JP2014002078A - エンコーダおよびレンズ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】検出分解能の切り替えにより生じる光源の光量変動を低減可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダは、光源からの光を反射または透過し、光源に対して相対的に変位可能なスケールと、分解能切り替え信号に応じて切り替え可能な分解能で、スケールで反射または透過した光を受光するフォトダイオードアレイと、フォトダイオードアレイを構成する複数のフォトダイオードのうち、分解能切り替え信号に基づいて選択されたフォトダイオードの出力信号を用いて検出信号を生成する検出信号生成部と、所定の基準電圧とフォトダイオードの出力信号とを用いて光源の駆動電流を制御する電流制御部とを有し、電流制御部は、光源の駆動電流を一定にするように、分解能切り替え信号に応じて所定の基準電圧を変更する。
【選択図】図5
【解決手段】エンコーダは、光源からの光を反射または透過し、光源に対して相対的に変位可能なスケールと、分解能切り替え信号に応じて切り替え可能な分解能で、スケールで反射または透過した光を受光するフォトダイオードアレイと、フォトダイオードアレイを構成する複数のフォトダイオードのうち、分解能切り替え信号に基づいて選択されたフォトダイオードの出力信号を用いて検出信号を生成する検出信号生成部と、所定の基準電圧とフォトダイオードの出力信号とを用いて光源の駆動電流を制御する電流制御部とを有し、電流制御部は、光源の駆動電流を一定にするように、分解能切り替え信号に応じて所定の基準電圧を変更する。
【選択図】図5
Description
本発明は、測定対象物の変位を検出するエンコーダに関する。
従来から、測定対象物の移動量や回転量等の変位を検出する変位検出装置として、光学式エンコーダが知られている。光学式エンコーダは、光源、光源からの光を反射または透過して光源に対して相対的に変位可能なスケール、および、スケールで反射または透過した光を受光する受光素子を備えて構成される。スケールには光を反射または透過するパターンが形成されており、光源に対するスケールの相対的変位に応じて、受光素子の受光光量が変化する。そして、受光素子の受光光量に応じて生成される検出信号に基づいてスケールの変位を検出する。
特許文献1には、1トラック上のスケールパターンに複数の異なる周期の変調パターンを形成することにより、少ないスケールトラックから多くの情報を取得可能な光学式エンコーダが開示されている。
高精度な位置検出を行うには、センサ面上で受光される像の、回折光の干渉により生じる不要な空間周波数成分、および、スケール透過率または反射率分布に含まれる不要な空間周波数成分を低減させ、検出波形の誤差成分を低減する必要がある。
一方、スケールトラックに複数のパターンを形成し、フォトダイオードアレイでの検出分解能を切り替えることにより、不要な空間周波数成分を低減できることが知られている。このような構成では、オートパワーコントロール回路を設ける必要がある。また、スイッチ回路を設けてフォトダイオードの接続を切り替えることにより、4相正弦波出力S(A+)、S(B+)、S(A−)、S(B−)が出力される。
しかしながら、検出分解能の切り替えにより4相正弦波出力に用いられるフォトダイオード数は異なり、オートパワーコントロールに用いられるフォトダイオードの数も異なるため、検出分解能の切り替えの際に光源の光量が変動する。この結果、分解能を切り替えの際の信号振幅の飽和やダイナミックレンジ確保のためのS/N低下が位置検出誤差の要因となる。
そこで本発明は、検出分解能の切り替えにより生じる光源の光量変動を低減可能な光学式エンコーダおよびレンズ装置を提供する。
本発明の一側面としてのエンコーダは、光源からの光を反射または透過し、該光源に対して相対的に変位可能なスケールと、分解能切り替え信号に応じて切り替え可能な分解能で、前記スケールで反射または透過した光を受光するフォトダイオードアレイと、前記フォトダイオードアレイを構成する複数のフォトダイオードのうち、前記分解能切り替え信号に基づいて選択されたフォトダイオードの出力信号を用いて検出信号を生成する検出信号生成部と、所定の基準電圧と前記フォトダイオードの前記出力信号とを用いて前記光源の駆動電流を制御する電流制御部とを有し、前記電流制御部は、前記光源の駆動電流を一定にするように、前記分解能切り替え信号に応じて前記所定の基準電圧を変更する。
本発明の他の側面としてのレンズ装置は、前記エンコーダを備えて構成される。
本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。
本発明によれば、検出分解能の切り替えにより生じる光源の光量変動を低減可能なエンコーダおよびレンズ装置を提供することができる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
まず、図1を参照して、本実施例におけるエンコーダ(光学式エンコーダ)の構成について説明する。図1は、本実施例におけるエンコーダ100の概略構成図である。エンコーダ100は、スケール20、センサユニット7、信号処理装置101、および、記憶装置102を備えて構成される。スケール20は測定対象物である可動部(不図示)に取り付けられ、センサユニット7は固定部(不図示)に取り付けられる。ただし本実施例はこれに限定されるものではなく、スケール20を固定部に取り付け、センサユニット7を可動部に取り付けてもよい。
信号処理装置101は、センサユニット7で得られたエンコーダ信号(検出信号)の内挿処理、記憶装置102への信号の書き込みおよび記憶装置102からの信号の読み出し、および、位置信号の出力などを行う。なお、本実施例では反射型の光学式エンコーダについて説明するが、これに限定されるものではない。本実施例は、透過型のエンコーダにも適用可能である。
センサユニット7は、LEDを有する光源1、および、フォトダイオードアレイ9を有する受光素子3を備える。また、センサユニット7は、フォトダイオードアレイ9で受光した光の光電変換などの信号処理を行う信号処理回路2aを内蔵した半導体素子2(フォトICチップ)を備える。ただし本実施例はこれに限定されるものではなく、このような信号処理回路2aを受光素子3に内蔵してもよい。光源1、半導体素子2、および、受光素子3は、プリント基板4上に実装され、樹脂5を用いて封止されている。また、樹脂5の上には透明ガラス基板6が取り付けられている。このようにセンサユニット7は、これらの部材をパッケージ化して構成された受発光一体型のセンサユニットである。このように、フォトダイオードアレイ9は光源1と一体的に形成されており、スケール20に対して相対的に変位可能である。
スケール20は、光源1からの光を反射(または透過)し、光源1に対して相対的に変位可能に構成されている。スケール20には、ガラス基板上にクロム反射膜をパターニングすることによりスケールトラック8が形成されている。センサユニット7はスケール20と対向するように配置されており、センサユニット7内の光源1から出射した発散光束は、スケール20のスケールトラック8に照射される。また、スケールトラック8から反射した光束は、センサユニット7内のフォトダイオードアレイ9に向けて反射される。フォトダイオードアレイ9上で、スケールトラック8からの反射率分布が2倍拡大された像として受光される。フォトダイオードアレイ9により受光された光束は電気信号に変換され(光電変換)、エンコーダ信号(検出信号)としてセンサユニット7から信号処理装置101へ送られる。
次に、図2を参照して、スケール20のスケールトラック8の構成について説明する。図2は、スケール20のスケールトラック8の構成図であり、スケールトラック8の一部拡大図についても示している。スケールトラック8は、単位ブロックパターン10を移動方向(X軸方向)と移動方向に垂直な方向(Y軸方向)にそれぞれ周期的に並べて構成されている。
本実施例において、スケールトラック8の単位ブロックパターン10は、X軸方向の幅X0は700μm、Y軸方向の幅Y0は50μmである。単位ブロックパターン10は、X軸方向に50μmの幅、ピッチP(P=100μm)で等間隔に配置されたパターン列を有する領域(領域A)と、X軸方向に700μmの周期の変調パターン列を有する領域(領域B)とを備えて構成されている。領域Aと領域BのY軸方向の幅は、それぞれ25μmである。単位ブロックパターン10の領域Aは、さらにY軸方向において12.5μmごとに2つのパターン列に分割されている。2つのパターン列は、単位ブロックパターン10の中心基準線CRLに対してX軸方向に±P/12μm(±100/12μm)だけシフトしている。
このような構成においてスケール反射像の強度分布がセンサ受光面領域(フォトダイオード)で積分されることにより、100μm周期の3倍周期成分がキャンセルされ、理想的な正弦波からの歪を低減することができる。なお本実施例は、3倍周期成分についての対策を行っているが、これに限定されるものではない。他の周期成分をキャンセルするために多段のシフト構成を採用すること、または、連続的なシフト構成を採用してもよい。
単位ブロックパターン10の領域Bには、X軸方向に幅50μmの11個の反射パターン列が並べられている。本実施例において、それぞれの反射パターンのY軸方向の幅Wは、W1=5μm、W2=9μm、W3=16μm、W4=20μm、W5=25μm、W6=25μm、W7=25μm、W8=20μm、W9=16μm、W10=9μm、W11=5μmである。
また本実施例は、スケール20のパターンとして、領域Aが100μmピッチ、領域Bが700μmピッチの単位ブロックパターン10を有する場合について説明するが、これに限定されるものではない。不要な周期成分をキャンセルするために2つの領域のパターンのピッチの比が奇数倍であれば、他のパターンを採用してもよい。
次に、図3および図4を参照して、本実施例における検出分解能の切り替えについて説明する。図3は、第1分解能で検出する際のフォトダイオードアレイ9の受光面の配置図である。図4は、第2分解能で検出する際のフォトダイオードアレイ9の受光面の配置図である。
図3および図4に示されるように、本実施例のフォトダイオードアレイ9は、28個のフォトダイオード9aがX軸方向に50μmピッチで並んで構成されている。また本実施例において、複数のフォトダイオード9aのそれぞれにおいて、X軸方向の幅X_pdは50μm、Y軸方向の幅Y_pdは800μmである。また、フォトダイオードアレイ9の全幅X_totalは1400μmである。複数のフォトダイオード9aのそれぞれからの信号は、スイッチ13に出力される。
スイッチ13は、分解能切り替え信号11に応じて、スイッチ回路12を介して第1分解能(高分解能)または第2分解能(低分解能)のいずれかに切り替えられる。このように、フォトダイオードアレイ9は、分解能切り替え信号11に応じて切り替え可能な分解能(第1分解能または第2分解能)で、スケール20で反射(または透過)した光を受光する。
図3に示されるように、フォトダイオードアレイ9が第1分解能でスケール20からの光を受光する(スケール20の変位を検出する)場合、複数のフォトダイオード9aは、スイッチ13を介して、A+、B+、A−、B−の各端子に交互に接続される。一方、図4に示されるように、フォトダイオードアレイ9が第2分解能で受光する場合、複数のフォトダイオード9aは隣接する4つのフォトダイオード(フォトダイオード群)ごとに、A+、B+、A−、B−のいずれかのラインに接続される。また、隣接するフォトダイオード群の間の3つのフォトダイオードは、GND(グラウンド)ラインに接続される(接地される)。このような構成により、複数のフォトダイオード9aのそれぞれからの信号は、スイッチ13により切り替えられ、選択的に後段の4つの初段増幅器(増幅器34、35、36、37)に出力される。
スイッチ回路12は、外部からの分解能切り替え信号11に応じて、スイッチ13の接続を切り替えるように構成されている。例えば分解能切り替え信号11がハイレベルの場合、図2に示されるようにスケールパターン周期P=100μm(反射像周期200μm)の検出ピッチとなる。一方、分解能切り替え信号11がローレベルの場合、図2に示されるようにスケールパターン周期X0=700μm(反射像周期1400μm)の検出ピッチとなる。本実施例において、切り替えにより4相正弦波出力の生成に用いられないフォトダイオードは、図4に示されるようにGNDラインに接続される。すなわち、フォトダイオードアレイを構成する複数のフォトダイオード9aのうち、分解能切り替え信号11に基づいて選択されないフォトダイオードは接地される。
次に、図5を参照して、本実施例における信号処理回路2a(フォトICチップ)について説明する。図5は、本実施例における信号処理回路2aの構成図である。図5に示されるように、信号処理回路2aには、4相正弦波出力S(A+)、S(B+)、S(A−)、S(B−)の生成(検出信号の生成)に用いられる初段増幅器として、4つの増幅器34、35、36、37(I−V変換増幅器)が設けられている。4つの増幅器34、35、36、37は、フォトダイオードアレイ9を構成する複数のフォトダイオード9aのうち、分解能切り替え信号11に基づいて選択されたフォトダイオードの出力信号を用いて検出信号を生成する検出信号生成部を構成する。
4相正弦波出力の相対位相は、S(A+)を基準として、S(B+)は+90度、S(A−)は+180度、S(B−)は+270度の関係にある。4相正弦波出力S(A+)、S(B+)、S(A−)、S(B−)は、A相用差動増幅器38およびB相用差動増幅器39を介して、以下の式(1)、(2)で表される演算が行われ、直流成分が除去された2相正弦波信号S(A)、S(B)が生成される。
S(A)=S(A+)−S(A−) … (1)
S(B)=S(B+)−S(B−) … (2)
2相正弦波信号S(A)、S(B)は、信号処理装置101に出力される。信号処理装置101は、2相正弦波信号S(A)、S(B)の逆正接演算を行うことにより、位相信号(変位信号)を取得することができる。
S(B)=S(B+)−S(B−) … (2)
2相正弦波信号S(A)、S(B)は、信号処理装置101に出力される。信号処理装置101は、2相正弦波信号S(A)、S(B)の逆正接演算を行うことにより、位相信号(変位信号)を取得することができる。
本実施例において、信号処理回路2aは、所定の基準電圧Vf3とフォトダイオード9aの出力信号とを用いて光源1の駆動電流I0を制御する差動増幅器40(オートパワーコントロール回路)を有する。差動増幅器40は、所定の基準電圧Vf3とフォトダイオードの出力信号の電圧との差分電圧を増幅させる。
信号処理回路2aは、更に、光源1の駆動電流I0を一定にするように、すなわち光源1の光量を一定にするように、分解能切り替え信号11に応じて所定の基準電圧Vf3を変更するスイッチ41を有する。スイッチ41は、分解能切り替え信号11に応じて第1分解能よりも低い第2分解能が選択された場合、所定の基準電圧Vf3として、第1分解能に対する基準電圧Vr1(第1基準電圧)よりも高い基準電圧Vr2(第2基準電圧)に変更する。差動増幅器40およびスイッチ41により、駆動電流I0を制御する電流制御部が構成される。
ここで、図6を参照して、オートパワーコントロール回路(APC回路)の動作の概略について説明する。図6は、APC回路の動作説明図であり、図5の信号処理回路2aを簡略化して示したものである。図6において、50はフォトダイオードであり、前述のフォトダイオードアレイ9に相当する。51は増幅器であり、前述の増幅器34、35、36、37に相当する。RはI−V変換抵抗である。40は、APC用の利得Aを有する差動増幅器である。52は、光源1を駆動する駆動回路を構成するFET(電界効果トランジスタ)である。FET52のゲートに差動増幅器40の出力電圧が印加されることにより、光源1の駆動電流I0が制御される。FET52のゲート電圧1Vに対する光源1の駆動電流I0の変化量をgmとする。
光源1とフォトダイオード50(フォトダイオードアレイ9)は、図1に示されるように、スケール20を介して光学的に結合している。ここで、結合利得(駆動電流I0に対するフォトダイオード50の出力電流Ipdの比)をKとし、APC用の差動増幅器40の基準電圧をVf3とする。このとき、差動増幅器40の利得Aが十分に大きいとすると、駆動電流I0は以下の式(3)のように表される。
駆動電流I0は、基準電圧Vf3の増加(減少)とともに減少(増加)し、結合利得Kに反比例する。光源1の光量が減少した場合や、ゴミなどでフォトダイオード50に入力される光量が減少した場合には、結合利得Kが減少するため、駆動電流I0が増加するように制御される。
また、分解能切り替え前後において、フォトダイオードアレイ9のうちの一部のフォトダイオードがGNDラインに接続される(接地される)場合、検出される全体の光量は減少し、式(3)中の結合利得Kの値が減少する。このとき、分解能の切り替え前後での結合利得をそれぞれK1、K2とすると、分解能の切り替えの際に、分解能切り替え後の基準電圧Vf3’を以下の式(4)のように設定することが好ましい。このため、分解能の切り替えにより結合利得がK1からK2に変化した場合でも、駆動電流I0は変化せず、駆動電流I0は一定に保たれる。
分解能切り替え前後における結合利得K1、K2は、光源1の光量分布やフォトダイオードアレイ9の受光面の配置構成などに基づいて、予め算出することが可能である。
図5を参照して、APC用の基準電圧Vf3の切り替えについて説明する。11は、図3および図4を参照して説明したように、分解能切り替え信号である。41は、基準電圧Vf3を切り替えるためのスイッチである。スイッチ41は、分解能切り替え信号11に応じて基準電圧Vf3として2つの基準電圧Vr1、Vr2(第1基準電圧、第2基準電圧)から一つの電圧を選択する。本実施例では、分解能切り替え信号11がハイレベルの場合には基準電圧Vr1を選択し、分解能切り替え信号11がローレベルの場合には基準電圧Vr2を選択する。
本実施例において、基準電圧Vr1、Vr2は、基準電圧設定用抵抗42、43、44、45を用いて、分解能切り替え前後での結合利得K1、K2に基づき式(4)を満たすように予め設定されている。なお本実施例において、基準電圧Vr1、Vr2は基準電圧設定用抵抗42、43、44、45を用いて設定されているが、これに限定されるものではない。例えば、DAコンバータなどの外部手段を用いて基準電圧Vf3(基準電圧Vr1、Vr2)を設定するように構成してもよい。このような構成により、式(4)を満たしつつ、分解能切り替え信号11に応じて、分解能切り替え時に基準電圧Vf3を切り替える(切り替え補正を行う)ことにより、分解能切り替え前後での駆動電流I0を一定に保つことができる。
本実施例によれば、分解能切り替えにより位置検出信号を生成する際に用いられない未使用フォトダイオードが存在する場合でも、分解能切り替え信号に応じて、APC回路の基準電圧を未使用フォトダイオードによる光量変化に相当する分だけ補正可能である。このため、検出分解能の切り替えにより生じる光源の光量変動を低減可能なエンコーダおよびこのエンコーダを備えたレンズ装置を提供することができる。
その結果、APC回路本来の光源特性変化などの長期的経時変化に対する光源の光量の安定性を維持したまま、切り替え後の分解能での検出信号をAPC回路の応答時間に依存することなく高速かつ高精度で取得することが可能となる。また、APC回路の応答時間に依存することなく、切り替え前後の分解能を複合的に使用する位置検出が可能となる。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
1 光源
2 半導体素子
3 受光素子
9 フォトダイオードアレイ
10 スイッチ
20 スケール
34、35、36、37 増幅器
38、39、40 差動増幅器
41 基準電圧切り替えスイッチ
2 半導体素子
3 受光素子
9 フォトダイオードアレイ
10 スイッチ
20 スケール
34、35、36、37 増幅器
38、39、40 差動増幅器
41 基準電圧切り替えスイッチ
Claims (7)
- 光源からの光を反射または透過し、該光源に対して相対的に変位可能なスケールと、
分解能切り替え信号に応じて切り替え可能な分解能で、前記スケールで反射または透過した光を受光するフォトダイオードアレイと、
前記フォトダイオードアレイを構成する複数のフォトダイオードのうち、前記分解能切り替え信号に基づいて選択されたフォトダイオードの出力信号を用いて検出信号を生成する検出信号生成部と、
所定の基準電圧と前記フォトダイオードの前記出力信号とを用いて前記光源の駆動電流を制御する電流制御部と、を有し、
前記電流制御部は、前記光源の駆動電流を一定にするように、前記分解能切り替え信号に応じて前記所定の基準電圧を変更する、ことを特徴とするエンコーダ。 - 前記電流制御部は、前記光源の光量を一定にするように前記所定の基準電圧を変更することを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。
- 前記フォトダイオードアレイは、前記光源と一体的に形成されており、前記スケールに対して相対的に変位可能であることを特徴とする請求項1または2に記載のエンコーダ。
- 前記電流制御部は、前記分解能切り替え信号に応じて第1分解能よりも低い第2分解能が選択された場合、前記所定の基準電圧として、該第1分解能に対する第1基準電圧よりも高い第2基準電圧に変更することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記フォトダイオードアレイを構成する複数のフォトダイオードのうち、前記分解能切り替え信号に基づいて選択されないフォトダイオードは接地されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記電流制御部は、オートパワーコントロール回路を有し、
前記オートパワーコントロール回路は、前記所定の基準電圧と前記フォトダイオードの前記出力信号の電圧との差分電圧を増幅させることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のエンコーダを有することを特徴とするレンズ装置。
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CN106415210B (zh) * | 2014-04-25 | 2018-09-21 | 夏普株式会社 | 光学式编码器 |
US11092465B2 (en) | 2014-04-25 | 2021-08-17 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical encoder |
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