JP4416560B2 - 光学式変位測定装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係る光学式変位測定装置1の概略構成を示す図である。この実施形態は、光源3からの光Lが反射部5を介して反射型の光学格子7に照射される点を主な特徴とする。まず、光学式変位測定装置1の構成を説明する。装置1は、スケール9とセンサヘッド11とにより構成される。スケール9はガラス等を材料とする長尺状のスケール用基板13を含み、図1にはその一部が表れている。スケール9は一方の側部15及び他方の側部17を有しており、これらによりスケール9の幅が規定される。スケール9の幅方向は測定軸X方向と直交する。
第2実施形態については、第1実施形態との相違を中心に説明する。第2実施形態はいわゆる原点を検出するための光学系の構成を主な特徴とする。すなわち、第1実施形態は、第1出力信号φa,φb,φaa,φbbを合成処理や内挿処理等して生成されたパルスの数をカウントすることにより、変位量を測定するインクリメンタル型である。このため、センサヘッド11をスケール9上の原点を示す原点マークを通過させて、原点を検出してからでなければ絶対位置測定ができない。この原点を検出する操作を原点取りという。
図8は第3実施形態に係る光学式変位測定装置81の回路図である。光源3から第1受光部35及び第2受光部69までの構成は図5に示す第2実施形態と同じである。第1受光部35において、a相用のPD37a、b相用のPD37b、aa相用のPD37aa、bb相用のPD37bbは、それぞれ一つずつ表されているが、図3に示すように、各相用のPD37の個数は複数である。
第4実施形態は、第3実施形態との相違を中心に説明する。図10は第4実施形態に係る光学式変位測定装置111の回路図である。第2受光部69の近く、つまり光成分L1が入射可能な位置に第3受光部113が配置されている。第3受光部113は遮光されており、第3出力信号φsが出力される。第3受光部113は電流電圧変換器115と接続されている。
Claims (6)
- 測定軸方向に延びるスケールと、
このスケールの一方の面と対向し前記スケールに対して前記測定軸方向に移動可能に配置されたセンサヘッドと
を有し、
前記センサヘッドは、
拡散光を出射する光源と、
前記光源からの拡散光のうちの一部を前記スケール側に透過させる光透過部と、
前記光源からの拡散光のうち他の一部をコリメートするレンズと、
前記レンズでコリメートされた光を前記スケールに反射する反射部と、
前記スケールで反射された前記反射部からの光を受光する第1受光部と、
前記スケールで反射された前記光透過部からの光を受光する第2受光部と
を有し、
前記光源、レンズ及び反射部は、前記スケールの一方の面と平行で且つ前記測定軸方向と直交する方向を光軸方向とするように配置され、前記光透過部は、前記光源から前記光軸方向に対して斜めに放射された光成分を前記スケールに透過させ、
前記スケールは、
前記反射部からの光が照射されることにより明暗パターンを生成する測定軸方向に延びる反射型の光学格子と、
前記光学格子よりも前記光源側に配置されて前記測定軸方向の基準位置を示す参照信号用マークと
を有し、
前記第1受光部は、前記センサヘッドが前記スケールに対して相対移動することにより前記光学格子で生成された明暗パターンを受光して、前記相対移動の量に対応した第1出力信号を出力し、
前記第2受光部は、前記光透過部及び前記参照信号用マークを介して前記光源からの光を受光して第2出力信号を出力する
ことを特徴とする光学式変位測定装置。 - 前記レンズの周辺部が前記スケールと平行な面でカットされている
ことを特徴とする請求項1に記載の光学式変位測定装置。 - 前記第1受光部から出力された第1出力信号の強度に応じたフィードバック信号を前記光源にフィードバックすることにより前記光源の発光量を制御するフィードバック部を備える
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学式変位測定装置。 - 前記第1及び第2受光部は同一の半導体基板に形成されている
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学式変位測定装置。 - 前記フィードバック部から出力されたフィードバック信号の強度の調節機能を含み、このフィードバック信号を基準にして前記第2受光部から出力された第2出力信号から参照信号を生成する参照信号生成部を備える
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学式変位測定装置。 - 第3出力信号を出力する遮光された第3受光部と、
前記第2受光部から出力された第2出力信号が一方の入力端子から入力し、前記第3受光部から出力された第3出力信号が他方の入力端子から入力する差動増幅器と、
前記差動増幅器からの出力を基にして参照信号を生成する参照信号生成部と、を備える
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学式変位測定装置。
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