコーダにおいては、要求されるコードディスクまたはスケールスリットのスリットピッチ(分解能)が変更される度に、上記コードディスクまたはスケールスリットのスリットピッチ(分解能)に応じて受光素子を作成し直さなければならないという問題がある。
【0013】
そこで、この発明の目的は、コードディスクあるいはスケールスリットの多様なスリットピッチ(分解能)にも対応できる光学式エンコーダ用受光素子を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の光学式エンコーダ用受光素子は、半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードのうち、互いに隣接する2以上の分割フォトダイオードの出力端子を互いに電気的に接続している。
【0015】
上記構成によれば、上記半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードで構成された光学式エンコーダ用受光素子を基準受光素子とし、この基準受光素子に適用されるコードディスクまたはスケールスリットの分解能を基準分解能とした場合に、出力端子が互いに電気的に接続されたm(m:2以上の整数)個の分割フォトダイオードは、上記基準受光素子における一つの分割フォトダイオードとして機能することになる。その結果、適用されるコードディスクまたはスケールスリットの分解能が、上記基準分解能の1/mになる。
【0016】
また、この発明の光学式エンコーダ用受光素子は、半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードで構成された分割フォトダイオード列のp個を、上記分割フォトダイオード列における分割フォトダイオードの配列ピッチの1/2だけずらして並設している。
【0017】
上記構成によれば、上記半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードで構成された光学式エンコーダ用受光素子を基準受光素子とし、この基準受光素子に適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの分解能を基準分解能とした場合に、1/2幅の分割フォトダイオードが上記基準受光素子における一つの分割フォトダイオードとして機能することになる。その結果、適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの分解能が、上記基準分解能の2倍になる。
【0018】
また、1実施例の光学式エンコーダ用受光素子では、上記並設されたp個の分割フォトダイオード列を構成する分割フォトダイオードであり、且つ、上記分割フォトダイオード列における分割フォトダイオードの配列方向に最も近接している2以上の分割フォトダイオードの出力端子を互いに電気的に接続している。
【0019】
この実施例によれば、出力端子が互いに電気的に接続されたm個の分割フォトダイオードは、上記基準受光素子における一つの分割フォトダイオードとして機能することになる。その結果、適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの分解能が、上記基準分解能の2/mになる。
【0020】
また、1実施例の光学式エンコーダ用受光素子では、上記出力端子が互いに電気的に接続されている分割フォトダイオードの数が3以上である場合に、上記出力端子が互いに電気的に接続されている分割フォトダイオードのうち上記分割フォトダイオードの配列方向両端に位置している2つの分割フォトダイオードに関する上記電気的な接続を省略している。
【0021】
この実施例によれば、上記出力端子が互いに電気的に接続されて一相分の出力信号を生成する分割フォトダイオードの間に幅の広い一定の隙間が設けられる。したがって、各相を構成している分割フォトダイオードからの信号電流に対してノイズとなる漏れ電流の影響が軽減され、S/N比が向上される。
【0022】
また、1実施例の光学式エンコーダ用受光素子では、上記分割フォトダイオードの出力端子に対する電気的接続は、レーザトリミングによってメタル配線を調整することによって行われている。
【0023】
この実施例によれば、適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの分解能に応じて、受光素子側におけるフォトダイオードの分解能がレーザトリミングによる簡単な処理で設定される。
【0024】
また、1実施例の光学式エンコーダ用受光素子では、上記分割フォトダイオードの出力端子に対する電気的接続は制御端子を有するスイッチング手段を介して行うようになっており、上記スイッチング手段の制御端子に対する外部からの制御信号によって、上記出力端子が互いに電気的に接続される分割フォトダイオードの数を切り換え変更可能になっている。
【0025】
この実施例によれば、適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの分解能が種々変更されても、外部からの制御信号によって、受光素子側におけるフォトダイオードの分解能の設定が上記コードディスクあるいはスケールスリットの分解能に応じて変更される。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【0027】
・第1実施の形態
本実施の形態は、図10のごとく、4つの隣り合う分割フォトダイオードPd1〜Pd4で構成された分割フォトダイオードのセットを複数セット配置して成る光学式エンコーダ用受光素子であって、上記分割フォトダイオードのセットの数と各分割フォトダイオード間の接続とを変更することによって、スケールスリットの複数の分解能に対応可能にした光学式エンコーダ用受光素子に関する。
【0028】
その場合における各分割フォトダイオード間の接続変更は、接続配線の形成工程において使用されるマスクを複数種類用意し、このマスクを取り返ることによって行う。
【0029】
(第1実施例)
図1は、分解能が図10におけるスケールスリットの分解能の1/2であるスケールスリットに対応できる光学式エンコーダ用受光素子に関する分割フォトダイオード配置と配線(図1(a)),スリットピッチ(図1(b)),分割フォトダイオード出力(図1(c))およびディジタル化出力(図1(d))を示す。
【0030】
この光学式エンコーダ用受光素子では、図10における分割フォトダイオードPd1〜Pd4の組を2組Pd1〜Pd4,Pd1’〜Pd4’で1セットとし、図10における分割フォトダイオードPd1〜Pd4として機能させる。そして更に、光源からの光量のばらつきを平均化するために、図11の場合と同様に、上記1セットの分割フォトダイオードPd1〜Pd4,Pd1’〜Pd4’を複数セット配置している。
【0031】
そして、各分割フォトダイオード間の接続は、1セットの分割フォトダイオードPd1〜Pd4,Pd1’〜Pd4’のうち、隣り合う2つの分割フォトダイオードPd1,Pd2;Pd3,Pd4;Pd1’,Pd2’;Pd3’,Pd4’の出力ラインを互いに接続することによって行う。さらに、図11の場合と同様に、各セットにおける対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続するのである。
【0032】
こうすることによって、上記出力ラインが互いに接続された隣接する2つの分割フォトダイオードPd1,Pd2;…を図10における一つの分割フォトダイオードPd1,…として機能させることができ、図1(a)および図1(b)に示すように、スケールスリットのスリットピッチを分割フォトダイオードPdの配列ピッチ(PDピッチ)の8倍にすることができる。つまり、上記スケールスリットの分解能を、図10に示すスケールスリットの分解能(以下、基準分解能と言う)の1/2にすることができるのである。
【0033】
このように、本実施例においては、図10における光学式エンコーダ用受光素子と同じ半導体チップ上に電気的に4分割して形成された分割フォトダイオードPd1〜Pd4を2個隣接して配置したものを1セットとし、これを複数セット配置する。そして、各セット内において隣り合う2つの分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続し、さらに、各セット間における対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続している。したがって、スケールスリットの分解能を上記基準分解能の1/2にすることができる。
【0034】
すなわち、本実施例によれば、上記図10における分割フォトダイオードの形状を変えることなく、配線の変更のみによってスケールスリットの分解能を上記基準分解能の1/2にすることができ、容易に且つ安価にスケールスリットの多様な分解能に対応することができるのである。
【0035】
この場合、図10における分割フォトダイオードPd1〜Pd4の組を3組隣接して配置したものを1セットとし、これを複数セット配置する。そして、各セット内において隣り合う3つの分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続し、各セット間における対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続することによって、スケールスリットの分解能を上記基準分解能の1/3にすることができる。
【0036】
(第2実施例)
図2は、分解能が上記基準分解能の1/4であるスケールスリットに対応できる光学式エンコーダ用受光素子に関する分割フォトダイオード配置と配線(図2(a)),スリットピッチ(図2(b)),分割フォトダイオード出力(図2(c))およびディジタル化出力(図2(d))を示す。
【0037】
本実施例においては、図10における光学式エンコーダ用受光素子と同じ大きさの半導体チップ上に電気的に4分割して形成された分割フォトダイオードPd1〜Pd4の組を4組隣接して配置したものを1セットとし、これを複数セット配置する。そして、各セット内において隣り合う4つの分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続し、さらに、各セット間における対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続している。したがって、隣り合う4つの分割フォトダイオードを図10における一つの分割フォトダイオードとして機能させて、スケールスリットの分解能を上記基準分解能の1/4にすることができる。
【0038】
同様に、図3に示すように、図10における分割フォトダイオードPd1〜Pd4の組を8組隣接して配置したものを1セットとし、これを複数セット配置する。そして、各セット内において隣り合う8つの分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続し、さらに、各セット間における対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続している。こうすることによって、スケールスリットの分解能を上記基準分解能の1/8にすることができる。
【0039】
以上のごとく、本実施の形態においては、図10における光学式エンコーダ用受光素子をn(n:正の整数)個隣接して配置したものを1セットとして、複数セット配置している。したがって、各セット内において隣り合うn個の分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続し、各セット間において対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続することによって、スケールスリットのスリットピッチを分割フォトダイオードの配列ピッチの4n倍にすることができる。
【0040】
すなわち、本実施の形態によれば、図10における光学式エンコーダ用受光素子をそのまま用いて、分解能が上記基準分解能の1/nであるスケールスリットに対応にすることができるのである。
【0041】
・第2実施の形態
本実施の形態は、図10のごとく、4つの隣り合う分割フォトダイオードPd1〜Pd4で構成された分割フォトダイオードのセットを複数セット配列して成る分割フォトダイオード列を2つ並設し、互いの位相を分割フォトダイオードPdの配列ピッチの1/2分だけずらして成る光学式エンコーダ用受光素子であって、上記分割フォトダイオードのセットの数と各分割フォトダイオード間の接続とを変更することによって、スケールスリットの複数の分解能に対応可能にした光学式エンコーダ用受光素子に関する。
【0042】
その場合における各分割フォトダイオード間の接続変更は、接続配線の形成工程において使用されるマスクを複数種類用意し、このマスクを取り返ることによって行う。
【0043】
(第3実施例)
図4は、分解能が上記基準分解能の2倍であるスケールスリットに対応できる光学式エンコーダ用受光素子に関する分割フォトダイオード配置および配線(図4(a)),スリットピッチ(図4(b)),分割フォトダイオード出力(図4(c))およびディジタル化出力(図4(d))を示す。
【0044】
この光学式エンコーダ用受光素子は、図10における上記分割フォトダイオードPd1〜Pd4で構成された分割フォトダイオードのセットを、光源からの光量のばらつきを平均化するために複数セット直列に配置して、第1分割フォトダイオード列を形成する。同様に、図10における分割フォトダイオードPd1〜Pd4で構成された分割フォトダイオードのセットを複数セット直列に配置して、第2分割フォトダイオード列を形成する。そして、上記第1分割フォトダイオード列と第2分割フォトダイオード列とを、互いの位相を分割フォトダイオードの配列ピッチの1/2分だけずらして並設する。
【0045】
そして、各分割フォトダイオード間の接続は、上記第1分割フォトダイオード列における1つおきの分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続し、残りの分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続する。同様に、上記第2分割フォトダイオード列における1つおきの分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続し、残りの分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続する。そして、スケールスリットのスリット長さLは、並設されている上記第1,第2分割フォトダイオード列の合計幅Wに略等しく、若しくは、入射光を阻害することがない様に十分長くする。
【0046】
こうすることによって、上記第1分割フォトダイオード列における隣接する2つの分割フォトダイオードPd1,Pd2と、これに位相が配列ピッチの1/2分だけずれて対向している上記第2分割フォトダイオード列における隣接する2つの分割フォトダイオードPd1’,Pd2’とを、1セットとして、図10における分割フォトダイオードPd1,Pd2,Pd3,Pd4として機能させることができる。したがって、図4(a)及び図4(b)に示すように、スケールスリットのスリットピッチを分割フォトダイオードPdの配列ピッチ(PDピッチ)の2倍にすることができる。つまり、スケールスリットの分解能を、上記基準分解能の2倍にすることができるのである。
【0047】
このように、本実施例においては、図10における光学式エンコーダ用受光素子を2個の分割フォトダイオードずつに2分割した夫々を、位相を配列ピッチの1/2分だけずらして互いに対向させて1セットとし、これを複数セット配置する。そして、各セット間における対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続している。さらに、スケールスリットのスリット長さLは、互いに対向している2本の分割フォトダイオードの合計長Wに略等しくしている。したがって、スケールスリットの分解能を上記基準分解能の2倍にすることができる。
【0048】
すなわち、本実施例によれば、上記図10における分割フォトダイオードの形状を変えることなく、上記分割フォトダイオードの配列と配線の変更とによってスケールスリットの分解能を上記基準分解能の2倍にすることができ、容易に且つ安価にコードディスクまたはスケールスリットの多様な分解能に対応することができるのである。
【0049】
(第4実施例)
本実施例は、第3実施例における各分割フォトダイオード間の接続を変更することによって、スケールスリットの多様な分解能に対応できる光学式エンコーダ用受光素子に関する。
【0050】
図5に示す光学式エンコーダ用受光素子においては、第3実施例における上記第1分割フォトダイオード列と第2分割フォトダイオード列とにおいて、互いの位置を配列ピッチの1/2分だけずらして対向している2つの分割フォトダイオードPd1,P1’の出力ラインを互いに接続している。つまり、上記第1分割フォトダイオード列における隣接する4つの分割フォトダイオードPd1〜Pd4と、これに位相を配列ピッチの1/2分だけずれて対向している上記第2分割フォトダイオード列における隣接する4つの分割フォトダイオードPd1’〜Pd4’とを、1セットとして、図10における上記分割フォトダイオードPd1,Pd2,Pd3,Pd4として機能させるのである。そして、各セット間における対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続する。
【0051】
この場合、図5(a)および図5(b)に示すように、スケールスリットのスリットピッチを分割フォトダイオードPdの配列ピッチの4倍にすることができ、スケールスリットの分解能を上記基準分解能にすることができるのである。
【0052】
図6に示す光学式エンコーダ用受光素子の場合には、上記第1分割フォトダイオード列または第2分割フォトダイオード列の何れか一方における互いに隣接する2つの分割フォトダイオードPd1,Pd2と、この2つの分割フォトダイオードPd1,Pd2に対して配列ピッチの1/2分だけ位置をずらして対向している1つの分割フォトダイオードPd1’との出力ラインを互いに接続している。その際に、j上記互いに隣接する2つの分割フォトダイオードを選択する分割フォトダイオード列を第1分割フォトダイオード列と第2分割フォトダイオード列とで交互に変更して、出力ラインを互いに接続すべき分割フォトダイオードを設定する。つまり、上記第1分割フォトダイオード列における隣接する6つの分割フォトダイオードと、これに位相を配列ピッチの1/2分だけずらして対向している上記第2分割フォトダイオード列における隣接する6つの分割フォトダイオードとを、1セットとして、図10における分割フォトダイオードPd1,Pd2,Pd3,Pd4として機能させるのである。そして、各セット間における対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続している。
【0053】
この場合、図6(a)および図6(b)に示すように、スケールスリットのスリットピッチを分割フォトダイオードPdの配列ピッチの6倍にすることができ、スケールスリットの分解能を上記基準分解能の2/3にすることができるのである。
【0054】
図7に示す光学式エンコーダ用受光素子の場合は、上記第1分割フォトダイオード列または第2分割フォトダイオード列の何れか一方における隣接する2つの分割フォトダイオードPd1,Pd2と、この2つの分割フォトダイオードPd1,Pd2に対して配列ピッチの1/2分だけ位置をずらして対向している隣接する2つの分割フォトダイオードPd1’,Pd2’と、の出力ラインを互いに接続している。つまり、上記第1分割フォトダイオード列における隣接する8つの分割フォトダイオードと、これに位相を配列ピッチの1/2分だけずらして対向している上記第2分割フォトダイオード列における隣接する8つの分割フォトダイオードとを、1セットとして、図10における分割フォトダイオードPd1,Pd2,Pd3,Pd4として機能させるのである。そして、各セット間における対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続している。
【0055】
この場合、図7(a)および図7(b)に示すように、スケールスリットのスリットピッチを分割フォトダイオードPdの配列ピッチの8倍にすることができ、スケールスリットの分解能を上記基準分解能の1/2にすることができる。
【0056】
以上のごとく、本実施の形態においては、図10における光学式エンコーダ用受光素子をn/2個隣接させて配置してなる分割フォトダイオード列の2列を、位相を配列ピッチの1/2分だけずらして互いに対向させたものを1セットとして、複数セット配置している。そして、スケールスリットのスリット長さを互いに対向している2本の分割フォトダイオードの合計長に対して略等しく、あるいは、十分に長くしている。したがって、各セット内において互いに略対向するn個の分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続し、各セット間において対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続することによって、スケールスリットのスリットピッチを分割フォトダイオードの配列ピッチの2n倍にすることができる。
【0057】
すなわち、本実施の形態によれば、図10における光学式エンコーダ用受光素子をそのまま用いて、分解能が上記基準分解能の2/nであるスケールスリットに対応にすることができ、上記第1実施の形態よりも多様(2倍)な分解能のスケールスリットに対応にすることができるのである。
【0058】
・第3実施の形態
本実施の形態は、上記第1実施の形態における第2実施例のごとく、一相分の出力信号を生成する(つまり、出力ラインが互いに接続されている)隣接する分割フォトダイオードの数が「3」以上である場合に、各相を構成して隣接する分割フォトダイオードのうちで両端に位置する分割フォトダイオードを配線しないことによって、各相を構成するフォトダイオード間に幅の広い一定の隙間を設けた光学式エンコーダ用受光素子に関する。
【0059】
その場合における各分割フォトダイオード間の接続変更は、接続配線の形成工程において使用されるマスクを複数種類用意し、このマスクを取り返ることによって行う。
【0060】
(第5実施例)
図8は、上記第1実施の形態における一相分の出力信号を形成する分割フォトダイオード数が「4」である上記第2実施例の光学式エンコーダ用受光素子において、各相を構成する分割フォトダイオードの両端に位置する分割フォトダイオードPd1,Pd4を配線せず、内部に位置する分割フォトダイオードPd2,Pd3の出力ラインのみを互いに接続している。さらに、各セット間において対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続している。
【0061】
こうすることによって、各相を構成する分割フォトダイオード間に幅の広い一定の隙間を設けることができ、各相を構成している分割フォトダイオードからの信号電流に対してノイズとなる漏れ電流の影響を軽減することができ、S/N比の向上を図ることができる。
【0062】
図9は、上記第2実施の形態における一相分の出力信号を形成する分割フォトダイオード数が「3」である上記第4実施例の光学式エンコーダ用受光素子において、各相を構成する3個の分割フォトダイオードのうち一方の分割フォトダイオード列側にあって隣接している2個の分割フォトダイオード(つまり、相を構成する3個の分割フォトダイオードのうち外側に位置する分割フォトダイオード)Pd1,Pd2を配線せず、他方の分割フォトダイオード列側にある1個の分割フォトダイオード(つまり、内部に位置する分割フォトダイオード)Pd1’のみを配線している。さらに、各セット間において対応する分割フォトダイオードの出力ラインを互いに接続している。
【0063】
こうして、各相を構成する分割フォトダイオード間に幅の広い所定の隙間を設け、各相間のクロストークの影響を軽減してS/N比の向上を図るのである。
【0064】
尚、本実施の形態においては、上記配線を行わない総ての分割フォトダイオードの出力端子を接地することによって、上記ノイズ成分の影響を確実に軽減することができる。
【0065】
また、上記第2実施の形態においては、互いの位相を分割フォトダイオードの配列ピッチの1/2分だけずらして並設する分割フォトダイオード列の数を「2」としている。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、3列以上の分割フォトダイオード列を並設することも可能である。
【0066】
また、上記第1実施の形態における各実施例と第2実施の形態における各実施例とを組み合わせれば、更に多様な分解能のスケールスリットに対応することが可能になる。
【0067】
また、上記各実施の形態においては、図10における分割フォトダイオードPd1,Pd2,Pd3,Pd4として機能する分割フォトダイオードのセットを複数セット配置して、光源からの光量のばらつきを平均化するようにしている。しかしながら、上記分割フォトダイオードのセットは1セットであっても本願が目的とする効果を奏することは可能である。
【0068】
また、上記各実施の形態においては、長方形のスリットを有するスケールスリットと、上記スリットに合致する長方形の分割フォトダイオードを有する光学式エンコーダ用受光素子と、を用いた場合を例に説明している。しかしながら、この発明は、扇形のスリットを有するコードディスクと、上記扇形のスリットに合致した形状の分割フォトダイオードを有する光学式エンコーダ用受光素子と、を用いる場合にも適用できることは言うまでも無い。
【0069】
また、上記各実施の形態においては、接続配線の形成工程において使用されるマスクを取り返ることによって、各分割フォトダイオード間の接続変更を行うようにしている。しかしながら、各分割フォトダイオード間の接続変更は、レーザトリミングによってメタル配線を調整することによって行うことも可能である。更には、トランジスタ等の制御端子を有するスイッチング手段によって、出力ラインが互いに接続される上記分割フォトダイオードを切り換え可能にしておき、使用するコードディスクまたはスケールスリットの分解能に応じて、外部からの制御信号によって、互いに接続する分割フォトダイオードの数を変更してフォトダイオードの配列ピッチ(分解能)を変更することも可能である。
【0070】
【発明の効果】
以上より明らかなように、この発明の光学式エンコーダ用受光素子は、半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードのうち、互いに隣接している2以上のm個の分割フォトダイオードの出力端子を互いに電気的に接続しているので、上記半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードで構成された光学式エンコーダ用受光素子を基準受光素子とし、この基準受光素子に適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの分解能を基準分解能とした場合に、分解能が上記基準分解能の1/mであるコードディスクあるいはスケールスリットに対応することができる。
【0071】
すなわち、この発明によれば、上記基準受光素子をそのまま用いて、コードディスクあるいはスケールスリットの多様な分解能に対応できる光学式エンコーダ用受光素子を提供することができる。したがって、適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの分解能毎に上記分割フォトダイオードの形状を変更する必要がなく、適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの多様な分解能に容易に且つ安価に対応することができる。
【0072】
また、この発明の光学式エンコーダ用受光素子は、半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードで構成されたp個の分割フォトダイオード列を、互いの位相を上記分割フォトダイオード列における分割フォトダイオードの配列ピッチの1/2だけずらして並設したので、上記半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードで構成された光学式エンコーダ用受光素子を基準受光素子とし、この基準受光素子に適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの分解能を基準分解能とした場合に、分解能が上記基準分解能の2倍であるコードディスクあるいはスケールスリットに対応することができる。
【0073】
さらに、上記並設されたp個の分割フォトダイオード列における分割フォトダイオードの配列方向に最も近接している2以上のm個の分割フォトダイオードの出力端子を互いに電気的に接続すれば、分解能が上記基準分解能の2/mであるコードディスクあるいはスケールスリットに対応することもできる。
【0074】
すなわち、この発明によれば、上記基準受光素子をそのまま用いて、コードディスクあるいはスケールスリットの更に多様な分解能に対応できる光学式エンコーダ用受光素子を提供することができる。したがって、適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの分解能毎に上記分割フォトダイオードの形状を変更する必要がなく、適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの多様な分解能に容易に且つ安価に対応することができる。
【0075】
さらに、上記出力端子が電気的に接続される分割フォトダイオードの数を、スイッチング手段の制御端子に対する外部からの制御信号によって切り換え可能にすれば、適用されるコードディスクあるいはスケールスリットの分解能が種々変更しても対応可能な光学式エンコーダ用受光素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の光学式エンコーダ用受光素子(1/2分解能)における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【図2】1/4分解能の光学式エンコーダ用受光素子における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【図3】1/8分解能の光学式エンコーダ用受光素子における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【図4】2倍分解能の光学式エンコーダ用受光素子における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【図5】1倍分解能の光学式エンコーダ用受光素子における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【図6】2/3倍分解能の光学式エンコーダ用受光素子における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【図7】図1とは異なる1/2分解能の光学式エンコーダ用受光素子における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【図8】図2とは異なる1/4分解能の光学式エンコーダ用受光素子における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【図9】図6とは異なる2/3倍分解能の光学式エンコーダ用受光素子における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【図10】従来の光学式エンコーダ用受光素子における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【図11】図10とは異なる従来の光学式エンコーダ用受光素子における分割フォトダイオード配置と配線,スリットピッチ,分割フォトダイオード出力およびディジタル化出力を示す図である。
【符号の説明】
Pd1〜Pd4,Pd1’〜Pd4’…分割フォトダイオード。
Claims (6)
- 半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードで構成され、光学式エンコーダに使用される光学式エンコーダ用受光素子において、
互いに隣接する2以上の分割フォトダイオードの出力端子を互いに電気的に接続したことを特徴とする光学式エンコーダ用受光素子。 - 半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードで構成され、光学式エンコーダに使用される光学式エンコーダ用受光素子において、
上記半導体チップ上に電気的に分割して形成された複数の分割フォトダイオードで構成された分割フォトダイオード列のp(p:2以上の整数)個を、互いの位相を上記分割フォトダイオード列における分割フォトダイオードの配列ピッチの1/2だけずらして並設したことを特徴とする光学式エンコーダ用受光素子。 - 請求項2に記載の光学式エンコーダ用受光素子において、
上記並設されたp個の分割フォトダイオード列を構成する分割フォトダイオードであり、且つ、上記分割フォトダイオード列における分割フォトダイオードの配列方向に最も近接している2以上の分割フォトダイオードの出力端子を互いに電気的に接続したことを特徴とする光学式エンコーダ用受光素子。 - 請求項1あるいは請求項2に記載の光学式エンコーダ用受光素子において、
上記出力端子が互いに電気的に接続されている分割フォトダイオードの数が3以上である場合に、上記出力端子が互いに電気的に接続されている分割フォトダイオードのうち上記分割フォトダイオードの配列方向両端に位置している2つの分割フォトダイオードに関する上記電気的な接続を省略したことを特徴とする光学式エンコーダ用受光素子。 - 請求項1あるいは請求項2に記載の光学式エンコーダ用受光素子において、
上記分割フォトダイオードの出力端子に対する電気的接続は、レーザトリミングによってメタル配線を調整することによって行われていることを特徴とする光学式エンコーダ用受光素子。 - 請求項1あるいは請求項2に記載の光学式エンコーダ用受光素子において、
上記分割フォトダイオードの出力端子に対する電気的接続は、制御端子を有するスイッチング手段を介して行うようになっており、
上記スイッチング手段の制御端子に対する外部からの制御信号によって、上記出力端子が互いに電気的に接続される分割フォトダイオードの数を切り換え変更可能になっていることを特徴とする光学式エンコーダ用受光素子。
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