JP7058935B2 - 光電式エンコーダ - Google Patents

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Description

本発明は、光電式エンコーダの光源の光量制御に関する。
従来、測定方向に沿って目盛を有するスケールと、光源から照射された光をスケールを介して受光する受光手段を有し、スケールの測定方向に沿って相対移動してスケールとの相対移動量を検出するヘッドと、ヘッドを制御する制御手段と、を備える光電式エンコーダが知られている。このような光電式エンコーダにおいて、受光手段は、スケールを介した光源からの光を受光して90°位相が異なる2相正弦波状信号(リサージュ信号)を検出する。光電式エンコーダは、受光手段によって検出されたリサージュ信号に基づいてヘッドとスケールとの相対移動量の検出を行う。ここで、受光手段が検出したリサージュ信号の振幅が小さいと、相対的にノイズが大きくなり測定精度が低下してしまうという問題がある。
このため、例えば特許文献1に記載のエンコーダは、リサージュ波形(リサージュ信号)に含まれる理想的なリサージュ波形からの誤差を検出し、検出された誤差を累積演算して新たな補正値を設定する誤差検出部と、この補正値に応じて光源に供給する電流を調整する光源駆動処理部と、を備える。光源駆動処理部は、誤差検出部によってリサージュ波形の誤差が検出されたとき、光源への電流を調整して測定精度の低下を抑制している。具体的には、光電式エンコーダは、光源への電流を大きくして光源の光量を大きくすることで、光量が小さいときに比べて信頼性のあるリサージュ波形を取得することができる。
特開2013-096756号公報
しかしながら、リサージュ波形の振幅が小さいときに光源駆動処理部が光源への電流を大きくすると、光源の消費電力が大きくなるという問題がある。
本発明の目的は、光源の消費電力の削減を図ることができる光電式エンコーダを提供することである。
本発明の光電式エンコーダは、測定方向に沿って目盛を有するスケールと、光源から照射された光をスケールを介して受光する受光手段を有し、前記スケールの測定方向に沿って相対移動して前記スケールとの相対移動量を検出するヘッドと、前記ヘッドを制御する制御手段と、を備える光電式エンコーダであって、前記制御手段は、前記光源の光量を増減させて所定の受光量を保つように制御する光量制御部と、前記受光手段にて受光した光に基づいてエラーを判定するエラー判定部と、前記光量制御部により制御された前記光源の光量が最大光量であり、かつ、前記エラー判定部がエラーと判定したときに前記光量制御部による制御を停止させて前記光源の光量を抑制する光量抑制部と、前記エラー判定部によって判定されたエラーに基づき前記光量抑制部によって光源の光量が抑制された後、前記光量制御部による制御を復帰させるための光を前記光源に復帰信号として出力させる復帰制御部と、前記受光手段にて受光した光に基づいてエラーを再び判定するエラー再判定部と、を備え、前記復帰制御部は、前記エラー再判定部がエラーと判定しなかったときに前記光量制御部による制御を復帰させ、前記エラー再判定部は、前記エラー判定部とは異なる判定基準でエラーを判定可能であることを特徴とする。
このような本発明によれば、光電式エンコーダは、受光手段にて受光した光に基づいてエラーを判定するエラー判定部を備えることで、例えばリサージュ信号の振幅が小さくなり光電式エンコーダの信頼性が低下した場合などにエラーと判定することができる。そして、光電式エンコーダは、エラー判定部がエラーと判定したときに光量制御部による制御を停止させて光源の光量を抑制する光量抑制部を備えることで、光量制御部によって光源への電流が大きくなるように制御されることを抑制することができる。したがって、光量抑制部は、光量制御部による電力過多となる制御を抑制することができるため、光源の消費電力の削減を図ることができる。また、光電式エンコーダは、光量制御部による制御を復帰させるための光を光源に復帰信号として出力させる復帰制御部と、受光手段にて受光した光に基づいてエラーを再び判定するエラー再判定部と、を備えることで、復帰制御部は、例えばリサージュ信号を検出してエラー再判定部がエラーと判定しなかったときに光量制御部による制御を復帰させることができる。
この際、前記光量抑制部は、前記エラー判定部がエラーと判定したとき、前記光源を消灯させることが好ましい。
このような構成によれば、光量抑制部は、エラー判定部がエラーと判定したときに光源を消灯させるため、光源の消費電力の削減をさらに図ることができる。
また、前記光量抑制部は、前記エラー判定部がエラーと判定したとき、前記光源を所定の光量に抑制することが好ましい。
このような構成によれば、光量抑制部は、エラー判定部がエラーと判定したときに光源を所定の光量に抑制するため、光源の消費電力の削減を図ることができる。ここで、光電式エンコーダは、光量抑制部によって光源が消灯された場合、リサージュ信号を検出することができない。しかし、光量抑制部によって光源が所定の光量に抑制された場合、光源は所定の光量の光を照射するため、光電式エンコーダは、リサージュ信号を検出できる可能性がある。
この際、前記復帰制御部は、前記光源を明滅させることによって、前記光源に前記復帰信号を出力させることが好ましい。
このような構成によれば、復帰制御部は光源を明滅させることによって、光源に復帰信号を出力させている間であっても光源の消費電力の削減を図ることができる。
ここで、光源としてLED(Light Emitting Diode: 発光ダイオード)を採用した場合、LEDは累計使用時間により劣化するという特性を有するので、復帰制御部は、光源を明滅させることによって、光源(LED)の長寿命化を図ることができる。したがって、光電式エンコーダは光源の劣化を抑制することができる。
この際、前記復帰制御部は、所定の契機に基づいて前記光源に前記復帰信号を出力させることが好ましい。
このような構成によれば、復帰制御部は、所定の契機に基づいて光源に復帰信号を出力させることができる。したがって、光量抑制部は、復帰制御部が所定の契機に基づいて光源に復帰信号を出力させるまでは光源の光量を抑制するため、光源の消費電力の削減を図ることができる。
また、前記復帰制御部は、前記エラー判定部が判定したエラーに基づき前記光量抑制部によって光源の光量が抑制された後、前記ヘッドが相対移動したことを契機として前記光源に前記復帰信号を出力させることが好ましい。
このような構成によれば、復帰制御部は、エラー判定部が判定したエラーに基づき光量抑制部によって光量が抑制された後、ヘッドが相対移動したことを契機として光源に復帰信号を出力させることができる。したがって、光量抑制部は、復帰制御部がヘッドの相対移動に基づいて光源に復帰信号を出力させるまでは光源の光量を抑制するため、光源の消費電力の削減を図ることができる。
また、前記復帰制御部は、前記エラー判定部が判定したエラーに基づき前記光量抑制部によって光源の光量が抑制された後、一定時間が経過したことを契機として前記光源に前記復帰信号を出力させることが好ましい。
このような構成によれば、復帰制御部は、エラー判定部が判定したエラーに基づき光量抑制部によって光源の光量が抑制された後、一定時間が経過したことを契機として光源に復帰信号を出力させることができる。したがって、光量抑制部は、一定時間の経過後、復帰制御部が光源に復帰信号を出力させるまでは光源の光量を抑制するため、光源の消費電力の削減を図ることができる。また、復帰制御部は一定時間が経過したことを契機として光源に復帰信号を出力させるため、一定時間の経過後に、自動的に光源に復帰信号を出力させることができる。
本発明の第1実施形態に係るエンコーダを示す斜視図 本発明の第1実施形態に係るエンコーダを示すブロック図 本発明の第1実施形態に係る光源の光量制御を示すフローチャート 本発明の第1実施形態に係るリサージュ信号の大きさおよび光源の光量の変化を示すグラフ 本発明の第2実施形態に係るエンコーダを示すブロック図 本発明の第2実施形態に係る光源の光量制御を示すフローチャート 本発明の第2実施形態に係る光源の明滅を示すグラフ 本発明の第2実施形態に係る光源の明滅の変形例を示すグラフ 本発明の第3実施形態に係る光源の光量制御を示すフローチャート 本発明の第3実施形態に係る復帰制御実行工程を示すフローチャート 本発明の第3実施形態に係る復帰制御実行工程の変形例を示すフローチャート
〔第1実施形態〕
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係るエンコーダを示す斜視図である。
エンコーダ1は、図1に示すように、測定方向(X方向)に沿って目盛を有するスケール2と、スケール2のX方向に沿って相対移動してスケール2との相対移動量を検出するヘッド3と、を備える光電式リニアエンコーダである。
なお、以下の説明において、スケール2の長手方向でありヘッド3の移動方向をX方向と記す場合がある。
スケール2は、ガラスなどで長尺状に形成され、スケール2のX方向に沿って反射部および非反射部を交互に有するインクリメンタルパターンの目盛21とアブソリュートパターンの目盛22とを備える。インクリメンタルパターンの目盛21からはスケール2とヘッド3との相対移動量が検出され、アブソリュートパターンの目盛22からは絶対位置が検出される。
ヘッド3は、光源4と、受光手段5と、を有している。
光源4は、例えばLEDが用いられ、スケール2に光を照射する。受光手段5は、スケール2の目盛21,22を介して光を受光し、受光した光の光量変化を電気信号にする。そして、受光手段5はこの電気信号から90°位相が異なる2相正弦波状信号(リサージュ信号)を検出する。エンコーダ1は、受光手段5によって検出されたリサージュ信号に基づいてスケール2とヘッド3との相対移動量の検出を行う。ここで、スケール2を介して反射した光の光量変化を電気信号に変換する方式を反射形光電式という。
図2は、本発明の第1実施形態に係るエンコーダを示すブロック図である。
エンコーダ1は、ヘッド3を制御する制御手段6と、リサージュ信号に基づいて制御手段6で演算された相対移動量を出力する出力手段7と、をさらに備える。
制御手段6は、光量制御部10と、エラー判定部11と、光量抑制部12と、を備える。また、制御手段6は、受光手段5によって検出されたリサージュ信号からスケール2とヘッド3との相対移動量を演算している。
出力手段7は、例えばエンコーダ1に接続するコンピュータのディスプレイ画面などに制御手段6によって演算された相対移動量を出力して表示させる。
光量制御部10は、光源4の光量を増減させて所定の受光量を保つように制御をしている。具体的には、光量制御部10は、スケール2上の汚れなどによってリサージュ信号(リサージュ信号の振幅)の大きさがあらかじめ設定された理想のリサージュ信号の大きさと比較して小さくなったとき、光源4への電流を大きくして光量を増加させる。また、光量制御部10は、リサージュ信号の大きさがあらかじめ設定された理想のリサージュ信号の大きさと比較して大きくなったとき、光源4への電流を小さくして光量を減少させる。このように、光量制御部10は、受光手段5が理想のリサージュ信号を検出できる所定の受光量を保つ制御をしている。
なお、以下の説明において、リサージュ信号の振幅の大きさをリサージュ信号の大きさと記す場合がある。
エラー判定部11は、受光手段5にて受光した光に基づいてエラーを判定している。具体的には、エラー判定部11は、あらかじめ設定されたエラー判定基準のリサージュ信号と受光手段5で検出されたリサージュ信号とを比較して、エラー判定基準のリサージュ信号よりも受光手段5で検出されたリサージュ信号が小さくなったとき、エラーと判定する。ここで、エラー判定基準は、受光手段5がリサージュ信号を検出できなくなるリサージュ信号の大きさに設定されている。エラー判定基準のリサージュ信号よりも受光手段5で検出されたリサージュ信号が小さくなった場合、相対的にノイズが大きくなり測定精度が低下するため、受光手段5は正常なリサージュ信号を検出することができない。
光量抑制部12は、エラー判定部11がエラーと判定したときに光量制御部10による制御を停止させて光源4の光量を抑制する。具体的には、光量抑制部12は、光源4を消灯させることによって光源4の光量を抑制する。
図3は、本発明の第1実施形態に係る光源の光量制御を示すフローチャートである。
以下、光源4の光量制御について、図3を参照して説明する。
エンコーダ1は、先ず、光源4の光量を制御する光量制御部10による光量制御工程を実行する(ステップST01)。次に、エラー判定部11は、受光手段5にて受光した光に基づいてリサージュ信号にエラーがあるか否かを判定する(ステップST02)。
エラー判定部11がエラーと判定したとき(ステップST02でYES)、光量抑制部12は、光量制御部10による制御を停止させて光源4を消灯する光量抑制工程を実行する(ステップST03)。光量抑制部12によって光源4が消灯されると、受光手段5はリサージュ信号を検出することができない。エラー判定部11がエラーと判定しなかったとき(ステップST02でNO)、ステップST01へと戻り、光量制御部10は光量制御工程を実行する。
図4は、本発明の第1実施形態に係るリサージュ信号の大きさおよび光源の光量の変化を示すグラフである。具体的には、図4(A)はリサージュ信号の大きさの変化を示すグラフであり、図4(B)は光源4の光量の変化を示すグラフである。
図4(A)のリサージュ信号の大きさを示すグラフは、縦軸をリサージュ信号の大きさとし、横軸をスケール2の汚れの量としている。図4(B)の光源4の光量の変化を示すグラフは、縦軸を光源4の光量とし、横軸を図4(A)と同様に汚れの量としている。
以下、リサージュ信号の大きさおよび光源4の光量の変化について、図4を参照して説明する。
図4に示すように、スケール2の汚れの量が増加すると受光手段5が受光する光量が減少してリサージュ信号が小さくなる。このため、光量制御部10は、光源4への電流を大きくして光量を増加させ、受光手段5が受光する光量を一定に保とうとする(ステップST01、図3参照)。これにより、汚れの量aまでは受光手段5は光量制御部10による制御によって汚れがあったとしても正常なリサージュ信号を検出する。
汚れの量が増加し汚れの量aまで達すると、光源4の光量は光量制御部10による制御で既に最大光量Maxに達しているため、汚れの量の増加にともなって受光手段5が受光する光量が減少し、検出されるリサージュ信号は小さくなる。
汚れの量aから汚れの量bにかけて汚れの量がさらに増加し、リサージュ信号の大きさが汚れの量bのエラー判定基準に達したとき、エラー判定部11はエラーと判定する(ステップST02でYES)。そして、光量抑制部12は、汚れの量bにおいて光源4を消灯させる(ステップST03)。
このような本実施形態によれば、以下の作用・効果を奏することができる。
(1)エンコーダ1は、受光手段5にて受光した光に基づいてエラーを判定するエラー判定部11を備えることで、例えばリサージュ信号が小さくなりエンコーダ1の信頼性が低下した場合などにエラーと判定することができる。そして、エンコーダ1は、エラー判定部11がエラーと判定したときに光量制御部10による制御を停止させて光源4の光量を抑制する光量抑制部12を備えることで、光量制御部10によって光源4への電流が大きくなるように制御されることを抑制することができる。したがって、光量抑制部12は、光量制御部10による電力過多となる制御を抑制することができるため、光源4の消費電力の削減を図ることができる。
(2)光量抑制部12は、エラー判定部11がエラーと判定したときに光源4を消灯させるため、光源4の消費電力の削減をさらに図ることができる。
(3)光量抑制部12は、エラー判定部11がエラーと判定したときに光源4を所定の光量に制御するため、光源4の消費電力の削減を図ることができる。
なお、ステップST03(図3参照)において、光量抑制部12は光源4を消灯する光量抑制工程を実行したが、光源4を消灯させずに光源4による光を所定の光量に抑制する光量抑制工程を実行してもよい。ここで、所定の光量とは、光源4の最大光量Maxよりも小さく、受光手段5がリサージュ信号を検出できる程度の光量であることが好ましい。
これにより、光量抑制部12は、光源4を所定の光量に抑制したとき、光源4は所定の光量の光を照射するため、エンコーダ1は、リサージュ信号を検出できる可能性がある。
〔第2実施形態〕
以下、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図5は、本発明の第2実施形態に係るエンコーダを示すブロック図である。
前記第1実施形態のエンコーダ1は制御手段6を備え、制御手段6は、光量制御部10と、エラー判定部11と、光量抑制部12と、を備えていた。これに対して、図5に示すように、本実施形態のエンコーダ1Aは制御手段6Aを備え、制御手段6Aは、光量制御部10と、エラー判定部11と、光量抑制部12と、の他に、復帰制御部13と、エラー再判定部14と、をさらに備える点で前記第1実施形態と異なる。
復帰制御部13は、エラー判定部11によって判定されたエラーに基づき光量抑制部12によって光源4の光量が抑制された後、光量制御部10による制御を復帰させるための光を光源4に復帰信号として出力させる。このとき、復帰制御部13は、光源4を明滅させることによって、光源4に復帰信号を出力させる。
エラー再判定部14は、受光手段5にて受光した光に基づいてエラーを再び判定する。
ここで、エラー再判定部14は、エラー判定部11と同じエラー判定基準のリサージュ信号を用いて受光手段5で検出されたリサージュ信号と比較してエラーがあるか否かを判定する。なお、エラー再判定部14は、エラー判定部11と同じエラー判定基準のリサージュ信号を用いずに、エラー判定部11のエラー判定基準よりも大きいリサージュ信号をエラー再判定部14のエラー判定基準としてもよいし、エラー判定部11のエラー判定基準よりも小さいリサージュ信号をエラー再判定部14のエラー判定基準としてもよい。
復帰制御部13は、受光手段5が復帰信号からリサージュ信号を検出し、エラー再判定部14がエラーと判定しなかったときに光量制御部10による制御を復帰させる。
図6は、本発明の第2実施形態に係る光源の光量制御を示すフローチャートであり、図7は、本発明の第2実施形態に係る光源の明滅を示すグラフである。
図7の光源4の明滅を示すグラフは、縦軸を光源4の光量とし、横軸を時間tとしている。
以下、光源4の光量制御について、図4,6,7を参照して説明する。
図6に示すように、先ず、エンコーダ1Aは、光量抑制部12がステップST03の光量抑制工程を実行した後、復帰制御部13に光源4を明滅させて復帰信号を出力させる復帰制御工程を実行させる(ステップST14)。図4に示すように、汚れの量bで光量抑制部12が光量抑制工程を実行すると、光源4は消灯する。光源4が消灯した後、図7に示すように、復帰制御部13は、光源4を最大光量Maxおよび最小光量0で一定の周期で明滅させて復帰信号を出力させる。このとき、復帰制御部13によって光源4は最大光量Maxおよび最小光量0の間を方形波状に明滅する。
図6に示すように、復帰制御部13がステップST14の復帰制御工程を実行した後、エラー再判定部14は、受光手段5にて受光した光に基づいてリサージュ信号にエラーがあるか否かを判定する(ステップST15)。エラー再判定部14がエラーと判定したとき(ステップST15でYES)、ステップST14へと戻り、復帰制御部13は復帰制御工程を実行する。エラー再判定部14がエラーと判定しなかったとき(ステップST15でNO)、ステップST01へと戻り、光量制御部10は復帰するとともに光量制御工程を実行する。
なお、ステップST14において、復帰制御部13は、光源4を明滅させて復帰信号を出力させたが、光源4を明滅させずに一定の光量で復帰信号を出力させてもよい。このとき、光源4の光量は、受光手段5がリサージュ信号を検出できる程度の光量であることが好ましい。
このような本実施形態においても、前記第1実施形態における(1)~(3)と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
(4)エンコーダ1Aは、光量制御部10による制御を復帰させるための光を光源4に復帰信号として出力させる復帰制御部13と、受光手段5にて受光した光に基づいてエラーを再び判定するエラー再判定部14と、を備えることで、復帰制御部13は、リサージュ信号を検出してエラー再判定部14がエラーと判定しなかったときに光量制御部10による制御を復帰させることができる。
(5)復帰制御部13は光源4を明滅させることによって、光源4に復帰信号を出力させている間であっても光源4の消費電力の削減を図ることができる。
(6)復帰制御部13は、LEDである光源4を明滅させることによって、光源4の長寿命化を図ることができる。したがって、エンコーダ1Aは光源4の劣化を抑制することができる。
図8は、本発明の第2実施形態に係る光源の明滅の変形例を示すグラフである。
なお、復帰制御部13による光源4の明滅は、図7に示すように、最大光量Maxおよび最小光量0の間を方形波状に明滅させずに、図8(A)に示すように、最大光量Maxおよび最小光量0の間を三角波状に明滅させてもよいし、図8(B)に示すように、最大光量Maxおよび最小光量0の間を正弦波状に明滅させてもよい。
また、復帰制御部13は、最大光量Maxおよび最小光量0で明滅させずに、最大光量Maxよりも小さい光量を波形の最大値として明滅させてもよいし、最小光量0よりも大きい光量を波形の最小値として明滅させてもよい。
〔第3実施形態〕
以下、本発明の第3実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図9は、本発明の第3実施形態に係る光源の光量制御を示すフローチャートである。
前記第2実施形態では、エンコーダ1Aの制御手段6Aは、ステップST14において復帰制御工程を実行していた。これに対して、本実施形態の制御手段6Aは、ステップST14aにおいて復帰制御実行工程を実行する点で前記第2実施形態と異なる。
図9に示すように、エンコーダ1Aは、光量抑制部12がステップST03の光量抑制工程を実行した後、復帰制御部13に所定の契機に基づいて光源4に復帰信号を出力させる復帰制御実行工程を実行させる(ステップST14a)。
図10は、本発明の第3実施形態に係る復帰制御実行工程を示すフローチャートである。具体的には、図9のステップST14aの復帰制御実行工程での復帰制御部13の動作を示すフローチャートである。
図10に示すように、復帰制御部13は、光量抑制部12がステップST03の光量抑制工程を実行した後(図9参照)、ヘッド3がスケール2に対して相対移動したか否かを判定する(ステップST21)。ここで、スケール2に対するヘッド3の相対移動量は受光手段5が検出していたが、光量抑制部12によって光源4の光量が抑制されているため、受光手段5ではヘッド3がスケール2に対して相対移動したか否かを検出することができない。そのため、復帰制御部13は、ヘッド3に実装された例えば加速度センサによってヘッド3が相対移動したか否かを判定する。復帰制御部13はヘッド3が相対移動したと判定したとき(ステップST21でYES)、光源4を明滅させて復帰信号を出力させる復帰制御工程を実行する(ステップST22)。復帰制御部13はヘッド3が相対移動しなかったと判定したとき(ステップST21でNO)、ステップST21へと戻る。
復帰制御部13がステップST22の復帰制御工程を実行した後、エラー再判定部14は、受光手段5にて受光した光に基づいてリサージュ信号にエラーがあるか否かを判定する(ステップST23)。エラー再判定部14がエラーと判定したとき(ステップST23でYES)、ステップST22へと戻り、復帰制御部13は復帰制御工程を実行する。エラー再判定部14がエラーと判定しなかったとき(ステップST23でNO)、復帰制御部13は復帰制御実行工程を終了する。
このような本実施形態においても、前記第1実施形態および前記第2実施形態と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
(7)復帰制御部13は、所定の契機に基づいて光源4に復帰信号を出力させることができる。したがって、光量抑制部12は、復帰制御部13が所定の契機に基づいて光源4に復帰信号を出力させるまでは光源4の光量を抑制するため、光源4の消費電力の削減を図ることができる。
(8)復帰制御部13は、エラー判定部11が判定したエラーに基づき光量抑制部12によって光量が抑制された後、ヘッド3が相対移動したことを契機として光源4に復帰信号を出力させることができる。したがって、光量抑制部12は、復帰制御部13がヘッド3の相対移動に基づいて光源4に復帰信号を出力させるまでは光源4の光量を抑制するため、光源4の消費電力の削減を図ることができる。
なお、ステップST14aの復帰制御実行工程において、復帰制御部13はステップST21でヘッド3が相対移動したか否かを判定したが、一定時間が経過したか否かを判定してもよい。
図11は、本発明の第3実施形態に係る復帰制御実行工程の変形例を示すフローチャートである。
図11に示すように、復帰制御部13は、光量抑制部12がステップST03(図9参照)の光量抑制工程を実行した後、一定時間が経過したか否かを判定する(ステップST21a)。
復帰制御部13は一定時間が経過したと判定したとき(ステップST21aでYES)、光源4を明滅させて復帰信号を出力させる復帰制御工程を実行する(ステップST22)。復帰制御部13は一定時間が経過していないと判定したとき(ステップST21aでNO)、ステップST21aへと戻る。
これにより、復帰制御部13は、エラー判定部11が判定したエラーに基づき光量抑制部12によって光源4の光量が抑制された後、一定時間が経過したことを契機として光源4に復帰信号を出力させることができる。光量抑制部12は、一定時間の経過後、復帰制御部13が光源4に復帰信号を出力させるまでは光源4の光量を抑制するため、光源4の消費電力の削減を図ることができる。また、復帰制御部13は一定時間が経過したことを契機として光源4に復帰信号を出力させるため、一定時間の経過後に、自動的に光源4に復帰信号を出力させることができる。
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、光電式リニアエンコーダを例として本発明をエンコーダ1,1Aに用いる場合を説明したが、エンコーダ1,1Aは、ロータリーエンコーダでもよい。また、その他の測定器等においても利用可能であり、本発明を何に実装するかについては、特に限定されるものではない。
前記各実施形態では、エンコーダ1,1Aは、スケール2の目盛21,22を反射した光を受光手段5が受光する反射形光電式として記載したが、スケール2は透過部と非透過部とを有する目盛21,22を備え、目盛21,22の透過部を透過した光を受光手段5が受光する透過形光電式であってもよい。スケール2は、インクリメンタルパターンの目盛21とアブソリュートパターンの目盛22とを備えていたが、スケール2は目盛を有していればよく、検出器の形式や検出方式等は特に限定されるものではない。
以上のように、本発明は、光電式エンコーダの光源の光量制御に好適に利用できる。
1,1A エンコーダ
2 スケール
3 ヘッド
4 光源
5 受光手段
6,6A 制御手段
10 光量制御部
11 エラー判定部
12 光量抑制部
13 復帰制御部
14 エラー再判定部

Claims (4)

  1. 測定方向に沿って目盛を有するスケールと、前記スケールに光を照射する光源及び前記光源から照射された光をスケールを介して受光する受光手段を有し、前記スケールの測定方向に沿って相対移動して前記スケールとの相対移動量を検出するヘッドと、前記ヘッドを制御する制御手段と、を備える光電式エンコーダであって、
    前記制御手段は、
    前記光源の光量を増減させて所定の受光量を保つように制御する光量制御部と、
    前記受光手段にて受光した光に基づいてエラーを判定するエラー判定部と、
    前記光量制御部により制御された前記光源の光量が最大光量であり、かつ、前記エラー判定部がエラーと判定したときに前記光量制御部による制御を停止させて前記光源の光量を抑制する光量抑制部と、
    前記エラー判定部によって判定されたエラーに基づき前記光量抑制部によって光源の光量が抑制された後、前記光量制御部による制御を復帰させるための光を前記光源に復帰信号として出力させる復帰制御部と、
    前記受光手段にて受光した光に基づいてエラーを再び判定するエラー再判定部と、を備え、
    前記復帰制御部は、
    前記エラー再判定部がエラーと判定しなかったときに前記光量制御部による制御を復帰させ、
    前記エラー再判定部は、
    前記エラー判定部とは異なる判定基準でエラーを判定可能であり、
    前記復帰制御部は、前記ヘッドに実装された加速度センサが検出する加速度に基づいてヘッドが相対移動したか否かを判定し、前記エラー判定部が判定したエラーに基づき前記光量抑制部によって光源の光量が抑制された後、前記ヘッドが相対移動したと判定したことを契機として前記光源に前記復帰信号を出力させることを特徴とする光電式エンコーダ。
  2. 請求項1に記載された光電式エンコーダにおいて、
    前記光量抑制部は、
    前記エラー判定部がエラーと判定したとき、前記光源を消灯させることを特徴とする光電式エンコーダ。
  3. 請求項1に記載された光電式エンコーダにおいて、
    前記光量抑制部は、
    前記エラー判定部がエラーと判定したとき、前記光源を所定の光量に抑制することを特徴とする光電式エンコーダ。
  4. 請求項1から請求項3のいずれかに記載された光電式エンコーダにおいて、
    前記復帰制御部は、
    前記光源を明滅させることによって、前記光源に前記復帰信号を出力させることを特徴とする光電式エンコーダ。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024037476A (ja) 2022-09-07 2024-03-19 株式会社ミツトヨ 一次元測定機および一次元測定機の制御プログラム

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004325171A (ja) 2003-04-23 2004-11-18 Yaskawa Electric Corp 耐振動エンコーダ
JP2006334891A (ja) 2005-06-01 2006-12-14 Konica Minolta Medical & Graphic Inc 画像記録装置
JP2007147625A (ja) 2005-11-28 2007-06-14 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd 汚染検出を有する光学エンコーダ
JP2007232681A (ja) 2006-03-03 2007-09-13 Mitsutoyo Corp 光電式エンコーダ

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0868667A (ja) * 1994-08-30 1996-03-12 Canon Inc 光学式エンコーダ装置
JPH10267693A (ja) * 1997-03-26 1998-10-09 Tamagawa Seiki Co Ltd エンコーダの発光素子駆動方法
JP4703059B2 (ja) * 2001-08-28 2011-06-15 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
US6834439B2 (en) * 2002-05-21 2004-12-28 Mitutoyo Corporation Measuring tool, encoder and producing method of encoder
JP5015442B2 (ja) * 2005-10-11 2012-08-29 ローム株式会社 電流検出回路およびそれを用いた受光装置ならびに電子機器
WO2007043282A1 (ja) * 2005-10-11 2007-04-19 Rohm Co., Ltd. 電流検出回路およびそれを用いた受光装置、発光制御装置ならびにそれらを用いた電子機器
JP4976823B2 (ja) * 2006-11-15 2012-07-18 株式会社ミツトヨ 光学式エンコーダ
JP2008305710A (ja) * 2007-06-08 2008-12-18 Olympus Corp 照明用光源装置
JP5071131B2 (ja) * 2008-01-31 2012-11-14 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置
JP5310388B2 (ja) * 2009-08-27 2013-10-09 株式会社リコー 画像形成装置及び画質調整にかかるパターン画像の検出方法
JP5657292B2 (ja) * 2010-07-12 2015-01-21 Dmg森精機株式会社 変位検出装置
JP5718662B2 (ja) * 2011-01-31 2015-05-13 株式会社ミツトヨ オートフォーカス装置
JP5765968B2 (ja) * 2011-02-28 2015-08-19 キヤノン株式会社 光学式エンコーダ
JP5857347B2 (ja) * 2011-10-28 2016-02-10 株式会社ミツトヨ エンコーダ
JP5883820B2 (ja) * 2013-03-27 2016-03-15 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 画像読取装置、画像形成装置および画像読取方法
JP6149254B2 (ja) * 2013-06-20 2017-06-21 パナソニックIpマネジメント株式会社 モータ位置検出器
JP6359254B2 (ja) * 2013-09-03 2018-07-18 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004325171A (ja) 2003-04-23 2004-11-18 Yaskawa Electric Corp 耐振動エンコーダ
JP2006334891A (ja) 2005-06-01 2006-12-14 Konica Minolta Medical & Graphic Inc 画像記録装置
JP2007147625A (ja) 2005-11-28 2007-06-14 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd 汚染検出を有する光学エンコーダ
JP2007232681A (ja) 2006-03-03 2007-09-13 Mitsutoyo Corp 光電式エンコーダ

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