JP5595148B2 - アブソリュートエンコーダ - Google Patents
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- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
Description
(第1実施形態)
図1乃至図10を参照して、本発明の第1実施形態について説明する。
図1は本実施形態におけるアブソリュートエンコーダ100の構成を表す斜視図であり、図2はX軸方向から見たアブソリュートエンコーダ100の断面図である。アブソリュートエンコーダ100は、被計測物の絶対位置を計測する。全長でスリット数が異なる等間隔の2トラックパターンを有するスケール部2は、移動する被計測物に固定され、格子配列方向であるX軸方向に被計測物とともに移動可能に構成されている。センサユニット部7は、スケール部2に対向して配置されている。センサユニット部7は、LEDチップからなる光源1、フォトダイオードアレイを有する2つの受光部9、10と信号処理回路部とを内蔵したフォトICチップからなる半導体素子3、8、及び、それらを実装したプリント基板4等を備えて構成される。光源1及び半導体素子3、8は樹脂5で封止され、樹脂5は透明ガラス基板6で覆われている。なお本実施形態では、部品の共通化、及び、コストダウンを図るため、2つの半導体素子3、8として同一の半導体素子を用いることが好ましい。このため、本実施形態では半導体素子3、8が同一の半導体素子を用いて構成されるものとして説明するが、これに限定されるものではなく、互いに異なる半導体素子を用いても構わない。
B相の信号:a2×SINθ+s2 … (2)
ここで、a1、s1はそれぞれA相信号の振幅とオフセット、a2、s2はそれぞれB相信号の振幅とオフセット、θは信号の位相である。A相信号の最大値はa1+s1、最小値はa1−s1、信号振幅はa1、平均値はs1である。同様に、B相信号の最大値はa2+s2、最小値はa2−s2、信号振幅はa2、平均値はs2である。これらの値を用いて、式(1)、(2)で表されるA相、B相の信号を補正すると、それぞれ、以下の式(3)、(4)のように表される。
=a1×a2×COSθ … (3)
B相の信号:{(a2×SINθ+s2)−s2}×a1
=a1×a2×SINθ … (4)
この結果、A相、B相信号のオフセットが除去され、信号振幅が同一となった信号62、63が得られる(図6(b))。このようにして得られたA相とB相の出力信号に基づいて、図7(c)で表されるようなアークタンジェント(arctan)の値64を計算する。図7(c)において、横軸はスケール部の位置を示し、縦軸はA相、B相信号のアークタンジェントの値であり、±πradで折り返して示している。このように、演算手段は、第1信号(A相、B相信号)を用いてアークタンジェント演算を行うことにより下位信号65を取得することができる。
B相の信号:b2×SIN(θ+α)+t2 … (6)
ここで、b1、t1はそれぞれA相信号の振幅とオフセット、b2、t2はそれぞれB相信号の振幅とオフセット、θは信号の位相、αは位相のずれ量である。まず、第1トラック42の場合と同様に、信号のオフセットと振幅の補正処理(補正71)を行うと、A相、B相の信号は、それぞれ、以下の式(7)、(8)のように表される。
=b1×b2×COSθ … (7)
B相の信号:{(b2×SIN(θ+α)+t2)−t2}×b1
=b1×b2×SIN(θ+α) … (8)
このとき、A相、B相信号のオフセットが除去され、信号振幅が同一となった信号が得られる(図6(b))。
=b1×b2×2×SIN{(α−90)/2}×COS{θ+(α+90)/2} … (9)
また、式(7)、(8)の和は、以下の式(10)のように表される。
=b1×b2×2×COS{(α−90)/2}×SIN{θ+(α+90)/2} … (10)
このように、式(9)、(10)の位相差は90度となる(図6(c))。
b1×b2×2×SIN{(α−90)/2}×COS{(α−90)/2}×SIN{θ+(α+90)/2} … (12)
この結果、振幅の補正が行われることになる(図6(d))。このようにして、A相、B相信号のオフセットが除去され、信号振幅が同一となり、90度位相差の補正の後、信号振幅の補正まで行われた信号72、73を得ることができる。
(第2実施形態)
次に、図11及び図12を参照して、本発明の第2実施形態について説明する。図11は、本実施形態における信号処理の処理ブロックと処理フローを示す図である。図12は、本実施形態における上位信号取得についての説明図である。第1トラックから得られる下位信号65、第1、第2トラックの信号のバーニア信号から得られる中位信号75の取得方法は、第1実施形態と同様である。以下、本実施形態における絶対位置情報検出の信号処理の処理ブロックと処理フローの中で、第1実施形態との差異である上位信号92の取得方法について説明する。
2 スケール部
9、10 受光部
25、27 信号処理回路部
41 スケール部
42 第1トラック
43 第2トラック
44、45 スリット
Claims (6)
- 被計測物の絶対位置を計測するアブソリュートエンコーダであって、
前記被計測物とともに移動可能に構成され、第1間隔で形成された第1スリットを有する第1トラック、及び、該第1間隔とは異なる第2間隔で形成された第2スリットを有する第2トラック、を備えたスケール部と、
前記第1スリット及び前記第2スリットに光を照射する光源と、
前記第1スリットで反射又は透過した光から得られた第1信号を検出する第1検出手段と、
前記第2スリットで反射又は透過した光から得られた第2信号を検出する第2検出手段と、
前記第1信号及び前記第2信号に基づいて前記被計測物の絶対位置を算出する演算手段と、を有し、
前記第2スリットは、前記スケール部の移動方向における位置に応じて前記光源から照射された光の反射光量又は透過光量が異なるように形成され、
前記演算手段は、
前記第2検出手段で得られた光電流の電圧値又は前記第2信号の振幅値に基づいて上位信号を取得し、
前記第1信号及び前記第2信号を用いてバーニア演算を行うことにより中位信号を取得し、
前記第1信号を用いてアークタンジェント演算を行うことにより下位信号を取得し、
前記上位信号、前記中位信号、及び、前記下位信号に基づいて前記被計測物の絶対位置を算出する、
ことを特徴とするアブソリュートエンコーダ。 - 前記第2スリットは、前記光源から照射された光の反射面積又は透過面積が前記スケール部の前記移動方向における位置に応じて異なるように、前記スケール部の前記移動方向と垂直な方向において、所定の周期で欠落したパターンにより構成され、
前記所定の周期は、前記第2検出手段を構成するフォトダイオードの幅の1/2n(nは整数)であることを特徴する請求項1に記載のアブソリュートエンコーダ。 - 前記演算手段は、前記第2スリットで反射又は透過した光を前記第2検出手段で受光し、得られた光電流を電流電圧変換器で変換した電圧値に基づいて前記上位信号を取得することを特徴とする請求項1又は2に記載のアブソリュートエンコーダ。
- 前記演算手段は、前記第2スリットで反射又は透過した光を前記第2検出手段で受光し、前記第2信号を構成するA相信号及びB相信号の振幅値に基づいて前記上位信号を取得することを特徴とする請求項1又は2に記載のアブソリュートエンコーダ。
- 前記第1検出手段で受光した光の受光量、又は、該第1検出手段から得られる信号の振幅に基づいて、前記第2検出手段で受光する光の受光量が前記スケール部の位置情報に基づいた値として取得可能なように、前記光源のオートパワーコントロールを行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のアブソリュートエンコーダ。
- 前記第1スリットは、前記スケール部の移動方向における位置に応じて前記光源から照射された光の反射光量又は透過光量が異なるように形成され、
前記第1スリット及び前記第2スリットにおける前記光の反射光量又は透過光量が変化する方向は、互いに反対方向であることを特徴とする請求項1又は2に記載のアブソリュートエンコーダ。
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