JP4054788B2 - 光電式エンコーダ - Google Patents

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Description

この発明は、電気的に多分割化された受光素子を用いた光電式エンコーダに関する。
複数のスリットが設けられた移動体の一方の側に配置された発光素子から出射されて上記スリットを通過した光を、上記移動体の他方の側に配置された受光素子で受光して、上記受光素子からの出力信号に基づいて、上記移動体の移動情報を得るエンコーダとして、特開平9‐159488号公報(特許文献1)に開示されたものがある。
図6は、上記特許文献1に開示された従来のエンコーダにおける上記受光素子としてのフォトダイオード3と上記移動体としての符号板1に複数設けられたスリット2との位置関係を示している。図6に示すように、符号板1に、その移動方向に、一定のピッチPで(1/2)P幅のスリット2a,2b,…が複数穿設されている。そして、この符号板1を挟んで、符号板1の図6中手前側には発光素子(図6では表れていない)が配置される一方、符号板1の図6中向こう側にはフォトダイオード3が配置されている。そして、上記発光素子からの光がスリット2を通過してフォトダイオード3で検出されるようになっている。
上記発光素子は、通常、1つの素子を用いて光源が1つになるようにしている。これに対して、上記受光素子は、移動方向および移動速度の検出が可能になるように、(1/4)Pの幅を有する4つのフォトダイオード3a〜3dを、(1/4)Pの配列ピッチでスリット2の配列方向と同じ方向に隣接配置して構成されている。
上記符号板1が何れかの方向に移動する際に、スリット2を通過して各フォトダイオード3a〜3dを照射する光に関する受光面積の時間変化に応じて、各フォトダイオード3a〜3dによって光電流IS3a〜IS3dが生成される。
図7(a)および図7(b)は、各フォトダイオード3a〜3dから出力される光電流の時間変化を示す信号波形図であり、横軸は符号板1の移動量を示し、縦軸は各フォトダイオード3a〜3dから出力される光電流IS3a〜IS3dを示す。
上述したように、上記各フォトダイオード3a〜3dは符号板1の移動方向に(1/4)Pの配列ピッチで配置されれているために、図7(a)および図7(b)に示すように、照射光に対して各フォトダイオード3a〜3dが出力する光電流IS3a〜IS3dも(1/4)Pの配列ピッチに対応する変化を示している。そして、フォトダイオード3a(A+)からの光電流IS3aとフォトダイオード3d(B+)からの光電流IS3d、フォトダイオード3b(B-)からの光電流IS3bとフォトダイオード3c(A-)からの光電流IS3cとは、90°の位相差を有している。さらに、上記フォトダイオード3a(A+)からの光電流IS3aとフォトダイオード3c(A-)からの光電流IS3c、フォトダイオード3b(B-)からの光電流IS3bとフォトダイオード3d(B+)からの光電流IS3dとは、180°の位相差を有している。
上記各光電流IS3a〜IS3dは、信号処理回路(図示せず)の演算増幅器に入力されて増幅され、例えば帰還抵抗を用いて90°ずつ位相の異なる電圧波形が形成される。さらに、位相が反転した関係にある出力同士が対として比較器(図示せず)によって比較され、図7(c)および図7(d)に示すように互いに90°位相が異なる2つの矩形波が形成される。そして、これらの矩形波が移動体の移動情報を表すエンコーダ信号として出力される。
しかしながら、上記従来のエンコーダには以下のような問題がある。すなわち、図6において、上記フォトダイオード3の幅(1/4)PをWと置き換えると、スリット2の間隔は4Wとなり、各フォトダイオード3a〜3dの幅Wの4倍である。したがって、上記従来のエンコーダでは、各フォトダイオード3a〜3dの幅Wによってスリット2の間隔が決まってしまうことになる。つまり、従来のエンコーダでは、スリット2の間隔を4Wよりも狭くすることができず、エンコーダの分解能の向上を図ることができないという問題がある。
特開平9‐159488号公報
そこで、この発明の課題は、同じ幅のフォトダイオードを用いた場合でも高分解能化を図ることができるエンコーダを提供することにある。
上記課題を解決するため、この発明の光電式エンコーダは、
所定の方向に移動すると共に、移動方向への幅が所定幅である複数のスリットが、上記所定幅の2倍の配列ピッチで上記移動方向に配列されて形成されている移動体と、
上記移動体の一方の側に配置されて、上記移動体に向けて光を出射する発光部と、
上記移動体の上記一方とは反対側の他方の側に配置されて、上記発光部から出射されて上記スリットを通過した光を受光して受光量に応じた信号を出力する受光部と、
上記受光部からの出力信号を処理する信号処理部と
を備え、
上記受光部は、上記スリットの配列方向への幅が上記スリットの配列ピッチの3/8である8個のフォトダイオードを、上記スリットの配列ピッチの3/8の配列ピッチで上記スリットの配列方向に配列して構成されており、
上記信号処理部は、上記8個のフォトダイオードから出力される45°毎に位相が異なる8つの出力信号のうち互いに位相が45°異なる2つの出力信号同士を加算して、上記スリットが上記配列ピッチだけ移動する1周期毎に、90°毎に位相が異なる4つの信号を生成し、この4つの信号のうち互いに位相が180°異なる2対の信号に基づいて、互いに位相が90°異なる上記1周期を有する2つの矩形波を生成す
ことを特徴としている。
上記構成によれば、上記スリットの配列ピッチを「P」とすると、上記フォトダイオードの幅は(3/8)Pであり、上記特許文献1に開示された従来のフォトダイオードの幅(1/4)Pの(3/2)倍となる。したがって、上記フォトダイオードの幅を上記従来のフォトダイオードの幅と同一にした場合には、上記スリットの幅(=上記スリットの間隔)は、上記特許文献1に開示された従来のスリットの間隔の(2/3)倍となる。したがって、上記スリットの間隔を上記従来のスリットの間隔の2/3にして、エンコーダの分解能の向上を図ることができる。
また、1実施の形態の光電式エンコーダでは、
上記8個のフォトダイオードは、実質的に同一の形状および同一の寸法を有している。
この実施の形態によれば、上記8個のフォトダイオードにおける光電変換特性を揃えることができ、上記移動体の移動情報を精度よく得ることができる。
また、1実施の形態の光電式エンコーダでは、
上記8個のフォトダイオードのうち互いの出力信号の位相差が45°である2個のフォトダイオードの出力ライン同士を互いに接続する配線手段を備えている。
この実施の形態によれば、位相差が45°である2個のフォトダイオードの出力ライン同士を互いに接続する4個の配線手段からは、90°ずつ位相が異なる電圧波形を有する4つの出力信号が出力される。
また、1実施の形態の光電式エンコーダでは、
上記受光部は、上記8個のフォトダイオードで成る組がn(nは正の整数)組で構成されると共に、(8×n)個のフォトダイオードが上記スリットの配列ピッチの3/8の配列ピッチで上記スリットの配列方向に配列されて構成されており、
上記スリットに対する上記スリットの配列方向へのずれ量が同一であるフォトダイオードの上記配線手段同士を接続する接続手段を備えている。
この実施の形態によれば、上記スリットに対する上記スリットの配列方向へのずれ量が同一であるn個のフォトダイオードは同じ波形の信号を出力するため、このn個のフォトダイオードの上記配線手段同士を接続することができる。こうして、光電流をn倍にすることができ、検出信号のS/N比の向上を図ることができる。
また、1実施の形態の光電式エンコーダでは、
上記信号処理部を構成すると共に、上記配線手段から出力される出力信号のうち互いの位相差が180°である2つの出力信号を入力としてエンコーダ信号を生成する比較器を備えている。
この実施の形態によれば、4個の配線手段から出力される90°ずつ位相が異なる4つの出力信号のうち、互いの位相差が180°である2つの出力信号の夫々が比較器で比較されることによって、互いに90°位相が異なる2つの矩形波で成ると共に、上記移動体の移動情報を表すエンコーダ信号を生成することができる。
以上より明らかなように、この発明の光電式エンコーダは、発光部から出射されて移動体のスリットを通過した光を受光する受光部を、上記スリットの配列方向への幅が上記スリットの配列ピッチの3/8である8個のフォトダイオードを、上記スリットの配列ピッチの3/8の配列ピッチで上記スリットの配列方向に配列して構成したので、上記フォトダイオードの幅は、上記特許文献1に開示されたフォトダイオードの幅の(3/2)倍となる。したがって、上記フォトダイオードの幅を上記従来のフォトダイオードの幅と同一とした場合には、上記スリットの幅(=上記スリットの間隔)を上記特許文献1に開示された従来のスリットの間隔の(2/3)倍にできる。
すなわち、この発明によれば、従来のフォトダイオードの幅と同一幅のフォトダイオードを用いた場合でも、上記スリットの間隔を上記従来のスリットの間隔よりも狭くして、エンコーダの分解能を向上させることができる。
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。図1は、本実施の形態の光電式エンコーダにおける信号形成用フォトダイオード(以下、単にフォトダイオードと言う)と移動体のスリットとの位置関係を示す図である。
移動体11には、移動方向に一定の配列ピッチPで(1/2)Pの幅を有するスリット12が穿設されている。そして、移動体11の図1中向こう側には、1つの半導体チップ上に電気的に分離して形成された8つのフォトダイオード13a〜13hが配置されている。この8つのフォトダイオード13a〜13hの夫々は(3/8)Pの幅を有し、移動体11のスリット12a〜12dに沿って(3/8)Pピッチで配列されている。図2に、8つのフォトダイオード13a〜13hの配線を示す。
上記8つのフォトダイオード13a〜13hは、(3/4)Pピッチで配列されたフォトダイオード13a(A1+),13c(B1+),13e(A1-),13g(B1-)と、フォトダイオード13b(B2-),13d(A2+),13f(B2+),13h(A2-)との2組のフォトダイオードグループで構成されており、両フォトダイオードグループは45°の位相差を有している。そして、フォトダイオード13a(A1+)とフォトダイオード13d(A2+)、フォトダイオード13b(B2-)とフォトダイオード13g(B1-)、フォトダイオード13c(B1+)とフォトダイオード13f(B2+)、フォトダイオード13e(A1-)とフォトダイオード13h(A2-)の出力ラインが、図2に示すように接続されている。
上記移動体11が、上記スリット12a〜12dの配列方向における何れかの方向に移動する際に、スリット12a〜12dを通過して各フォトダイオード13a〜13hに入射された光における各フォトダイオード13毎の受光面積の時間変化に応じて、各フォトダイオード13a〜13hによって光電流IS13a〜IS13hが生成される。
図3(a)〜図3(d)および図4(g)〜図4(j)は、上記各フォトダイオード13a〜13hから出力される光電流の時間変化を示す信号波形図であり、横軸は移動体11の移動量を示し、縦軸は各フォトダイオード13a〜13hから出力される光電流IS13a〜IS13hを示す。さらに、図3(e)および図4(k)は、図2に示すように接続されて合成された光電流ISA+,ISA-,ISB+,ISB-の時間変化を示す信号波形図である。図3(e)および図4(k)から分かるように、光電流ISA+と光電流ISB+、光電流ISA-と光電流ISB-とは、90°の位相差を有している。さらに、光電流ISA+と光電流ISA-、光電流ISB+と光電流ISB-とは、180°の位相差を有している。
上記光電流ISA+,ISA-,ISB+,ISB-は、信号処理回路(図示せず)の演算増幅器に入力されて増幅され、例えば帰還抵抗を用いて90°ずつ位相の異なる電圧波形が形成される。さらに、位相が反転した関係にある(つまり、位相差が180°である)出力同士が対として上記信号処理回路の比較器(図示せず)によって比較され、図3(f),図4(l)に示すように、互いに90°位相が異なる2つの矩形波が生成される。こうして、上記特許文献1に開示された従来のエンコーダの場合と同じ波形のエンコーダ信号が得られるのである。
ここで、上記フォトダイオード13の幅Wは、上記特許文献1に開示された従来のフォトダイオード3の場合では(1/4)Pであるのに対し、(3/8)Pである。そのため、フォトダイオード13の幅Wを上記従来のフォトダイオード3と同じにした場合には、スリット12の間隔を上記特許文献1に開示された従来のスリット2の間隔の2/3にすることができる。つまり、本実施の形態によれば、スリット12の間隔を上記従来のスリット2の間隔の2/3にして、エンコーダの分解能の向上を図ることができるのである。
また、上記8つのフォトダイオード13a〜13hを実質的に同一の形状および寸法に形成することによって、8つのフォトダイオード13a〜13hの光電変換特性を揃えることができ、移動体11の移動情報を精度よく得ることができる。
図5は、他の実施の形態の光電式エンコーダにおけるにフォトダイオードの配列状態を示す。この実施の形態においては、図1における8つのフォトダイオードを2組用い、一方の組のフォトダイオードを13a〜13hとし、他方の組のフォトダイオードを13a'〜13h'とする。そして、一方の組のフォトダイオード13a〜13hの列における最後のフォトダイオード13hに隣接して、他方の組のフォトダイオード13a'〜13h'の列における最初のフォトダイオード13a'を位置させるのである。こうして、(3/8)Pの幅を有する16個のフォトダイオード13a〜13h,13a'〜13h'を、(3/8)Pピッチで配列するのである。
そして、上記16個の連続したフォトダイオード13a〜13h,13a'〜13h'において、対を成す各フォトダイオード13a,13a';13b,13b';13c,13c';13d,13d';13e,13e';13f,13f';13g,13g';13h,13h'は、スリット12に対して同じ位置関係を有しており、出力信号も同じである。そこで、図5に示すように、先ず、一方の組のフォトダイオードを13a〜13hと他方の組のフォトダイオードを13a'〜13h'との夫々において、図2と同様に接続配線を行う。そして、さらに、2つの組に関して、スリット12に対して同じ位置関係を有するフォトダイオード(例えば、フォトダイオード13a,13a')の出力同士を接続するのである。こうすることによって、光電流を2倍にすることができ、図1に示す実施の形態に対して検出信号のS/N比の向上を図ることができるのである。
尚、図5に示す光電式エンコーダでは、図1における8つのフォトダイオードを2組用いているが、上記組数は2組に限定されるものではない。組数を多くすれば光電流を大きくすることができる。
また、上記各実施の形態においては、移動体11は直線方向に移動するようになっているが、円方向に移動する回転板であっても差し支えない。その場合には、スリット12およびフォトダイオード13は円方向に配列されることになる。
この発明の光電式エンコーダにおけるフォトダイオードとスリットとの位置関係を示す図である。 図1における各フォトダイオードの接続配線を示す図である。 各フォトダイオードからの光電流の信号波形,合成された光電流の信号波形およびエンコーダ信号の波形を示す図である。 図3に続く各フォトダイオードからの光電流の信号波形,合成された光電流の信号波形およびエンコーダ信号の波形を示す図である。 図1とは異なるフォトダイオードの配列状態を示す図である。 従来のエンコーダにおけるフォトダイオードとスリットとの位置関係を示す図である。 図6における各フォトダイオードからの光電流の信号波形およびエンコーダ信号の波形を示す図である。
符号の説明
11…移動体、
12a〜12d…スリット、
13a〜13h,13a'〜13h'…フォトダイオード、
IS13a〜IS13h…光電流、
ISA+,ISA-,ISB+,ISB-…合成光電流。

Claims (5)

  1. 所定の方向に移動すると共に、移動方向への幅が所定幅である複数のスリットが、上記所定幅の2倍の配列ピッチで上記移動方向に配列されて形成されている移動体と、
    上記移動体の一方の側に配置されて、上記移動体に向けて光を出射する発光部と、
    上記移動体の上記一方とは反対側の他方の側に配置されて、上記発光部から出射されて上記スリットを通過した光を受光して受光量に応じた信号を出力する受光部と、
    上記受光部からの出力信号を処理する信号処理部と
    を備え、
    上記受光部は、上記スリットの配列方向への幅が上記スリットの配列ピッチの3/8である8個のフォトダイオードを、上記スリットの配列ピッチの3/8の配列ピッチで上記スリットの配列方向に配列して構成されており、
    上記信号処理部は、上記8個のフォトダイオードから出力される45°毎に位相が異なる8つの出力信号のうち互いに位相が45°異なる2つの出力信号同士を加算して、上記スリットが上記配列ピッチだけ移動する1周期毎に、90°毎に位相が異なる4つの信号を生成し、この4つの信号のうち互いに位相が180°異なる2対の信号に基づいて、互いに位相が90°異なる上記1周期を有する2つの矩形波を生成す
    ことを特徴とする光電式エンコーダ。
  2. 請求項1に記載の光電式エンコーダにおいて、
    上記8個のフォトダイオードは、実質的に同一の形状および同一の寸法を有していることを特徴とする光電式エンコーダ。
  3. 請求項1に記載の光電式エンコーダにおいて、
    上記8個のフォトダイオードのうち互いの出力信号の位相差が45°である2個のフォトダイオードの出力ライン同士を互いに接続する配線手段を備えたことを特徴とする光電式エンコーダ。
  4. 請求項3に記載の光電式エンコーダにおいて、
    上記受光部は、上記8個のフォトダイオードで成る組がn(nは正の整数)組で構成されると共に、(8×n)個のフォトダイオードが上記スリットの配列ピッチの3/8の配列ピッチで上記スリットの配列方向に配列されて構成されており、
    上記スリットに対する上記スリットの配列方向へのずれ量が同一であるフォトダイオードの上記配線手段同士を接続する接続手段を備えた
    ことを特徴とする光電式エンコーダ。
  5. 請求項3あるいは請求項4に記載の光電式エンコーダにおいて、
    上記信号処理部を構成すると共に、上記配線手段から出力される出力信号のうち互いの位相差が180°である2つの出力信号を入力としてエンコーダ信号を生成する比較器を備えたことを特徴とする光電式エンコーダ。
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