JPS6388708U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6388708U JPS6388708U JP1986183395U JP18339586U JPS6388708U JP S6388708 U JPS6388708 U JP S6388708U JP 1986183395 U JP1986183395 U JP 1986183395U JP 18339586 U JP18339586 U JP 18339586U JP S6388708 U JPS6388708 U JP S6388708U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light receiving
- group
- light
- slit
- receiving element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の要部の概要を示す部
分切欠正面図、第２図Ａ〜Ｃは第１図に示した実
施例の動作の概要を示す説明図、第３図Ａ〜Ｃ及
び第４図Ａ，Ｂはそれぞれ本考案の他の実施例の
要部概要を示す説明図、第５図は固定スリツト板
を省略した従来の光電形エンコーダの要部の概要
を示す部分切欠正面図、第６図は隣接受光素子へ
の拡散電流の混入状態を示す説明用断面図、第７
図Ａ，Ｂは第５図に示した光電形エンコーダの動
作の概要を示す説明図、第８図は受光部よりの信
号を波形処理する信号処理回路のブロツク図であ
る。 １…半導体受光部、２…移動スリツト板、３…
半導体基板、４ａ〜４ｄ…受光素子、５…第１受
光素子群、６…第２受光素子群、８…光透過部、
９…光遮断部、１０…第１スリツト群、１１…第
２スリツト群。
分切欠正面図、第２図Ａ〜Ｃは第１図に示した実
施例の動作の概要を示す説明図、第３図Ａ〜Ｃ及
び第４図Ａ，Ｂはそれぞれ本考案の他の実施例の
要部概要を示す説明図、第５図は固定スリツト板
を省略した従来の光電形エンコーダの要部の概要
を示す部分切欠正面図、第６図は隣接受光素子へ
の拡散電流の混入状態を示す説明用断面図、第７
図Ａ，Ｂは第５図に示した光電形エンコーダの動
作の概要を示す説明図、第８図は受光部よりの信
号を波形処理する信号処理回路のブロツク図であ
る。 １…半導体受光部、２…移動スリツト板、３…
半導体基板、４ａ〜４ｄ…受光素子、５…第１受
光素子群、６…第２受光素子群、８…光透過部、
９…光遮断部、１０…第１スリツト群、１１…第
２スリツト群。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 光源及び受光部並びに該受光部よりの信号
に基づいて検出信号を出力する信号処理部とを備
えて移動体の移動位置を検出する光電形エンコー
ダにおいて、 半導体基板上に隣接するもの同士が電気角で９
０度の位相差をもつ受光信号を生ずるように複数
個の受光素子が相互に所定の間隔を隔てて複数組
配置されて同一位相の受光信号を生ずる受光素子
同士が相互接続されてなる第１受光素子群と、前
記半導体基板と同一もしくは別の半導体基板上に
前記第１受光素子群に対して所定の位相関係をも
つて並設され前記第１受光素子群と同様に複数個
の受光素子が配置されて同一位相の受光信号を生
ずる受光素子同士が前記第１受光素子群中の同一
位相の受光信号を生ずる受光素子同士と共に相互
接続されてなる第２受光素子群とからなる半導体
受光部と、 光透過部と光遮断部とがほぼ同一幅で複数組並
んで形成されて前記第１受光素子群に対向する第
１スリツト群と、該第１スリツト群に対して所定
の位相関係をもつて並設されて該第１スリツト群
と同様に形成されて前記第２受光素子群に対向す
る第２スリツト群とを有する移動スリツト板とを
備え、 前記第１及び第２の両受光素子群における各受
光素子の素子幅と素子間間隔の合計値は対向する
移動スリツト板の第１スリツト群及び第２スリツ
ト群の各スリツト幅のほぼ１／２に設定され、 前記第１スリツト群に対する第２スリツト群の
位相は、前記移動スリツト板の移動により前記第
１及び第２の各受光素子群より三角波状乃至疑似
正弦波状の受光信号が得られるように前記第１及
び第２の両受光素子群の位相関係に応じて所定の
位相関係に設定されていることを特徴とする光電
形エンコーダ。 (2) 前記第１受光素子群と第２受光素子群とが
同一位相で配置されて両受光素子群の同一位相の
受光信号を生ずる受光素子同士が一体に成形され
てなる実用新案登録請求の範囲第１項記載の光電
形エンコーダ。 (3) 前記第１スリツト群と第２スリツト群とが
同一位相で設定されて両スリツト群の同一位相の
光透過部同士が一体に形成されてなる実用新案登
録請求の範囲第１項記載の光電形エンコーダ。 (4) 前記各受光素子群中の受光素子は、それぞ
れ複数の基本受光素子の組み合わせ接続により構
成された実用新案登録請求の範囲第１項または第
２項に記載の光電形エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18339586U JPH04260Y2 (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18339586U JPH04260Y2 (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6388708U true JPS6388708U (ja) | 1988-06-09 |
| JPH04260Y2 JPH04260Y2 (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=31130091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18339586U Expired JPH04260Y2 (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04260Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03276017A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-06 | Mitsutoyo Corp | 光電型エンコーダ |
| EP1279005A1 (de) | 2000-04-28 | 2003-01-29 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Abtasteinheit für eine optische positionsmesseinrichtung |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP18339586U patent/JPH04260Y2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03276017A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-06 | Mitsutoyo Corp | 光電型エンコーダ |
| EP1279005A1 (de) | 2000-04-28 | 2003-01-29 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Abtasteinheit für eine optische positionsmesseinrichtung |
| US6965437B2 (en) | 2000-04-28 | 2005-11-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Scanning unit for an optical position measuring device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04260Y2 (ja) | 1992-01-07 |
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