JPS63135222U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63135222U JPS63135222U JP2850987U JP2850987U JPS63135222U JP S63135222 U JPS63135222 U JP S63135222U JP 2850987 U JP2850987 U JP 2850987U JP 2850987 U JP2850987 U JP 2850987U JP S63135222 U JPS63135222 U JP S63135222U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- semiconductor substrate
- receiving element
- photoelectric encoder
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の一実施例で用いる半導体受光
装置の概略平面図、第2図は拡散電流の混入状態
を示す説明図、第3図A及びBは従来の光電形エ
ンコーダのCチヤンネル光学系の回転スリツト板
及び半導体受光装置の概略平面図、第4図は第3
図A及びBで示したエンコーダの動作説明図、第
5図は信号処理回路を示す回路図、第6図は固定
スリツト板を用いない光電形エンコーダの半導体
受光装置の概略平面図である。 1……回転スリツト板、2……固定スリツト板
、5,6a〜6d……スリツト、11……半導体
基板、12a〜12f,13a〜13f……単位
受光素子、14,15……出力配線、16……補
助配線。
装置の概略平面図、第2図は拡散電流の混入状態
を示す説明図、第3図A及びBは従来の光電形エ
ンコーダのCチヤンネル光学系の回転スリツト板
及び半導体受光装置の概略平面図、第4図は第3
図A及びBで示したエンコーダの動作説明図、第
5図は信号処理回路を示す回路図、第6図は固定
スリツト板を用いない光電形エンコーダの半導体
受光装置の概略平面図である。 1……回転スリツト板、2……固定スリツト板
、5,6a〜6d……スリツト、11……半導体
基板、12a〜12f,13a〜13f……単位
受光素子、14,15……出力配線、16……補
助配線。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) スリツト板に形成されたスリツトを通して
光源からの光を半導体受光装置の受光素子列に当
てて前記スリツト板と前記半導体受光装置との間
の相対的な移動速度に応じたエンコーダ信号を発
生する光電形エンコーダにおいて、 前記半導体受光装置の前記受光素子列は半導体
基板に所定の間隔を開けて形成した複数の単位受
光素子を出力配線に選択的に接続して構成され、 前記複数の単位受光素子のうち前記出力配線に
接続されない単位受光素子から発生する光電流を
前記出力配線以外の補助配線を通して出力するこ
とを特徴とする光電形エンコーダ。 (2) 前記補助配線は、前記半導体基板がN型の
半導体基板のときには該半導体基板のカソードに
接続され、また前記半導体基板がP型の半導体基
板のときには該半導体基板のアノードに接続され
る実用新案登録請求の範囲第1項に記載の光電形
エンコーダ。 (3) 前記補助配線は、半導体基板のグランドに
接続される実用新案登録請求の範囲第1項に記載
の光電形エンコーダ。 (4) 前記半導体受光装置は2本の受光素子列を
備え、両受光素子列から出力される信号に基づい
てエンコーダ信号を発生する実用新案登録請求の
範囲第1項に記載の光電形エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987028509U JPH0413622Y2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987028509U JPH0413622Y2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63135222U true JPS63135222U (ja) | 1988-09-05 |
JPH0413622Y2 JPH0413622Y2 (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=30831542
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987028509U Expired JPH0413622Y2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0413622Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015017916A (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-29 | 株式会社ミツトヨ | 検出ヘッド、光学式エンコーダ、及び光学式エンコーダの調整方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61125076A (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-12 | Toshiba Corp | イメ−ジセンサおよびその製造方法 |
-
1987
- 1987-02-27 JP JP1987028509U patent/JPH0413622Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61125076A (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-12 | Toshiba Corp | イメ−ジセンサおよびその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015017916A (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-29 | 株式会社ミツトヨ | 検出ヘッド、光学式エンコーダ、及び光学式エンコーダの調整方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0413622Y2 (ja) | 1992-03-30 |
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