JP7058935B2 - 光電式エンコーダ - Google Patents
光電式エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7058935B2 JP7058935B2 JP2016177668A JP2016177668A JP7058935B2 JP 7058935 B2 JP7058935 B2 JP 7058935B2 JP 2016177668 A JP2016177668 A JP 2016177668A JP 2016177668 A JP2016177668 A JP 2016177668A JP 7058935 B2 JP7058935 B2 JP 7058935B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- error
- light source
- amount
- control unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 22
- 230000004397 blinking Effects 0.000 claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 101000661807 Homo sapiens Suppressor of tumorigenicity 14 protein Proteins 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
Description
ここで、光源としてLED(Light Emitting Diode: 発光ダイオード)を採用した場合、LEDは累計使用時間により劣化するという特性を有するので、復帰制御部は、光源を明滅させることによって、光源(LED)の長寿命化を図ることができる。したがって、光電式エンコーダは光源の劣化を抑制することができる。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係るエンコーダを示す斜視図である。
エンコーダ1は、図1に示すように、測定方向(X方向)に沿って目盛を有するスケール2と、スケール2のX方向に沿って相対移動してスケール2との相対移動量を検出するヘッド3と、を備える光電式リニアエンコーダである。
なお、以下の説明において、スケール2の長手方向でありヘッド3の移動方向をX方向と記す場合がある。
光源4は、例えばLEDが用いられ、スケール2に光を照射する。受光手段5は、スケール2の目盛21,22を介して光を受光し、受光した光の光量変化を電気信号にする。そして、受光手段5はこの電気信号から90°位相が異なる2相正弦波状信号(リサージュ信号)を検出する。エンコーダ1は、受光手段5によって検出されたリサージュ信号に基づいてスケール2とヘッド3との相対移動量の検出を行う。ここで、スケール2を介して反射した光の光量変化を電気信号に変換する方式を反射形光電式という。
エンコーダ1は、ヘッド3を制御する制御手段6と、リサージュ信号に基づいて制御手段6で演算された相対移動量を出力する出力手段7と、をさらに備える。
制御手段6は、光量制御部10と、エラー判定部11と、光量抑制部12と、を備える。また、制御手段6は、受光手段5によって検出されたリサージュ信号からスケール2とヘッド3との相対移動量を演算している。
出力手段7は、例えばエンコーダ1に接続するコンピュータのディスプレイ画面などに制御手段6によって演算された相対移動量を出力して表示させる。
なお、以下の説明において、リサージュ信号の振幅の大きさをリサージュ信号の大きさと記す場合がある。
光量抑制部12は、エラー判定部11がエラーと判定したときに光量制御部10による制御を停止させて光源4の光量を抑制する。具体的には、光量抑制部12は、光源4を消灯させることによって光源4の光量を抑制する。
以下、光源4の光量制御について、図3を参照して説明する。
エンコーダ1は、先ず、光源4の光量を制御する光量制御部10による光量制御工程を実行する(ステップST01)。次に、エラー判定部11は、受光手段5にて受光した光に基づいてリサージュ信号にエラーがあるか否かを判定する(ステップST02)。
図4(A)のリサージュ信号の大きさを示すグラフは、縦軸をリサージュ信号の大きさとし、横軸をスケール2の汚れの量としている。図4(B)の光源4の光量の変化を示すグラフは、縦軸を光源4の光量とし、横軸を図4(A)と同様に汚れの量としている。
以下、リサージュ信号の大きさおよび光源4の光量の変化について、図4を参照して説明する。
汚れの量が増加し汚れの量aまで達すると、光源4の光量は光量制御部10による制御で既に最大光量Maxに達しているため、汚れの量の増加にともなって受光手段5が受光する光量が減少し、検出されるリサージュ信号は小さくなる。
汚れの量aから汚れの量bにかけて汚れの量がさらに増加し、リサージュ信号の大きさが汚れの量bのエラー判定基準に達したとき、エラー判定部11はエラーと判定する(ステップST02でYES)。そして、光量抑制部12は、汚れの量bにおいて光源4を消灯させる(ステップST03)。
(1)エンコーダ1は、受光手段5にて受光した光に基づいてエラーを判定するエラー判定部11を備えることで、例えばリサージュ信号が小さくなりエンコーダ1の信頼性が低下した場合などにエラーと判定することができる。そして、エンコーダ1は、エラー判定部11がエラーと判定したときに光量制御部10による制御を停止させて光源4の光量を抑制する光量抑制部12を備えることで、光量制御部10によって光源4への電流が大きくなるように制御されることを抑制することができる。したがって、光量抑制部12は、光量制御部10による電力過多となる制御を抑制することができるため、光源4の消費電力の削減を図ることができる。
(3)光量抑制部12は、エラー判定部11がエラーと判定したときに光源4を所定の光量に制御するため、光源4の消費電力の削減を図ることができる。
これにより、光量抑制部12は、光源4を所定の光量に抑制したとき、光源4は所定の光量の光を照射するため、エンコーダ1は、リサージュ信号を検出できる可能性がある。
以下、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
前記第1実施形態のエンコーダ1は制御手段6を備え、制御手段6は、光量制御部10と、エラー判定部11と、光量抑制部12と、を備えていた。これに対して、図5に示すように、本実施形態のエンコーダ1Aは制御手段6Aを備え、制御手段6Aは、光量制御部10と、エラー判定部11と、光量抑制部12と、の他に、復帰制御部13と、エラー再判定部14と、をさらに備える点で前記第1実施形態と異なる。
エラー再判定部14は、受光手段5にて受光した光に基づいてエラーを再び判定する。
ここで、エラー再判定部14は、エラー判定部11と同じエラー判定基準のリサージュ信号を用いて受光手段5で検出されたリサージュ信号と比較してエラーがあるか否かを判定する。なお、エラー再判定部14は、エラー判定部11と同じエラー判定基準のリサージュ信号を用いずに、エラー判定部11のエラー判定基準よりも大きいリサージュ信号をエラー再判定部14のエラー判定基準としてもよいし、エラー判定部11のエラー判定基準よりも小さいリサージュ信号をエラー再判定部14のエラー判定基準としてもよい。
復帰制御部13は、受光手段5が復帰信号からリサージュ信号を検出し、エラー再判定部14がエラーと判定しなかったときに光量制御部10による制御を復帰させる。
図7の光源4の明滅を示すグラフは、縦軸を光源4の光量とし、横軸を時間tとしている。
以下、光源4の光量制御について、図4,6,7を参照して説明する。
図6に示すように、先ず、エンコーダ1Aは、光量抑制部12がステップST03の光量抑制工程を実行した後、復帰制御部13に光源4を明滅させて復帰信号を出力させる復帰制御工程を実行させる(ステップST14)。図4に示すように、汚れの量bで光量抑制部12が光量抑制工程を実行すると、光源4は消灯する。光源4が消灯した後、図7に示すように、復帰制御部13は、光源4を最大光量Maxおよび最小光量0で一定の周期で明滅させて復帰信号を出力させる。このとき、復帰制御部13によって光源4は最大光量Maxおよび最小光量0の間を方形波状に明滅する。
なお、ステップST14において、復帰制御部13は、光源4を明滅させて復帰信号を出力させたが、光源4を明滅させずに一定の光量で復帰信号を出力させてもよい。このとき、光源4の光量は、受光手段5がリサージュ信号を検出できる程度の光量であることが好ましい。
(4)エンコーダ1Aは、光量制御部10による制御を復帰させるための光を光源4に復帰信号として出力させる復帰制御部13と、受光手段5にて受光した光に基づいてエラーを再び判定するエラー再判定部14と、を備えることで、復帰制御部13は、リサージュ信号を検出してエラー再判定部14がエラーと判定しなかったときに光量制御部10による制御を復帰させることができる。
(5)復帰制御部13は光源4を明滅させることによって、光源4に復帰信号を出力させている間であっても光源4の消費電力の削減を図ることができる。
(6)復帰制御部13は、LEDである光源4を明滅させることによって、光源4の長寿命化を図ることができる。したがって、エンコーダ1Aは光源4の劣化を抑制することができる。
なお、復帰制御部13による光源4の明滅は、図7に示すように、最大光量Maxおよび最小光量0の間を方形波状に明滅させずに、図8(A)に示すように、最大光量Maxおよび最小光量0の間を三角波状に明滅させてもよいし、図8(B)に示すように、最大光量Maxおよび最小光量0の間を正弦波状に明滅させてもよい。
また、復帰制御部13は、最大光量Maxおよび最小光量0で明滅させずに、最大光量Maxよりも小さい光量を波形の最大値として明滅させてもよいし、最小光量0よりも大きい光量を波形の最小値として明滅させてもよい。
以下、本発明の第3実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
前記第2実施形態では、エンコーダ1Aの制御手段6Aは、ステップST14において復帰制御工程を実行していた。これに対して、本実施形態の制御手段6Aは、ステップST14aにおいて復帰制御実行工程を実行する点で前記第2実施形態と異なる。
図9に示すように、エンコーダ1Aは、光量抑制部12がステップST03の光量抑制工程を実行した後、復帰制御部13に所定の契機に基づいて光源4に復帰信号を出力させる復帰制御実行工程を実行させる(ステップST14a)。
図10に示すように、復帰制御部13は、光量抑制部12がステップST03の光量抑制工程を実行した後(図9参照)、ヘッド3がスケール2に対して相対移動したか否かを判定する(ステップST21)。ここで、スケール2に対するヘッド3の相対移動量は受光手段5が検出していたが、光量抑制部12によって光源4の光量が抑制されているため、受光手段5ではヘッド3がスケール2に対して相対移動したか否かを検出することができない。そのため、復帰制御部13は、ヘッド3に実装された例えば加速度センサによってヘッド3が相対移動したか否かを判定する。復帰制御部13はヘッド3が相対移動したと判定したとき(ステップST21でYES)、光源4を明滅させて復帰信号を出力させる復帰制御工程を実行する(ステップST22)。復帰制御部13はヘッド3が相対移動しなかったと判定したとき(ステップST21でNO)、ステップST21へと戻る。
(7)復帰制御部13は、所定の契機に基づいて光源4に復帰信号を出力させることができる。したがって、光量抑制部12は、復帰制御部13が所定の契機に基づいて光源4に復帰信号を出力させるまでは光源4の光量を抑制するため、光源4の消費電力の削減を図ることができる。
(8)復帰制御部13は、エラー判定部11が判定したエラーに基づき光量抑制部12によって光量が抑制された後、ヘッド3が相対移動したことを契機として光源4に復帰信号を出力させることができる。したがって、光量抑制部12は、復帰制御部13がヘッド3の相対移動に基づいて光源4に復帰信号を出力させるまでは光源4の光量を抑制するため、光源4の消費電力の削減を図ることができる。
図11は、本発明の第3実施形態に係る復帰制御実行工程の変形例を示すフローチャートである。
図11に示すように、復帰制御部13は、光量抑制部12がステップST03(図9参照)の光量抑制工程を実行した後、一定時間が経過したか否かを判定する(ステップST21a)。
復帰制御部13は一定時間が経過したと判定したとき(ステップST21aでYES)、光源4を明滅させて復帰信号を出力させる復帰制御工程を実行する(ステップST22)。復帰制御部13は一定時間が経過していないと判定したとき(ステップST21aでNO)、ステップST21aへと戻る。
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、光電式リニアエンコーダを例として本発明をエンコーダ1,1Aに用いる場合を説明したが、エンコーダ1,1Aは、ロータリーエンコーダでもよい。また、その他の測定器等においても利用可能であり、本発明を何に実装するかについては、特に限定されるものではない。
2 スケール
3 ヘッド
4 光源
5 受光手段
6,6A 制御手段
10 光量制御部
11 エラー判定部
12 光量抑制部
13 復帰制御部
14 エラー再判定部
Claims (4)
- 測定方向に沿って目盛を有するスケールと、前記スケールに光を照射する光源及び前記光源から照射された光をスケールを介して受光する受光手段を有し、前記スケールの測定方向に沿って相対移動して前記スケールとの相対移動量を検出するヘッドと、前記ヘッドを制御する制御手段と、を備える光電式エンコーダであって、
前記制御手段は、
前記光源の光量を増減させて所定の受光量を保つように制御する光量制御部と、
前記受光手段にて受光した光に基づいてエラーを判定するエラー判定部と、
前記光量制御部により制御された前記光源の光量が最大光量であり、かつ、前記エラー判定部がエラーと判定したときに前記光量制御部による制御を停止させて前記光源の光量を抑制する光量抑制部と、
前記エラー判定部によって判定されたエラーに基づき前記光量抑制部によって光源の光量が抑制された後、前記光量制御部による制御を復帰させるための光を前記光源に復帰信号として出力させる復帰制御部と、
前記受光手段にて受光した光に基づいてエラーを再び判定するエラー再判定部と、を備え、
前記復帰制御部は、
前記エラー再判定部がエラーと判定しなかったときに前記光量制御部による制御を復帰させ、
前記エラー再判定部は、
前記エラー判定部とは異なる判定基準でエラーを判定可能であり、
前記復帰制御部は、前記ヘッドに実装された加速度センサが検出する加速度に基づいてヘッドが相対移動したか否かを判定し、前記エラー判定部が判定したエラーに基づき前記光量抑制部によって光源の光量が抑制された後、前記ヘッドが相対移動したと判定したことを契機として前記光源に前記復帰信号を出力させることを特徴とする光電式エンコーダ。 - 請求項1に記載された光電式エンコーダにおいて、
前記光量抑制部は、
前記エラー判定部がエラーと判定したとき、前記光源を消灯させることを特徴とする光電式エンコーダ。 - 請求項1に記載された光電式エンコーダにおいて、
前記光量抑制部は、
前記エラー判定部がエラーと判定したとき、前記光源を所定の光量に抑制することを特徴とする光電式エンコーダ。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載された光電式エンコーダにおいて、
前記復帰制御部は、
前記光源を明滅させることによって、前記光源に前記復帰信号を出力させることを特徴とする光電式エンコーダ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016177668A JP7058935B2 (ja) | 2016-09-12 | 2016-09-12 | 光電式エンコーダ |
CN201710789110.4A CN107817011B (zh) | 2016-09-12 | 2017-09-05 | 光电编码器 |
DE102017008425.4A DE102017008425A1 (de) | 2016-09-12 | 2017-09-07 | Photoelektrische Kodiereinrichtung |
US15/699,413 US10466078B2 (en) | 2016-09-12 | 2017-09-08 | Photoelectric encoder |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016177668A JP7058935B2 (ja) | 2016-09-12 | 2016-09-12 | 光電式エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018044782A JP2018044782A (ja) | 2018-03-22 |
JP7058935B2 true JP7058935B2 (ja) | 2022-04-25 |
Family
ID=61247183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016177668A Active JP7058935B2 (ja) | 2016-09-12 | 2016-09-12 | 光電式エンコーダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10466078B2 (ja) |
JP (1) | JP7058935B2 (ja) |
CN (1) | CN107817011B (ja) |
DE (1) | DE102017008425A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2024037476A (ja) | 2022-09-07 | 2024-03-19 | 株式会社ミツトヨ | 一次元測定機および一次元測定機の制御プログラム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004325171A (ja) | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Yaskawa Electric Corp | 耐振動エンコーダ |
JP2006334891A (ja) | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 画像記録装置 |
JP2007147625A (ja) | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd | 汚染検出を有する光学エンコーダ |
JP2007232681A (ja) | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0868667A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Canon Inc | 光学式エンコーダ装置 |
JPH10267693A (ja) * | 1997-03-26 | 1998-10-09 | Tamagawa Seiki Co Ltd | エンコーダの発光素子駆動方法 |
JP4703059B2 (ja) * | 2001-08-28 | 2011-06-15 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
US6834439B2 (en) * | 2002-05-21 | 2004-12-28 | Mitutoyo Corporation | Measuring tool, encoder and producing method of encoder |
JP5015442B2 (ja) * | 2005-10-11 | 2012-08-29 | ローム株式会社 | 電流検出回路およびそれを用いた受光装置ならびに電子機器 |
WO2007043282A1 (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-19 | Rohm Co., Ltd. | 電流検出回路およびそれを用いた受光装置、発光制御装置ならびにそれらを用いた電子機器 |
JP4976823B2 (ja) * | 2006-11-15 | 2012-07-18 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
JP2008305710A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Olympus Corp | 照明用光源装置 |
JP5071131B2 (ja) * | 2008-01-31 | 2012-11-14 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JP5310388B2 (ja) * | 2009-08-27 | 2013-10-09 | 株式会社リコー | 画像形成装置及び画質調整にかかるパターン画像の検出方法 |
JP5657292B2 (ja) * | 2010-07-12 | 2015-01-21 | Dmg森精機株式会社 | 変位検出装置 |
JP5718662B2 (ja) * | 2011-01-31 | 2015-05-13 | 株式会社ミツトヨ | オートフォーカス装置 |
JP5765968B2 (ja) * | 2011-02-28 | 2015-08-19 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ |
JP5857347B2 (ja) * | 2011-10-28 | 2016-02-10 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
JP5883820B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2016-03-15 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 画像読取装置、画像形成装置および画像読取方法 |
JP6149254B2 (ja) * | 2013-06-20 | 2017-06-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | モータ位置検出器 |
JP6359254B2 (ja) * | 2013-09-03 | 2018-07-18 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
-
2016
- 2016-09-12 JP JP2016177668A patent/JP7058935B2/ja active Active
-
2017
- 2017-09-05 CN CN201710789110.4A patent/CN107817011B/zh active Active
- 2017-09-07 DE DE102017008425.4A patent/DE102017008425A1/de active Pending
- 2017-09-08 US US15/699,413 patent/US10466078B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004325171A (ja) | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Yaskawa Electric Corp | 耐振動エンコーダ |
JP2006334891A (ja) | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 画像記録装置 |
JP2007147625A (ja) | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd | 汚染検出を有する光学エンコーダ |
JP2007232681A (ja) | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180073898A1 (en) | 2018-03-15 |
DE102017008425A1 (de) | 2018-03-15 |
JP2018044782A (ja) | 2018-03-22 |
CN107817011A (zh) | 2018-03-20 |
US10466078B2 (en) | 2019-11-05 |
CN107817011B (zh) | 2023-04-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6074392B2 (ja) | 位置エンコーダ装置および操作方法 | |
JP5659220B2 (ja) | ポジションエンコーダ装置 | |
US6487787B1 (en) | System and method for determination of error parameters for performing self-calibration and other functions without an external position reference in a transducer | |
EP2350570B1 (en) | Absolute encoder setup indication | |
US7304295B2 (en) | Method and system of detecting eccentricity and up/down movement of a code wheel of an optical encoder set | |
ATE526593T1 (de) | Optischer sensor nach dem laufzeitprinzip | |
JP6000826B2 (ja) | 光電センサ | |
JP2012037392A5 (ja) | ||
JP7058935B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP2006214929A5 (ja) | ||
CN114341671A (zh) | 光测距装置 | |
JP5824342B2 (ja) | リニアエンコーダ | |
EP2598909B1 (en) | Apparatus for measuring a distance | |
JP2015103059A (ja) | 自律移動体 | |
JP2005337843A (ja) | 光学式エンコーダ | |
TWI500950B (zh) | 光學式位移感測器 | |
WO2018163424A1 (ja) | アブソリュートエンコーダ | |
US7612764B2 (en) | Position tracking sensor of optical mouse and method of controlling the same | |
JP5693502B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
US7034281B2 (en) | Position encoder for measuring the position of two objects movable relative to one another | |
JP2016136131A5 (ja) | ||
JP5760938B2 (ja) | 光学式センサ | |
JP5696324B2 (ja) | 走行体 | |
JP6932425B2 (ja) | エンコーダおよびその調整方法 | |
JP6878899B2 (ja) | エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190806 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200804 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201002 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210402 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210629 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210817 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20210817 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20210830 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20210831 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20211015 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20211019 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220104 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220201 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20220215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220216 |
|
C302 | Record of communication |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C302 Effective date: 20220303 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20220308 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20220412 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20220412 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220413 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7058935 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |